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審決分類 審判 全部申し立て 2項進歩性  C09J
審判 全部申し立て 1項3号刊行物記載  C09J
審判 全部申し立て 特36条6項1、2号及び3号 請求の範囲の記載不備  C09J
管理番号 1372721
異議申立番号 異議2020-700210  
総通号数 257 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許決定公報 
発行日 2021-05-28 
種別 異議の決定 
異議申立日 2020-03-25 
確定日 2021-03-11 
異議申立件数
訂正明細書 有 
事件の表示 特許第6580219号発明「粘着シートおよび加工されたデバイス関連部材の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 
結論 特許第6580219号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり請求項〔1-5〕について訂正することを認める。 特許第6580219号の請求項1ないし5に係る特許を維持する。 
理由 第1 手続の経緯
1 本件特許に係る出願は、平成26年3月11日(優先権主張 平成25年3月11日(以下「本件優先日」という。)を国際出願日とする特願2015-505473号の一部を平成30年7月10日に新たな特許出願としたものであって、令和元年9月6日に請求項1?5に係る特許の設定登録がされ、同月25日に特許掲載公報が発行されたところ、令和2年3月25日に特許異議申立人 林 法子(以下「申立人」という。)により全請求項に係る特許に対して特許異議の申立てがされたものである。
2 その後、令和2年7月14日付の取消理由通知に対して、同年9月17日に特許権者は意見書の提出と共に訂正請求(以下「本件訂正」という。)を行い、同年11月2日に申立人から意見書が提出されたものである。

第2 本件訂正についての判断
1 訂正事項
本件訂正は、次の訂正事項からなるものである。当審が訂正箇所に下線を付した。
(1)訂正事項1
特許請求の範囲の請求項1に「前記重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して2質量部以下の光重合開始剤(B)を含有する」とあるのを、「前記重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上、2質量部以下の光重合開始剤(B)を含有する」と訂正する。(請求項1の記載を引用する請求項2?5も同様に訂正する。)
(2)訂正事項2
特許請求の範囲の請求項1に「前記紫外線を含むエネルギー線を照射する前の状態における粘着力」及び「前記紫外線を含むエネルギー線を照射した後の状態における粘着力」とあるのを、それぞれ、「前記紫外線を照射する前の状態における粘着力」及び「前記紫外線を照射した後の状態における粘着力」と訂正する。(請求項1の記載を引用する請求項2?5も同様に訂正する。)
(3)訂正事項3
特許請求の範囲の請求項2に「単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を含む光線を照射して」とあるのを、「単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を照射して」と訂正する。(請求項2の記載を引用する請求項3?5も同様に訂正する。)
2 訂正要件についての判断
(1)一群の請求項について
訂正前の請求項2?5は、それぞれ直接または間接的に請求項1を引用するものであって、訂正事項1及び2によって記載が訂正される請求項1に連動して訂正されるものである。したがって、訂正前の請求項1?5は、特許法第120条の5第4項に規定する一群の請求項であり、本件訂正は、一群の請求項ごとにされたものである。
(2)訂正事項1について
ア 訂正の目的要件
前記1(1)に示したように、訂正前には特定のなかった光重合開始剤の含有量の下限を0.01質量部以上と特定することによって、光重合開始剤の含有量の範囲を狭めるものであるから、特許法第120条の5第2項ただし書第1号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正といえる。
イ 実質上の拡張・変更の有無
前記アの理由から、訂正事項1は、光重合開始剤(B)の含有量の範囲を限定するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
新規事項の追加の有無
訂正事項1は、本件特許明細書の段落【0046】における「上記の含有量の下限は保管安定性を安定的に確保する観点からは限定されないが、過度に少ない場合には、紫外線を含むエネルギー線が照射されたときに粘着剤層3に含有される重合性官能基を有する重合体(A)に関する重合反応が進行しにくくなることが懸念される。したがって、粘着剤層3を形成するための粘着剤組成における光重合開始剤(B)の含有量は、重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上とすることが好ましく」との記載に基づいているといえる。
したがって、訂正事項1は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるといえる。
(3)訂正事項2について
ア 訂正の目的要件
訂正事項2は、照射光について、「前記紫外線を含むエネルギー線」から「前記紫外線」に変更することによって、照射光に含まれる光線の種類を狭めるものであって、特許法第120条の5第2項ただし書第1号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正といえる。
イ 実質上の拡張・変更の有無
前記アの理由から明らかなように 、訂正事項2は、照射光を構成する光線の範囲を狭めるものであるため、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
新規事項の追加の有無
