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| 審決分類 |
審判 補正却下不服 (159条1項、163条1項、174条1項で準用) H01L |
|---|---|
| 管理番号 | 1052678 |
| 審判番号 | 補正2001-50015 |
| 総通号数 | 27 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 1993-06-01 |
| 種別 | 補正却下不服の審決 |
| 審判請求日 | 2001-03-15 |
| 確定日 | 2002-02-04 |
| 事件の表示 | 平成 3年特許願第326342号「露光装置および露光方法」において、平成11年6月4日付けでした手続補正に対してされた補正の却下の決定に対する審判事件について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 原決定を取り消す。 |
| 理由 |
1.手続きの経緯 本願は、平成3年11月14日の出願であって、その後、平成11年6月4日付けで明細書を補正する手続補正がなされたが、この補正は、平成13年1月5日付けで決定をもって却下された。 2.原決定の理由 補正後の明細書における、請求項1及び【0009】段落には「基準面6」なる記載があるが、願書に最初に添付した明細書又は図面(以下、「当初明細書」という)には当該事項は記載されておらず、「基準面」がどのような構成を指すのかも不明であり、当初明細書の記載からみて自明のこととも認められない。 補正後の明細書における、請求項1、4、6-8及び【0009】段落には「構造体」なる記載があるが、当初明細書には当該事項は記載されておらず、当初明細書の記載からみて自明のこととも認められない。(「構造体」は、「投影レンズ3」及び「レチクル支持部材4」のみならず、露光装置を構成するあらゆる要素に対応しうる概念である。) したがって、この補正は、明細書の要旨を変更するものと認められ、特許法第53条第1項の規定により、上記結論の通り決定する。 3.当審の判断 3.1 「基準面」(以下「補正1」という。)について。 3.1.1 本願の当初明細書の【0003】段落には『また当該ウエハステージ1の端部には移動鏡7が固定され当該ウエハステージ1の移動に伴って移動するようになされていると共に、投影レンズ3の鏡筒には固定鏡6が設置されている。』と記載され、【0004】段落には『移動鏡7はレーザ光波干渉測長器(干渉計)10からビームスプリッタ9を介して入射するレーザビームを反射すると共に、固定鏡6は干渉計10からビームスプリッタ9及び反射鏡8を介して入射するレーザビームを反射し、干渉計10は移動鏡7及び固定鏡6からの反射光を測定することにより移動鏡7及び固定鏡6の相対位置を検出するようになされている。』と記載され、さらに、本願の当初明細書の【0012】段落には『図4との対応部分に同一符号を付して示す図1は本発明による投影露光装置を示し、』と記載され、【0014】段落には『ウエハステージ1の2次元的な位置は、干渉計10によって、例えば0.01[μm]程度の分解能で常時検出される。』と記載されおり、当審が行った平成13年7月25日付審尋に対する平成13年10月4日付回答書を参照すると、固定鏡と移動鏡を用いる干渉計システムでは、固定鏡を基準として移動鏡の位置計測を行うことは自明の手段であることが明らかであるから、干渉計10は投影レンズ3に設置される固定鏡6を基準としてウエハステージ1の位置を計測することは自明である。 そうすると、干渉計システムの「基準面」は当初明細書において自明の事項である。 3.1.2 従って、上記補正1は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。 3.2 「構造体」(以下、「補正2」という。)について。 3.2.1 本願の当初明細書の【0017】段落には『またレチクル支持部材4の端部には振動センサ22が設置されており、さらに投影レンズ3の鏡筒に固定されている固定鏡6とほほ同じ高さ位置に振動センサ21が設置されている。』と記載されており、さらに、本願の当初明細書の【0006】段落には『投影露光装置においては、レチクル支持部材4、投影レンズ3及びウエハステージ1が所定の支持部材(不図示)によって一体に連結されており、ウエハステージ1をX、Y方向に駆動する際、図4に点線で示すようにウエハステージ1を中心に光軸AXが傾斜するような方向に装置全体が振動する』と記載され、かつ【0012】段落には『図4との対応部分に同一符号を付して示す図1は本発明による投影露光装置を示し、』と記載されている。 そうすると、当初明細書にはレチクル支持部材4、投影レンズ3だけでなく、レチクル支持部材4などが連結される所定の「構造体」が開示されている。 3.2.2 従って、上記補正2は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。 なお、特許請求の範囲の記載不備の有無については、補正却下不服審判の審理範囲外のものである。 4.むすび 従って、上記手続補正を却下すべきものとした原決定は失当である。 よって、結論のとおり審決する。 |
| 審決日 | 2002-01-15 |
| 出願番号 | 特願平3-326342 |
| 審決分類 |
P
1
7・
56-
W
(H01L)
|
| 最終処分 | 成立 |
| 前審関与審査官 | 佐竹 政彦、芝 哲央 |
| 特許庁審判長 |
高橋 美実 |
| 特許庁審判官 |
伊藤 昌哉 辻 徹二 |
| 発明の名称 | 露光装置および露光方法 |
| 代理人 | 村山 靖彦 |
| 代理人 | 高橋 詔男 |
| 代理人 | 西 和哉 |
| 代理人 | 青山 正和 |
| 代理人 | 渡邊 隆 |
| 代理人 | 志賀 正武 |