• ポートフォリオ機能


ポートフォリオを新規に作成して保存
既存のポートフォリオに追加保存

  • この表をプリントする
PDF PDFをダウンロード
審決分類 審判 判定 同一 属さない(申立て成立) G01B
管理番号 1330150
判定請求番号 判定2017-600007  
総通号数 212 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許判定公報 
発行日 2017-08-25 
種別 判定 
判定請求日 2017-01-19 
確定日 2017-07-21 
事件の表示 上記当事者間の特許第4663724号の判定請求事件について、次のとおり判定する。 
結論 イ号図面及びその説明書に示す「エッジ・裏面欠陥検査複合機」は、特許第4663724号発明の技術的範囲に属しない。 
理由 1 請求の趣旨及び手続の経緯
本件判定の請求の趣旨は、イ号図面およびその説明書に示すエッジ・裏面欠陥検査複合機は、特許第4663724号発明の技術的範囲に属しない、との判定を求めるものである。

また、本件に係る手続の経緯は、以下のとおりである。
平成17年 8月10日 本件特許に係る特許出願
平成22年12月 1日 特許査定
平成23年 1月14日 本件特許登録
平成29年 1月19日 本件判定請求
平成29年 2月28日 請求書副本

2 本件特許発明
本件特許発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項1に記載されたとおりのものであり(以下、この発明を「本件特許発明」という。)、その構成要件を符号を付けて分説して記載すると次のとおりである(以下、各構成要件を「構成要件1A」などという。)。

(請求項1)
「1A:内側に鏡面を有する楕円鏡と、
1B:該楕円鏡の第1焦点位置近傍に配置された被検査物の端部に向けてコヒーレント光を照射する発光部と、
1C:前記楕円鏡の第2焦点位置に配置され、照射された前記コヒーレント光によって、前記被検査物の前記端部及び前記楕円鏡に反射して前記第2焦点位置に到達する回折光を検出可能な光検出部と、
1D:前記回折光の内、正反射された低次元の回折光を遮光する遮光手段と、
1E:前記被検査物を保持し、前記端部を前記第1焦点位置上で周方向に移動可能である保持部とを備えた
1F:端部傷検査装置であって、
1G:前記発光部は、異なる波長の前記コヒーレント光を照射することが可能であることを特徴とする端部傷検査装置。」

3 イ号装置
(1)判定請求書6(5)においては、イ号装置を、本件特許発明の分説に合わせ、次のように記載している。
「(5-1)エッジ検査ユニット23に設けた外周部端面検査部71において、内側2aに鏡面2bを有する楕円鏡2を備えており、
(5-2)該楕円鏡2の第1焦点位置F1近傍に配置した被検査物としてのウェーハ3の端部3aに向けてレーザー光LBを照射する発光部4を備え、
(5-3)楕円鏡2の第2焦点位置F2に配置され、照射されたレーザー光LBによって、被検査物としてのウェーハ3の端部3a及び楕円鏡2で反射されて第2焦点位置F2に到達する回折光Dを検出可能な光検出器5を備え、
(5-4)回折光Dのうち、正反射された低次の回折光D1を遮光する遮光手段としての遮光シート7を備え、
(5-5)被検査物としてのウェーハ3を保持し、端部3aを第1焦点位置F1上で周方向に移動させることができる保持部6を備え、
(5-6)端部傷検査装置としての外周部端面検査部71を備え、
(5-7)発光部4は、単一波長のレーザー光LBを端部3aに照射する。」

ここで、判定請求書6(4)によれば、イ号図面及び説明書は、エッジ・裏面欠陥検査複合機についてである旨、記載している。
そして、イ号図面図1(A)、(B)によれば、エッジ・裏面欠陥検査複合機100は、エッジ検査ユニット23を含み、エッジ検査ユニット23は、外周部端面検査部71を含み、イ号図面図2(A)(B)に、外周部端面検査部71の具体的な構成である、楕円鏡2(上記(5-1))、発光部4(上記(5-2))、光検出器5(上記(5-3))、遮光シート7(上記(5-4))、保持部6(上記(5-5))が記載されている。

したがって、楕円鏡2(上記(5-1))、発光部4(上記(5-2))、光検出器5(上記(5-3))、遮光シート7(上記(5-4))、保持部6(上記(5-5))の構成は、外周部端面検査部71に備えられると共に、エッジ・裏面欠陥検査複合機100は、上記外周部端面検査部71を含むものであるということができる。

以上を踏まえ、上記(5-1)ないし上記(5-7)の構成を整理すると、イ号装置の構成は、次のとおりの「エッジ・裏面欠陥検査複合機」であると認める(なお、項番号の表記をaないしgに振り替えた。)。