訂正事項2は、本件特許明細書の段落【0095】における「紫外線LED(発する紫外線を含むエネルギー線は、最大強度が365nmであり、半値全幅が10nmである単一の発光ピークをその発光スペクトルに有する。)による紫外線照射装置」という記載に基づくものと解される。ここで、紫外線を含むエネルギー線という記載があるものの、他のエネルギー線についての記載がなく、不可避的に混入する自然光をエネルギー線とは呼ばないことから、前記「エネルギー線」は、実質的には、単一の発光ピークをその発光スペクトルに有する紫外線であることは明らかであるといえる。したがって、訂正事項2が、新規事項を導入するものということはできない。
(4)訂正事項3について
ア 訂正の目的要件
訂正事項3は、照射光を「最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を含む光線」を「最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線」に訂正することによって、光線に含まれる光線の種類を狭めるものといえるから、訂正事項3は、特許法第120条の5第2項ただし書第1号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものといえる。
イ 実質上の拡張・変更の有無
訂正事項3は、照射光を構成する光線の種類を狭めるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
新規事項の追加の有無
(ア)訂正事項3は、本件特許明細書の段落【0095】における「紫外線LED(発する紫外線を含むエネルギー線は、最大強度が365nmであり、半値全幅が10nmである単一の発光ピークをその発光スペクトルに有する。)による紫外線照射装置(リンテック社製、RAD-2100)を用い、窒素雰囲気下にて粘着シート側から紫外線照射(照度200mW/cm^(2)、積算光量200mJ/cm^(2))して、上記の積層体における粘着剤層に含有される重合性官能基を有する重合体(A)を重合させた。」という記載に基づくものと解される。
(イ)前記(ア)の紫外線照射装置からの光線は、紫外線LEDを光源とするものであるから、最大強度が365nmであり、半値全幅が10nmである単一の発光ピークをその発光スペクトルに有する紫外線であるである。したがって、訂正事項3は、新規事項を追加するものといえない。
3 申立人の主張に対して
(1)申立人は、訂正事項2について、新規事項を追加する訂正であり、訂正要件を充足しない旨主張する。すなわち、令和2年11月2日付けの意見書において、本件特許明細書の段落【0095】には、「紫外線を含むエネルギー線」と記載されており、紫外線以外のエネルギー線を除外するなどして紫外線のみを選択して照射することは願書に添付した明細書に記載された事項でないと主張していると解される。
(2)しかしながら、前記2(3)ウにおいて検討したように、「紫外線を含むエネルギー線」とは表現されているものの、本件特許明細書の段落【0095】において照射されている照射光は、単一の発光ピークをその発光スペクトルに有する紫外線であることは明らかであるといえる。したがって、申立人の主張は理由がない。
4 本件訂正についての小括
以上から、本件訂正は、特許法第120条の5第2項ただし書第1号を目的とするものであって、同法120条の9で準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。したがって、本件訂正を認める。

第3 本件発明について
1 本件発明
本件訂正後の請求項1?5に係る発明(以下「本件発明1」?「本件発明5」といい、まとめて「本件発明」という。)は以下のとおりのものである。
「【請求項1】
基材と、前記基材の一方の主面側に設けられた粘着剤層とを備えた粘着シートであって、
前記粘着剤層は、重合性官能基を有する重合体(A)および前記重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上、2質量部以下の光重合開始剤(B)を含有する粘着剤組成物から形成されたものであり、
前記光重合開始剤(B)は、その3質量%メタノール溶液の波長365nmの質量吸光係数(単位:ml/g・cm)が200以上1000以下であり、
最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を照射可能な紫外線光源を用いて、積算光量が200mJ/cm^(2)となるように紫外線を前記粘着剤層に照射したときに、
前記粘着シートは、前記粘着剤層における前記基材に対向する面と反対側の主面を測定対象面、シリコンウェハの鏡面を被着面として、JIS Z0237:2000に準拠して180°引き剥がし試験を行ったときに測定される粘着力について、前記紫外線を照射する前の状態における粘着力の、前記紫外線を照射した後の状態における粘着力に対する比が、10以上である
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項2】
請求項1に記載される粘着シートをデバイス関連部材の一の面に貼付する工程、
前記デバイス関連部材における前記粘着シートが貼付した一の面と反対側の面側から加工を行って、加工された前記デバイス関連部材に前記粘着シートが貼着した状態とする工程、
前記加工されたデバイス関連部材に貼着する前記粘着シートが備える前記粘着剤層に対して、最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を照射して、前記粘着剤層に含有される重合性官能基の重合反応を進行させる工程、および
前記硬化した粘着剤層を備えた粘着シートから前記加工されたデバイス関連部材を剥離する工程を備えること
を特徴とする加工されたデバイス関連部材の製造方法。
【請求項3】
前記光線の光源は紫外線発光ダイオードを含む、請求項2に記載の加工されたデバイス関連部材の製造方法。
【請求項4】
前記粘着シートはバックグラインドシートであって、前記加工は研磨加工を含む、請求項2または3に記載の加工されたデバイス関連部材の製造方法。
【請求項5】
前記粘着シートはダイシングシートであって、前記加工は切断加工を含む、請求項2または3に記載の加工されたデバイス関連部材の製造方法。」
2 本件特許明細書の記載
本件特許明細書には、以下の記載がある。
(1)「【発明が解決しようとする課題】
【0011】
