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審決分類 審判 査定不服 2項進歩性 取り消して特許、登録 B41J
管理番号 1314014
審判番号 不服2015-12987  
総通号数 198 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2016-06-24 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2015-07-07 
確定日 2016-05-25 
事件の表示 特願2013-150941「液体噴射ヘッド及び液体噴射装置」拒絶査定不服審判事件〔平成25年10月31日出願公開、特開2013-224044、請求項の数(2)〕について、次のとおり審決する。 
結論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 
理由 第1.手続の経緯
本件出願は、平成21年1月8日に出願した特願2009-2957号(優先権主張平成20年3月3日、以下「親出願」という。)の一部を、平成25年7月19日に特願2013-150941号として新たに特許出願したものであって、平成26年8月18日に手続補正書が提出され、平成27年4月2日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年7月7日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。

第2.本願発明
本願の請求項1、及び2に係る発明は、上記の平成26年8月18日の手続補正によって補正された特許請求の範囲、明細書、及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項1、及び2に記載された事項により特定される、次のとおりのものと認める(以下本願の請求項1に係る発明を「本願発明1」といい、同様に本願の請求項2に係る発明を「本願発明2」という。)。
「【請求項1】
液滴を吐出するノズルにそれぞれ連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記一方面側に絶縁性の接着剤によって接着され前記圧電素子の駆動を阻害しない空間となる圧電素子保持部を有する接合基板とを具備し、
前記下電極が前記圧力発生室に対応して独立して設けられて前記圧電素子の個別電極を構成し、前記上電極が前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成し、
前記圧力発生室に対向する領域の前記下電極が当該圧力発生室の幅よりも狭い幅で形成されていると共に前記圧力発生室に対応する領域の前記下電極の上面及び端面が前記圧電体層によって覆われ、
前記圧力発生室に対向する領域の前記圧電体層の上面及び前記圧電素子が並設された方向における前記圧電体層の側面が前記上電極によって覆われており、
前記圧電素子保持部内において前記上電極が露出されており、前記圧電素子の長手方向一端部側では、前記圧電体層が前記接合基板の前記圧電素子保持部の周縁部が接着される前記流路形成基板の接着領域まで延設されていると共に、前記下電極が前記圧電体層の端部の外側まで延設されて当該下電極の端部に端子部が設けられ、
且つ前記接合基板には当該接合基板の厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられ、前記下電極の端子部が前記貫通孔内に形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項2】
請求項1に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。」

第3.原査定の理由の概要
本願の各請求項に係る発明は、その親出願の優先日前に日本国又は外国において、頒布された特開2004-358796号公報(以下「引用例1」という。)、特開2000-326503号公報(以下「引用例2」という。)、及び特開2003-127366号公報(以下「引用例3」という。)、に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。

