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審判番号(事件番号) データベース 権利
判定2007600040 審決 特許
判定2007600042 審決 特許
判定200660062 審決 特許

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審決分類 審判 判定 同一 属する(申立て成立) B25J
管理番号 1076555
判定請求番号 判定2002-60107  
総通号数 42 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許判定公報 
発行日 1995-07-11 
種別 判定 
判定請求日 2002-12-04 
確定日 2003-05-14 
事件の表示 上記当事者間の特許第2580489号の判定請求事件について、次のとおり判定する。 
結論 イ号図面及びその説明書に示す「基板搬送装置」は、特許第2580489号発明の技術的範囲に属する。 
理由 1.請求の趣旨
本件判定の請求の趣旨は、イ号図面並びにその説明書に記載する基板搬送装置(以下、「イ号物件」と言う。)が、特許第2580489号の請求項1に係る発明の技術的範囲に属する、との判定を求めるものである。
2.本件特許発明
(1)本件特許発明の構成
本件特許の請求項1に係る発明(以下、「本件特許発明」という。)は、平成8年11月21日に設定登録された願書に添付された明細書(以下、「登録明細書」という。)及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項1に記載されたとおりのものであり、本件特許発明を構成要件に分説すると、次のとおりである。
【請求項1】
A 第1の搬送部(15)と、
B 前記第1の搬送部(15)の回転面に対して上又は下側に位置するように高さを規定した第2の搬送部(16)と、
C 前記第1の搬送部(15)を一方向に伸縮する第1の多関節駆動部(11)と、
D 前記第2の搬送部(16)を一方向に伸縮する第2の多関節駆動部(12)と、
E 前記第1の多関節駆動部(11)の回動中心となる第1の固定軸(13A)と前記第2の多関節駆動部(12)の回動中心となる第2の固定軸(13B)とを有し、かつ、前記第1の多関節駆動部(11)に回転力を与える第1の駆動軸(13C)と前記第2の多関節駆動部(12)に回転力を与える第2の駆動軸(13D)とを有する共通駆動部(13)と、
F 前記第1の多関節駆動部(11)、第2の多関節駆動部(12)及び共通駆動部(13)を回動制御する駆動制御手段(14)とを備え、
G 前記第1の搬送部(15)及び第2の搬送部(16)を前記共通駆動部(13)の上部に縮めたとき、前記第1の搬送部(15)と第2の搬送部(16)とを高低差をもって重なるようにした
H ことを特徴とする多関節搬送装置。
(2)本件特許発明の作用
本件特許発明の作用は、登録明細書によれば次のア〜オの如きものである。
ア 「本発明の第1の多関節搬送装置の動作を説明する。例えば、駆動制御手段14により第1の駆動軸13Cが固定され、第2の駆動軸13D及び共通駆動部13が同期して回動される(第1の制御方法)と、第2の駆動軸13Dから第2の多関節駆動部12に回転力が与えられ、第2の多関節駆動部12が第2の固定軸13Bを中心として回動する。」(段落0019)
イ 「この際に、共通駆動部13の回転方向を打ち消す方向に第2の多関節駆動部12が回動する。これにより、第2の多関節駆動部12は静止状態を保持し、第2の搬送部16は共通駆動部13上(ホームポジション)に取り込まれる状態となる。また、第1の搬送部15が第1の多関節駆動部11により一方向に伸縮される。次に、駆動制御手段14により第2の駆動軸13Dが固定され、第1の駆動軸13C及び共通駆動部13が同期して回動される(第2の制御方法)と、第1の駆動軸13Cから第1の多関節駆動部11に回転力が与えられ、第1の多関節駆動部11が第1の固定軸13Aを中心として回動する。」(段落0020)
ウ 「この際に、共通駆動部13の回転方向を打ち消す方向に第1の多関節駆動部11が回動する。これにより、第1の多関節駆動部11は静止状態を保持し、第1の搬送部15は共通駆動部13上に取り込まれる状態となる。また、第1の搬送部15と独立した第2の搬送部16が第2の多関節駆動部12により一方向に伸縮される。(段落0021)
エ 「さらに、駆動制御手段14により第1の駆動軸13C,第2の駆動軸13D及び共通駆動部13が同期して回動される(第3の制御方法)と、第1の駆動軸13Cから第1の多関節駆動部11に回転力が与えられ、第1の多関節駆動部11が第1の固定軸13Aを中心として回動する。また、第2の駆動軸13Dから第2の多関節駆動部12に回転力が与えられ、第2の多関節駆動部12が第2の固定軸13Bを中心として回動する。この際に、共通駆動部13の回転方向を打ち消す方向に第1の多関節駆動部11及び第2の多関節駆動部12が回動する。」(段落0022)
