• ポートフォリオ機能


ポートフォリオを新規に作成して保存
既存のポートフォリオに追加保存

  • この表をプリントする
PDF PDFをダウンロード
審決分類 審判 訂正 ただし書き3号明りょうでない記載の釈明 訂正する H01J
審判 訂正 ただし書き1号特許請求の範囲の減縮 訂正する H01J
審判 訂正 4項(134条6項)独立特許用件 訂正する H01J
管理番号 1313289
審判番号 訂正2015-390151  
総通号数 198 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2016-06-24 
種別 訂正の審決 
審判請求日 2015-12-22 
確定日 2016-03-03 
訂正明細書 有 
事件の表示 特許第3156578号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。 
結論 特許第3156578号の明細書及び特許請求の範囲を、本件審判請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。 
理由 第1 手続の経緯
本件特許第3156578号に係る発明は、平成8年1月31日の出願であって、平成12年9月5日(発送日)に拒絶理由が通知され、同年10月26日付けで意見書が提出され、平成13年2月9日に特許権の設定登録がなされ、その後、平成27年12月22日付けで本件審判の請求がなされたものである。

第2 請求の趣旨
本件審判請求の趣旨は、特許第3156578号の明細書及び特許請求の範囲(以下、「本件特許明細書等」という。)を、本件審判請求書に添付した訂正明細書及び特許請求の範囲のとおりに訂正することを求めるものであって、本件審判請求に係る訂正事項は、下記訂正事項1?13のとおりである。
1.訂正事項1
特許請求の範囲の請求項1において、「ガラス製の封体と」の前に、「フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプであって、」という記載を挿入する。

2.訂正事項2
特許請求の範囲の請求項1において、「この封体内に配置された、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極」とあるのを、「この封体内に配置された、電極体と前記電極体を支持する棒状の支持ロッド部とを含む、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極」に訂正する。

3.訂正事項3
特許請求の範囲の請求項1において、「前記封体内に配置されたゲッター」とあるのを、「前記封体内において前記支持ロット部の周りに配置されたゲッター」に訂正する。

4.訂正事項4
特許請求の範囲の請求項1において、「50ppm」とあるのを、「30ppm」に訂正する。

5.訂正事項5
特許請求の範囲の請求項1において、「放電ランプ」とあるのを、「フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプ」に訂正する。

6.訂正事項6
特許請求の範囲の請求項2を削除する。

7.訂正事項7
特許請求の範囲の請求項3において、「ゲッターを構成するタンタル材料が、これに含有される鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下である請求項2に記載の放電ランプ」とあるのを、「フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプであって、ガラス製の封体と、この封体内に配置された、電極体と前記電極体を支持する棒状の支持ロッド部とを含む、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極と、前記封体内において前記支持ロッド部の周りに配置されたゲッターとを有してなり、ゲッターは、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が30ppm以下であるタンタル材料よりなり、ゲッターを構成するタンタル材料が、これに含有される鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下であることを特徴とするフォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプ」に訂正する。

8.訂正事項8
願書に添付した明細書の段落【0001】に記載された「本発明は、ショートアーク放電ランプなどの放電ランプ、特にゲッターを有する放電ランプに関する。」とあるのを「本発明は、フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプ、特にゲッターを有する、フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプに関する。」に訂正する。

9.訂正事項9
願書に添付した明細書の段落【0006】に記載された「放電ランプ」とあるのを、「フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプ」に訂正する。

10.訂正事項10
願書に添付した明細書の段落【0007】に記載された「本発明の放電ランプは、ガラス製の封体と、この封体内に配置された、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極と、前記電極を支持する棒状の支持ロット部と、前記封体内に配置されたゲッターとを有してなり、ゲッターは、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が50ppm以下であるタンタル材料よりなることを特徴とする。」とあるのを、「本発明のショートアーク放電ランプは、フォトリングラフィー法に用いられるものであって、ガラス製の封体と、この封体内に配置された、電極体と前記電極体を支持する支持ロッド部とを含む、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極と、前記封体内において前記支持ロット部の周りに配置されたゲッターとを有してなり、ゲッターは、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が30ppm以下であるタンタル材料よりなることを特徴とする。」に訂正する。

11.訂正事項11
願書に添付した明細書の段落【0008】に記載された「ゲッターを構成するタンタル材料は、これに含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が30ppm以下であることが好ましい。更に、タンタル材料は、含有される鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下であることが好ましい。」とあるのを、「ゲッターを構成するタンタル材料は、含有される鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下であることが好ましい。」に訂正する。

12.訂正事項12
願書に添付した明細書の段落【0010】に記載された「図1は例えばフォトリングラフィー法のための光源として用いられるショートアーク型放電ランプ10の構成の一例を示す説明図である。」とあるのを、「図1はフォトリソグラフィー法のための光源として用いられるショートアーク型放電ランプ10の構成の一例を示す説明図である。」に訂正する。

13.訂正事項13
願書に添付した明細書の段落【0023】に記載された「また、本発明の効果は、点灯状態において、陽極の電極体の温度が1000℃以上となる放電ランプであれば、有効に得ることができる。すなわち、そのような放電ランプにおいては、タンタル材料よりなるゲッターからの鉄、ニッケルおよびチタンよりなる微量成分の蒸発が顕著となり、早期に黒化現象が生ずる原因となるからである。従って、本発明の効果は、放電ランプのタイプや封体の形状、定格消費電力の大きさ、封入される放電発光物質、封体ガスの種類などによって本質的な影響を受けるものではない。」とあるのを、「また、本発明の効果は、点灯状態において、陽極の電極体の温度が1000℃以上となるフォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプであれば、有効に得ることができる。すなわち、そのような放電ランプにおいては、タンタル材料よりなるゲッターからの鉄、ニッケルおよびチタンよりなる微量成分の蒸発が顕著となり、早期に黒化現象が生ずる原因となるからである。」に訂正する。