第4.当審の判断
1.引用例1
引用例1には、次の事項が記載されている。(下線は審決で付した。以下同じ。)
(1)「【請求項1】
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と・・・」
(2)「【請求項10】
ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、前記流路形成基板に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着された接合基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子が前記振動板上に接着剤を介さずに成膜及びリソグラフィ法により直接形成された薄膜で構成されると共に、前記流路形成基板上には、前記圧電素子から引き出されて当該圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線が複数並設され、前記接合基板の前記流路形成基板との接着面には、前記圧力発生室に相対向しない領域まで延設され且つ並設された複数の前記引き出し配線の少なくとも一部に交差して跨って当接する接着領域を具備し、当該接着面が絶縁性の接着剤を介して接着され、且つ少なくとも前記圧電体層の前記側面が前記接合基板を接合する前記接着剤からなる接着層で覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッド。」
(3)「【請求項11】
請求項10において、前記接合基板の前記接着領域の前記圧電素子側には、当該圧電素子を密封する圧電素子保持部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。」
(4)「【0051】
一方、流路形成基板10の開口面とは反対側には、厚さが例えば、約1.0μmの弾性膜50の上に、厚さが例えば、0.4μmの絶縁膜55を介して、厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜60と、厚さが例えば、約1.0μmの圧電体層70と、厚さが例えば、約0.05μmの上電極膜80とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、下電極膜60、圧電体層70、及び上電極膜80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜60は圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。なお、上述した例では、圧電素子300の下電極膜60、弾性膜50及び絶縁膜55が振動板として作用する。」
(5)「【0055】
また、リザーバ形成基板30の圧電素子300に対向する領域には、図4に示すように、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。このようなリザーバ形成基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。」
(6)また、図1、2から、以下の事項が看取できる。
「流路形成基板には、圧力発生室が複数並設されている。」
(7)また、図1、3、4、及び上記(4)の「下電極膜60は圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としている」との記載事項から、以下の事項が示されているといえる。
「上電極が圧力発生室に対応して独立して設けられて前記圧電素子の個別電極を構成し、下電極が前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成している。」
(8)また、図3、4から、以下の事項が看取できる。
「圧力発生室に対向する領域の圧電体層の上面が上電極によって覆われており、圧電素子保持部内において前記上電極が露出されている。」
これらの記載、及び図示内容を総合すると、引用例1には、次の発明(以下、「引用発明1」という。)が記載されているものと認められる。
「液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が複数並設して画成される流路形成基板と、前記流路形成基板に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着された接合基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子が前記振動板上に接着剤を介さずに成膜及びリソグラフィ法により直接形成された薄膜で構成されると共に、前記流路形成基板上には、前記圧電素子から引き出されて当該圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線が複数並設され、前記接合基板の前記流路形成基板との接着面には、前記圧力発生室に相対向しない領域まで延設され且つ並設された複数の前記引き出し配線の少なくとも一部に交差して跨って当接する接着領域を具備し、当該接着面が絶縁性の接着剤を介して接着され、且つ少なくとも前記圧電体層の前記側面が前記接合基板を接合する前記接着剤からなる接着層で覆われ、
前記接合基板の前記接着領域の前記圧電素子側には、当該圧電素子を密封し、圧電素子の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部が設けられており、
上電極が圧力発生室に対応して独立して設けられて前記圧電素子の個別電極を構成し、下電極が前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成しており、
圧力発生室に対向する領域の圧電体層の上面が上電極によって覆われており、圧電素子保持部内において前記上電極が露出されている液体噴射ヘッド。」
2.引用例2
引用例2には、次の事項が記載されている。
(1)「【請求項1】 ノズル開口に連通する圧力発生室と、この圧力発生室に対応する領域に絶縁層を介して設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた上電極からなる圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧力発生室に対向する前記下電極の少なくとも幅方向両端部が当該圧力発生室に対向する領域内に位置し且つ前記圧電体層が前記下電極の幅方向両端の側面を覆っていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。」
(2)「【0158】さらに、例えば、図9に示すように、下電極膜60を個別電極として、各圧電体能動部320毎に長手方向一端部から圧力発生室12の周壁上に延設し、上電極膜80を幅方向に並設された圧電体能動部320上に連続して形成して、各圧電体能動部320の共通電極としてもよい。なお、この構成は、圧電体膜70をパターニング後に上電極膜80を成膜し、その後、上電極膜80のみをパターニングすることにより形成することができる。この構成によっても、上述と同様の効果を得ることができる。また、上電極膜80を幅方向に並設された圧電体能動部320に連続して形成することにより、圧電体能動部320の幅方向両側のいわゆる振動板腕部に対向する領域にも形成されることになり、腕部の強度が向上される。」
これらの記載を総合すると、引用例2には、次の発明(以下、「引用発明2」という。)が記載されているものと認められる。
「ノズル開口に連通する圧力発生室と、この圧力発生室に対応する領域に絶縁層を介して設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた上電極からなる圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧力発生室に対向する前記下電極の少なくとも幅方向両端部が当該圧力発生室に対向する領域内に位置し且つ前記圧電体層が前記下電極の幅方向両端の側面を覆っており、
下電極膜60を個別電極として、各圧電体能動部320毎に長手方向一端部から圧力発生室12の周壁上に延設し、上電極膜80を幅方向に並設された圧電体能動部320上に連続して形成して、各圧電体能動部320の共通電極としているインクジェット式記録ヘッド。」