しかしながら、先行技術文献3に開示される光重合開始剤を多量に含有する粘着テープにおいては、重合禁止剤を多量に添加して重合が進行してしまうことを抑えようとしているが、重合禁止剤は発生したラジカルが連鎖移動するのを妨げるだけで、光重合開始剤からのラジカル発生を止めるものではない。したがって、粘着テープの保管中に、粘着剤中に高濃度で含まれる光重合開始剤から発生するラジカルによって、重合性の官能基が失活していくおそれがあった。加えて、光重合開始剤が低分子量成分であるがゆえに、アウトガスが発生しやすくなるという問題を有する。また、先行技術文献4および5に開示される剥離方法では、テープの剥離のために紫外線照射のほかに別途加熱を行う必要がある。このため、プロセス全体でのエネルギー効率が低く、省電力デバイスである紫外線LEDを採用した利点が得られにくい、低発熱性という紫外線LEDの利点を活かせない、加熱装置を必要とするため設備負荷が増大するなどの問題があった。
【0012】
本発明は、重合性官能基を有する重合体を含有する粘着剤組成物から形成された粘着剤層でありながら、紫外線LEDからの照射のような放射熱量の少ない照射により硬化しても加工後デバイス関連部材に対する粘着性を十分に低下させることが可能であり、かつアウトガスの発生が抑制されるとともに保管安定性に優れる粘着シートを提供することを課題とする。また、本発明は、かかる粘着シートを用いる、加工後デバイス関連部材の製造方法を提供することも課題とする。」
(2)「【0034】
(1-1)重合性官能基を有する重合体(A)
本明細書において「重合性官能基を有する重合体(A)」とは、重合性を有する官能基である重合性官能基を有する構成単位を、主鎖の末端および/または側鎖に有する重合体を意味する。後述する光重合開始剤(B)により重合反応を開始させることができ、その重合反応が連鎖的に進行しうるものであれば、重合性官能基の具体的な種類は特に限定されない。例えば、エチレン性不飽和結合を有する基、中でも(メタ)アクリロイル基、ビニル基などが具体例として挙げられる。
【0035】
重合性官能基を有する重合体(A)の重量平均分子量(Mw)は、上記の粘着剤層3を形成するための粘着剤組成物および必要に応じてさらに溶媒を含有する塗工用組成物の塗工時の造膜性の観点から1万以上200万以下であることが好ましく、10万以上150万以下であることがより好ましい。また、重合性官能基を有する重合体(A)のガラス転移温度Tgは、好ましくは-70℃以上30℃以下、さらに好ましくは-60℃以上20℃以下の範囲にある。ガラス転移温度は、Fox式より計算することができる。なお、後述の未付加アクリル系共重合体に付加化合物を付加することによって、重合性官能基を有する重合体(A)としてのアクリル系重合体を得る場合には、重合性官能基を有する重合体(A)のTgは、未付加アクリル系共重合体のTgを指す。」
(3)「【0046】
本実施形態に係る粘着シート1(具体的には粘着剤層3)の保管安定性を高める観点から、粘着剤層3を形成するための粘着剤組成における光重合開始剤(B)の含有量は、重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して2質量部以下とされる。上記の保管安定性をより安定的に確保する観点から、上記の含有量は、重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して1.5質量部以下とすることが好ましく、1.0質量部以下とすることがより好ましい。上記の含有量の下限は保管安定性を安定的に確保する観点からは限定されないが、過度に少ない場合には、紫外線を含むエネルギー線が照射されたときに粘着剤層3に含有される重合性官能基を有する重合体(A)に関する重合反応が進行しにくくなることが懸念される。したがって、粘着剤層3を形成するための粘着剤組成における光重合開始剤(B)の含有量は、重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上とすることが好ましく、0.1質量部以上とすることがより好ましい。」
(4)「【0087】
[実施例1]
(1)塗工用組成物の調製
次の組成を有する溶液状態の塗工用組成物(溶媒:トルエン)を調製した。
i)重合性官能基を有する重合体(A)として、52質量部のブチルアクリレートと20質量部のメタクリル酸メチルと28質量部のアクリル酸ヒドロキシエチルを共重合して得た共重合体(重量平均分子量:60万、ガラス転移温度Tg:-34℃)に対して、この共重合体が有する水酸基の80mol%に相当する量の2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを含む組成物(昭和電工社製、カレンズMOI)を反応させて得られる重合体を、固形分として100質量部、
ii)光重合開始剤(B)として2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オンを含む組成物(BASF社製、IRGACURE 651、3質量%メタノール溶液の状態での波長365nmの質量吸光係数:361ml/g・cm)を固形分として0.5重量部、および
iii)架橋剤(C)としてトリメチロールプロパントリレンジイソシアネート(TDI-TMP)を含有する架橋剤組成物(日本ポリウレタン社製、コロネートL)を固形分として1質量部。
【0088】
(2)粘着シートの作製
厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート製基材フィルムの一方の主面上にシリコーン系の剥離剤層が形成されてなる剥離シート(リンテック社製、SP-PET381031)を用意した。この剥離シートの剥離面上に、前述の塗工用組成物を、ナイフコーターにて、最終的に得られる粘着剤層の厚さが10μmとなるように塗布した。得られた塗膜を剥離シートごと100℃の環境下に1分間経過させることにより塗膜を乾燥させて、剥離シートと粘着剤層(厚さ:10μm)とからなる積層体を得た。粘着剤層の厚さは定圧厚さ測定器(テクロック社製、PG-02)を用いて測定した。
厚さ80μmのエチレン-メタクリル酸共重合体(EMAA)フィルムからなる基材の一方の面を基材被着面として、その面に、上記の積層体の粘着剤層側の面を貼付して、図1に示されるような基材と粘着剤層とからなる粘着シートを、粘着剤層側の面に剥離シートがさらに積層された状態で得た。」
(5)「【0090】
〔比較例7〕
実施例1において、次の組成を有する溶液状態の塗工用組成物(溶媒:トルエン)を調製し、これを用いて粘着シートを得た。
i)重合性官能基を有する重合体(A)として、91質量部のブチルアクリレートと9質量部のアクリル酸を共重合して得た共重合体(重量平均分子量:80万、ガラス転移温度Tg:-45℃)を、固形分として100質量部、