第3 訂正の目的、及び、訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであるかについて
1.訂正事項1?5
(1)訂正の目的について
訂正事項1?5は、請求項1に係る訂正であり、訂正事項1及び5は、「アーク放電ランプ」について「フォトリソグラフィー法に用いられる」ものであって、「放電ランプ」が「ショートアーク」である点を限定し、訂正事項2は、「電極」について「電極体と前記電極体を支持する棒状の支持ロッド部」を含む点を限定し、訂正事項3は、「ゲッター」の配置について「支持ロット部の周り」である点を限定し、訂正事項4は、「ゲッター」に含有される「鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計」の範囲の上限について、「50ppm」から「30ppm」に限定するものである。
そうすると、訂正事項1?5は、いずれも、特許法第126条第1項ただし書第1号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するではなく、特許法第126条第6項に適合する。
(2)訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであるかについて
本件特許明細書等には次の記載がある。
「【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の放電ランプについて詳細に説明する。図1は例えばフォトリソグラフィー法のための光源として用いられるショートアーク型放電ランプ10の構成の一例を示す説明図である。この放電ランプ10は、中央バルブ部分11と、このバルブ部分11から両側に直線状に伸びるステム部分12,13とよりなるガラス製の封体14を具えてなり、バルブ部分11内において陽極15と陰極16とが互いに対向するよう配置されており、これらは、その基部が封体14のステム部分12,13によって支持されている。
【0011】封体14のステム部分12,13の外端部にはそれぞれ口金17,18が設けられており、陽極15は、ステム部分12内に配置された金属箔19を介して、口金17から外方に伸びて先端に圧着端子20を有するリード線21に電気的に接続されており、一方陰極16は、ステム部分13内に配置された金属箔23を介して、口金18から外方に伸びる端子24に電気的に接続されている。25,26は金属蒸着膜よりなる反射膜であり、27は排気管残部である。
【0012】放電ランプ10の封体14内には、そのバルブ部分11内に位置されるよう、ゲッターが設けられている。具体的に説明すると、図2に示すように、陽極15は、円錐台状の先頭部を有する円柱状の電極体30と、この電極体30の基部から伸びる棒状の支持ロッド部31とよりなり、支持ロッド部31の外端側にはシールのために小径ロッド部分32が形成されており、この小径ロッド部分32の外周面上に金属箔19の一端が接続される。
【0013】そして、支持ロッド部31の電極体30に隣接する部位に小径の頸部33が形成されており、この頸部33の外周上に、タンタル材料よりなるワイア状ゲッター35が巻き付けられて配置されている。
【0014】このゲッター35は、実質上、金属タンタルからなるものであって、かつ含有される鉄、ニッケルおよびチタン重量濃度の合計が50ppm以下、好ましくは30ppm以下の高純度タンタル材料よりなるものである。そして、鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下のタンタル材料よりなることが好ましい。」

そうすると、【0010】の「以下、本発明の放電ランプについて詳細に説明する。図1は例えばフォトリソグラフィー法のための光源として用いられるショートアーク型放電ランプ10の構成の一例を示す説明図である。」という記載から、訂正事項1及び5は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかである。
また、【0012】の「放電ランプ10の封体14内には、そのバルブ部分11内に位置されるよう、ゲッターが設けられている。具体的に説明すると、図2に示すように、陽極15は、円錐台状の先頭部を有する円柱状の電極体30と、この電極体30の基部から伸びる棒状の支持ロッド部31とよりなり、・・・」という記載から、訂正事項2は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかである。
また、【0013】の「支持ロッド部31の電極体30に隣接する部位に小径の頸部33が形成されており、この頸部33の外周上に、タンタル材料よりなるワイア状ゲッター35が巻き付けられて配置されている。」という記載から、訂正事項3は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかである。
そして、【0014】の「このゲッター35は、実質上、金属タンタルからなるものであって、かつ含有される鉄、ニッケルおよびチタン重量濃度の合計が50ppm以下、好ましくは30ppm以下の高純度タンタル材料よりなるものである。」という記載から、訂正事項4は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかである。

したがって、訂正事項1?5は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであり、特許法第126条第5項に適合する。

2.訂正事項6
(1)訂正の目的について
訂正事項6は、請求項2を削除するものであって、特許法第126条第1項ただし書第1号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するではなく、特許法第126条第6項に適合する。

(2)訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであるかについて
訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかであり、特許法第126条第5項に適合する。

3.訂正事項7
(1)訂正の目的について
訂正事項7は、請求項1を引用する請求項2を、さらに引用する請求項3について、請求項2を引用しない独立形式の請求項に改め、さらに、「アーク放電ランプ」について「フォトリソグラフィー法に用いられる」ものであって、「放電ランプ」が「ショートアーク」である点を限定し、「電極」について「電極体と前記電極体を支持する棒状の支持ロッド部」を含む点を限定し、「ゲッター」の配置について「支持ロット部の周り」である点を限定するものであって、特許法第126条第1項ただし書第4号に規定する他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること及び特許法第126条第1項ただし書第1号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するではなく、特許法第126条第6項に適合する。
(2)訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであるかについて
上記「1.(2)」で述べたように、訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであり、特許法第126条第5項に適合する。

4.訂正事項8、9、12及び13
(1)訂正の目的について
訂正事項8、9、12及び13は、訂正事項1、5及び7に係る訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合を図るためのもので、特許法第126条第1項ただし書第3号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するではなく、特許法第126条第6項に適合する。
(2)訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであるかについて
訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかであり、特許法第126条第5項に適合する。

5.訂正事項10
(1)訂正の目的について
訂正事項10は、訂正事項1?5及び7に係る訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合を図るためのもので、特許法第126条第1項ただし書第3号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するではなく、特許法第126条第6項に適合する。
(2)訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであるかについて
本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかであり、特許法第126条第5項に適合する。

6.訂正事項11
(1)訂正の目的について
訂正事項10は、訂正事項4に係る訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合を図るためのもので、特許法第126条第1項ただし書第3号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するではなく、特許法第126条第6項に適合する。
(2)訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであるかについて
訂正が、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内のものであることは明らかであり、特許法第126条第5項に適合する。

