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審決分類 審判 全部申し立て 4項(5項) 請求の範囲の記載不備  H01L
審判 全部申し立て 2項進歩性  H01L
審判 全部申し立て 1項3号刊行物記載  H01L
管理番号 1010338
異議申立番号 異議1998-72530  
総通号数
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許決定公報 
発行日 1988-02-02 
種別 異議の決定 
異議申立日 1998-05-19 
確定日 1999-11-22 
異議申立件数
訂正明細書 有 
事件の表示 特許第2681055号「ウェーハ移送方法及び装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。 
結論 訂正を認める。 特許第2681055号の特許請求の範囲第1項、第3項、第5項ないし第8項に記載された発明についての特許を維持する。 
理由 (1)手続の経緯
本件特許第2681055号発明は、昭和62年5月15日(1986年5月16日優先権主張米国)に特許出願され、平成9年8月8日にその特許の設定登録がなされ、その後吉川喜一郎及び高橋学より特許異議の申立てがなされ、平成11年2月5日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成11年8月23日に訂正請求がなされたものである。
(2)訂正の適否についての判断
ア.訂正の内容
*訂正事項a
特許請求の範囲の請求項1における、「1.垂直チャンバ,ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するフアーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、前記ボートを支持するための少なくとも1個のボート支持部を有する回転可能な回転式テーブルから成り、前記ボートを前記ボート支持部に支持し、前記回転式テーブルを回転させて、前記ボートを前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で運搬することを特徴とする、ところのウエーハ移送装置。」を、
「1.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通して前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウェーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウェーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウエーハ移送装置。」と訂正する。
*訂正事項b
特許請求の範囲の請求項2を削除する。
*訂正事項c
特許請求の範囲の請求項3における、「3.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段;前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段;及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程;及び前記ウェーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブルに設けた少なくとも1個のボート支持部に前記ボートを支持し、前記回転式テーブルを回転することによって行われることを特徴とする、ウエーハ移送方法。」を、
「3.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;ウェーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段;前記ウェーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段;及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウェーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程;及び前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、ところのウエーハ移送方法。」と訂正する。
*訂正事項d
特許請求の範囲の請求項4を削除する。
イ.訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
上記訂正事項aは、ウエーハ移送装置において「回転式テーブル」、「ボート」、「ボート支持部」の構成に関し、請求項1における、「前記ウェーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、前記ボートを支持するための少なくとも1個のボート支持部を有する回転可能な回転式テーブルから成り、前記ボートを前記ボート支持部に支持し、前記回転式テーブルを回転させて、前記ボートを前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で運搬することを特徴とする」点を「前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する」点に限定し明確にするものであるから、特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない(新請求項1は、実施態様項である請求項2の内容を実質的に取り込んだものである)。
上記訂正事項cは、ウエーハ移送方法において「回転式テーブル」、「ボート」、「ボート支持部」の構成に関し、請求項3における、「前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブルに設けた少なくとも1個のボート支持部に前記ボートを支持し、前記回転式テーブルを回転することによって行われることを特徴とする」点を「前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」点に限定し明確にするものであるから、特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない(新請求項3は、実施態様項である請求項4の内容を実質的に取り込んだものである)。
上記訂正事項b及びdは、特許請求の範囲の請求項2及び4を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
ウ.独立特許要件の判断
[第36条第4項違反について]
特許明細書における「前記ボートを支持するための少なくとも1個のボート支持部を有する回転可能な回転式テーブル」との記載の点は、訂正後の特許請求の範囲の請求項1及び請求項3の記載において、「前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する」点及び「前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」点が明記されることにより、「テーブル上の異なる位置で1個のボートを支持する構造」であることが明瞭になっている。よって本件特許明細書には不備はない。
[第29条の2違反について]
(本件発明)
訂正明細書の本件請求項1及び3に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項1及び3に記載された次のとおりのものである。
「1.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウェーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウェーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウエーハ移送装置。」