オ 「これにより、第1の搬送部15,第2の搬送部16,第1の多関節駆動部11及び第2の多関節駆動部12が静止している状態になる。また、第1の搬送部15及び第2の搬送部16が取り込まれた状態で共通駆動部13が旋回する。このように本発明の多関節搬送装置では、第1の搬送部15の回転面に対して上又は下側に位置するように第2の搬送部16の高さを規定しているので、第1及び第2の搬送部15,16を共通駆動部13の上部に縮めたとき、第1の搬送部15と第2の搬送部16との間に、被搬送物が入り込めるような高低差を生じさせることができる。このため、ホームポジション上において、被搬送物を載置した2つの搬送部15,16を重ねることができるので、本発明では従来技術に比べて、より大きな被搬送物を第1及び第2の搬送部15,16に載置することができる。また、共通駆動部13を回転するときの被搬送物の旋回半径(被搬送物の先端の軌跡)を従来技術に比べて小さくすることができる。これにより、本発明に係る多関節搬送装置を内蔵した半導体製造装置のコンパクト化が図れる。」(段落0023)
(3)本件特許発明の効果
本件特許の請求項1ないし9に係る発明の効果は、登録明細書の段落【0108】〜【0111】に記載されており、その内、本件特許発明の効果は、以下のとおりのものと認める。
a.第1の搬送部の回転面に対して上又は下側に位置するように第2の搬送部の高さを規定しているので、第1及び第2の搬送部を共通駆動部の上部に縮めたとき、第1の搬送部と第2の搬送部との間に、被搬送物が入り込めるような高低差を生じさせることによる、「ホームポジションで、被搬送物を載置した下側の第1の搬送部と、その上側の第2の搬送部とを重ね合わせることができる。従って、ホームポジションで大きな被搬送物を載置して回転するときも、被搬送物の旋回半径を小さくすることができる。」という効果。
b.一方の搬送部が共通駆動部上に取り込まれた状態で、他方の搬送部が一方向に伸縮されたり、2つの搬送部や2つの多関節駆動部が静止している状態で、共通駆動部が旋回されることによる、「従来技術のような3つの基本動作に加え、同一方向において、一方の搬送部に載置された被搬送物を搬送先に移動して、それを他方の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と交換することが可能となる。」という効果
c.基板搬送手段が本発明の多関節搬送装置から成ることによる、「基板搬送手段により被加工基板を円滑かつ迅速にプロセスチャンバに出し入れすることが可能となる。これにより、半導体ウエハや液晶表示パネル等を加工する半導体製造装置のコンパクト化、及び、そのスループットの向上に寄与するところが大きい。」という効果
3.イ号物件
(1)イ号図面説明書等に示される事項
請求人が提出したイ号物件の図面、イ号図面の説明書及び証拠を検討すると、イ号物件に関して、以下の事項が認められる。
ア この基板搬送装置は、同一の回動軸中心をもつ第1支軸(15)、第2支軸(16)、第3支軸(17)を備え、第1支軸(15)はモータ部(33)により、第2支軸(16)はモータ部(23)により、第3支軸(17)はモータ部(30)により、それぞれ独立に回転を制御される。
イ 上記モータ部は、回転駆動手段としてのモータの他に、モータの回転軸、プーリー、ベルトや減速器などの周知の回転駆動力伝達手段を適宜含めたものをいい、モータ部により回転開始や停止、あるいは所定の回転速度や回転方向の制御が行われる。
ウ 上記第1の支軸(15)の上部にはこれと一体となって回転する第1アーム(11)が設けられ、また第1アーム(11)の両端には支持筒(10a)と支持筒(10b)が設けられている。
そして、第2アーム(6a)は、第2の支軸(16)の回転がベルトやプーリーによって伝達され、支持筒(10a)を回転軸中心として回転し、同様に、第2アーム(6b)は、第3の支軸(17)の回転がベルトやプーリーによって伝達され、支持筒(10b)を回転軸中心として回転する。
エ 基板を載せる第3アーム(3a)は、第1アーム(11)の回転と第2アーム(6a)の回転の双方によって制御されて、伸縮動作、あるいは旋回動作を行い、同様に、基板を載せる第3アーム(3b)は、第1アーム(11)の回転と第2アーム(6b)の回転の双方によって制御されて、伸縮動作、あるいは旋回動作を行う。
オ 第3アーム(3a)と第3アーム(3b)を第1アーム(11)上で縮めたとき、これら第3アーム(3a)、第3アーム(3b)は、図3に示す如く高低差をもって重なるように構成されている。
(2)イ号物件の動作
イ号物件の動作は、請求人が、イ号物件に関する技術事項が記載されているとして提出した、甲第3号証の特開平10-163296号公報を参照すると、次のア〜ウの如きものである。
