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審決分類 審判 査定不服 4項4号特許請求の範囲における明りょうでない記載の釈明 特許、登録しない。 H01L
審判 査定不服 特36条4項詳細な説明の記載不備 特許、登録しない。 H01L
審判 査定不服 4号2号請求項の限定的減縮 特許、登録しない。 H01L
管理番号 1266972
審判番号 不服2011-15658  
総通号数 157 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2013-01-25 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2011-07-20 
確定日 2012-11-28 
事件の表示 特願2004-365569「インターフェレンス・マッピング・リソグラフィを使用した画像構造の最適化」拒絶査定不服審判事件〔平成17年 7月 7日出願公開、特開2005-183981〕について、次のとおり審決する。 
結論 本件審判の請求は、成り立たない。 
理由 第1 手続の経緯
本件審判に係る出願(以下「本願」という)は、平成16年12月17日(パリ条約による優先権主張 2003年12月19日 米国、2004年1月14日 米国、2004年10月29日 米国)の出願であって、平成22年2月25日付けで手続補正がなされ、同年5月14日付けで拒絶理由が通知され、同年10月25日付けで手続補正がなされたが、平成23年3月17日付けで平成22年10月25日付け手続補正についての補正の却下の決定がなされるとともに同日付けで拒絶査定がなされた。
本件は、前記拒絶査定を不服として平成23年7月20日に請求された拒絶査定不服審判事件であり、当該請求と同時に手続補正がなされた。
その後、前置報告書の内容について審判請求人の意見を求めるために、平成23年11月21日付けで審尋がなされ、平成24年2月17日付けで当該審尋に対する回答書が提出された。



第2 補正の却下の決定
[補正の却下の決定の結論]
平成23年7月20日付け手続補正(以下「本件補正」ともいう)を却下する。

[理由]
1.本件補正前の特許請求の範囲の請求項1の記載
本件補正前の特許請求の範囲の請求項1の記載は、平成22年2月25日付け手続補正により補正された以下のとおりのものである。

「 基板の表面に形成するパターンの照明プロファイルを所与のマスクに対して最適化する方法であって、
(a)前記所与のマスクの1つ又は複数の解像可能な画像構造を数学的に表現するステップと、
(b)ステップ(a)から干渉マップの表現式(F_(i))を生成するステップと、
(c)前記干渉マップの表現式(F_(i))を離散マスクトランスミッション(F)に置き換えるステップと、
(d)前記解像可能な画像構造の外側の領域に関する条件式(G_(2))を最小化するように前記離散マスクトランスミッション(F)を選択して補助画像構造サイズを決定することにより、強度サイド・ローブがプリントされないようにするステップと、
(e)ステップ(c)に続いて、焦点深度(DOF)を最大化するため、ピーク強度の変化を焦点に関して最小化するステップと、を含む、
照明プロファイルの最適化方法。」


2.本件補正後の特許請求の範囲の請求項1の記載
本件補正後の特許請求の範囲の請求項1の記載は、以下のとおりのものである。

「 基板の表面に形成するパターンの照明プロファイルを所与のマスクに対して最適化する方法であって、
(a)前記所与のマスクの1つ又は複数の解像可能な画像構造を数学的に表現するステップと、
(b)ステップ(a)から干渉マップの表現式(F_(i))を生成するステップと、
(c)前記解像可能な画像構造の中心における強度を最大化するように、前記干渉マップの表現式(F_(i))を離散マスクトランスミッション(F)に置き換えるステップと、
(d)強度サイド・ローブがプリントされないように前記離散マスクトランスミッション(F)を選択して補助画像構造サイズを決定するステップと、
(e)ステップ(c)に続いて、焦点深度(DOF)を増大させるため、焦点に関する強度の偏導関数(G_(3))を最小化する一方、前記解像可能な画像構造の外側の領域に関する条件式(G_(2))を全体の最小値のある割合とするステップと、を含む、
照明プロファイルの最適化方法。」