「3.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;ウェーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段;前記ウェーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段;及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程;及び前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、ところのウエーハ移送方法。」
(先願明細書)
本件出願日前に出願され本件出願(本件優先権主張日)後に出願公開された特願昭60-135086号(特開昭61-291335号公報参照)の願書に最初に添附した明細書又は図面(以下先願明細書という)には、半導体移換え装置が第1乃至17図とともに記載されている。そして先願明細書(公報の第2頁右下欄第12行〜第18行参照)には「第1図及び第2図はCVD装置の下方でウエハをバスケットからカートリッジに移換える状態を示し、第1図は平面図、第2図は正面図である。カートリッジ1は、回動する1対のハンドラの一方のハンドラ17-1に支承され、バスケット2は、カートリッジ1に対向して4個積重ねられ、支持台4上に載置される。」と記載され、先願明細書(公報の第3頁右上欄第6行〜第19行参照)には「かくしてウエハを収容したカートリッジ1は、ハンドラ17-1の回動によって図示しないCVD装置の挿入孔下に送られ、エレベータテーブル18によってCVD装置内に挿入され、所定の処理が施される。未処理のウエハカートリッジをCVD装置に挿入するに先立って、処理が終了したウエハカートリッジはCVD装置から脱出、下降し、他方のハンドラ17-2に支承され、エレベータテーブル18から離脱して回動し、充分に冷却されてからバスケット2に対向する位置に送られ、前記とは逆の手順によって4個のバスケット2-4、2-3、2-2、2-1に順次処理済みのウエハが移換えられる。」と記載されている。
(対比・判断)
本件請求項1及び3に係る発明と先願明細書記載の発明とを対比すると、先願明細書記載の発明には、本件請求項1及び3に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段又は前記工程か、回転式テーブルによるウエーハ移送装置又はウエーハ移送方法において、「回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する」点又は「回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」とする点について記載されていない。
したがって、本件請求項1及び3に係る発明が先願明細書に記載された発明と同一発明であると認めることはできない。
よって、本件発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明であるとすることはできない。
エ.むすび
以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第120条の4第2項及び同条第3項で準用する特許法第126条第2から4項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
(3)特許異議の申立てについての判断
ア.申立ての理由の概要
申立人吉川喜一郎は、証拠として甲第1号証(米国特許第3749383号明細書)、甲第2号証(特開昭58-75840号公報)、甲第3号証(特開昭60-258459号公報)、甲第4号証(特開昭59-39341号公報)及び甲第5号証(実願昭57-34690号(実開昭58-138334号)のマイクロフィルムによる全文公開明細書)を提示し、本件請求項1、2の発明は甲第3乃至5号証記載の周知技術を勘案すると甲第1号証或いは甲第2号証に記載の発明と同一であり、請求項3、4の発明は甲第3乃至5号証記載の周知技術を勘案すると甲第1号証記載の発明と同一であり、また請求項5乃至8の発明は甲第1号証及び甲第4号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は特許法第29条第1項第3号或いは同条第2項の規定に違反してなされたものであり、特許を取り消すべきであると主張している。
同じく、申立人高橋学は、証拠として甲第1号証(特開昭59-39341号公報)、甲第2号証(特開昭58-75840号公報)、甲第3号証(特開昭60-258459号公報)、甲第4号証(「電子材料」1986年3月号第114〜116頁)及び甲第5号証(特開昭61-144821号公報)を提示し、本件請求項1、2及び3、4の発明は、甲第1号証乃至甲第5号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定に違反し、また本件特許明細書の特許請求の範囲の記載において、「回転式テーブル」は「テーブル上の異なる位置で1個のボートを支持する構造」であるべきところ、「・・・少なくとも1個のボート支持部」と記載されているから本件特許明細書の特許請求の範囲の記載には不備があり同法第36条第4項違反であるから、特許を取り消すべきであると主張している。
なお申立人高橋学の提出した甲第2乃至5号証の表示と申立書第2乃至22頁に記載の甲第2乃至5号証の内容とが不一致のため、申立書第2乃至22頁に記載のものを甲第2乃至5号証とした。
イ.特許法36条第4項違反について
申立人高橋学が本件特許明細書の特許請求の範囲の記載において、「回転式テーブル」は「テーブル上の異なる位置で1個のボートを支持する構造」であるべきところ、「・・・少なくとも1個のボート支持部」とされているから本件特許明細書の特許請求の範囲の記載には不備があると主張する点は、(2)ウ.独立特許要件の判断の[第36条第4項違反について]の項で検討したとおり、訂正により記載不備は解消している。
ロ.特許法第29条第1項第3号又は特許法第29条第2項違反について
(本件発明)
訂正明細書の本件発明は、特許請求の範囲の請求項1、3及び5乃至8に記載されたとおりのものである。
(引用例)
申立人吉川喜一郎が提出した甲第1号証には、半導体デバイス製造装置、特に半導体ウエハ上に半導体材料のエピタキシアル層を成長する装置に関し、「この新規な装置は、底部に開口部が形成される加熱チャンバーを有する炉と、製造されるデバイス用の保持台を上昇及び下降する昇降手段と、及び保持台を炉に装填し、且つ保持台を炉から取り出す、昇降手段と関連して協働する装填器具とから構成される。・・・装填器具は、昇降手段の前後に滑動自在のキャリッジ上で回転する、アーム両端部の中間で枢着されるアームから構成される。そのアームは、昇降手段が保持台をアームから、かつ加熱チャンバーの開口部を通して吊り上げできるように、保持台を昇降手段の上に配設するようになっている。」(1欄30行〜43行)と記載され、図1及び図2には、2つの炉12及び14と、炉への装填及び取り出しをする、炉と関連して協働する装填器具16から構成される装置10が示され、図3及び図4には装填器具16が示され、「装填器具16は、炉12と14との間でレール70及び72に沿って水平方向に滑動自在に移動できるように配設されるキャリッジ82から構成される。細長いアーム84は、キャリッジ82から上側へ延びる枢軸86の回りに水平回転できるように、その反対側両端部の中間で枢着される。」(3欄30行〜40行参照。)と記載され、「基板ウエハ32の保持台34上の載置を容易にするために、かつ処理されたウエハ32を非常に高温の保持台34から取り外すために、保持台34がその垂直軸の回りに回転できるように、保持台34をアーム84の端部上で支持する手段が設けられる。」(3欄48行〜52行)と、また、「仕切128とテーブル棚122との間の空間130は、作業者がウエハ32を保持台34へ載置し、かつ保持台34から取り外すのに利用される。」(4欄42〜45行)と記載されている。