「a エッジ検査ユニット23に設けた外周部端面検査部71において、内側2aに鏡面2bを有する楕円鏡2を備え、
b 該楕円鏡2の第1焦点位置F1近傍に配置した被検査物としてのウェーハ3の端部3aに向けてレーザー光LBを照射する発光部4を備え、
c 楕円鏡2の第2焦点位置F2に配置され、照射されたレーザー光LBによって、被検査物としてのウェーハ3の端部3a及び楕円鏡2で反射されて第2焦点位置F2に到達する回折光Dを検出可能な光検出器5を備え、
d 回折光Dのうち、正反射された低次の回折光D1を遮光する遮光手段としての遮光シート7を備え、
e 被検査物としてのウェーハ3を保持し、端部3aを第1焦点位置F1上で周方向に移動させることができる保持部6を備えた
f 外周部端面検査部71であって、
g 発光部4は、単一波長のレーザー光LBを端部3aに照射する、
エッジ・裏面欠陥検査複合機。」

なお、請求人は、判定請求書(6(1)、6(4))において、イ号図面及び説明書で示すものは、エッジ・裏面欠陥検査複合機(型番NSS-300EB)である旨、記載しているが、請求人が提出した、エッジ・裏面欠陥検査複合機NSS-300EBの見積仕様書(甲第2号証)をみても、エッジの欠陥を検査するための具体的な構成、例えば、楕円鏡、遮光シート、発光部、光検出器の配置関係等を見て取れないから、イ号装置は、イ号図面及び説明書に基づいて上記のとおり認定した。

4 イ号装置が本件特許発明の各構成要件を充足するか否かについて
(1)請求人の主張
請求人は、イ号構成aないしfは、それぞれ、本件特許発明の構成要件1Aないし1Fを充足するが、イ号構成gは、本件特許発明の構成要件1Gを充足しないから、イ号装置は本件特許発明の技術的範囲に属しない旨、主張する。

(2)被請求人の主張
当審から被請求人に対し、本件判定請求書副本を送付するとともに、答弁があれば答弁書を提出するように求めたが、答弁書の提出はなされなかった。

(3)本件特許発明とイ号装置との対比

ア イ号構成aの「内側2aに鏡面2bを有する楕円鏡2」は、構成要件1Aの「内側に鏡面を有する楕円鏡」に相当するから、構成要件1Aの「内側に鏡面を有する楕円鏡」を充足する。

イ イ号構成bの「被検査物としてのウェーハ3の端部3a」は、構成要件1Bの「被検査物の端部」に相当する。一方、レーザ光はコヒーレント光であるということができるから、イ号構成bの「レーザー光LBを照射する発光部4」は、構成要件1Bの「コヒーレント光を照射する発光部」に相当する。
したがって、イ号構成bの「該楕円鏡2の第1焦点位置F1近傍に配置した被検査物としてのウェーハ3の端部3aに向けてレーザー光LBを照射する発光部4」は、構成要件1Bの「該楕円鏡の第1焦点位置近傍に配置された被検査物の端部に向けてコヒーレント光を照射する発光部」を充足する。

ウ イ号構成cの「楕円鏡2の第2焦点位置F2に配置され、照射されたレーザー光LBによって、被検査物としてのウェーハ3の端部3a及び楕円鏡2で反射されて第2焦点位置F2に到達する回折光Dを検出可能な光検出器5」は、構成要件1Cの「前記楕円鏡の第2焦点位置に配置され、照射された前記コヒーレント光によって、前記被検査物の前記端部及び前記楕円鏡に反射して前記第2焦点位置に到達する回折光を検出可能な光検出部」を充足する。

エ イ号構成dの「回折光Dのうち、正反射された低次の回折光D1を遮光する遮光手段としての遮光シート7を備え」ることは、構成要件1Dの「前記回折光の内、正反射された低次元の回折光を遮光する遮光手段」を備えることを充足する。

オ イ号構成eの「被検査物としてのウェーハ3を保持し、端部3aを第1焦点位置F1上で周方向に移動させることができる保持部6」は、構成要件1Eの「前記被検査物を保持し、前記端部を前記第1焦点位置上で周方向に移動可能である保持部」を充足する。

カ イ号構成fの「外周部端面検査部71」は、その機能、作用からみて、傷を検査する装置部分と捉えることができるから、構成要件1Fの「端部傷検査装置」を充足する。

したがって、イ号装置のイ号構成aないしfは、本件特許発明の構成要件1Aないし1Fを充足している。
よって、イ号装置が、構成要件1Gを充足するか否かについて、以下、検討する。

(4)構成要件1Gについて
ア 構成要件1Gについての検討
構成要件1Gは、「前記発光部は、異なる波長の前記コヒーレント光を照射することが可能である」ものであり、イ号構成gは、「発光部4は、単一波長のレーザー光LBを端部3aに照射する」ものである。ここで、イ号構成gの「発光部4」は、構成要件1Gの「発光部」に対応するものであってコヒーレント光であるものの、その波長は単一であって、「異なる波長の前記コヒーレント光」(構成要件1G)ではない。
したがって、イ号構成gは、構成要件1Gを充足するものではない。