3.本件補正の目的
本件補正による特許請求の範囲の請求項1についての補正は、「離散マスクトランスミッション(F)を選択して補助画像構造サイズを決定する」ことに関し、本件補正前は「解像可能な画像構造の外側の領域に関する条件式(G_(2))を最小化するように前記離散マスクトランスミッション(F)を選択して補助画像構造サイズを決定する」であったものから、「解像可能な画像構造の外側の領域に関する条件式(G_(2))を最小化するように」との限定事項を削除することを含むものである。
そうすると、本件補正後の特許請求の範囲の請求項1に記載された発明は、離散マスクトランスミッション(F)を選択して補助画像構造サイズを決定する際に、解像可能な画像構造の外側の領域に関する条件式(G_(2))を最小化しないように補助画像構造サイズを決定する構成をも含むことになり、特許請求の範囲が拡張されていることとなるから、前記限定事項を削除する補正は、平成18年法律第55号改正附則第3条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法(以下「平成18年改正前特許法」という)第17条の2第4項第2号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当しない。なお、本件補正後の特許請求の範囲の請求項1では、(e)のステップにおいて、「解像可能な画像構造の外側の領域に関する条件式(G_(2))を全体の最小値のある割合とする」と特定されているが、当該特定事項は、解像可能な画像構造の外側の領域に関する条件式(G_(2))が最小値とならない場合をも包含するものであるから、特許請求の範囲を拡張するものであることに変わりはない。
また、前記限定事項の削除は、明りようでない記載の釈明(平成18年改正前特許法第17条の2第4項第4号)にも該当しないことは明らかである。さらに、請求項の削除(同法同条同項第1号)及び誤記の訂正(同法同条同項第3号)にも該当しない。

よって、本件補正による特許請求の範囲の請求項1についてした補正のうち、上記限定事項を削除する補正は、平成18年改正前特許法第17条の2第4項第1号乃至第4号に掲げるいずれの事項を目的とするものでもない。


4.補正の却下の決定のむすび
以上のとおり、本件補正は、平成18年改正前特許法第17条の2第4項の規定に違反するので、同法第159条第1項において読み替えて準用する同法第53条第1項の規定により却下すべきものである。



第3 本願の特許請求の範囲の請求項1に係る発明
平成23年7月20日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項1に係る発明(以下単に「請求項1に係る発明」という)は、平成22年2月25日付け手続補正により補正されたとおりのものである(「第2」「1.」参照)。



第4 拒絶理由
原審の平成22年5月14日付け拒絶理由の理由2は、以下のとおりである。

『 理由2
この出願は、発明の詳細な説明の記載が下記の点で、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない。

[0045]段落には、「全てのコンタクト(xi,yi)の中心におけるG1を最大化するために、干渉マップFiを離散マスクトランスミッションFに置き換える。」と記載されている。この記載が次のいずれを意味しているのか理解できない。
(i)式4.0で定義されるFi(x,y)を離散化された関数F(x,y)に置き換える(例えば、Fiに対して適当な閾値を設定して、それに基づいて離散化を行う)。この結果、G1は最大化する。
(ii)式5.0で定義されるG1(x,y)が、全てのコンタクトの中心において最大化するように、F(x,y)を選択する。
そして、それぞれの場合について、以下の点で不明瞭である。
(i)について:この場合「最大化」とは何を意味しているのか理解できない。上記意見書中では、Fが離散化されたものであるためG1が発散せず最大値を得ることが可能となる、と記載されているが、この説明も理解できない。最大化とは、何らかの集合において最大値を取ることを意味するが、この場合どのような集合を前提にしているのか不明である。また、式3.0及び式4.0を式5.0に代入しても発散しないことからも、意見書中の上記説明は理解できない。
(ii)について:この場合、ステップ1及びステップ2で行った作業が、いかなる技術的意義を有するのか理解できない。その場合、請求項1の記載においてステップ(a)及びステップ(b)が、請求項1の発明にいかなる限定を与えているのか、あるいは、何ら限定するものでないのかも不明である点に注意されたい。また、平成22年2月25日付け手続補正により請求項1のステップ(c)からは、「最大化する」という構成が削除されている。したがって、[0045]段落が上記(ii)の解釈に基づくのであれば、当該補正は新規事項の追加となることにも注意されたい。
よって、この出願の発明の詳細な説明は、当業者が請求項1乃至15に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものでない。』



第5 当審の判断
本願の明細書の発明の詳細な説明の記載が、特許法第36条第4項第1号に適合するものであるか、すなわち、経済産業省令で定めるところにより、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者(以下「当業者」ともいう)がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されたものであるか、以下検討する。

1.ステップ(a)及び(b)の技術上の意義について
請求項1に係る発明における、ステップ(a)及び(b)の技術上の意義、すなわち、それらがどのような機能を有するものであるかについて検討する。