同甲第2号証には、「複数の半導体ウエハーを水平に積み重ねたバスケットを、収納し加熱するための縦型加熱炉と加熱処理剤および加熱処理後のバスケットを保管しておくための回転形保管室が設けられ、且つ、上記加熱炉と保管室との間を自動的にバスケットを運搬する機構が併設されたことを特徴とする半導体用加熱処理炉」(特許請求の範囲)に係る発明が記載され、「運搬機構15(16の誤記。)はフォークを差し出して、バスケット20の円台形21下部に差し込み、持ち上げて180°回転する。そうすると、バスケット20が回転形保管室16(17の誤記。)に至り、次にフォークを下げてその位置にバスケット20を置いてフォークを引き込める。このような動作によって自動的に保管室17と挿入ステージ14との間を連絡する運搬機構16を用いるものである。」(2頁左下欄16行〜同頁右下欄3行)と記載されている。
同甲第3号証には、縦型熱処理炉用ウエハー移換装置に関して、該装置は、「ウエハーを所定間隔で整列収容するための第1の収容治具(例えばキャリア)と、上記ウエハーを上記所定間隔と実質的に同一の間隔で整列収容するための互いに平行な収容溝を有する第2の収容治具(例えば石英ボート)と、上記第1の収容治具に収容されている上記ウエハーを上記第2の収容治具に移し換えて上記収容溝に整列配置するためのウエハー移換手段とをそれぞれ具備する」(2頁左上欄13行〜20行)と記載され、第1図が示されると共に、「まず例えばボートステーション127h上に載置されている石英ボート67をボート移送機構部5のアーム141により縦型拡散炉部4のハウジング130の上面130a上に載置されているボートステーション137上に載置する。次にボートローダ132の昇降軸132aの回転及び昇降動作により、アーム132bの先端に取り付けられている吊上げ具134をボートステーション137上に載置されている石英ボート67のフック部67kの少し下方に位置させる。次にボートローダ132の昇降軸132aを上昇させて吊上げ具134を石英ボート67のフック部67kに引っ掛けることにより石英ボート67を吊り上げる。次にボートローダ132の昇降軸132aを回転させて石英ボート67を縦型拡散炉131の真上に位置させた後、昇降軸132aを下降させて石英ボード67を縦型拡散炉131内に導入する。この後、所定の熱処理を行う。」(10頁左上欄16行〜同頁右上欄13行)と記載されている。
同甲第4号証には、薄板状被処理物の加熱処理装置が記載され、第1図及び第2図が示されるとともに、「以上において、先ず25枚のウエハー8…を収納した左側のカセット9を若干降下せしめ、カセット9に収納されているウエハー8…のうち最下段に位置するウエハーを無端ベルト14上に載せる。するとウエハー8は無端ベルト14によって昇降部材17上まで送り出される。このときリミットスイッチによってシリンダユニット16が作動し、昇降部材17が上昇し、無端ベルト20によってウエハー8が昇降部材17の先端部まで搬送される。そしてウエハー8が昇降部材17の先端部までくるとリミットスイッチにより無端ベルト20の駆動が停止し、昇降部材17がもとの位置まで下降する。すると、ウエハー8はアーム部材21,21の先端部に乗り移る。次いでアーム部材21,21はウエハー保持体28に向って移動し、ウエハーを保持体28の柱29に形成した溝部31に係止せしめる。」(2頁右下欄14行〜3頁左上欄11行)と記載されている。
同甲第5号証には、「ウエハ上にシリコン膜又はシリコン窒化膜等の絶縁被膜を形成させる減圧CVD装置のウエハ給材機構であって、予めカセットキヤリヤに収容した複数の該ウエハをウエハホルダーに積みかえ、該ホルダーは上下に移動するリフト機構と、回転機構を備えた前記減圧CVD装置のエンドキヤップに自動的に配設されてなることを特徴とするウエハ自動給材機構」(実用新案登録請求の範囲)か記載されている。
申立人高橋学の提示した甲第1号証、甲第2号証及び甲第3号証は、申立人吉川喜一郎が提示した甲第4号証、甲第2号証及び甲第3号証とそれぞれ同一のものであり上記に記載のとおりの発明が記載されている。
申立人高橋学の提示した甲第4号証の第2図には、ケミカルドライエッチング装置CDE-VIIIの搬送系の図が示され、「ウェハの入ったカセットをロード部にセットしスタートボタンを押すと、ウェハは専用カセットに移し替えられる。ロボットは引き続きアンロード側の空のカセットをロード側に運び、次のウェハが移し替えられる。一方エッチングの終了したウェハは専用カセットごとアンロード部に運ばれ、そこで通常のカセットに移し替えられる。移し替えなどの一連の搬送動作は、ほとんどエッチング中に行われるためロスタイムが少ない。」(115頁右欄18行〜26行)と記載されている。
同甲第5号証には、従型熱処理炉用ウエハ移換装置が記載されている。
なお同号証は、本件優先権主張日以降の昭和61年7月2日に公知になった文献であり、本件発明の進歩性を判断する際の証拠としては採用できない。
(対比・判断)
[請求項1に係る発明について]
本件請求項1に係る発明と各申立人の提示した甲号各証記載の発明とを対比すると、いずれの証拠にも、本件請求項1に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段又は前記工程が、回転式テーブルから成るウエーハ移送装置において、「回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウェーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する」点が記載乃至示唆されていないから、本件請求項1に係る発明が申立人吉川喜一郎の提示した甲第1或いは第2号証に記載された発明であるとも、また申立人高橋学の提示した甲第1乃至第4号証に記載の発明から当業者が容易になし得たものとも認められない。
[請求項3に係る発明について]
本件請求項3に係る発明と各申立人の提示した甲号各証記載の発明とを対比すると、いずれの証拠にも、本件請求項3に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記工程が、回転式テーブルによるウエーハ移送方法において、「回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウェーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」点か記載乃至示唆されていないから、本件請求項3に係る発明が申立人吉川喜一郎の提示した甲第1号証に記載された発明であるとも、また申立人高橋学の提示した甲第1乃至第4号証に記載の発明から当業者が容易になし得たものとも認められない。
「請求項5及び請求項6に係る発明について]
請求項5及び請求項6に係る発明と申立人吉川喜一郎の提示した甲第1号証及び甲第4号証記載の発明とを対比すると、同甲第1号証及び甲第4号証記載の発明には、請求項5及び請求項6に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ移送装置のウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段が
「(1)円弧状に回動可能で半径方向に移動可能な、ウエーハを支持するためのパドル、(2)前記カセット或いは前記ボートのスロットにあるウェーハを支持した前記パドルを半径方向に移動して、前記カセット或いは前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出するための手段、