ii)光重合開始剤(B)として2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オンおよびベンゾフェノンを含む組成物(BASF社製、IRGACURE 500)を固形分として1.0重量部、
iii)架橋剤(C)としてトリメチロールプロパントリレンジイソシアネート(TDI-TMP)を含有する架橋剤組成物(日本ポリウレタン社製、コロネートL)を固形分として15質量部、および
iv)重合性化合物として、5から9官能のアクリレート混合体を含有する組成物(大日精化社製、セイカビーム14-29B)を固形分として50質量部。」
(6)「【0091】
実施例および比較例に係る粘着剤組成物に含有させた光重合開始剤(B)について表1にまとめた。なお、IRGACUREシリーズ、DAROCUREシリーズのいずれについても、BASF社製であった。また、DAROCURE TPOは2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイドを含み、IRGACURE 369は2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1を含む。
【0092】
【表1】


(7)「【0094】
〔試験例2〕<照射前粘着力、照射後粘着力および粘着力比の測定>
上記の実施例および比較例により製造した粘着シートに、23℃、相対湿度50%の環境下に7日間静置することによる養生を行った後、それぞれを切断して長さ200mm幅25mmの粘着力測定用シートを得た。上記の粘着力測定用シートのそれぞれについて、その粘着剤層側の面を半導体ウェハ(8インチ)の鏡面に貼付して、半導体ウェハと粘着力測定用シートとからなる積層体を得た。得られた積層体を23℃、相対湿度50%の雰囲気下に20分間放置した。放置後の積層体について、万能型引張試験機(株式会社オリエンテック製、TENSILON/UTM-4-100)を用いて、JIS Z0237:2000に準拠して、180°引き剥がし試験(粘着力測定用シートを引き剥がされる側の部材とした。)を行い、照射前粘着力を測定した(単位:mN/25mm)。照射前粘着力の測定結果を表2に示す。
【0095】
上記の半導体ウェハと粘着力測定用シートとからなる積層体をさらに2組作製し、23℃、相対湿度50%の雰囲気下に20分間放置した。
その後、一方の積層体について、紫外線LED(発する紫外線を含むエネルギー線は、最大強度が365nmであり、半値全幅が10nmである単一の発光ピークをその発光スペクトルに有する。)による紫外線照射装置(リンテック社製、RAD-2100)を用い、窒素雰囲気下にて粘着シート側から紫外線照射(照度200mW/cm^(2)、積算光量200mJ/cm^(2))して、上記の積層体における粘着剤層に含有される重合性官能基を有する重合体(A)を重合させた。この紫外線照射後の積層体について、上記の照射前粘着力を測定するための引き剥がし試験と同一の条件での引き剥がし試験を行い、照射後粘着力を測定した(単位:mN/25mm)。
【0096】
他方の積層体についても、高圧水銀ランプ(発する紫外線を含むエネルギー線は発光ピークを複数有する。)による紫外線照射装置(リンテック社製、RAD-2000m/12)を用い、窒素雰囲気下にて粘着シート側から紫外線照射(照度230mW/cm^(2)、積算光量190mJ/cm^(2))して、上記の積層体における粘着剤層に含有される重合性官能基を有する重合体(A)を重合させた。この紫外線照射後の積層体について、上記の照射前粘着力を測定するための引き剥がし試験と同一の条件での引き剥がし試験を行い、照射後粘着力を測定した(単位:mN/25mm)。
【0097】
こうして得られた照射前粘着力および照射後粘着力から、2種類の光源それぞれについて粘着力比を求めた。得られた照射前粘着力、2種類の照射後粘着力および2種類の粘着力比を表2に示す。」
(8)「【0100】
【表2】



第4 令和2年7月14日付の取消理由の概要
1 記載要件
本件特許の願書に添付された特許請求の範囲の記載は、特許法第36条第6項第1号及び第2号に規定された要件を満たさないものであるから、本件特許は特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。
(1)特許法第36条第6項第1号
本件訂正前の請求項1において「前記重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して2質量部以下の光重合開始剤(B)を含有する」と特定されているが、含有量の下限が規定されていないから、前記第3、2(3)に摘記した本件特許明細書の段落【0046】に記載のように「過度に少ない場合には、紫外線を含むエネルギー線が照射されたときに粘着剤層3に含有される重合性官能基を有する重合体(A)に関する重合反応が進行しにくくなることが懸念される。」というのであるから、この場合には本件発明の課題が解決できず、請求項1及び引用する請求項2?5は特許法第36条第6項第1号に規定される要件を満たさない。
(2)特許法第36条第6項第2号
訂正前の請求項1には、「本件発明1は、「前記紫外線を含むエネルギー線を照射する前の状態における粘着力の、前記紫外線を含むエネルギー線を照射した後の状態における粘着力に対する比が、10以上である」という発明特定事項を有しているが、前記「前記紫外線を含むエネルギー線」は、含まれる「前記紫外線」以外は何の特定もないから、様々なエネルギー線が包含される。文言上、単一の発光ピークでないものも含まれるので、高圧水銀ランプによる発光も含まれることになっている。そして、測定条件が曖昧である以上、粘着力の比の特定も不明確なものとなっている。請求項2?5についても同様であるから、請求項1?5は特許法第36条第6項第2号に規定される要件を満たさない。
2 新規性進歩性
本件特許の請求項1?5に係る発明は、特許法第29条第1項第3号の発明に該当するか、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであるから、請求項1?5に係る特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。
3 証拠等の一覧
(1)申立人が提示した甲第1号証(以下「甲1」などという。)?甲6は以下のとおりのものである。
甲1:特開2002-20699号公報
甲2:特開2006-40944号公報
甲3:特開2011-195598号公報