第4 訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により特定される発明の独立特許要件について
本件訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正事項を含むものであるので、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により特定される発明が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものあるか否かについて検討する。
(1)請求人は、審判請求書において、次のように記載している。
「(a)本件訂正審判請求の背景
本件特許権に基づく特許権侵害訴訟(以下、「別件訴訟」という。)が、「平成26年(ワ)第11916号」として東京地方裁判所に係属中である。この特許権侵害訴訟において、被告は、本件特許が特許出願前における本件審判請求人自身による公然実施の事実により無効である、と根拠のない単なる憶測によって主張している。公然実施の証拠として当該被告が裁判所に提出した本件審判請求人製造に係る放電ランプのうち、被告が最も重要視しているランプは、当該訴訟における乙第41号証及び乙第42号証に係る型番USH-102D、シリアル番号5010972のランプと、乙第56号証に係る型番USH-102DH、シリアル番号5111439のランプである。これらのランプは、後述するように、いずれも使用済みの中古ランプであって、当該ランプにゲッターとして使用されているタンタルワイヤーの不純物濃度が製造時のものであるとは言えないから、これらランプは、本件発明の出願前公然実施を示す証拠とはなり得ない、というのが、別件訴訟の原告である本件審判請求人の主張である。しかし、被告提出のランプが本件発明の先行技術とはなり得ないことを更に明確にするために、本件審判請求人は、本件訂正審判を請求するものである。訂正後の請求項1及び3記載の発明(以下、それぞれを「本件訂正発明1」及び「本件訂正発明3」といい、これらを総称して「本件訂正発明」という。)は、以下の理由により、別件訴訟被告によって提出された別件訴訟乙第41号証(本件審判甲第1号証)及び乙第42号証(本件審判甲第2号証)に係る本件審判請求人の製造の、型番USH-102D、シリアル番号5010972ランプ、又は別件訴訟乙第56号証(本件審判甲第3号証)に係る、型番USH-102DH、シリアル番号5111439ランプ)により公然実施をされたとの別件訴訟被告の根拠のない単なる主張によって新規性を喪失するものではなく、特許法第29条第1項第1号又は第2号には該当せず、また、これらのランプに基づいて、その発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が、本件特許出願前に、本件訂正発明を容易に想到することができたものではないから、本件訂正発明は、特許法第29条第2項には該当せず、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものである。」

(2)また、審判請求書に、次の甲第1号証?甲第14号証(以下、「甲1」などともいうことがある。)を添付している。
ア 甲第1号証(別件訴訟における乙第41号証(平成27年2月16日に上六公証役場公証人佐山雅彦により作成された公正証書謄本
イ 甲第2号証(別件訴訟における乙第42号証(2014年12月24日に東レリサーチセンター無機分析化学第2研究室長坂口晃一により作成された結果報告書))
ウ 甲第3号証の1(別件訴訟における乙第56号証の1(2015年6月30日に株式会社ユメックス(別件訴訟被告)社員前中志郎により作成された報告書))
エ 甲第3号証の2(別件訴訟における乙第56号証の2(2015年6月25日に東レリサーチセンター無機分析化学第2研究室長坂口晃一により作成された報告書))
オ 甲第4号証の1(別件訴訟における乙第55号証の1(ウシオ電機株式会社、Lamps for the Semiconductor Industry、1992年4月))
カ 甲第4号証の2(別件訴訟における乙第55号証の2(ウシオ電機株式会社、ウシオ放電ランプカタログ、1993年3月、p.1-5))
キ 甲第5号証(別件訴訟における乙第5号証(実公平7-18124号公報))
ク 甲第6号証(別件訴訟における乙第6号証(実願平2-104072号 (実開平4-61854号)のマイクロフィルム))
ケ 甲第7号証の1(別件訴訟における甲第70号証の1(インターネット上の販売サイトセカイモンにおけるUSH-102D(シリアル番号5111439)に係るウェブページ、[2015年7月24日検索]、インターネット<URL: http://www.sekaimon.com/i261862740750>))
コ 甲第7号証の2(別件訴訟における甲第70号証の2(インターネット上の販売サイトセカイモンにおけるUSH-102D(シリアル番号5111439)に係るウェブページ、URL、[2015年7月24日検索]、インターネット<URL: http://lab.sekaimon.com/img/fetch/i/261862740750>))
サ 甲第7号証の3(別件訴訟における甲第70号証の3(インターネット上の販売サイトセカイモンにおけるUSH-102D(シリアル番号5111439)に係るウェブページ、URL、[2015年7月2 4日検索]、インターネット<URL: http://www.sekaimon.com/BiddersHistoryView.do?title_en=MICROSCOPE+LAMP+USHIO+JAP (以下不明)>))
シ 甲第8号証(別件訴訟における甲第30号証(2014年10月17日にウシオ電機株式会社(本件審判請求人)社員古家智穂により作成された報告書))
ス 甲第9号証(別件訴訟における甲第33号証(1985年1月24日にウシオ電機株式会社(本件審判請求人)社員竹村他により作成されたUSH102Dランプの製作完成図))
セ 甲第10号証(本件特許の出願時である1996年1月前後におけるプランゼー社の製造に係るタンタルワイヤーの不純物である鉄Fe、ニッケルNi、チタンTiの濃度を示す表)
ソ 甲第11号証(1992年5月14日にプランゼー社により作成されたテストレポート)
タ 甲第12号証(別件訴訟における乙第9号証(平成23年7月22日にプランゼージャパン株式会社社員鈴木義貴により作成された報告書)
チ 甲第13号証(別件訴訟における乙第10号証(平成23年7月22日にプランゼージャパン株式会社社員鈴木義貴により作成された報告書)
ツ 甲第14号証(別件訴訟における乙甲第10号証(1998年3月10日にウシオ電機株式会社(本件審判請求人)社員栂崎他により作成されたタンタルワイヤーの購買仕様書)