(3)前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の2カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出するための手段、及び(4)前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボート或いは前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの実際の中心位置を予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボート或いは前記カセットの前記スロットヘと移動させるための制御手段」の点が記載乃至示唆されていない。
そして請求項5及び請求項6に係る発明は、上記の点により明細書記載の作用効果を奏するものと認められる。
したがって、請求項5及び請求項6に係る発明は、申立人吉川喜一郎の提示した甲第1号証及び甲第4号証記載の発明から当業者が容易になし得たものとは認められない。
「請求項7及び請求項8に係る発明について]
請求項7及び請求項8に係る発明と申立人吉川喜一郎の提示した甲第1号証及び甲第4号証記載の発明とを対比すると、同甲第1号証及び甲第4号証記載の発明には、請求項7及び請求項8に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ移送方法におけるウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための工程が「(1)カセット或いはボートのスロットにあるウエーハをパドルで支持し、前記パドルを半径方向に移動して、前記カセット或いは前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出する工程、(2)前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の2カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出する工程、及び(3)前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボート或いは前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボート或いは前記カセットの前記スロットヘと移動させる工程」の点が記載乃至示唆されていない。
そして請求項7及び請求項8に係る発明は、上記の点により明細書記載の作用効果を奏するものと認められる。
したがって、請求項7及び請求項8に係る発明は、申立人吉川喜一郎の提示した甲第1号証及び甲第4号証記載の発明から当業者が容易になし得たものとは認められない。
また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
 
発明の名称 (54)【発明の名称】
ウエーハ移送方法及び装置
(57)【特許請求の範囲】
1.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンハの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、
当該ウエーハ移送装置が、
ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、
前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、
前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、
前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウエーハ移送装置。
3.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段;前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段;及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、
前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程;及び
前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、
から成り、
前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、
ところのウエーハ移送方法。
5.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、
当該ウエーハ移送装置が、
ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、
前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、
前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための前記手段が:
前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
(1)円弧状に回動可能で半径方向に移動可能な、ウエーハを支持するためのパドル、
(2)前記カセットの前記スロットにあるウエーハを支持した前記パドルを半径方向に移動して、前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出するための手段、
(3)前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の2カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出するための手段、及び
(4)前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボートの前記スロットヘと移動させるための制御手段、
から成る、
ところのウエーハ移送装置。
6.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、
当該ウエーハ移送装置が、
ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、
前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、
前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための前記手段が:
前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
(1)円弧状に回動可能で半径方向に移動可能な、ウエーハを支持するためのパドル、
(2)前記ボートの前記スロットにあるウエーハを支持した前記パドルを半径方向に移動して、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出するための手段、
(3)前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の2カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出するための手段、及び
(4)前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記カセットの前記スロットヘと移動させるための制御手段、
から成る、
ところのウエーハ移送装置。