甲4:特開2001-19911号公報
甲5:特開2000-345131号公報
甲6:特開2012-155325号公報
(2)当審が調査した文献は以下のとおり
引用例7:特開2012-236885号公報

第5 新規性進歩性についての当審の判断
1 甲号証等の記載事項
(1)甲1の記載事項
甲1には、次の記載がある。下線は、当審が付した。
ア 「【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係る紫外線硬化型粘着剤組成物は、紫外線硬化性粘着剤成分と、リン系光重合開始剤とからなる。本発明においては、前記リン系光重合開始剤が、アシルホスフィンオキサイド系化合物であることが好ましく、さらには分子内にCO-PO結合を有する化合物であることが好ましく、特に下記式にて示される化合物であることが好ましい。
【0008】
【化2】


イ 「【0021】
・・・したがって、本発明において特に好ましいリン系光重合開始剤としては、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルホスフィンオキサイド
【0022】
【化4】

・・・
【0027】等をあげることができる。・・・」
ウ 「【0035】次に本発明に係る紫外線硬化性粘着シートを半導体ウエハの加工に適用する方法について簡単に説明する。粘着シートの上面に剥離性シートが設けられている場合には、該シートを除去し、次いで粘着シートの粘着剤層を上向きにして載置し、この粘着剤層の上面にダイシング加工すべき半導体ウエハを貼着する。この貼着状態でウエハにダイシング、洗浄、乾燥の諸工程が加えられる。この際、粘着剤層によりウエハチップは粘着シートに充分に接着保持されているので、上記各工程の間にウエハチップが脱落することはない。
【0036】次に、各ウエハチップを粘着シートからピックアップして所定の基台上にマウンティングするが、この際、ピックアップに先立ってあるいはピックアップ時に、紫外線を粘着シートの粘着剤層に照射し、紫外線硬化型粘着剤層中に含まれる紫外線重合性成分を重合硬化せしめる。このように粘着剤層に紫外線を照射して紫外線重合性成分を重合硬化せしめると、粘着剤の有する接着力は大きく低下し、わずかの接着力が残存するのみとなる。」
エ 「【0039】
【実施例】以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の実施例および比較例において、「紫外線照射前の接着力」、「紫外線照射後の接着力(洗浄水の暴露なし)」、「紫外線照射後の接着力(洗浄水の暴露あり)」の評価は次のようにして行った。
「紫外線照射前の接着力」実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを用い、下記条件により180°剥離接着力(mN/25mm)を測定し、紫外線照射前の接着力とした。
(180°剥離接着力測定条件)粘着シートを、23℃、65%RHの雰囲気下で、Siウエハ研磨面(Ra=0.16?0.20μm)に2kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、20分間放置した後、万能型引張試験機(株式会社オリエンテック製、商品名:TENSILON /UTM-4-100)を用いて剥離速度300mm/分でJIS-Z0237に準じて測定した。
「紫外線照射後の接着力(洗浄水の暴露なし)」実施例あるいは比較例において得られた粘着シートに、粘着剤面を露出させた状態で、基材側から紫外線照射(リンテック株式会社製Adwill RAD2000m/8使用、照度:220mW/cm^(2)、光量:160mJ/cm^(2)、窒素流量35リットル/分)を行う。
【0040】上記で得られた粘着シートを用いて、前記と同様の条件で180°剥離接着力(mN/25mm)を測定し、紫外線照射後の接着力(洗浄水の暴露なし)とした。
「紫外線照射後の接着力(洗浄水の暴露あり)」実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを下記条件にて洗浄水を暴露し、そのままの状態で洗浄水暴露後10分以内に基材側から紫外線照射(リンテック株式会社製Adwill RAD2000m/8使用、照度:220mW/cm^(2)、光量:160mJ/cm^(2)、窒素流量35リットル/分)を行う。
【0041】上記で得られた粘着シートを用いて、前記と同様の条件で180°剥離接着力(mN/25mm)を測定し、紫外線照射後の接着力(洗浄水の暴露あり)とした。
(洗浄水暴露条件)粘着シートをリングフレームに貼付し、(株)東京精密製A-WD-4000B(ダイサー)にて、洗浄水3リットル/分を粘着剤面に60分間暴露する。その後、同機にてスピン乾燥(1500r.p.m.、180秒)する。」
オ 「【0042】また、紫外線硬化性粘着剤成分、光重合開始剤およびその他の成分として次のものを用いた。
A「紫外線硬化性粘着剤成分」n-ブチルアクリレート85重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート15重量部からなる重量平均分子量650,000の共重合体100重量部と、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート16重量部との反応により得られる紫外線硬化性粘着剤成分
上記紫外線硬化性粘着剤成分100g当りの重合性二重結合含量は0.104モルであった。
B「光重合開始剤」
B1:ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド
B2:2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド
B3:ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ペンチルホスフィンオキサイド
B4:2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン
B5:1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン
C「架橋剤」
トルイレンジイソシアナートとトリメチロールプロパンの付加物
【0043】