(3)そして、上記(1)について、具体的には、次のように記載している。
ア USH-102型ランプ(e-1-2-2-1-2)(括弧内は、審判請求書の項目番号。以下、同じ。)
上記別件訴訟における乙第41号証及び乙第42号証に係る型番USH-102D、シリアル番号5010972のランプと、乙第56号証に係る型番USH-102DH、シリアル番号5111439のランプは、使用済みの中古ランプであって、当該ランプにゲッターとして使用されているタンタルワイヤーの不純物濃度が製造時のものであるとは言えないから、これらランプは、本件発明の出願前公然実施を示す証拠とはなり得ない。
本件審判甲第1号証及び第3号証のランプは、いずれも中古品であり、点灯時間についての履歴が不明であるから、タンタル不純物の分析値は当該ランプの新品時の量を示すものではない。また、これらのランプに関するタンタル不純物量の分析値から、当該ランプの新品時のタンタル不純物量を推測することはできない。したがって、これらの資料に基づき、本件発明の新規性を否定することはできない。
別件訴訟被告は、本件審判甲第1号証及び第3号証に係るランプが新品同様である、と主張しているが、これらランプに付されたシリアル番号の先頭の数字「5」が、製造の年次として、1995年を表すものであるとすれば、この種のランプが、20年或いはそれ以上の長い期間にわたって、新品のまま使用されずに、どこかで保管されていた、ということになり、それらが突如として中古品市場に放出された、ということになるが、それは到底、常識的には考えられないことである。本件審判請求人は、別件訴訟被告が本件審判甲第1号証及び第3号証ランプを証拠提出する少し前の時期にUSH-102D型又は同DH型ランプが大量に中国の倒産会社から放出され、中国のインターネット販売サイトに出品された事実を把握している。本件審判甲第1号証及び第3号証に係るランプも、出品の時期からみて、この中国倒産会社からの流出品の一部であると推察される。
敷衍すると、本件審判甲第3号証のUSH102DH型ランプ(シリアル番号5111439)は、出所は明らかではないが、販売にあたっては、中国のサイトではなく、「sekaimon」のインターネット販売サイトに、主として中古品を取扱う業者である「silosurplus」(別件訴訟甲第70号証(本件審判甲第7号証))を出品者として出品されたものであり(本件審判甲第7号証)、別件訴訟被告は、このサイトから購入したものと推察される。当該サイト上の表示によれば、このランプは、2015年4月24日に入札されたことが認められる(本件審判甲第7号証)。注目すべき点は、このサイトでは、当該商品の「コンディション」について、明確に、「中古」と表示されていることである(本件審判甲第7号証)。すなわち、販売者自身が、これらランプは使用済みの中古品であることを認めている。しかも、これらランプは、中国の倒産会社から流出したものであるとの疑いが、強く感じられる。このような事情からみて、本件審判甲第3号証ランプが新品同然である、と推定する根拠は全くない。
本件審判甲第1号証及び第3号証のランプは、そのシリアル番号が正しいものとすると、製造から20年を経過したものである。本件審判甲第1号証及び第3号証のランプを購入して所持していた前所有者が、殆ど点灯使用することなしに、製造から20年もの間、保持していたとは、常識的には考えられないことである。しかも、本件審判甲第3号証のランプがインターネット販売サイトに出品された時期からみて、当該ランプは、中国倒産会社から流出したものではないか、と強く疑われるものである。
本件審判甲第7号証から明らかなように、本件審判甲第3号証のランプには、16963円という低い価格が表示されている。もし、このランプが、被告主張のように新品同然というのであれば、このような低価格がつくのは極めて不自然である。このような事実から、本件審判甲第3号証のランプは勿論、本件審判甲第1号証のランプも、相当長時間にわたって点灯された「中古品」であると考えられ、本件審判甲第1号証及び第3号証のランプにおけるタンタルワイヤは、製造時の状態すなわち新品状態のものではない。

イ タンタルワイヤのタングステン濃度(e-1-2-2-1-2)
本件審判甲第1号証及び第3号証のランプが使用済みの中古品であることは、別件訴訟乙第42号証(本件審判甲第2号証)及び別件訴訟乙第56号証の2(本件審判甲第3号証の2)のタンタルワイヤの成分分析結果からも明らかである。別件訴訟被告は、本件審判甲第1号証及び第3号証のランプについて、電極の状態から新品と評価できる、と主張しているが、ランプが使用済みのものか、新品であるか、を評価する尺度は、電極の状態に限らず、タンタルワイヤの分析結果も考慮することが必要である。すなわち、本件審判甲第2号証及び第3号証の2の成分分析結果をみると、この分析に供されたタンタルワイヤは、タングステン(W)の濃度が、それぞれ実に「1000ppm」、「600ppm」という高い濃度を示している。これに対して、例えばプランゼー社の2006年6月24日付資料「Tantalum-wire"TAS"」(別件訴訟甲第30号証(本件審判甲第8号証)添付資料2の3頁)には、不純物としてのタングステン(W)の濃度が「20ppm」と表示されている。つまり、本件審判甲第1号証及び第3号証のランプにおけるタンタルゲッターは、通常のタンタルワイヤに比べて、異常に高いタングステン濃度を示している。
使用済みのランプにおいて、タンタルから検出されるタングステンの濃度が新品のものに比べて異常に高くなるのは、以下の理由による。すなわち、ランプが点灯されると、電極が高温状態になり、電極のタングステンが蒸発する。そして、蒸発したタングステンは、バルブ内に生じる気流に乗って該バルブ内を漂う状態となる。その後、ランプが消灯されて温度が下がると、タングステンが凝固し、バルブ壁面及び電極の表面に沈着するが、タングステンの一部はタンタルワイヤ上にも沈着することになる。その結果、使用済みランプからタンタルワイヤを取り出して分析すると、この点灯時に蒸発し、消灯時にタンタル上に沈着したタングステンが検出されることになるため、高い濃度のタングステンが検出されることになる。
したがって、本件審判甲第2号証及び第3号証の2の分析結果において、タングステン濃度が新品のタンタルワイヤのものに比べて異常に高い、という事実は、当該ランプが相当長時間にわたり点灯された経歴をもつことを示すものである。

ウ タンタルワイヤのトリウム濃度(e-1-2-2-1-3)
本件審判甲第1号証及び第3号証のランプが使用済みであることを示すもう一つの因子は、本件審判甲第2号証及び第3号証の2に示されたトリウム(Th)の濃度である。本件審判甲第2号証及び第3号証の2によると、このランプのタンタルゲッターからは、それぞれ20ppm、10ppmのトリウム(Th)が検出されている。通常、トリウムは、不純物としてタンタルには含まれていない元素である。このように、タンタルゲッターに不純物として含まれる元素ではないトリウムが検出されたという事実は、本件審判甲第1号証及び第3号証のランプが使用済みの中古品であることを示すものである。
USH-102DH型ランプには、陰極にトリェーテッドタングステンが使用されているが、このトリエーテッドタングステンは、酸化トリウム(Th0_(2))の形態でトリウムを含んでいる。通常、トリェーテッドタングステンに含まれる酸化トリウム(Th0_(2))の量は、1?2重量%である。ランプが点灯され、電極が高温になったとき、酸化物の形態で電極材料に含まれていたトリウムが蒸発し、ランプが消灯されて温度が下がったとき、凝固して、その一部がタンタルゲッター上に沈着する。本件審判甲第2号証及び第3号証の2の分析結果に示される20ppm、10ppmのトリウムは、このようにしてタンタルゲッター上に沈着したものである。
本来、トリウムはタンタルに不純物として含まれる元素ではないから、本件審判甲第2号証及び第3号証の2の分析結果に示される20ppm、10ppmのトリウムは、すべて、ランプの点灯の結果物である、と理解できる。