7.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段;前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段;及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、
前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートとの間でウエーハを移送する工程;及び
前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、
から成り、
前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートとの間でウエーハを移送する前記工程が:
前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
(1)前記カセットの前記スロットにあるウエーハをパドルで支持し、前記パドルを半径方向に移動して、前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出する工程、
(2)前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の2カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出する工程、及び
(3)前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボートヘと移動させる工程、
から成る、
ところのウエーハ移送方法。
8.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段;前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段;及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するための方法であって、
前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前ボートとの間でウエーハを移送する工程;及び
前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、
から成り、
前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートとの間でウエーハを移送する前記工程が:
前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
(1)前記ボートの前記スロットにあるウエーハをパドルで支持し、前記パドルを半径方向に移動して、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出する工程、
(2)前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の2カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出する工程、及び
(3)前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記カセットの前記スロットヘと移動させる工程、
から成る、
ところのウエーハ移送方法。
【発明の詳細な説明】
発明の背景
本発明は、ウエーハの加熱及び/又は処理用ファーネス(furnace)装置、特に、ファーネス装置で使用される、ウエーハを収容するためのカセットと、ウエーハ運搬用ボートとの間で半導体製造に使用されるウエーハを移送するためのウエーハ移送方法及び装置に関する。
本発明はまた、垂直型ファーネスの内外部に出し入れされる、ウエーハを積載したボートの移送方法及び装置に関する。
ウエーハは、比較的壊れやすい基板材料(例えば、シリコン)から成る。ファーネスの加熱及び/又は処理に用いるチャンバの内部でウエーハを支持するためのボートも、通常、比較的壊れやすい材料(例えば、石英)から成る。また、ウエーハ及びボート上のコーティングは、非常に壊れやすく、容易に破損する。よって、これら材料は、カセットとボートとの間でウエーハを移送する過程でカセット又はボートにウエーハのエッジが衝突してしまったとき、欠損したり剥離する。
ボートとカセットとの間でのウエーハの移送は、ウエーハのエッジとカセット又はボートとの間での欠損や剥離の原因となる接触を回避するために高い精度で行なわれなければならない。
上述のような接触があったり、いずれの材料がウエーハ又はボートから欠損しても、ウエーハ上の電気回路は損傷を受け得る。この回路は、ともに密に集積され、超小型の伝導性の配線又は経路を有し、シリコン、石英又はコーティングの粒子のようなあらゆる異物を許容できない。ボートに挿入され、ファーネスで加熱されるウエーハは、カセットのスロットに積載されてファーネス挿入装置に供給される。ウエーハは、ファーネスの加熱チャンバ内にボートを配置する前にカセットからボートへ移送され、ウエーハは、ファーネス内で加熱及び/又は処理サイクルを受けた後に、ボートから取り出されカセットへ戻される。
カセットとボートとの間でウエーハを移送する場合、手動を介在させることなく清潔な環境内で動作できる自動機構によって移送を行うことが望ましい。
また、通常、各処理サイクルにはかなりの時間が必要とされるため、1つのボートでウエーハを保持した多数のカセットを取扱うことのできるほど大型であることが一般に望ましい。1度に多くのウエーハを処理することは、生産速度を高める。非常に多くのウエーハを多数の別々のカセットから1つのボート内へ入れることを可能にするためには、挿入機構は、送り元(カセット又はボート)からウエーハを拾い上げ、送り先(ボート又はカセット)ヘウエーハを移送する過程で、円弧状に垂直かつ半径方向にウエーハを移動させることができなければならない。
このため、ウエーハの移送機構は、精密な構成を有し、精密に動作しなければならない。
装置に固有の寸法許容誤差から生じるウエーハ中心の予測位置又は校正位置からの実際のウエーハ中心の位置の変化又は差を調節することもまた、装置は可能でなけれはならない。ウエーハ中心の変化又は「ずれ」は、計測されて有効に補正されなければならず、これにより、ウエーハとボート及びカセットとの間で起こり得る上述のようなエッジの接触が移送動作中に除かれるべきである。
発明の概要
本発明の第1の目的は、ボート又はカセットとウエーハのエッジとが全く接触せずにウエーハ移送機構全体にわたってウエーハを移動させることである。
本発明の第2の目的は、移送される様々な外径をもつウエーハに起因する一貫しないウエーハの取扱いによる影響を取り除くことである。この目的は、装置内の送り元と送り先との間でのウエーハの移送経路の間にウエーハの円弧にわたる両エッジの境界を検査することによって達成される。ウエーハの外径の変化による影響は、ウエーハを保持するパドルの中心に関するウエーハの中心の実際の「ずれ」を測定することによってなくなり、パドルはこの測定された「ずれ」を補償するために必要な横方向量(又は角回転)だけ位置を変えられる。これは、送り先ヘウエーハを連続的に移送するのに必要とされる真の中心位置上に、パドルではなくウエーハを配置する。
装置の種類やウエーハの直径が様々であるため、機構的な変位誤差がパドルで拾い上げたときに生じ得る。パドルの中心に対するウエーハの中心は、実際の「ずれ」を測定することによって決定できる。パドルは、この測定/校正(calibration)の「ずれ」を補償するために必要な横方向量(又は角回転)だけ位置を変える。これは、ウエーハを拾い上げている間に発生する全ての誤差をなくし、非常に正確にウエーハを送り出すための許容誤差を装置が維持できる。これが、本発明の重要な目的である。
本発明の第3の目的は、一方のボートがウエーハ積載位置でウエーハを受け、他方のボートが垂直チャンバ側ボート位置でボートを受け取るか又は垂直チャンバ内に上昇されるように、ボートを運搬するための手段(ボート交換機構)を提供することである。この目的は、回転テーブルを使用することによって達成される。