【実施例1】表1に記載の各成分を表1に記載の割合で混合し、紫外線硬化型粘着剤組成物を得た。この粘着剤組成物を剥離フィルム(ポリエチレンテレフタレートフィルムに剥離処理したもの:厚さ38μm)上に塗布し、基材(エチレン-メタクリル酸共重合体フィルム:厚さ80μm)に転写させ、厚さ10μmの紫外線硬化型粘着剤層を有するウエハ貼着用粘着シートを作成した。
【0044】結果を表1に示す。
【0045】
【実施例2?3および比較例1?2】表1に記載の各成分を表1に記載の割合で混合し、紫外線硬化型粘着剤組成物を得た。この粘着剤組成物を使用した以外は、実施例1と同様の操作を行なった。結果を表1に示す。
【0046】
【表1】


(2)甲2の記載事項
ア 「【背景技術】
【0002】
半導体ウエハ(以下、単に、「ウエハ」と称する)の処理装置においては、例えば、ウエハの回路面に保護テープを貼付した状態で所定処理することが行われている。この保護テープは、粘着面に紫外線硬化型樹脂が採用されており、紫外線照射装置により前記紫外線硬化型樹脂を硬化させることによって粘着力を弱め、剥離が容易に行えるようになっている。
【0003】
前記紫外線照射装置としては、例えば、ウエハ面に相対する位置にランプケースを配置するとともに、当該ランプケース内に高圧水銀ランプ若しくはメタルハライドランプ等を配置して構成された装置が知られている(特許文献1)。」
イ 「【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献1に開示された紫外線照射装置にあっては、高圧水銀ランプを発光源として用いる構成であるため、高電圧のトランスが必要となり、装置が大型化するとともに、電力消費量も大きくなるという不都合がある。また、ランプ寿命が短く頻繁なメンテナンスが必要となる他、紫外線照射条件を満たすまでの、いわゆる立ち上がり時間が長く必要なため、作業時間内はランプは点灯しっぱなしにしなければならないので、消費電力は非常に多い。更に、被照射体の平面積に対応した無駄のない照射制御ができないため、電力消費の無駄が避けがたいものとなり、また、水銀を用いたランプであるため、廃棄に際して環境上の問題も惹起するものとなる。
【0006】
そこで、本発明者は、紫外線の発光源として、紫外線発光ダイオードを用いた紫外線照射装置の開発を試みた。研究開発段階における装置は、図10及び図11に示されるように、基板50上で略格子状の軌跡に沿うように相互に等間隔を隔てて多数の発光ダイオード51を配置する一方、ウエハWの面に紫外線硬化型樹脂による粘着剤層53を備えた保護シートSを相対配置し、発光ダイオード51から紫外線を照射しつつ両者を図10中矢印B方向に相対移動させる構成が採用された。そして、紫外線照射後に保護シートSの剥離を行ったところ、粘着剤層53の硬化が不十分となる領域Aが、図11中紙面直交方向に沿って直線的に発生し、これが剥離を妨げることを知見した。」
ウ 「【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、紫外線照射を行うための発光源として発光ダイオードを採用したから、従来の水銀ランプ等を採用した場合のトランス等の大掛かりな装備が不要となり、装置の小型化を達成することができる。また、隣り合っている発光ダイオード間に他の列の発光ダイオードの一部が位置する配置としたことにより、発光ダイオードを被照射体に接近させた場合に生じ得る未照射領域の発生を回避することができる。また、発光ダイオードを基板に着脱自在とすることで、一部交換による保守を容易に実現してコスト的な負担を最小限に保つことが可能となる。更に、紫外線の発光領域を制御可能とすることで、消費電力を低減しつつ発光ダイオードの製品寿命を長期に亘って確保することができるうえ、高圧水銀ランプのように立ち上がり時間が必要ないため、紫外線を照射する寸前で発光ダイオードを点灯し、照射が終われば電源を切ることができるので、点灯しっぱなしの高圧水銀ランプに比べて多大な省エネルギー化が実現できる。また、照度センサを設けることで、発光ダイオードの性能評価を確実に行うことができ、紫外線照射不足を回避することができる。その上、電流計及び/又は電圧計を用いて電流値、電圧値を管理することによって、発光ダイオードが切れた状態を検出できるので、紫外線の照射不良を防止することができる。」
(3)甲3の記載事項
ア 「【請求項1】
基材フィルムの少なくとも片側の表面にエネルギー線硬化性粘着剤層をもち、エネルギー線を照射することで粘着力が低下する半導体加工時に使用される粘着テープであって、粘着剤成分として(メタ)アクリル酸エステル系共重合体、光重合開始剤を含み、全粘着剤層体積に対して0.5?10.0vol.%の無機フィラーを含むことを特徴とする粘着テープ。
【請求項2】
無機フィラーの平均粒子径が0.1?50μmであることを特徴とする請求項1記載の粘着テープ。
【請求項3】
積算光量20?100mJ/cm^(2)のエネルギー線照射後の粘着力がエネルギー線照射前の10%以下となることを特徴とする請求項1ないし請求項2に記載の粘着テープ。」
イ 「【技術分野】
【0001】
本発明は半導体ウエハ研磨時の回路保護用粘着テープに係わり、さらに詳しくはエネルギー線で効率よく粘着剤が硬化して、研磨作業後は粘着剤の残渣がなく容易に剥離できる粘着剤層の改良に関する。」
ウ 「【0048】
エネルギー線の光源は特に限定されず、紫外線、α線、β線、γ線、及び電子線等が使用できる。紫外線源として、ブラックライト、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が使用できる。光源の長寿命化や省エネルギーおよびウエハへの負荷低減の観点からLEDの使用も提案されている。」
(4)甲4の記載事項
甲4には次の記載がある。
「【0002】
【従来の技術】近年、金属板、ガラス板、プラスチック板等の汚れや損傷を防ぐために、表面の保護シートとして粘着シートが一時的に用いられたり、或いは半導体ウエハ等のバックグラインド工程、ダイシング工程の一時的接着等への用途に粘着シートが用いられたりしている。これらの粘着シートに用いられる粘着剤は、被着体に貼り付ける際には充分な粘着力を持つ粘着性、その後紫外線照射等により硬化されて剥離する際には、粘着力が充分に低下する再剥離性、かつ被着体表面に粘着剤の残存が無い耐汚染性を持つことが必要とされる。」
(5)甲5の記載事項
甲5には次の記載がある。
「【0002】
