ポートフォリオ機能
| ポートフォリオを新規に作成して保存 |
|
|
| 既存のポートフォリオに追加保存 |
|
PDFをダウンロード
|
| 審決分類 |
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 H05B |
|---|---|
| 管理番号 | 1208630 |
| 審判番号 | 不服2007-21914 |
| 総通号数 | 122 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2010-02-26 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2007-08-08 |
| 確定日 | 2009-12-09 |
| 事件の表示 | 特願2003-403871号「通電発熱ヒータ及び該ヒータを搭載した半導体製造装置」拒絶査定不服審判事件〔平成17年6月23日出願公開、特開2005-166451号〕について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は、成り立たない。 |
| 理由 |
1.手続の経緯 本願は、平成15年12月3日の出願であって、平成19年7月9日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年8月8日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに同日付けで手続補正がされたものである。 2.平成19年8月8日付け手続補正についての補正却下の決定 [補正却下の決定の結論] 平成19年8月8日付け手続補正(以下「本件補正」という。)を却下する。 [理由] (1)補正後の本願発明 本件補正により、特許請求の範囲の請求項1は、「通電発熱が可能な発熱体を有するヒータにおいて、該発熱体は直列に連続して形成されており、該発熱体に給電するための電極が前記発熱体の途中に複数個設けられており、該電極に接続される電極端子を着脱可能とすることにより、電極数を2個からn個(nは3以上の任意の整数)まで変更可能であり、前記発熱体の発熱領域を(電極数-1)個の領域に分けてそれぞれ独立に発熱させることを特徴とする通電発熱ヒータ。」と補正された。 上記補正は、発明を特定するための事項である、発熱体に関し、「直列に連続して形成されて」いること、及び電極に関し、「発熱体の途中に複数個設けられて」いることを限定するものであるから、平成18年法律第55号改正附則第3条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第17条の2第4項第2号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで、本件補正後の前記請求項1に記載された発明(以下「本願補正発明」という。)が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか(平成18年法律第55号改正附則第3条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第17条の2第5項において準用する同法第126条第5項の規定に適合するか)について以下に検討する。 (2)引用刊行物 ア.引用刊行物1 原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された特開平6-76924号公報(以下「引用刊行物1」という。)には、図1?6とともに以下の事項が記載されている。 (ア)「円盤状セラミックス基材と、このセラミックス基材の内部に埋設された抵抗発熱体とを有する半導体ウエハー加熱装置において、前記抵抗発熱体の平面形状に直径の異なる複数の同心の円弧部分と、前記抵抗発熱体が一連となるように内側の円弧部分と外側の円弧部分とを順次接続する接続部分とを設けたことを特徴とする半導体ウエハー加熱装置。」(特許請求の範囲の請求項1) (イ)「図1において、円盤状加熱装置1は、窒化珪素のような緻密でガスタイトな無機質の基体2の内部にタングステン系等の抵抗体3をスパイラル状に埋設した構成とする。抵抗体3には、直径の異なる同心の円弧部分3aと抵抗体3が一連となるように外側の円弧部分3aと内側の円弧部分3aとを接続する接続部分3bとを設ける。・・・(中略)・・・抵抗体3の中心側の端部4および周縁側の端部5より図2に示す導線6を介して外部から電力を供給し、円盤状加熱装置1を例えば1000℃程度まで加熱することができる。」(段落【0013】) (ウ)「基体2の内部に埋設される抵抗発熱体3としては、高融点であり、しかも窒化珪素との密着性に優れたタングステン、モリブデン、白金等を使用することが適当である。抵抗発熱体としては、線材、薄いシート状等の形態のものが用いられる。・・・(中略)・・・ 図3は、本発明の半導体ウエハー加熱装置の他の実施例を示す図である。この実施例の装置は、抵抗発熱体3を中心近傍で接続した2列の線と、最外周の1本の線として構成したものである。・・・(中略)・・・また、6列目の同心円弧部分の他端を端子9に5列目の同心円弧部分の他端を端子10に接続する。