本発明の特定的な実施例では、ウエーハ加熱及び/又は処理用のファーネス装置が、ウエーハ移送機構付近に多数のカセット及びボートを配置するように構成されるウエーハ移送モジュールから成る。カセットは、カセット内の個々のスロットに個々のウエーハを保持し、ボートは、ボートが処理チャンバに入れられるときに、処理されるウエーハを保持するための多数のスロットを有する。
ボートは、ウエーハがカセットのスロットとボートのスロットとの間で移送される間、ウエーハ積載位置の真上で保持される。ウエーハ移送機構は、送り元(カセット又はボート)で個々のウエーハを拾い上げるパドルを有し、送り先(ボート又はカセット)ヘウエーハを運搬する。ウエーハは、上面に開口を有するパドル上に真空装置によって保持される。パドル上面の開口は、ウエーハの下面で覆われるか又は封じられる。パドルは垂直方向に移動して、ウエーハを持上げたり、配置したりできる。また、カセット内外及びボート内外へと半径方向に移動できる。パドルはまた、移送行程において円弧状に移動できる。
ウエーハ移送機構は、それぞれ垂直方向、半径方向及び回転方向にパドルを移動させるための垂直、半径方向及び回転モータ駆動部を含む。
制御装置が、この垂直、半径方向及び回転モータの動作を制御する。
ウエーハ移送機構は、パドルの半径方向の移動量を検出するための半径方向センサを含む。その移動は、カセット又はボートからウエーハを引き出す工程に含まれる。
パドルの真空装置は、上述のようなパドル上でのウエーハの保持の他に、ボート又はカセット内のスロットにあるウエーハの垂直位置を検出するための垂直方向センサ信号を与える。
また、θセンサが、パドル上に保持したウエーハの中心に対するパドルの中心のあらゆる「ずれ」(offset)の量の検出及び測定のために使用される。
3つのセンサが制御装置と連動して、各カセットのスロット及び各ボートのスロットにおけるウエーハの予測中心を(3座標系で行なわれる校正手順によって)確立する。
θセンサはまた、制御装置と連動して、ウエーハの実際の移送中に生じるようなウエーハの中心に対するパドルの中心のあらゆる横方向の「ずれ」を検出し、補償する。制御装置はこの「ずれ」を解消するために必要な回転量だけ横方向にパドルの位置を変え、これにより、各ウエーハは、送り先ヘウエーハを連続して移送するために要求される真の中心の位置上で、パドルではなくウエーハの実際の中心をもつスロット位置へ送られる。従って、ウエーハは、ウエーハのエッジとスロットのエッジとの間に所望の間隔をもったスロット内に入る。
「ずれ」の量は、パドル上の各ウエーハの2つの向き合うエッジを検査することによって測定される。
2つのエッジの位置をみつけることで、ウエーハ移送機構がパドルの未修正位置に関してではなく移送機構でのウエーハの実際の位置に関してウエーハを移動させるができる。
これは、ウエーハの側部エッジの位置におけるウエーハ移送装置に固有の大きな変化も有効になくすことができる。
パドル上にウエーハの真の中心を位置することによって、ウエーハ移送装置は、送り先の構造とウエーハのエッジとを全く接触させずに、高精度でその送り先に各ウエーハを挿入することができる。
上述の特徴を組み入れ且つ上述のように機能するウエーハ移送装置及び方法は、本発明の他の特定の目的を成す。
本発明の他の目的は、以下の説明及び特許請求の範囲から明らかになり、図面で説明される。図面は、例として本発明の好適実施例及びその本質並びにこれらの本質を適用するため意図される最良の形態と現在考えられるものを示す。同一又は均等の本質を実施する本発明の他の実施例が用いられてもよく、構造上の変更が本発明及び特許請求の範囲を逸脱することなく当業者によって所望されるように行なわれ得る。
好適実施例の説明
本発明の実施例に従って構成されるファーネス装置が、第1図に符号21で示される。
ファーネス装置21は、垂直ファーネス23、ボート交換ユニット25、カセットホルダ装置27、ウエーハ移送モジュール機構29、及び制御装置31から成る。
ウエーハ移送モジュール機構29の構成の詳細を第2図に示す。
ウエーハ移送モジュール機構は、パドル33を含む。パドル33は、以下で詳説さるように、カセット37内のスロットとボート39内のスロットとの間でウエーハを移送する過程でウエーハ35を拾い上げ、保持するために使用される。
このような移送の過程でウエーハ35を拾い上げ、保持する場合、パドル33は、第1図でそれぞれZ、R及びθの文字で示す垂直(Z)方向、半径(R)方向及び回転(θ)方向に移動できる。
ウエーハ移送モジュール機構29は、カセット37からボート39へ、又は、ボート39からカセット37への両方向にウエーハを移送するために使用される。つまり、垂直ファーネス23内で加熱されるべきウエーハがカセットからボートへ移送され、このウエーハとともにボートが運ばれる。また、垂直ファーネス23内で加熱及び/又は処理サイクルを受けたウエーハをボート39からカセット37へと移送する。
第1図では、ボート39が、ウエーハ積載位置上に示されている。支柱40上のボート39は、回転式テーブル41によってこのウエーハ積載位置に支持されている。この回転式テーブルは、駆動モータ43、及びそれに連結した滑車及び駆動ベルトによって回転させることができ、(第1図で太い矢印によって示すように)180度だけ回転してウエーハを積載したボート39を垂直チャンバ23の直下のチャンバ側ボート位置43へ移送する。
昇降器45が、リフトアーム47を含む。このリフトアーム47が、チャンバ側ボート位置43でボート39を支持する支柱の下方フランジ49と係合し、第1図に示するように、垂直チャンバ23の下方端へとボート39を上昇させる。昇降器45は、昇降アーム47を上下移動させるための昇降器駆動モータ51及び回転可能な昇降ねじ53を含む。
垂直チャンバ23は、第1図に示す実施例では、垂直軸線方向にのびたほぼ管状の部材55内に形成された容器から成る。この部材55は、第1図に示す実施例では、石英から成る。
チャンバ包囲部57が、容器、及び容器内でボート39のスロットに保持されているウエーハ35を加熱する。
加熱が終了すると、ボート39が、垂直チャンバ23からチャンバ側ボート位置43の回転式テーブル41へと昇降器45によって下降される。
以上のような回転式テーブル41から成るボート交換機構25は、1つのボート39が垂直チャンバ23内で加熱されている間に別のボート39ではウエーハ35を積載したり、取り出したりできる、という連続的な動作を可能にする。
本発明の特定の実施例においても、ボート39は、石英から成る。
上述のとおり、石英及び、石英表面のコーティング又は蒸着物が、ウエーハ35のエッジと衝突したとき、それは容易に欠損したり、剥離する。また、シリコンウエーハ及びそのコーティングも、ウエーハのエッジがボート又はカセットと衝突したとき、容易に破損する。
ウエーハ35上に形成される電子回路の小型化及び高精度化に際し、発生する異物(例えば、石英、シリコン又はコーティングの微粒子)により、良好な回路を所望の生産量だけ得ようとすることが困難である、という問題がある。このことから、このような微粒子の発生を防止しなければならない。
ウエーハ35のエッジとカセット又は石英製ボート39内のウエーハ支持スロットの側部との間の接触を無くすことは、カセット37とボート39との間でのウエーハの移送を行う場合に伴う装置の許容誤差に対して重要な問題である。この許容誤差は、特定の送り元にあるウエーハの実際の中心がその特定の送り元でのウエーハの予測又は測定した中心から「ずれ」るという結果を生じることがある。この「ずれ」の量は、「ずれ」が検出されてそのウエーハをその送り元からその送り先へ移送する行程でパドルの位置を適切に調節することによって有効に解消されなければ、ウエーハのエッジが送り先のエッジに衝突してしまう。