エ ランプの電極の状態について(e-1-2-2-1-4)
放電ランプの点灯時間は、当該ランプの電極の状態のみによって推定することはできない。
まず、電極間距離について考えると、電極間距離は、ランプバルブを通して測定されるものであるところ、USH-102型ランプのバルブは、曲率半径が非常に小さい曲面を有するものであり(USH-102型ランプの場合、横断面の直径は10mmで、バルブ外面での曲率半径は5mmであり、バルブ壁の厚みは約2mmである)、バルブ外部からの観察においては、このランプバルブの曲面によるレンズ効果を無視することができないから、電極間間隙の測定値は、絶対的な寸法であるとは言えない。
さらに、ランプバルブの曲面によるレンズ効果は、ランプバルブ内における電極間間隙の上下方向位置すなわち電極の軸線方向に見た位置によって影響される。つまり、ランプバルブの曲面の曲率中心から上下方向にずれた距離が大きくなるほど、レンズ効果は大きくなる。USH-102型ランプでは、別件訴訟甲第33号証(本件審判甲第9号証)に示されているように、極間間隙の中心位置は、陽極側口金の端部からの距離が43±1mmとされている。したがって、電極の極間距離の中心位置は、上下に2mmのずれをもって配置されている可能性がある。ランプバルブの外側から測定した極間距離の値は、このような上下方向のずれの影響を受けているものであるから、その値は絶対的なものとして扱うことはできない。
ランプバルブの外側から測定した極間距離の値に影響するもう一つの要因として、バルブ内外面の不規則性がある。ランプバルブの内面及び外面は、理想的に滑らかな曲面ではなく、微細な波うち等の不規財既をもったものとなる。バルブ内面及び外面におけるこのような不規則性もバルブを透過する光の屈折に影響する。そのため、この不規則性が、ランプバルブの外側から測定した極間間隙の値を実際の値とは異なるものとする。
したがって、測定値を相対的な比較の目的で使用する場合には、電極間間隙が変化する傾向の概要を大雑把に示すものとしてある程度の意味を持つであろうが、ランプ点灯時間の推定目的で使用する場合には、その絶対値が必要になるのであって、ランプバルブを通した光学的測定による測定値は、正確ではない。

オ 本件特許出願前に入手可能だったタンタルワイヤーの不純物濃度について(e-1-2-2-1-5)
別件訴訟被告は、本件特許出願前に販売されたタンタルワイヤーの不純物濃度に関する証拠として、別件訴訟乙第9号証(本件審判甲第12号証)を別件訴訟において提出している。本件審判請求人は、この本件審判甲第12号証に示されるタンタルワイヤーの不純物濃度との差異をより一層明確とするために、請求項1において、「鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が30ppm以下である」と訂正するものである。以下、詳述する。
本件審判甲10号証は、本件特許権1の特許出願時である1996年1月前後におけるプランゼー社の製造に係るタンタルワイヤーの不純物である鉄Fe、ニッケルNi、チタンTiの濃度を示す表である。ここで、資料1は、プランゼー社による1992年5月14日プランゼー社により作成されたテストレポート(本件審判甲第11号証)、資料2は、別件訴訟乙第9号証(本件審判甲第12号証)に含まれる1992年のプランゼー社の資料、資料3は、別件訴訟乙第10号証(本件審判甲第13号証)に含まれるプランゼー社の1996年資料、資料4は、本件審判請求人が日本プランゼー株式会社より購入するタンタルワイヤーについての、1998年3月10日作成の「購買仕様書」(本件審判甲第14号証)である。資料1は、プランゼー社によるタンタルワイヤーの純度について、
「Guaranteed chemical analysis」として示される「保証値」のみを記載している。資料2及び資料3では、「保証値(「Guaranteed analyses」、「Guaranteed analysis」)の他に「典型値(「Typical analyses」、「Typical analysis」)」も示されている。資料4では、「保証値」の他に「実力値」が示されている。
本件審判甲第10号証の表に見られるように、資料1から資料4までのいずれにおいても、プランゼー社製タンタルワイヤーにおけるFe、Ni、Tiの3種合計不純物濃度は、「保証値」として110ppmのものであり、本件訂正発明に規定する不純物濃度(3種不純物濃度合計値が30ppm以下)に比べて非常に高い不純物濃度のものである。
更に、本件審判甲第10号証の表から分かるように、資料1から資料4までの資料に示されたプランゼー社製タンタルワイヤーは、その典型値又は実力値でさえも、本件訂正発明に規定する不純物濃度(3種不純物濃度合計値が30ppm以下)より、遥かに高い不純物濃度のものである。
したがって、本件訂正発明に規定する不純物濃度の要件を満たすタンタルワイヤーは、本件特許出願時にプランゼー社からは入手することができなかったのであり、本件審判甲第12号証に示されるようなタンタルワイヤーを、本件審判甲第1号証又は第3号証のランプに適用しても、本件訂正発明とはならない。

(4)当審の判断
ア まず、甲1及び甲3の2に係るショートアーク放電ランプについて検討する。
甲1は公正証書の謄本であって、株式会社ユメックスが保管していたショートアーク放電ランプ(ウシオ電機株式会社製 USH-102D No.5010972)の、肩間等の寸法の測定結果、及び、陽極の段落とし部に2回巻かれたコイル状の金属の分析を、株式会社東レリサーチセンターに依頼したことが記載されていると認められる。
そして、甲2は株式会社東レリサーチセンター無機分析化学第2研究室長の結果報告書であって、上記コイル状の金属(以下、「タンタルワイヤー」ともいう。)の定性定量分析結果が記載されていると認められる。
また、甲3の1は株式会社ユメックス技術部前中志郎作成の報告書であって、ショートアーク放電ランプ(ウシオ電機株式会社製 USH-102DH No.5111439)の肩間等の寸法の測定結果、及び、該ショートアーク放電ランプから取り出されたタンタルワイヤーの分析を、株式会社東レリサーチセンターに依頼したことが記載されていると認められる。
そして、甲3の2は株式会社東レリサーチセンター無機分析化学第2研究室長の結果報告書であって、上記タンタルワイヤーの定性定量分析結果が記載されていると認められる。

しかしながら、上記甲1?甲3の2には、株式会社東レリサーチセンターに分析を依頼した時点での、甲1及び甲3の1に係るショートアーク放電ランプの点灯時間がどの程度であったかを特定する記載はない。

また、工場出荷前の検査工程において、ショートアーク放電ランプを実際に点灯して検査されることがあることを考慮すると、ショートアーク放電ランプに点灯した形跡があることが、直ちに、そのショートアーク放電ランプが相当長時間にわたり点灯されたことを意味するものではない。
そして、ショートアーク放電ランプのタンタルワイヤについて、タングステンの濃度が高く、しかも、トリウム(Th)を含むことは、そのショートアーク放電ランプが点灯した経歴を有することを示すとしても、点灯した時間までも明らかにするものではなく、そのショートアーク放電ランプが新品であるか、相当長時間にわたり点灯されたものであるかを、必ずしも明らかに示すものではない。