さらに、7列目の同心円弧部分の一端を端子11に接続し、他端を端子9に接続する。 抵抗発熱体3の加熱に際して、この実施例の装置では、2段階の加熱方法をとることができる。すなわち、その1つは、端子9及び10より給電する方法である。この場合、最内周の同心円弧3a1?6列目の同心円弧3a2までの領域を加熱することができる。もう一つは、端子9及び10、11より給電する方法である。この場合は、最内周の同心円弧3a1?最外周の同心円弧3a7までの領域を加熱することができる。 このように、加熱領域を、2段階に分けることにより、加熱すべき半導体ウエハーの大きさに対応して、加熱面の均熱性を保ちつつ適切な加熱を行うことができる。また、この実施例の加熱装置は、抵抗発熱体3の一連の渦巻き形状を中心部で折り返す構成としたため、端子9、10、11を円盤状加熱装置の外周付近に設けることができるため、通常の端子のほか、面状端子等も使用することができ、抵抗発熱体への電力の供給上有利であり、また、ウエハー加熱装置のコンパクト化の上でも有効である。 図4は、本発明の半導体加熱装置のさらに他の実施例を示す図である。この実施例の加熱装置は、図1に示す実施例の装置と同様に最内周の同心円弧部分の一端と、最外周の同心円弧部分の他端にそれぞれ電力供給用の端子12、13を有するが、さらにこれらの中間部分に端子14を設けたものである。 この実施例においても、図3の実施例の装置と同様に加熱領域を2段階に分けて加熱することができる。すなわち、加熱に際して、端子12、13より給電すると、抵抗発熱体3の全領域を加熱することができ、端子12、14より給電すると、端子12から端子14までの領域を加熱することができる。」(段落【0018】?【0023】) これらの記載事項(ア)?(ウ)及び図面の図示内容を、特に図4の実施例に着目して、総合すると、上記引用刊行物1には、以下の発明(以下「引用発明」という。)が記載されていると認められる。 「給電することにより加熱される抵抗発熱体3が埋設される半導体ウエハー加熱装置において、 一連となるように接続されたスパイラル状の抵抗発熱体3の最内周の同心円弧部分の一端と、最外周の同心円弧部分の他端にそれぞれ電力供給用の端子12、13を有し、さらにこれらの中間部分に端子14を設け、 端子12、13より給電すると、抵抗発熱体3の全領域を加熱することができ、端子12、14より給電すると、端子12から端子14までの領域を加熱することができ、 加熱領域を、2段階に分けることにより、加熱すべき半導体ウエハーの大きさに対応して、加熱面の均熱性を保ちつつ適切な加熱を行うことができる半導体ウエハー加熱装置。」 イ.引用刊行物2 原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された特開平8-138833号公報(以下「引用刊行物2」という。)には、図1?7とともに以下の事項が記載されている。 (ア)「電気絶縁性の基材の表面に、厚膜抵抗体を構成する導電材パターンが形成された面状発熱体装置であって、 対向する第1,第2の電極を結ぶように設けられた第1導電材パターンと、 一端が前記第1の電極に結合され、他端が第3の電極に結合された抵抗値調整用の第2導電材パターンと、 前記第3の電極を前記第2の電極に選択的に接続する選択接続手段と、 を具備することを特徴とする面状発熱体装置。」(特許請求の範囲の請求項1) (イ)「電極6,7,8,9,10,11には、引出線6L,7L,8L,9L,10L,11Lが各々接続されている。引出線8L-9L間と引出線8L-10L間には、着脱可能な端子ｔa,ｔb,ｔc,ｔdが設けられている。・・・(中略)・・・ 端子ｔa-ｔc,ｔb-ｔdを接続すると、第2導電材パターン2,3がそれぞれ第1導電材パターン4a?4iに並列に接続されることになる。そこで、端子ｔa-ｔc,ｔb-ｔdの接続を選択することによって、第2導電材パターン2,3を、第2導電材パターン2だけ,第2導電材パターン3だけ,第2導電材パターン2と第2導電材パターン3,いずれも接続しない、という4通りの抵抗値調整態様が得られる。 なお、この選択を行う選択接続装置12は、端子ｔa-ｔc,ｔb-ｔd間をハンダ付け等でつなぐ方式でもよいが、図3に示すような構造を採ってもよい。同図に示すように、端子ｔc,ｔdはいずれも引出線8Lと接続し、かつ、絶縁基板18に形成された2つの穴16,17の内面にそれぞれ設けられている。一方、ピン形状の端子ｔa,ｔbは、引出線10L,9Lとそれぞれ接続している。そして、端子ｔc,ｔdが形成されている穴16,17に、端子ｔa-ｔbがそれぞれ着脱自在に接続できるようになっている。」(段落【0017】?【0019】) (3)対比・判断 本願補正発明と引用発明とを対比すると、後者の「給電することにより加熱される抵抗発熱体3」は、その機能・構成からみて、前者の「通電発熱が可能な発熱体」に相当し、以下同様に、後者の「給電することにより加熱される抵抗発熱体3が埋設される半導体ウエハー加熱装置」は前者の「通電発熱が可能な発熱体を有するヒータ」及び「通電発熱ヒータ」に、後者の「電力供給用の端子12、13」及び「端子14」は前者の「電極」にそれぞれ相当する。 