ア モータ部(33)により第1アーム(11)を左回転するとともに、モータ部(23)により第2の支軸(16)を右回転させると、支持筒(10b)を中心として、第2アーム(6a)は、右回転して、第3アーム(3a)の伸長動作を行う。また、モータ部(33)及びモータ部(23)の上記とは逆方向の回転により、第3アーム(3a)は、縮小動作を行う。
イ モータ部(33)により第1アーム(11)を右回転するとともに、モータ部(30)により第3の支軸(17)を左回転させると、支持筒(10a)を中心として、第2アーム(6b)は、左回転して、第3アーム(3b)の伸長動作を行う。また、モータ部(33)及びモータ部(30)の上記とは逆方向の回転により、第3アーム(3b)は、縮小動作を行う。
ウ 例えば、待機位置において、モータ部(23)及びモータ部(30)を停止して、単にモータ部(33)により第1の支軸(15)を、右回転又は左回転させると、第3アーム(3a)及び第3アーム(3b)の伸長又は縮小動作を伴わずに、第1アーム(11)は、右回転又は左回転する。
(3)イ号物件の構成の分説
イ号物件は、その構成を本件特許発明に対応させて分説すると、次のa〜g,i,hからなるものと認められる。
a 第3アーム(3a)と、
b 前記第3アーム(3a)の回転面に対して、第3アーム(3a)との間に被搬送物である基板を位置させることができる程度下側に位置するように、高さを規定した第3アーム(3b)と、
c 前記第3アーム(3a)を一方向に伸縮する第2アーム(6a)と、
d 前記第3アーム(3b)を一方向に伸縮する第2アーム(6b)と、
e 前記第2アーム(6a)の回動中心となる支持筒(10a)と前記第2アーム(6b)の回動中心となる支持筒(10b)とを有し、かつ、前記第2アーム(6a)に回転力を与える第2の支軸(16)と前記第2アーム(6b)に回転力を与える第3の支軸(17)とを有する第1アーム(11)と該第1アーム(11)と一体の第1の支軸(15)と、
f 前記第2アーム(6a)、第2アーム(6b)及び前記第1アーム(11)と該第1アーム(11)と一体の第1の支軸(15)を回動制御するモータ部(23)、モータ部(30)、及びモータ部(33)とを備え、
g 前記第3アーム(3a)及び第3アーム(3b)を前記第1アーム(11)と該第1アーム(11)と一体の第1の支軸(15)の上部に縮めたとき、前記第3アーム(3a)と第3アーム(3b)とを高低差をもって重なるようにし、
i 前記第1の支軸(15)、第2の支軸(16)及び第3の支軸(17)は、同心軸であって、第1の支軸(15)は、同心軸の最内軸であって回動制御されるモータ部(33)に直結され、他の第2の支軸(16)を回動制御するモータ部(23)及び第3の支軸(17)を回動制御するモータ部(30)は、第1の支軸(15)と一体の棚板(24)に固定されている、
h 基板搬送装置。
4.イ号物件が本件特許発明の技術的範囲に属するか否かについて
本件特許発明の構成要件とイ号物件の構成とを対比すると、イ号物件の第3アーム(3a)、第3アーム(3b)、第2アーム(6a)、第2アーム(6b)、支持筒(10a)、支持筒(10b)、第2の支軸(16)、第3の支軸(17)、[第1アーム(11)と該第1アーム(11)と一体の第1の支軸(15)]、[モータ部(23)、モータ部(30)及びモータ部(33)]、及び基板搬送装置が、それぞれ本件特許発明の第1の搬送部(15)、第2の搬送部(16)、第1の多関節駆動部(11)、第2の多関節駆動部(12)、第1の固定軸(13A)、第2の固定軸(13B)、第1の駆動軸(13C)、第2の駆動軸(13D)、共通駆動部(13)、駆動制御手段(14)、及び多関節搬送装置に相当していることが明らかに認められる。
したがって、イ号物件は、それぞれ本件特許発明の構成要件A、B、C、D、E、F、G、Hを全て充足する。
もっとも、イ号物件は、構成a〜hに付加して、構成iを備えるので、この付加的な構成iが、イ号物件が本件特許発明の技術的範囲に属するか否かの判断に、影響を与えるか否かについて以下検討する。
イ号物件の第3アーム3bは、第3アーム3aの回転面に対して下側に位置するように高さを規制されており、第3アーム3aとの間に、基板が入り込めるような高低差を生じさせているものであるから、本件特許発明の前記aの効果を奏する。
イ号物件の一方の第3アーム3a又は3bが第1アーム上に取り込まれた状態で、他方の第3アーム3b又は3aが一方向に伸縮されたり、第3アーム3a及び3bと第2アーム6a及び6bが静止している状態で、第1アームが旋回されるよう構成されているから、本件特許発明の前記bの効果を奏する。
イ号物件は、多関節搬送装置から成るから、本件特許発明の前記cの効果を奏する。
すなわち、イ号物件は、前記本件特許発明の全ての効果を奏する。