また、甲4の1には、ウシオ電機株式会社製のショートアーク放電ランプ、USH-102D及びUSH-102DHの平均寿命が200時間と記載されていると認められるところ、終日、連続点灯するなど、その点灯状況によっては、頻繁に、ショートアーク放電ランプを交換する必要が生じるものであるから、一定量の新品のショートアーク放電ランプを保管しておくことは不自然ではない。そして、点灯しなければ、交換する必要が生じないのであるから、一定量保管しておいた新品のショートアーク放電ランプが、使わずにどこかで保管されていた、ということも不自然ではない。さらに、長期間経過し、そのショートアーク放電ランプを使用した機器の更改によって、そのショートアーク放電ランプが使えなくなることも十分起こりえることであるから、20年或いはそれ以上の長い期間にわたって、使用されずに保管されていた新品のショートアーク放電ランプが、突如として中古品市場に放出されることもあり得ないことではない。

そして、甲3の1に係るショートアーク放電ランプが、仮に、甲7の1及び甲7の2に示されたインターネット販売サイトから購入されたものだとしても、20年前のものであるから、商品価値は低下することは起こりえることであり、16963円という価格が、新品に対する価格として著しく低いものとは認めることができない。

また、請求人は、ショートアーク放電ランプの電極間間隙と点灯時間との関係を明らかにしていない。

一方、甲1及び甲3の1に係るショートアーク放電ランプが、新品であると認めるに足る資料も提出されていない。

以上のことから、甲1及び甲3の1に係るショートアーク放電ランプは、株式会社東レリサーチセンターに分析を依頼した時点で、請求人が主張するように相当長時間にわたり点灯された中古品であるとも、新品であるとも、請求人の主張及び資料からは、明らかにすることはできない。

そうすると、甲1及び甲3の1に係るショートアーク放電ランプが新品であったことは必ずしも明らかではないのであるから、甲2び甲3の2の分析結果は、本件特許の特許出願前に公然実施されたショートアーク放電ランプの分析結果を必ずしも示すものではない。すなわち、訂正後の請求項1及び3に係る発明は、特許法第29条第1項第2号に規定する公然実施された発明に該当するものとはいえない。そのため、特許法第29条第2項の規定により、公然実施された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるということもできない。

なお、請求人は、甲11?甲14に記載されたタンタルワイヤーが、甲1及び甲3の1に係るショートアーク放電ランプに用いられたタンタルワイヤーであることは示しておらず、上記判断は左右されない。

イ また、甲5にはショートアーク型放電灯について記載され、甲6にはショートアーク型高圧水銀ランプについて記載されているものの、ゲッターの鉄、ニッケル及びチタンといった不純物の重量濃度については記載も示唆もない。
そして、本件特許の特許出願時において、訂正後の請求項1及び3に係る発明の発明特定事項である、「ゲッターは、含有される鉄、ニッケル及びチタンの重量濃度の合計を30ppm以下」とすることは、当業者にとって周知であるとは認めることができないことから、訂正後の請求項1及び3に係る発明は、甲5及び甲6に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

ウ そして、訂正後の請求項1及び3に係る発明について、他に、特許出願の際独立して特許を受けることができない、という理由は発見しない。

エ 以上のことから、訂正後の請求項1及び3に係る発明について、特許出願の際独立して特許を受けることができない、とすることはできない。

第5 むすび
したがって、本件審判の請求に係る訂正事項1?13は、特許法第126条第1項ただし書第1、3又は4号に掲げる事項を目的とするものであって、かつ、同条第5?7項の規定に適合する。
よって、結論のとおり審決する。
 