3.引用例3
引用例3には、次の事項が記載されている。
(1)「【請求項1】 ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合され前記圧電素子に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で当該空間を封止する圧電素子保持部を有する封止基板を有し、該封止基板に複数の圧電素子に共通する共通電極と電気的に接続される電極配線を有すると共に、該電極配線と前記圧電素子を駆動するための駆動回路とが接続される接続部が前記封止基板上に設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。」
(2)「【0075】すなわち、本実施形態では、図7に示すように、流路形成基板10には、複数の圧力発生室が並設された列が2列設けられている。一方、リザーバ形成基板30には、各圧力発生室12の列毎に圧電素子保持部32が設けら、各圧電素子保持部32を区画する区画壁にはリザーバ形成基板30を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔33Aが所定間隔で設けられている。また、これら各貫通孔33A内には、上述の実施形態と同様に、電極配線110が設けられ、その一端部が下電極膜60に接続されている。また、各貫通孔33A内に設けられた電極配線110はリザーバ形成基板30上でそれぞれ接続されて駆動回路130と接続される接続部120Aとなっている。」
これらの記載を総合すると、引用例3には、次の発明(以下、「引用発明3」という。)が記載されているものと認められる。
「ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合され前記圧電素子に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で当該空間を封止する圧電素子保持部を有する封止基板を有し、該封止基板に複数の圧電素子に共通する共通電極と電気的に接続される電極配線を有すると共に、該電極配線と前記圧電素子を駆動するための駆動回路とが接続される接続部が前記封止基板上に設けられており、
リザーバ形成基板30には、各圧力発生室12の列毎に圧電素子保持部32が設けられ、各圧電素子保持部32を区画する区画壁にはリザーバ形成基板30を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔33Aが所定間隔で設けられており、これら各貫通孔33A内には、電極配線110が設けられ、その一端部が下電極膜60に接続され、各貫通孔33A内に設けられた電極配線110はリザーバ形成基板30上でそれぞれ接続されて駆動回路130と接続される接続部120Aとなっているインクジェット式記録ヘッド。」
4.本願発明1について
(1)対比
本願発明1と引用発明1とを対比すると、
後者における「ノズル開口」は、その構造、機能、作用等からみて、前者における「ノズル」に相当する。
また、後者における「接合基板」は、流路形成基板の圧電素子側の面に、絶縁性の接着剤を介して接着されているから、路形成基板の一方面側に絶縁性の接着剤によって接着されているといえる。
したがって、両者は、
「液滴を吐出するノズルにそれぞれ連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記一方面側に絶縁性の接着剤によって接着され前記圧電素子の駆動を阻害しない空間となる圧電素子保持部を有する接合基板とを具備し、
前記圧力発生室に対向する領域の前記圧電体層の上面が前記上電極によって覆われており、
前記圧電素子保持部内において前記上電極が露出されており、前記下電極が前記圧電体層の端部の外側まで延設されている
液体噴射ヘッド。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
[相違点1]
本願発明1は、「下電極が圧力発生室に対応して独立して設けられて圧電素子の個別電極を構成し、上電極が前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成し」ているのに対して、引用発明1は、上電極が圧力発生室に対応して独立して設けられて圧電素子の個別電極を構成し、下電極が前記圧力発生室の並設方向に亘って連続的に設けられて前記圧電素子の共通電極を構成している点。
[相違点2]
本願発明1は、「圧力発生室に対向する領域の下電極が当該圧力発生室の幅よりも狭い幅で形成されていると共に前記圧力発生室に対応する領域の前記下電極の上面及び端面が前記圧電体層によって覆われ」ているのに対して、引用発明1は、そのようなものではない点。
[相違点3]
本願発明1は、「圧電素子が並設された方向における前記圧電体層の側面前記上電極によって覆われて」ているのに対して、引用発明1は、そのようなものではない点。
[相違点4]
本願発明1は、「圧電素子の長手方向一端部側では、圧電体層が接合基板の圧電素子保持部の周縁部が接着される流路形成基板の接着領域まで延設されている」のに対して、引用発明1は、そのようなものではない点。
[相違点5]
本願発明1は、「下電極の端部に端子部が設けられ、且つ接合基板には当該接合基板の厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられ、前記下電極の端子部が前記貫通孔内に形成されている」のに対して、引用発明1は、そのようなものではない点。
(2)判断
上記相違点4について以下検討する。
上記2のとおりであって、引用発明2は、そもそも本願発明1のように接合基板を備えるものでない。
また、上記3のとおりであって、引用発明3は、圧電体層が接合基板の圧電素子保持部の周縁部が接着される流路形成基板の接着領域まで延設されているものではない(例えば、引用例3の図2、6、7参照。)。
してみると、引用発明2、及び3は、上記相違点4に係る本願発明1の発明特定事項を備えるものではない。
そして、上記相違点4に係る本願発明1の発明特定事項が、当業者にとって設計事項とする根拠もない。
しかも、本願発明1は、上記相違点4に係る本願発明1の発明特定事項を具備することにより、本願明細書に記載の「下電極の露出部分と上電極の露出部分との間に、接合基板と流路形成基板とを接着するための接着剤が存在するため、この接着剤によって下電極の露出部分と上電極の露出部分とが絶縁される。したがって、これら下電極と上電極との間で生じる絶縁破壊に起因する圧電素子の破壊を防止することができる」(段落【0006】)という作用効果を奏するものである。
したがって、本願発明1は、引用発明1?3に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。

5.本願発明2について
本願発明2は、本願発明1の発明特定事項に加えてさらなる発明特定事項を追加して限定を付したものであるから、本願発明2は、上記4.(2)と同様の理由により、引用発明1?3に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。

第5.むすび
以上のとおりであるから、本願発明1、及び2は、引用発明1?3に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとものとすることはできないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。

よって、結論のとおり審決する。
 
審決日 2016-05-13 
出願番号 特願2013-150941(P2013-150941)
審決分類 P 1 8・ 121- WY (B41J)
最終処分 成立  
前審関与審査官 高松 大治  
特許庁審判長 吉村 尚
特許庁審判官 黒瀬 雅一
藤本 義仁
発明の名称 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置  
代理人 栗原 浩之  
代理人 山▲崎▼ 雄一郎  

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