【従来の技術】近年、金属板、ガラス板、プラスチック板等の汚れや損傷を防ぐために、表面の保護シートとして粘着シートが一時的に用いられたり、或いは半導体ウエハ等のバックグラインド工程、ダイシング工程の一時的接着等への用途に粘着シートが用いられたりしている。これらの粘着シートに用いられる粘着剤は、被着体に貼り付ける際には充分な粘着力を持つ粘着性、その後紫外線照射等により硬化されて剥離する際には、粘着力が充分に低下する再剥離性、かつ被着体表面に粘着剤の残存が無い耐汚染性を持つことが必要とされる。」
(6)甲6の記載事項
甲6には、次の記載がある。下線は当審が付した。
ア 「【0052】
本発明1のシール剤は、光反応開始剤を含有する。
上記光反応開始剤は、光照射によりラジカルを発生し、上述のように反応性の高いものである。具体的には、メタノール又はアセトニトリル中で測定した365nmにおける吸光係数の下限が50mL/g・cm、上限が1万mL/g・cmであるものを用いる。50mL/g・cm未満であると、上述した本発明1に係る硬化性樹脂を含有する本発明1のシール剤を光照射により充分に光硬化させることができず、1万mL/g・cmを超えると、作業用のランプで簡単に表面に硬化が起こってしまい事実上使用不可能である。
好ましい下限は100mL/g・cm、好ましい上限は1000mL/g・cmである。なお、上記光反応開始剤の吸光係数は、メタノール又はアセトニトリル中に溶解して測定した値である。
【0053】
上記光反応開始剤としては特に限定されず、例えば、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン(チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure 651、メタノール中で365nmにおける吸光係数:3.613×10^(2)mL/g・cm)、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure 184、メタノール中で365nmにおける吸光係数:8.864×10mL/g・cm)、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン(チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure 907、メタノール中で365nmにおける吸光係数:4.665×10^(2)mL/g・cm)、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1(チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure 369、メタノール中で365nmにおける吸光係数:7.858×10^(3)mL/g・cm)、2-ジメチルアミノ-2-(4-メチル-ベンジル)-1-(4-モルフォリン-4-イル-フェニル)-ブタン-1-オン(チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure 379,379EG、メタノール中で365nmにおける吸光係数:7.858×10^(3)mL/g・cm)、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルスルフォンオキサイド(チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure 819、メタノール中で365nmにおける吸光係数:2.309×10^(3)mL/g・cm)、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ペンチルフォスフォンオキサイド(チバスペシャリティケミカルズ社製、CGI403、メタノール中で365nmにおける吸光係数:9.290×10^(2)mL/g・cm)、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフォンオキサイド(チバスペシャリティケミカルズ社製、Darocur TPO、アセトニトリル中で365nmにおける吸光係数:4.720×10^(2)mL/g・cm)、1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)-,2-(O-ベンゾイルオキシム)](チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure OXE01、アセトニトリル中で365nmにおける吸光係数:6.969×10^(3)mL/g・cm)、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)(チバスペシャリティケミカルズ社製、Irgacure OXE02、アセトニトリル中で365nmにおける吸光係数:7.749×10^(3)mL/g・cm)等が挙げられる。これらの光反応開始剤は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。」
イ 「【0136】
(アクリル基の反応率測定)
実施例1?6及び比較例1?3で得られたシール剤100重量部にスペーサ微粒子(積水化学工業社製、ミクロパールSP-2055)1重量部を分散させ、ガラス(コーニング1737)の中央部に取り、他のガラス(コーニング1737)をその上に重ね合わせてシール剤を押し広げて厚みを均一にして試験片を作製した。
作製した試験片に、340nm以下の光をカットするフィルター付き高圧水銀ランプを100mW/cm^(2)で10秒間照射した。・・・」
(7)引用例7の記載事項
引用例7には次の記載がある。
ア 「【0002】 既存の光ラジカル重合開始剤の多くは固体又は粉末状であり、インク材料として利用するためにはモノマーに均一溶解させなければならず長時間の攪拌が必要である。また、モノマーの種類や添加量によっては加温が必要な場合があり煩雑である。一方、短時間のモノマーとの攪拌で均一に溶解でき容易にインク化できる常温液体の光ラジカル重合開始剤も知られている。しかし、近年、省エネルギー化に有効な硬化光源として注目されている紫外線LED(UVLED)において、実用上使用可能な波長は365nm以上の長波長であり、このような長波長に対応できる液体の光ラジカル重合開始剤は少ない。一部知られているものも、毒性に問題があったり非常に高価であるなど実用上の問題が多い。」
イ 「・・・