1-1.明細書の発明の詳細な説明の記載
請求項1に係る発明のステップ(a)乃至(c)に関して、本願の明細書の発明の詳細な説明の段落【0037】乃至【0047】には、以下のように記載されている。
『 【0037】
コヒーレント結像と同様、部分コヒーレント系におけるEL最適化の最初のステップ(ステップ1)は、原マスクのコンタクト・ホールO(x,y)を、ディラックのデルタ関数又は行関数(line function)に置き換えるステップである。(x_(i),y_(i))を中心とする正方形コンタクトでは、ディラックのデルタ関数が式1.0によって与えられる。
【0038】
式1.0 δ(x-x_(i),y-y_(i))
【0039】
x_(i)を中心としy_(a)からy_(b)の長さを有する長方形のコンタクトでは、行関数が式2.0によって与えられる。
【0040】
式2.0 δ(x-x_(i))rect(y_(a)≦y≦y_(b))ただしy≧y_(a)かつy≦y_(b)のときにはrect(y)=1、それ以外のときにはrect(y)=0
【0041】
次いで、全てのコンタクト位置(x_(i),y_(i))についてこれらのデルタ関数及び行関数を合計し、式3.0によって表される関数Δ(x,y)を生成する。
【0042】
【数1】

【0043】
EL最適化の第2のステップ(ステップ2)は、Δ(x,y)(式3.0)と、焦点ずれ0における第1固有関数Φ_(1)(x,y,z=0)との畳込みをとるステップである。2つ以上の固有関数を利用できることに留意されたい。この畳込みは、式4.0によって示される干渉マップF_(i)(x,y)を生成する。
【0044】
【数2】

【0045】
第3のステップ(ステップ3)では、式5.0によって表される全てのコンタクト(x_(i),y_(i))の中心におけるG_(1)を最大化するために、干渉マップF_(i)を離散マスクトランスミッションFに置き換える。
【0046】
【数3】

【0047】
CPLマスクにおいて、離散マスクトランスミッションFは-1(エッチングされた石英)、0(クロム)及び+1(エッチングされていない石英)である。バイナリ・マスクでは、Fは0(クロム)又は+1(エッチングされていない石英)である。離散マスクの幾何形状もマスク製造が単純になるように選択する。』

1-2.原審の拒絶理由における指摘及び審判請求人の釈明
「第4」において摘記したように、原審の拒絶理由では、本願の明細書の発明の詳細な説明の段落【0045】の記載に関して、その意味が理解できないと指摘している(「第4」参照)。

上記指摘に対し、審判請求人は審判請求書において、
『 明細書(0045)段落における「全てのコンタクト……の中心におけるG1を最大化するために、干渉マップFiを離散マスクトランスミッションFに置き換える。」との記載は、審査官殿が同通知書にて挙げられた二つの選択肢のうち後者を意味しております。』
と釈明している。
なお、上記釈明における「選択肢のうち後者」とは、「式5.0で定義されるG1(x,y)が、全てのコンタクトの中心において最大化するように、F(x,y)を選択する」(「第4」参照)である。

1-3.判断
そうしてみると、式5.0で定義されるG_(1)が全てのコンタクトの中心において最大化するように離散マスクトランスミッションFが選択されればよいのであるから、式4.0で表現される干渉マップF_(i)とは独立して離散マスクトランスミッションFが選択されることとなり、原マスクのコンタクト・ホールをディラックのデルタ関数の集合体で表現すること(請求項1に係る発明のステップ(a)に対応)や当該(数学的)表現と固有関数との畳込みをとることによって干渉マップF_(i)を生成すること(同じく、ステップ(b)に対応)が、請求項1に係る発明において有する機能、すなわち、技術上の意義が不明である。


2.離散マスクトランスミッションの選択について
請求項1に係る発明において、離散マスクトランスミッションFの選択をどのように実施するのかについて検討する。

2-1.ステップ(c)について
本願の明細書の発明の詳細な説明の段落【0045】の記載(「1-1.」参照)及び審判請求書における釈明(「1-2.」参照)から、請求項1に係る発明におけるステップ(c)は、全てのコンタクトの中心における(式5.0によって表現される)G_(1)を最大化するように、離散マスクトランスミッションFを選択するものであると認められる。

2-2.ステップ(d)について
請求項1に係る発明におけるステップ(d)に関して、本願の明細書の発明の詳細な説明の段落【0048】乃至【0049】には、以下のように記載されている。

『【0048】
最後の第4のステップ(ステップ4)では、強度サイド・ローブがプリントされないようにFの補助画像構造サイズを選択する。この基準を満たすためには、コンタクトの外側の点O(x,y)≠1について、式6.0によって表されるG_(2)に対する下記の条件が最小になるように離散マスクトランスミッションFを選択する。
【0049】
【数4】



上記記載から、請求項1に係る発明におけるステップ(d)は、コンタクトの外側の点について、上記式6.0で表現されるG_(2)を最小化するように離散マスクトランスミッションFを選択することにより、強度サイド・ローブがプリントされないようにするものであると認められる。