発明の名称 (54)【発明の名称】
放電ランプ
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】 フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプであって、
ガラス製の封体と、この封体内に配置された、電極体と前記電極体を支持する棒状の支持ロッド部とを含む、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極と、前記封体内において前記支持ロッド部の周りに配置されたゲッターとを有してなり、
ゲッターは、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が30ppm以下であるタンタル材料よりなることを特徴とするフォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプ。
【請求項2】 (削除)
【請求項3】 フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプであって、
ガラス製の封体と、この封体内に配置された、電極体と前記電極体を支持する棒状の支持ロッド部とを含む、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極と、前記封体内において前記支持ロッド部の周りに配置されたゲッターとを有してなり、
ゲッターは、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が30ppm以下であるタンタル材料よりなり、
ゲッターを構成するタンタル材料が、これに含有される鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下であることを特徴とするフォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプ、特にゲッターを有する、フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体露光装置や液晶表示素子露光装置などの製造プロセスにおいては微小画像露光のためにフォトリソグラフィー法が利用されているが、フォトリソグラフィー法においては、光源として例えばショートアーク型の放電ランプが使用される。
【0003】
フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク型放電ランプは、ガラス製の封体内に陽極と陰極とが互いに対向するよう配置され、水銀などの必要な放電発光物質が封入されてなり、主として紫外線を放射するものである。また、放電ランプにおいては、封体内における不純ガスなどを吸着させるために、例えばタンタル材料よりなるゲッターが設けられる場合がある。
【0004】
或る種のショートアーク型放電ランプにおける使用寿命、すなわち有効点灯時間は例えば750時間程度である。然るに最近においては、特に使用寿命の長い放電ランプが求められており、具体的には、例えば1500時間以上もの長い使用寿命を有するものが要求されている。
【0005】
一般に放電ランプの使用寿命は、その定格点灯条件下で点灯されたときに、所期の放射照度が維持される時間によって決定される。そこで、放電ランプが使用寿命に至る原因について本発明者らが研究したところ、点灯中に封体が破損するなどの事故による場合を除くと、多くの放電ランプでは、ガラス製の封体の内壁面が黒化する黒化現象が生ずることが原因となって所期の放射照度が維持されなくなることが判明した。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような知見に基づき、更に黒化現象の原因に関する研究を重ねた結果、完成されたものである。本発明の目的は、長時間にわたる使用においても封体に黒化現象が生ずることが有効に抑制され、長い使用寿命を有する、フォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明のショートアーク放電ランプは、フォトリソグラフィー法に用いられるものであって、ガラス製の封体と、この封体内に配置された、電極体と前記電極体を支持する棒状の支持ロッド部とを含む、点灯状態において1000℃以上の温度となる電極と、前記封体内において前記支持ロッド部の周りに配置されたゲッターとを有してなり、ゲッターは、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が30ppm以下であるタンタル材料よりなることを特徴とする。
【0008】
ゲッターを構成するタンタル材料は、含有される鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下であることが好ましい。
【0009】
本発明の放電ランプにおいては、ゲッターとして上記のような特定のタンタル材料よりなるものを用いることにより、黒化現象を生ずる主たる原因物質である鉄、ニッケルおよびチタンの含有濃度が小さいため、当該放電ランプの点灯に伴ってゲッターから蒸発する鉄、ニッケルおよびチタンの絶対量が少なく、黒化現象の生ずる速度が著しく小さいので、長い使用寿命が得られる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の放電ランプについて詳細に説明する。図1はフォトリソグラフィー法のための光源として用いられるショートアーク型放電ランプ10の構成の一例を示す説明図である。この放電ランプ10は、中央バルブ部分11と、このバルブ部分11から両側に直線状に伸びるステム部分12,13とよりなるガラス製の封体14を具えてなり、バルブ部分11内において陽極15と陰極16とが互いに対向するよう配置されており、これらは、その基部が封体14のステム部分12,13によって支持されている。
【0011】
封体14のステム部分12,13の外端部にはそれぞれ口金17,18が設けられており、陽極15は、ステム部分12内に配置された金属箔19を介して、口金17から外方に伸びて先端に圧着端子20を有するリード線21に電気的に接続されており、一方陰極16は、ステム部分13内に配置された金属箔23を介して、口金18から外方に伸びる端子24に電気的に接続されている。25,26は金属蒸着膜よりなる反射膜であり、27は排気管残部である。
【0012】
放電ランプ10の封体14内には、そのバルブ部分11内に位置されるよう、ゲッターが設けられている。具体的に説明すると、図2に示すように、陽極15は、円錐台状の先頭部を有する円柱状の電極体30と、この電極体30の基部から伸びる棒状の支持ロッド部31とよりなり、支持ロッド部31の外端側にはシールのために小径ロッド部分32が形成されており、この小径ロッド部分32の外周面上に金属箔19の一端が接続される。
【0013】
そして、支持ロッド部31の電極体30に隣接する部位に小径の頸部33が形成されており、この頸部33の外周上に、タンタル材料よりなるワイア状ゲッター35が巻き付けられて配置されている。
【0014】
このゲッター35は、実質上、金属タンタルからなるものであって、かつ含有される鉄、ニッケルおよびチタン重量濃度の合計が50ppm以下、好ましくは30ppm以下の高純度タンタル材料よりなるものである。そして、鉄の重量濃度が10ppm以下、ニッケルの重量濃度が10ppm以下、かつチタンの重量濃度が10ppm以下のタンタル材料よりなることが好ましい。
【0015】
一般に、金属タンタルは原料鉱石を精錬することによって得られるが、通常入手されるタンタル材料は、特別の純化処理あるいは精製処理を施さない限り、炭素、水素、窒素および酸素などの非金属成分、並びに、鉄、モリブデン、ニッケル、ニオブ、チタンおよびタングステンなどの他金属成分をいわば不純物または微量成分として含有するものである。そして、他金属成分のうち、鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計は、通常のタンタル材料では、200ppm以上であるのが普通である。
【0016】
従って、本発明におけるゲッター35のためのタンタル材料としては、通常入手される金属タンタルを原料として、これに例えば精錬操作を繰り返し行うなどの純化処理を施すことにより、鉄、ニッケルおよびチタンの3種の金属成分について、その重量濃度の合計が50ppm以下、好ましくは30ppm以下となるよう、更に好ましくは当該3種の金属成分の重量濃度を各々10ppm以下となるように低下させたものを用いればよい。
【0017】
原料の金属タンタルの純化処理のためには、通常のタンタルの精錬手段を利用することができ、これによれば、鉄、ニッケルおよびチタン以外の金属成分の濃度も低下するが、これによってゲッター作用が低下することはない。また、純化処理は、鉄、ニッケルおよびチタンのうちのいずれか1種または2種の金属成分を対象としてその濃度を低下させるものであってもよい。
【0018】
本発明において、放電ランプ10の定格消費電力などの定格仕様は、点灯された状態において陽極15の電極体30の最高温度部位、具体的には先端の温度が1000℃以上となるように設定される。このような条件においては、バルブ部分11内に封入された水銀などの放電発光物質による光の放射が十分となり、目的とする放射照度を確実に実現することができる。
【0019】
上記の構成による放電ランプ10においては、タンタル材料よりなるゲッター35が、鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が50ppm以下であることにより、後述する実施例の説明からも明らかなように、封体14のバルブ部分11において黒化現象が生ずることが有効に抑制され、その結果、長い使用寿命が得られる。
【0020】
すなわち、本発明の放電ランプ10において、ゲッター35を構成するタンタル材料は、バルブ部分11内において、放電現象によって陽極15が高温となることによって加熱されて活性化され、金属タンタルに固有の作用によってバルブ部分11内空間に存在する水素、酸素、水などの分子または原子を吸着してそれらの濃度を低く維持し、それにより当該放電ランプ10の本来的な放電現象の持続に寄与するゲッター作用を有効に発揮するのであるが、タンタル材料中に含有される鉄、ニッケルおよびチタンの量が多い場合には、ゲッター自体が高温となることによってそれらの金属成分が多量に蒸発し、これがバルブ部分11の管壁の内面に付着する結果、早期に黒化現象が生ずるようになる。
【0021】
然るに、本発明のように、ゲッター35を構成するタンタル材料として、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が50ppm以下のものを用いることにより、それらが蒸発するとしてもその絶対量が少ないため、実際上、長い時間にわたって封体に黒化現象の発生が認められず、その結果、長時間にわたって所期の放射照度が維持され、結局、長い使用寿命の放電ランプを得ることができる。
【0022】
タンタル材料における鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が50ppm以下であれば、黒化現象の発生が顕著に抑制されるが、この値が50ppmを超える場合には、点灯条件によっては早期に黒化現象が生ずるおそれがある。また、十分に長い使用寿命を有する放電ランプを確実に得るためには、ゲッターを構成するタンタル材料における上記の3種の金属成分の重量濃度の合計が30ppm以下であることが好ましく、特にそれらの3種の金属成分の重量濃度がいずれも10ppm以下であることが望ましい。
【0023】
また、本発明の効果は、点灯状態において、陽極の電極体の温度が1000℃以上となるフォトリソグラフィー法に用いられるショートアーク放電ランプであれば、有効に得ることができる。すなわち、そのような放電ランプにおいては、タンタル材料よりなるゲッターからの鉄、ニッケルおよびチタンよりなる微量成分の蒸発が顕著となり、早期に黒化現象が生ずる原因となるからである。
【0024】
また、鉄、ニッケルおよびチタン以外の他金属成分、例えばモリブデン、タングステン、ニオブなどは高温においてもそれ自体の蒸気圧が低いので、早期の黒化現象の原因となるものではない。同様に、炭素、水素、窒素、酸素などの非金属元素も早期の黒化現象の原因となるものではない。
【0025】
なお、点灯状態において陽極の温度が1000℃に達しない放電ランプにおいては、ゲッターを構成するタンタル材料が鉄、ニッケルおよびチタンを多量に含有するものであっても、温度が低いためにそれらの金属が蒸発する量が少ないため、一般にタンタル材料におけるそれらの含有濃度の割合によって黒化現象の程度が変わるものではない。
【0026】
以上、本発明の放電ランプの実施の形態について説明したが、本発明においては、上記の実施の形態に限られず、種々の変更を加えることができる。具体的には、本発明においては、ゲッターを構成するタンタル材料が、鉄、ニッケルおよびチタンの3種の金属成分の重量濃度の合計が50ppm以下であるという条件のみによって確実に黒化現象の原因を抑制することができるので、ゲッターそれ自体の形態、配置個所、支持の態様などは制限されるものではない。ただし、ゲッターがあまり高温に加熱される個所に配置されることは好ましくない。
【0027】
【実施例】
以下、本発明の放電ランプの実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0028】
実施例1
図1に示された構成に従って、下記の仕様による本発明のショートアーク型放電ランプを作製した。
定格電流 21.3A
定格電圧 47V
定格消費電力 1.0kW
陽極の材質 タングステン
陰極の材質 トリエーテッドタングステン
電極間距離 3mm
点灯時の陽極の温度 2300℃(先端部位)
ゲッターとしては、表1に示されている不純物濃度を有するタンタル材料Aよりなり、直径0.5mm、全長50mmのワイア(重量0.17mg)を用いた。
【0029】
対照例
ゲッターとして、タンタル材料Bよりなるものを用いたこと以外は実施例1と全く同様にして、対照用の放電ランプを作製した。
【0030】
タンタル材料Aおよびタンタル材料Bの不純物成分濃度は表1に示すとおりである。なお、表1において「三者合計」とは鉄、ニッケルおよびチタンの合計を示す。
【0031】
【表1】

