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現在の検索キーワード: 儀同 孝信

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審決年月日 審判番号 発明・考案の名称 結論 代理人 請求人    
2021/11/10 不服
2020 -209 
ピクセル化された容量制御ESC 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2021/08/18 不服
2020 -10050 
自動位置合わせ基板搬送装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   ブルックス オートメーション インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2021/04/28 不服
2019 -8580 
半導体デバイス、シリコンウェハ、及びシリコンウェハの製造方法 本件審判の請求は、成り立たない。   インフィネオン テクノロジーズ アーゲー   原文 保存
該当なし  
2021/01/06 不服
2018 -15912 
基板処理装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   ブルックス オートメーション インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2020/10/26 不服
2019 -8702 
半導体用ウエハ加工用粘着テープ 本件審判の請求は,成り立たない。   住友ベークライト株式会社   原文 保存
該当なし  
2020/08/12 不服
2019 -14057 
集積静電チャックを備えた基板キャリア 本件審判の請求は、成り立たない。   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2020/06/30 不服
2019 -2974 
レーザー加工装置及びレーザー加工方法 本件審判の請求は、成り立たない。   株式会社東京精密   原文 保存
該当なし  
2020/03/18 異議
2018 -700957 
EFEM 特許第6349750号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付…… 大西 雅直     原文 保存
該当なし  
2020/03/17 不服
2018 -11395 
パッシブローターによるロボットの駆動 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   パーシモン テクノロジーズ コーポレイション   原文 保存
該当なし  
2020/01/08 不服
2018 -11987 
液体媒体を有する高精度ヒータシステム 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 山本 進   ワトロウ エレクトリック マニュファクチュアリング カンパニー   原文 保存
該当なし  
2019/11/07 異議
2019 -700311 
静電チャック装置 特許第6413646号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正…… 大谷 保     原文 保存
該当なし  
2019/09/18 不服
2018 -10784 
EFEMシステム 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   シンフォニアテクノロジー株式会社   原文 保存
該当なし  
2019/07/01 不服
2018 -5225 
半導体装置およびその製造方法 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。 山田 卓二   三菱電機株式会社   原文 保存
該当なし  
2019/06/07 不服
2018 -13711 
真空プロセス・チャンバの構成部品及び製造方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 大塚 文昭 その他   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2019/05/08 不服
2017 -6593 
フェムト秒レーザ及びプラズマエッチングを用いたウェハダイシング 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2019/04/08 不服
2018 -2185 
静電チャック、チャンバ及び静電チャックの製造方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   北京北方▲華▼▲創▼▲微▼▲電▼子装▲備▼有限公司   原文 保存
該当なし  
2018/11/13 不服
2016 -19411 
双腕ロボット 本件審判の請求は,成り立たない。   ブルックス オートメーション インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2018/10/29 不服
2017 -8335 
基板搬送装置、及びこれを用いた基板搬送方法 本件審判の請求は、成り立たない。   SPPテクノロジーズ株式会社   原文 保存
該当なし  
2018/10/23 不服
2017 -18864 
半導体装置 本件審判の請求は、成り立たない。   安部 正幸 周神 信也 星野 政宏   原文 保存
該当なし  
2018/10/01 不服
2017 -1747 
研磨用組成物 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   株式会社フジミインコーポレーテッド   原文 保存
該当なし  
2018/09/14 異議
2018 -700482 
窒化物半導体装置およびその製造方法 特許第6245559号の請求項18ないし47に係る特許を維持する。 京村 順二 その他     原文 保存
該当なし  
2018/08/06 不服
2017 -8948 
静電チャック装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 伊東 忠重   新光電気工業株式会社   原文 保存
該当なし  
2018/07/17 不服
2017 -8029 
静電チャックの窒化アルミ誘電体の修復方法 本件審判の請求は、成り立たない。 近藤 直樹 その他   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2018/06/05 不服
2016 -18308 
静電チャック 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   トーカロ株式会社   原文 保存
該当なし  
2018/03/28 不服
2016 -16965 
シート貼付装置および装置の大型化防止方法 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   リンテック株式会社   原文 保存
該当なし  
2018/03/13 不服
2016 -16199 
基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム。 本件審判の請求は,成り立たない。   株式会社日立国際電気   原文 保存
該当なし  
2017/09/06 異議
2017 -700004 
ウエハー保持台及びその製法 特許第5948513号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された特許…… 特許業務法人アイテック国際特許事務所     原文 保存
該当なし  
2017/08/28 不服
2016 -3145 
保持装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   株式会社ハーモテック   原文 保存
該当なし  
2017/07/24 不服
2015 -17277 
注入領域および保護層を含む半導体デバイスおよびそれを形成する方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   クリー インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2017/06/26 不服
2016 -6519 
静電チャックアセンブリ、その製造方法、および、プラズマ処理プロセスにおける電束均一性の改善方法 本件審判の請求は,成り立たない。   ラム リサーチ コーポレーション   原文 保存
該当なし  

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