イ 構成要件1Gについての均等論の適用について

(ア)均等なものとして、特許発明の技術的範囲に属するための条件は、最高裁判所により以下のとおり判示されている(最高裁平成6年(オ)第1083号判決(平成10年2月24日判決言渡、民集52巻1号113頁)。
「特許請求の範囲に記載された構成中に対象製品等と異なる部分が存する場合であっても、(1)上記部分が特許発明の本質的部分ではなく、(2)上記部分を対象製品等におけるものと置き換えても、特許発明の目的を達することができ、同一の作用効果を奏するものであって、(3)上記のように置き換えることに、当業者が、対象製品等の製造等の時点において容易に想到することができたものであり、(4)対象製品等が、特許発明の特許出願時における公知技術と同一又は当業者がこれから上記出願時に容易に推考できたものではなく、かつ、(5)対象製品等が特許発明の特許出願手続において特許請求の範囲から意識的に除外されたものに当たるなどの特段の事情もないときは、上記対象製品等は、特許請求の範囲に記載された構成と均等なものとして、特許発明の技術的範囲に属する。」

(イ)均等の要件(1)について

本件特許発明の構成要件1Gは、イ号構成gの「発光部4は、単一波長のレーザー光LBを端部3aに照射する」構成と異なる部分であって、本件特許発明の構成要件1Gは、「1G:前記発光部は、異なる波長の前記コヒーレント光を照射することが可能である」というものである。

そして、本件特許発明の「発光部」について本件特許明細書には、次のように記載されている。

「【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、被検査物の端部に生じた傷の大小、種類などの詳細について検出することが可能な端部傷検査装置を提案する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明は、内側に鏡面を有する楕円鏡と、該楕円鏡の第1焦点位置近傍に配置された被検査物の端部に向けてコヒーレント光を照射する発光部と、前記楕円鏡の第2焦点位置に配置され、照射された前記コヒーレント光によって、前記被検査物の前記端部及び前記楕円鏡に反射して前記第2焦点位置に到達する回折光を検出可能な光検出部と、前記回折光の内、正反射された低次元の回折光を遮光する遮光手段と、前記被検査物を保持し、前記端部を前記第1焦点位置上で周方向に移動可能である保持部とを備えた端部傷検査装置であって、前記発光部は、異なる波長の前記コヒーレント光を照射することが可能であることを特徴とする。
【0006】
この発明に係る端部傷検査装置によれば、異なる様々な波長のコヒーレント光を照射させて回折光の強度を光検出部で検出することで、微細な傷の検出や波長の長いコヒーレント光では吸収が大きく検出できなかった傷あるいは特定の波長のコヒーレント光でのみ乱反射する傷の検出が可能となる。」

「【産業上の利用可能性】
【0020】
異なる波長のコヒーレント光によって、微細な傷や波長の長いコヒーレント光では吸収が大きく検出できなかった傷あるいは特定の波長のコヒーレント光でのみ乱反射する傷の検出が可能となり、傷の大小、種類を特定し、詳細な端部傷検査を実現可能とする。」

上記記載から、構成要件1Gの「前記発光部は、異なる波長の前記コヒーレント光を照射することが可能である」ことについては、「被検査物の端部に生じた傷の大小、種類などの詳細について検出すること」を可能とするため(【0004】)、「前記発光部は、異なる波長の前記コヒーレント光を照射する」ものであって(【0005】)、これにより、「異なる様々な波長のコヒーレント光を照射させて回折光の強度を光検出部で検出することで、微細な傷の検出や波長の長いコヒーレント光では吸収が大きく検出できなかった傷あるいは特定の波長のコヒーレント光でのみ乱反射する傷の検出」を可能とする(【0006】、【産業上の利用可能性】)という、作用効果を奏するものであるということができ、このような本件作用効果に照らすと、構成要件1Gは、本件特許発明の特徴的な部分であって、本質的部分であるということができる。
したがって、上記均等の要件(1)を満たしていない。

よって、本件特許発明の構成要件1Gとイ号構成gは、均等の要件のうち、少なくとも「要件(1)」を満たさないから、イ号装置と本件特許発明は均等なものとはいえない。

5 まとめ
以上のとおり、イ号構成gは、本件特許発明の構成要件1Gを充足しておらず、また、イ号装置と本件特許発明は均等なものともいえないから、イ号装置は、本件特許発明の技術的範囲に属するものとはいえない。

6 むすび
したがって、イ号装置は、本件特許発明の技術的範囲に属しない。
よって、結論のとおり判定する。
 
判定日 2017-07-13 
出願番号 特願2007-529437(P2007-529437)
審決分類 P 1 2・ 1- ZA (G01B)
最終処分 成立  
前審関与審査官 岡田 卓弥  
特許庁審判長 清水 稔
特許庁審判官 酒井 伸芳
関根 洋之
登録日 2011-01-14 
登録番号 特許第4663724号(P4663724)
発明の名称 端部傷検査装置  
代理人 猪狩 充  
代理人 吉田 裕美  
代理人 山川 啓  
代理人 福田 充広  
  • この表をプリントする

プライバシーポリシー   セキュリティーポリシー   運営会社概要   サービスに関しての問い合わせ