上述のとおり、パドル33は、各ウエーハの移送のため3座標方向に移動可能である。
第1図に示すように、垂直チャンバ23内で加熱を行う以前、ボート39に積載されるウエーハ35は、カセット保持装置27の多数のカセット37内に収容されている。カセット37の各々は、カセット支持棚61上に支持される。多数の棚61が、棒63によって支持される。棒63の各々は、駆動機構65によって(第1図で太い矢印によって図示するように)所定の角度だけ回転される。これにより、カセット37が、カセット保持装置27の内外へ容易に出し入れできる。
カセット37の各々は、第1図に示すように、カセット内の個々のスロットに多数のウエーハ35を保持することができる。カセットのスロットは垂直方向に整列し、スロットの間隔の大きさの許容誤差は非常に小さいものであるが、特定のカセット37内の個々のウエーハの予測位置を校正する場合、例えば最上部にあるスロットのような、単一のスロットの単一のカセットの中心位置を決定することは十分に可能である。
ウエーハ35は、後側に平坦面を有するカセットに挿入された後、カセット37がカセット保持装置27内に入れられる。
石英製ボート39は、図示のとおり、4本の石英棒71を有する。変形的に、石英製ボートが、4本以上の棒を有してもよい。第4図に示すとおり、各々の棒71には、ウエーハ35を受け取って保持するための多数のスロット73が垂直方向に間隔をあけて形成されている。
ウエーハ35をスロット73に挿入する場合、ウエーハは、ウエーハ35のエッジとスロット73の側部との間で接触せずにスロット内に移動されなければならない。このため、ウエーハは、適切な垂直方向の高さZ及び半径方向距離Rで挿入されなければならず、パドル33の半径方向の移動Rの方向でウエーハをボート内に入れるとき、バトル33上にあるウエーハ35の実際の中心が、ウエーハの所望の中心と実質的に直線的に整合しなければならない。
ウエーハ35がスロット73内に挿入されると、ウエーハは、スロットの下方面がウエーハ35の下側と係合、支持するまで、ゆっくりと下げられる。
ボート39のスロット73の垂直方向の配列とスロット同士の間隔は、比較的小さい許容誤差に維持される。しかし、個々のボートはスロットの位置で幾らか変化したり、支柱又は回転式テーブル上のボートの位置はボートが取り付けられ又は交換されるとき変化したり、また、ボートが受ける加熱及び冷却サイクルのためボートが幾らかの焼結ひずみを受けることがあり、スロット73の位置を校正する場合、最上部のスロット、ボートの中間部付近のスロット、及び最下部のスロットの位置を校正することが望ましい。
第3図は、ボート39の最上部、中間部及び最下部のスロットでのウエーハの中心位置の校正について示す。ボート内の他のスロットの位置は、挿間(interpolation)によって決定される。
次に、第2図を参照して、ウエーハ移送ジュール機構29の構成及び動作態様について説明する。
真空ライン81がパドル33及びパドル33の上面にあるポート83に接続され、パドル33がウエーハ35の下面に係合すると、ウエーハ35がポート83に吸引されてパドル33上に確実に保持される。また、この吸引が作用する点は、ある特定位置でウエーハの垂直方向の位置の指示を与え、この情報は、第1図で説明した垂直方向センサの情報として制御装置31に供給される。制御装置では、この信号情報に選択した増分が加えられ、この位置ヘウエーハを逆に挿入するときに使用される垂直方向のレベルの基準を生成する。このことから、ウエーハに適した最下部及び最上部の間隙をもったスロット構造を与えることができる。
レール84に沿ったパドル33の半径方向の移動は、R駆動モータ85及びこれに連結する駆動ベルト87によってなされる。モータ85は、支持板89に取り付けられている。
この支持板89は、シャフト91によってθ方向(第2図で太い矢印によって示す)に軸線92に関して回転可能である。シャフト91の上端部が支持板89に接続され、円筒管93内の上部及び底部付近にあるベアリング95によって、円筒管93内で回転できるように取り付けられている。ベアリング95は、円筒管93の下方端に図示される(第2図を参照)。
シャフト91は、第2図で示すように、θ駆動モータ97及びこれに連結した滑車及び駆動ベルトによって回転される。
円筒管93はまた、リフトアーム101に接続されている。リフトアーム101は、駆動ねじ105によって上下方向に駆動され、レール103上を滑動する。駆動ねじ105は、第2図で示すように、Z駆動モータ107及びこれに連結した滑車及びベルトによって回転される。
本発明の特定の実施例で、Z駆動モータ107、θ駆動モータ97及びR駆動モータ85は、ステッパモータである。
パドル33及びこのパドルに吸着したウエーハ35のエッジか、ボートやカセットと接触せずに装置21内で三次元座標系のすべての方向にわたって移動できる、ということが本発明の重要な特徴である。
本発明は、センサを使用することによって達成される。センサは、まず各送り元でウエーハの中心の予測位置を校正するために使用され、次に各ウエーハ移送の行程でパドル33上でウエーハの中心の実際の位置を決定するために使用される。
パドルの中心に対するパドル上のウエーハの中心のあらゆる横方向の「ずれ」を測定し、次に、この「ずれ」を効果的に無くすためにパドル33の位置を変えることのためにセンサを使用する、ということが本発明の特に重要な特徴である。次に、パドル33は、送り先ヘウエーハを連続的に移送するために必要な真の中心位置上にウエーハの実際の中心を位置して送り先(ボート又はカセット内のスロット)ヘウエーハ35を挿入できる。ウエーハの取り上げ中に発生するあらゆる誤差が無くなり、装置は、ウエーハの移送に必要な許容誤差を維持することができる。
第1図、第2図及び第3図に示すように、ウエーハ移送モジュール機構29は、Rセンサ111を含む。このRセンサ111は、パドル83がウエーハ35を移動させたときにRセンサ111の垂直方向の線上でパドル33の後方エッジをとらえるたびにRセンサ111が始動されるような支持板89上の位置に取り付けられる。よって、このRセンサ111によって、カセット内のスロット又はボート内のスロットのいずれか一方にあるウエーハの中心の半径方向距離が、円筒管93及びその内部の回転可能なシャフト91の垂直方向の軸線に関して決定される。この距離がわかっているとき、制御装置31は、次にR駆動モータ85を制御して関連のスロット内にウエーハを挿入し又はそこからウエーハを取り出す場合に、この半径方向距離だけウエーハを移動することができる。
第1図、第2図、第5A-5C図及び第6A-6C図に示すように、ウエーハ移送モジュール機構29は、θセンサ113を含む。
θセンサ113は、パドル33の側部エッジ(第5A-5C図参照)及びパドル33に保持されるウエーハ35の側部エッジ(第6A-6C図参照)の両方を検出することができる固定位置に取り付けられる。
第2図で示すように、θセンサ113は、円筒管93に接続されたアーム115上に取り付けることができる。
校正中に、θセンサは、θ方向におけるパドル33の回転軸92に対してパドル33の中心線を校正するために(第5A-5C図で示すように)使用される。
第5A図に示すように、パドル33が反時計回り方向に回転し、パドル33の左手側のエッジがセンサ113上を通過するとき、この左手側のエッジの位置が、センサ113によって検出される。
第5C図で示すようにパドル33が時計回り方向に回転し、パドル33の右手側のエッジがセンサ113上を通過するとき、この右手側のエッジの位置は、センサ113によって検出される。
パドルの側部エッジ位置は(図で示すように)それぞれ角度θ1及びθ2として表わされ、パドル33の中心線の位置は従って角度θ1とθ2との間の中間にある。