2-3.ステップ(e)について
請求項1に係る発明におけるステップ(e)に関して、本願の明細書の発明の詳細な説明の段落【0056】乃至【0059】には、以下のように記載されている。

『 【0056】
露光寛容度を増大させることに加えて、焦点深度(DOF)を最大化することができる。DOFの増大は、DOFの増大に対して露光寛容度の増大のバランスをとることによって達成される。まず最初に、DOFを増大させるため、先に記載したステップ1?4及び追加のステップ(ステップ5)を実行する。全ての最小化問題と同様に、焦点zに関してピーク強度の変化が最小化されればDOFは増大する。数学的にはこれは、焦点に関して強度の偏導関数をとり、式7.0によって表されるこの偏導関数を最小化するマスク透過画像構造を選択することによって達成することができる。G_(3)(x,y)を最小化することによってDOFは最大になる。
【0057】
【数5】

【0058】
このステップ(ステップ5)では、その範囲にわたって最大となるDOF範囲を提供しなければならない。一般的なDOF範囲は限界寸法(CD)の3倍である。しかし他の範囲を選択してもよく、範囲の選択は当業者の通常の技術レベルの範囲内に十分に含まれる。
【0059】
ELの最適化とDOFの最適化の間のトレードオフのため、ステップ5の追加によって、ステップ4で決定された最適化に矛盾がもたらされる。G_(2)(x,y)が全体の最大となり、同時にG_(3)(x,y)が全体の最小となるような最適透過F(x,y)を選択することはできない。したがって、DOFを増大させるためには、G_(3)(x,y)を最小値とし、G_(2)(x,y)を全体の最大値(当審注:審判請求書で主張しているとおり、“最小値”の誤記であると認められる)のある割合とする。』

上記記載から、請求項1に係る発明におけるステップ(e)は、焦点zに関しての強度の偏導関数である(式7.0で表現される)G_(3)を最小化することによって焦点zに関してピーク強度の変化を最小化するように、マスク透過画像構造を選択するものであると認められる。
なお、上記「マスク透過画像構造」が、離散マスクトランスミッションFのことを意味することは明らかである。

2-4.判断
そうすると、離散マスクトランスミッションFの選択に際し、ステップ(c)、ステップ(d)、及び、ステップ(e)において、それぞれ異なる条件に基づいて行うこととなり、それらを満たすために、どのように離散マスクトランスミッションFの選択を実施すればよいのか、当業者であっても理解することはできない。
特に、“最大化”及び“最小化”とは、取り得る値の範囲で最大・最小とすることを意味することであるから、ある値を最大化又は最小化するように離散マスクトランスミッションを選択したのであれば、その上で、他の値を最大化又は最小化することは、一般に可能ではないと認められる。このことは、上記段落【0059】の記載からも明らかである。
なお、仮に、ステップ(c)、(d)、(e)を単に時系列的に行うのであれば、最終的にはステップ(e)の条件により離散マスクトランスミッションFが選択されることとなり、それ以前に行われるステップ(c)及び(d)が請求項1に係る発明において有する機能、すなわち、技術上の意義が不明となる。



第6 むすび
以上のように、本願の明細書の発明の詳細な説明は、請求項1に係る発明について、特許法第36条第4項第1号で規定する経済産業省令で定めるところ、すなわち、特許法施行規則第24条の2に規定する「特許法第36条第4項第1号の経済産業省令で定めるところによる記載は、発明が解決しようとする課題及びその解決手段その他のその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が発明の技術上の意義を理解するために必要な事項を記載することによりしなければならない。」という要件を充足するように記載されたものではない。
また、本願の明細書の発明の詳細な説明は、請求項1に係る発明を当業者が実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されたものであるとはいえない。

よって、本願の明細書の発明の詳細な説明は、経済産業省令で定めるところにより、当業者がその実施をできる程度に明確かつ十分に記載したものであるとはいえないから、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない。

したがって、本願は拒絶すべきである。

よって、結論のとおり審決する。
 
審理終結日 2012-07-03 
結審通知日 2012-07-04 
審決日 2012-07-19 
出願番号 特願2004-365569(P2004-365569)
審決分類 P 1 8・ 572- Z (H01L)
P 1 8・ 574- Z (H01L)
P 1 8・ 536- Z (H01L)
最終処分 不成立  
前審関与審査官 渡戸 正義佐藤 秀樹  
特許庁審判長 村田 尚英
特許庁審判官 土屋 知久
吉川 陽吾
発明の名称 インターフェレンス・マッピング・リソグラフィを使用した画像構造の最適化  
代理人 大貫 敏史  
代理人 稲葉 良幸  
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