また、後者の「電力供給用の端子12、13」及び「端子14」は、「端子12、13より給電すると、抵抗発熱体3の全領域を加熱することができ、端子12、14より給電すると、端子12から端子14までの領域を加熱することができ」るものであるから、前者の「発熱体に給電するための電極」に相当する。 一方、「抵抗発熱体3」は「一連となるように接続されたスパイラル状」であって、その「最内周の同心円弧部分の一端と、最外周の同心円弧部分の他端にそれぞれ電力供給用の端子12、13を有し、さらにこれらの中間部分に端子14を設け」られ「端子12、13より給電すると、抵抗発熱体3の全領域を加熱することができ、端子12、14より給電すると、端子12から端子14までの領域を加熱することができ」るものであるから、スパイラル状の抵抗発熱体3の端子12から端子14までと、端子14から端子13までの部分は「直列に連続して形成されて」いるといえ、「端子14」はスパイラル状の抵抗発熱体3の途中に設けられているといえる。 そして、後者の「端子12、13より給電すると、抵抗発熱体3の全領域を加熱することができ、端子12、14より給電すると、端子12から端子14までの領域を加熱することができ、加熱領域を、2段階に分けることにより、加熱すべき半導体ウエハーの大きさに対応して、加熱面の均熱性を保ちつつ適切な加熱を行うことができる」とは、つまり3つの端子12、13、14により、2個の領域に分け、加熱領域を、端子12から端子14までの領域と、さらに端子14から端子13までの領域を含む全領域の2つに分けてそれぞれ独立に加熱するものであるから、前者の「前記発熱体の発熱領域を(電極数-1)個の領域に分けて」「発熱させる」ことと同様である。 そうすると、両者は、 「通電発熱が可能な発熱体を有するヒータにおいて、該発熱体は直列に連続して形成されており、該発熱体に給電するための電極が前記発熱体の途中に設けられており、前記発熱体の発熱領域を(電極数-1)個の領域に分けて発熱させる通電発熱ヒータ。」 である点で一致し、以下の点で相違すると認められる。 相違点A:発熱体の途中に設けられる電極について、本願補正発明が「複数個設けられ」るのに対し引用発明は1個である点。 相違点B:本願補正発明が「電極に接続される電極端子を着脱可能とすることにより、電極数を2個からn個(nは3以上の任意の整数)まで変更可能であ」るのに対して、引用発明は電極に着脱可能な電極端子を用いるものか否か不明である点。 相違点C:(電極数-1)個の領域に分けた発熱体の発熱領域に関し、本願補正発明が「それぞれ独立に発熱させる」ものであるのに対し引用発明は1つの加熱領域と全領域の2つに分けてそれぞれ独立に加熱するものである点。 そこで、上記相違点について検討する。 ア.相違点A及びCについて 引用発明は「加熱領域を、2段階に分けることにより、加熱すべき半導体ウエハーの大きさに対応して、加熱面の均熱性を保ちつつ適切な加熱を行うことができる」というものであるから、より多くの半導体ウエハーの大きさに対応するように、3段階以上となるよう、発熱体の途中に設けられる電極を複数とすることは当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。 また、そのような、1つの渦巻き状ヒータの途中に複数の電極を設けたものは、実願平3-89553号(実開平5-33524号)のCD-ROMに示されるとともに、特開平4-239120号公報にもうず巻状ヒータの途中の複数の点B,Cに給電装置を接続することが示されており、中間に複数の電極を設けることが格別であるともいえない。 一方、上記実願平3-89553号(実開平5-33524号)のCD-ROMや特開平4-239120号公報には、そのように複数の中間の電極によりそれぞれの領域を独立して加熱・制御することで、均一に加熱することが記載されており、さらに、例えば特開2003-297531号公報や特開平10-340777号公報等にも示されるように、ヒータを複数の領域に分け、それぞれの部分の発熱体を個別に制御することで均一に加熱することは当該技術分野において周知のことでもある。 そうすると、引用発明は2個の領域に分かれているものであり、さらにこれらの領域が3個以上の場合においても、それぞれの領域を独立して加熱・制御することで、均一に加熱することも周知であるから、引用発明における中間部分の端子を複数にするとともに、発熱体の領域をそれぞれ独立に発熱させることは、当業者が格別の困難性を要することなくなし得たことといえ、その効果が格別であるともいえない。 イ.相違点Bについて 本願補正発明において、設けられた電極自身は変わることがないから、本願補正発明の「電極数を」「変更可能であ」るとは、電極端子をどの電極に接続するかで、電力を供給する、電極端子の接続された電極の電極数を変えるものであるといえる。 一方、引用発明は端子が3個あり、そのことにより全領域を加熱することも端子12から端子14までの領域を加熱することも出来るものである。 そうすると、引用発明も3個の端子がすべて給電できるように接続可能であるから、物の構造としてみるとき、本願補正発明と同じく給電する端子を選択して電極数を変更できることは明らかであって、電極数を2個からn個(nは3以上の任意の整数)まで変更可能である。 