当然に、第5A-5C図を参照して、パドル33がパドルの中心線とウエーハの実際の中心とを完全に整列させて各ウエーハを取り上げることが望ましい。しかし、実用上、ウエーハの中心はパドル33の中心線から横方向に外れることがあり、この横方向の「ずれ」の量が、上述したように、コーティング等の物質を欠損したり剥離する力で1箇所以上のスロット表面にウエーハのエッジを衝突させる、という問題を発生させる。従って、この横方向の「ずれ」を測定して、上述のような接触(又は衝突)を防止するために、「ずれ」を補償しなければならない。パドルの中心に関する実際のウエーハの中心の横方向の「ずれ」を測定し且つ補償することは、ウエーハのボートからカセットヘの移送において重要なことである。本発明は、また、このウエハ移送動作における「ずれ」を補償することを特徴とする。
横方向の「ずれ」は、2回測定される。
第1の測定は、カセット内のウエーハの予測位置(上述のとおり、通常は単に最上部スロット)及びボートの最上部、最下部及び中間部スロット内のウエーハの予測位置(上述のとおり)を校正する過程における動作より以前に行なわれる。
第2の測定は横方向の「ずれ」に関し、送り元から送り先への各ウエーハの各移送に関連した動作中に行なわれる。
第6A図から第6C図までを参照して、最初に、θセンサ113がウエーハ35の左手側のエッジを検出するまで(第6A図で示すように)反時計回りのθ方向にパドルを回転させる。このとき、センサが角度θAを指示する。
次に、第6C図で示すように、パドル33を時計回りの方向に回転し、ウエーハ35の右手側のエッジを感知させ、角度θBを測定する。
次に、ウエーハの実際の中心は、2つの検出された角度の間の中間点となる。ウエーハのこの中心線の角度がパドル33の中心線の予め計算された角度と異なる場合、制御装置31は次に、適切な角度方向にパドル33を回転させてパドルの中心とパドル上に保持されたウエーハの中心との間の横方向「ずれ」を無くす。これにより、ウエーハは、上述のような接触もなくボート39又はカセット37内のスロットに移送される。
要約すると、最初の校正が、各カセット及び各ボートに対して行なわれ、カセット又はボートのスロット内の各ウエーハの中心の予測位置を決定する。カセットを校正する場合は、通常、カセットの最上部スロットでのウエーハの中心の位置だけを校正するだけで十分である。ボートを校正する場合は、一般に、上述のとおり、第3図で示すように、ボートの最上部スロット、中間部スロット、及び最下部スロットを校正することが望ましい。
次に、θセンサ113は、校正した中心からのパドル33上のウエーハの実際の中心のあらゆる横方向の「ずれ」を検出し測定するために使用され、θ駆動ユニットは、ウエーハ35がボート又はカセット内のスロットに挿入される以前にこのような横方向の「ずれ」を補償するために適切な方向に駆動される。
本発明の好適実施例を図示して説明してきたが、これらの変更及び変形が可能であり、従って詳細な説明に制限されるものではなく、特許請求の範囲内でそのような変更及び変形を行なえることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例に従って構成されるファーネス装置の詳細な構成を示す。
第2図は、第1図のファーネス装置のウエーハ移送モジュール機構の詳細な構成を示す。
第3図は、第1図のファーネス装置内で使用されるボートの校正中にウエーハがボートのスロットに挿入し又は取り出す方法を詳細に示す説明図である。
第4図は、第3図の4-4線部分拡大図である。
第5A図〜第5C図は、第1図のウエーハ移送モジュール機構のパドルがパドルの中心を校正する行程でθセンサより上で円弧を成して移動される方法を示す部分拡大平面図である。
第6A図〜第6C図は、θセンサがパドル上で保持されるウエーハの実際の中心を見つけるために用いられる方法を示す部分拡大平面図(第5A図〜第5C図に対応する)である。次に、ウエーハの中心に対するパドルの中心のあらゆる横方向「ずれ」が、第1図で示すウエーハ移送モジュール機構によって補償されて除去される。
主要符号
21…ファーネス装置
23…垂直型チャンバ
25…ボート交換ユニット(機構)
27…カセット保持装置
29…ウエーハ移送モジュール機構
31…制御装置
33…パドル
35…ウエーハ
37…カセット
39…ボート
41…回転式テーブル
43…チャンバ側ボート位置
45…昇降器
47…リフトアーム
53…リフトねじ
65…駆動機構
71…石英製棒
73…スロット
83…ポート
85…R駆動モータ
89…支持板
91…シャフト
92…軸線
97…θ駆動モータ
101…リフトアーム
103…レール
107…Z駆動モータ
111…Rセンサ
113…θセンサ
 
訂正の要旨 訂正の要旨
*訂正事項a
特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の請求項1を「1.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウェーハ移送装置。」と訂正する。
*訂正事項b
特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項2を削除する。
*訂正事項c
特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の請求項3を「3.垂直チャンバ;ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット;前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート;ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段;前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段;及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程;及び前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第1の位置に支持した第1の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第1の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第1の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第2の位置に支持した第2の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第2の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第2の位置で支持するように、前記第1の位置で前記第1の前記ボート、前記第2の位置で前記第2の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、ところのウエーハ移送方法。」と訂正する。
*訂正事項d
特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項4を削除する。
異議決定日 1999-10-28 
出願番号 特願昭62-117197
審決分類 P 1 651・ 121- YA (H01L)
P 1 651・ 532- YA (H01L)
P 1 651・ 113- YA (H01L)
最終処分 維持  
前審関与審査官 加藤 浩一  
特許庁審判長 内野 春喜
特許庁審判官 関根 恒也
松本 悟
登録日 1997-08-08 
登録番号 特許第2681055号(P2681055)
権利者 シリコン・バレイ・グループ・インコーポレイテッド
発明の名称 ウェーハ移送方法及び装置  
代理人 大貫 進介  
代理人 竹内 澄夫  
代理人 竹内 澄夫  
代理人 大貫 進介  
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