【0032】
実験例
実施例1および対照例で作製された放電ランプを、定格条件に従って連続的に2000時間にわたって点灯させ、点灯時間の経過による放射照度の変化を測定したところ、図3に示す結果が得られた。この図において、曲線Aが実施例1の放電ランプの結果を示し、曲線Bが対照例の放電ランプの結果を示す。なお、放射照度は、初期値を100としたときの相対値(%)で示されている。
【0033】
この図3の曲線Aの結果から、実施例1の放電ランプによれば、封体の黒化現象の発生の程度が非常に小さいために、点灯時間が2000時間に達した時点においてもなお93%以上の放射照度が維持されており、2000時間以上もの長い使用寿命が得られる。一方、対照例の放電ランプによれば、曲線Bで示されているように、約800時間程度の点灯時間が経過した時点で放射照度が92%より小さくなっており、早期に黒化現象が生じて使用寿命が短いことが理解される。以上のことから、本発明の放電ランプによれば、約2倍以上の長い使用寿命が得られることが明らかである。
【0034】
また、実験が終了した後の各放電ランプについて、封体のバルブ部分における黒化現象が生じている個所の内面の付着物質を採取して元素分析したところ、対照例の放電ランプでは、鉄、ニッケルおよびチタンの含有割合の合計が70重量%以上であったが、実施例1の放電ランプでは鉄、ニッケルおよびチタンの含有割合の合計が40重量%以下であった。このことより、鉄、ニッケルおよびチタンが黒化現象の生ずる主原因であってモリブデン、ニオブおよびタングステンは黒化現象の発生における影響が小さいものであることが理解されるが、その理由は、モリブデン、ニオブおよびタングステンは蒸気圧が著しく低いものだからであると考えられる。
【0035】
以上のことより、対照例の放電ランプでは、ゲッターを構成するタンタル材料Bから多量の鉄、ニッケルおよびチタンが蒸発して封体のバルブ部分に付着するために早期に黒化現象が生ずること、並びに実施例1の放電ランプでは、それら三者の蒸発量が少ないために、黒化現象の発生が遅く、非常に長い使用寿命が得られることが理解される。
【0036】
【発明の効果】
本発明の放電ランプによれば、ゲッターとして、含有される鉄、ニッケルおよびチタンの重量濃度の合計が特定の割合以下であるタンタル材料を用いることにより、黒化現象が生ずる速度がきわめて小さく、その結果、長時間にわたる使用においても封体に黒化現象が生ずることが有効に抑制され、長い使用寿命が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ショートアーク型放電ランプの一例における構成を示す説明図である。
【図2】ゲッターが配置された状態の陽極を示す説明図である。
【図3】本発明の実施例に係る放電ランプと対照例に係る放電ランプについて、連続点灯実験を行った場合の放射照度維持特性を示す曲線図である。
【符号の説明】
10 ショートアーク型放電ランプ
11 バルブ部分
12,13 ステム部分
14 封体
15 陽極
16 陰極
17,18 口金
19,23 金属箔
20 圧着端子
21 リード線
24 端子
25,26 反射膜
27 排気管残部
30 電極体
31 支持ロッド部
32 小径ロッド部分
33 頸部
35 ゲッター
 
訂正の要旨 審決(決定)の【理由】欄参照。
審理終結日 2016-02-04 
結審通知日 2016-02-08 
審決日 2016-02-23 
出願番号 特願平8-14746
審決分類 P 1 41・ 856- Y (H01J)
P 1 41・ 853- Y (H01J)
P 1 41・ 851- Y (H01J)
最終処分 成立  
前審関与審査官 大森 伸一  
特許庁審判長 森林 克郎
特許庁審判官 伊藤 昌哉
川端 修
登録日 2001-02-09 
登録番号 特許第3156578号(P3156578)
発明の名称 放電ランプ  
代理人 谷口 信行  
代理人 岸 慶憲  
代理人 松野 仁彦  
代理人 松尾 和子  
代理人 大塚 文昭  
代理人 松野 仁彦  
代理人 松尾 和子  
代理人 岸 慶憲  
代理人 大塚 文昭  
代理人 谷口 信行  
  • この表をプリントする

プライバシーポリシー   セキュリティーポリシー   運営会社概要   サービスに関しての問い合わせ