さらにいえば、引用発明は3個の端子を用いて、加熱すべき半導体ウエハーの大きさに対応し得るものであるが、引用刊行物1は全領域を加熱するのみ((2)ア.(イ)の引用刊行物1の図1の実施例の場合等)の2個の電極の半導体ウエハー加熱装置も示されており、引用発明の3個の端子のものを従来どおりの全領域を加熱するのみのものとして使用しようと考えることが当業者にとって格別のことともいえない。 一方、端子(電極)への給電のための接続手段として、電極端子を着脱可能に設けることは、そもそも接続に圧着端子等の端子を用いることが周知であって、この周知の圧着端子も着脱可能といえる。また引用例2には絶縁基板上の穴に設けられる端子にピン形状の端子が着脱自在に接続できるものであり、上記特開2003-297531号公報にもねじ端子が示され、仮に半田付けで接続される電極端子でも着脱可能といい得るものである。例え、その後に保護層を設けて最終製品とするものであったとしても、製造工程中では本願補正発明と同様に着脱可能であるといえる。そうすると、端子(電極)への接続手段として上記周知の着脱可能な電極端子を用いることは当業者が容易になし得た設計的事項といえる。 そして、引用発明は、接続する電極を選択可能であるといえるから、本願補正発明の「設計や製造プロセスや部品等を共通化でき、様々な用途に用いることができる」(本願明細書の段落【0008】)という目的も達成し得るものであるといえる。 そうすると、相違点Bに係る本願補正発明の発明特定事項のようになすことは当業者が容易になし得たことといえる。そしてそのことによる格別の効果もない。 また、相違点A?Cを合わせ考えても、その効果が格別であるとはいえない。 よって、本願補正発明は、引用発明、引用刊行物2に記載の事項及び上記周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。 (4)むすび 以上のとおり、本件補正は、平成18年法律第55号改正附則第3条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第17条の2第5項において準用する同法第126条第5項の規定に違反するので、同法第159条第1項において読み替えて準用する同法第53条第1項の規定により却下すべきものである。 3.本願発明について 本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項1に係る発明(以下「本願発明」という。)は、出願時、願書に添付された特許請求の範囲の請求項1に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。 「通電発熱が可能な発熱体を有するヒータにおいて、該発熱体に給電するための電極が複数個設けられており、該電極に接続される電極端子を着脱可能とすることにより、電極数を2個からn個(nは3以上の任意の整数)まで変更可能であり、前記発熱体の発熱領域を(電極数-1)個の領域に分けてそれぞれ独立に発熱させることを特徴とする通電発熱ヒータ。」 (1)引用刊行物 原査定の拒絶の理由に引用された刊行物の記載事項は、前記「2.(2)」に記載したとおりである。 (2)対比・判断 本願発明は、前記「2.(1)」で検討した本願補正発明の発明を特定するための事項である、発熱体に関し、「直列に連続して形成されて」いること、及び電極に関し、「発熱体の途中に複数個設けられて」いることとの限定を省いたものである。 そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに、他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「2.(3)」に記載したとおり、引用発明、引用刊行物2に記載の事項及び上記周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様に、引用発明、引用刊行物2に記載の事項及び上記周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 4.むすび 以上のとおり、本願発明は、引用発明、引用刊行物2に記載の事項及び周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。そうすると、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。 |
| 審理終結日 | 2009-09-28 |
| 結審通知日 | 2009-10-06 |
| 審決日 | 2009-10-19 |
| 出願番号 | 特願2003-403871(P2003-403871) |
| 審決分類 |
P
1
8・
121-
Z
(H05B)
|
| 最終処分 | 不成立 |
| 前審関与審査官 | 豊島 唯 |
| 特許庁審判長 |
平上 悦司 |
| 特許庁審判官 |
渋谷 知子 長浜 義憲 |
| 発明の名称 | 通電発熱ヒータ及び該ヒータを搭載した半導体製造装置 |
| 代理人 | 山口 幹雄 |
| 代理人 | 二島 英明 |
| 代理人 | 中野 稔 |