そうすると、イ号物件が本件特許発明が備えていない付加的な構成iを備え、構成iにより「棚板(24)は第1アーム支軸(15)と一体物になっているため、モータ部(33)が回転すると、棚板(24)と第1アーム(11)は同じ角度で回動する。即ち、棚板(24)に固定されたモータ部(30)(23)は、それぞれ左右の第2アームと第3アームを伸縮させたい場合のみ回転させればよい。」(答弁書第8項丸括弧3第7〜11行)という効果を奏するとしても、イ号物件は、本件特許発明の構成を全て充足した上で、付加的な構成により付加的な効果を奏するにすぎないから、本件特許発明の技術的範囲に属する。
5.被請求人の主張に対する判断
(1)被請求人は、「本件特許は明細書中には、共通駆動部(13)は同心軸のうちのどの軸に配設してもよいとは、書かれていない。即ち、本件特許の発明時点では、直径の大きい同心軸の最外軸のみが共通駆動部(13)を支え得ると考えられていたのである。一方、イ号物件は、その機能を同心軸の最内軸に求めており、本件特許権の範囲には含まれない。また、本件特許では共通駆動部(13)とこれを回動させるためのモータ部(本件特許図4の駆動制御装置(24C))とを、直結することはできないが、イ号物件では、これらが直結された新たな構造となっており、本件特許権はおよばない。さらに、本件特許の特許請求の範囲に記載された構成要素は、すべて、その図1及び図2に基づく符号により特定されている。即ち、特許法第70条第2項の規定により、本件特許の請求項1において、共通駆動部(13)の水平部分(イ号物件の第1アーム相当)は、同心軸の最も外側の軸(共通駆動部(13)の垂直部分)に支持される、と特定していると解釈される。」(答弁書第8項丸括弧4第1〜14行)と主張している。
しかしながら、本件特許の請求項1において、「共通駆動部(13)」は、「前記第1の多関節駆動部(11)に回転力を与える第1の駆動軸(13C)と前記第2の多関節駆動部(12)に回転力を与える第2の駆動軸(13D)とを有する」との限定があるのみで、第1の駆動軸と、第2の駆動軸の関係については、それ以上に特段の限定はない。特許発明の技術的範囲は、特許請求の範囲に基づいて定めるものであり、その際に発明の詳細な説明を参酌しなければならないとしても、実施例に限定して解釈しなければならないということはない。また、発明の特定の構成要件について明細書に唯一の実施例が記載されており、明細書にその実施例の構成に限られるものではないとの記載がされていなくても、それだけでその構成要件について、実施例に限定して解釈しなければならないということはない。
また、願書に添付した図面において使用した符号を特許請求の範囲の構成要素に引用するのは、単に請求項の記載の内容を理解を助けるためのものであって、その構成要素を実施例に記載されたものに限定するものではない(特許法施行規則様式第29備考14ロ参照)。
他に、発明の詳細な説明の記載を参酌しても、「共通駆動部(13)」の構成を実施例に限定して解釈すべき理由は見当たらない。
(2)被請求人は、ロボットの2式のアームをベルトとプーリーによって駆動する方法は、例えば、特許第2739413号(乙第1号証)などによって、公知の技術範囲に属するものであり、また、第1の搬送部(15)と第2の搬送部(16)とは高低差をもって重なることを特徴としているが、乙第1号証の請求項1の記載からすれば、高さを変えてアーム同士が干渉しないようにする技術は公知であり、同心軸によるアームの駆動方法はロボットの手首をギヤ駆動する特開平5-84687号(乙第2号証)で公知であり、また、ベルトとプーリーによる同心軸によるロボットアームは、特開平5-109866号公報(乙第3号証)で公知であって、同業者が容易に類推できる技術的範囲である旨主張(答弁書第8項丸括弧5参照)する。
このような公知技術の存在が、本件特許発明の技術的範囲の解釈にどのように影響すると主張するのかは、前記主張のみでは定かではないが、本件特許発明の構成の一部が公知であるという理由のみでは、本件特許発明の技術的範囲を限定的に解釈しなければならないという理由とはならない。
6.むすび
以上のとおり、イ号物件は本件特許の請求項1に係る発明の構成要件を充足しているから、イ号物件は、本件特許の技術的範囲に属する。
よって、結論のとおり判定する。
 
別掲
 
判定日 2003-05-02 
出願番号 特願平6-100065
審決分類 P 1 2・ 1- YA (B25J)
最終処分 成立  
前審関与審査官 島田 信一  
特許庁審判長 小林 武
特許庁審判官 高山 芳之
三原 彰英
登録日 1996-11-21 
登録番号 特許第2580489号(P2580489)
発明の名称 多関節搬送装置,その制御方法及び半導体製造装置  
代理人 岡本 啓三  
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