また、特許文献2には、多成分を組み合わせた常温液体光重合開始剤組成物が開示されている。しかし、UVLEDに対応できるものとして示されたホスフィンオキサイド系化合物は、その代表的かつ安価で容易に入手可能な化合物である2,4,6-トリメチルベンゾイルホスフィンオキサイド〔旧チバジャパン社(現BASF社)製:DAROCUR TPO〕が、MSDS(化学物質安全性データシート)において生殖毒性を示すR62のR警句が付記されていることから分かるように、毒性が高いため実用できない。また、硬化光源として高圧水銀ランプやメタルハライドランプを使用すれば、毒性の高いホスフィンオキサイド以外の化合物を用いることができるが、省エネルギー化という観点で好ましくない。」
2 引用発明の認定
甲1の実施例2に注目すると、次の発明(以下「引用発明」という。)が認定できる。
「基材(エチレン-メタクリル酸共重合体フィルム:厚さ80μm)と、前記基材上に転写された紫外線硬化型粘着剤組成物を備えた厚さ10μmの紫外線硬化型粘着剤層を有するウエハ貼着用粘着シートであって、
前記紫外線硬化型粘着剤組成物層は、n-ブチルアクリレート85重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート15重量部からなる重量平均分子量650,000の共重合体100重量部と、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート16重量部との反応により得られる紫外線硬化性粘着剤成分Aに、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドを光重合開始剤Bとして0.6重量部及び架橋剤Cを0.062重量部混合した紫外線硬化型粘着剤組成物であって、JIS-Z0237に準じて測定した紫外線照射前の接着力が56540mN/25mmであり、JIS-Z0237に準じて測定した紫外線照射(リンテック株式会社製Adwill RAD2000m/8使用、光量:160mJ/cm^(2))後の接着力(洗浄水暴露なし)が130mN/25mmであるウエハ貼着用粘着シート」
2 本件発明1との対比
(1)引用発明の「基材」、「基材上に転写された紫外線硬化型粘着剤組成物を備えた紫外線硬化型粘着剤層」、「粘着シート」は、本件発明1の「基材」、「基材の一方の主面側に設けられた粘着剤層」、「粘着シート」にそれぞれ相当する。
(2)引用発明の「n-ブチルアクリレート5重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート15重量部からなる共重合体100重量部と、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート16重量部との反応により得られる紫外線硬化性粘着剤成分A」は、共重合体の水酸基にイソシアネート基が結合して共重合体にメタクロイル基の二重結合を導入させていることから、本件発明1の「重合性官能基を有する重合体(A)」に相当する。
(3)引用発明の「光重合開始剤Bとして0.6重量部」は、重合体が100重量部+16重量部であることから計算すると、重合体100重量部に対して0.517重量となり、本件発明1の「重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上、2質量部以下の光重合開始剤(B)を含有する」を充足する。
(4)一致点
以上から、本件発明1と引用発明との一致点は以下のとおりである。
「基材と、前記基材の一方の主面側に設けられた粘着剤層とを備えた粘着シートであって、
前記粘着剤層は、重合性官能基を有する重合体(A)および前記重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上、2質量部以下の光重合開始剤(B)を含有する粘着剤組成物から形成されたもの」である点。
(5)相違点
本件発明1と引用発明とは、次の点で一応相違する。
ア 相違点1-1
光重合開始剤について、本件発明1においては、「前記光重合開始剤(B)は、その3質量%メタノール溶液の波長365nmの質量吸光係数(単位:ml/g・cm)が200以上1000以下であ」ると特定されているのに対して、引用発明においては、「2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド」である点。
イ 相違点1-2
本件発明1においては。「最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を照射可能な紫外線光源を用いて、積算光量が200mJ/cm^(2)となるように紫外線を前記粘着剤層に照射したときに、
前記粘着シートは、前記粘着剤層における前記基材に対向する面と反対側の主面を測定対象面、シリコンウェハの鏡面を被着面として、JIS Z0237:2000に準拠して180°引き剥がし試験を行ったときに測定される粘着力について、前記紫外線を照射する前の状態における粘着力の、前記紫外線を照射した後の状態における粘着力に対する比が、10以上である」と特定されているのに対し、引用発明においては、「JIS-Z0237に準じて測定した紫外線照射前の接着力が5640mN/25mmであり、JIS-Z0237に準じて測定した紫外線照射(リンテック株式会社製Adwill RAD2000m/8使用光量:160mJ/cm^(2))後の接着力(洗浄水暴露なし)が130mN/25mmである」点。
3 本件発明1との相違点についての検討
(1)相違点1-1について
前記1(6)アに摘記したように、「Darocur TPO」について、アセトニトリル中で365nmにおける吸光係数が4.720×10^(2)mL/g・cm、すなわち472ml/g・cmであることが示されており、吸光度が溶媒を変更しても変動することはないという技術常識を踏まえると、本件発明1の「前記光重合開始剤(B)は、その3質量%メタノール溶液の波長365nmの質量吸光係数(単位:ml/g・cm)が200以上1000以下であ」ることを満たすものと推認できる。この点は、前記第3、2(6)に摘記した本件特許明細書の段落【0092】の【表1】においても、「Darocur TPO」の質量吸光係数(単位:ml/g・cm)が472であるとされていることとも符合する。したがって、相違点1-1は実質的な相違点ではない。
(2)相違点1-2について
ア 紫外線について
リンテック株式会社製Adwill RAD2000mは、前記第3、2(7)に摘記した本件特許明細書の段落【0096】にも記載されているように「高圧水銀ランプ(発する紫外線を含むエネルギー線は発光ピークを複数有する。)による紫外線照射装置」であると認められる。そして、本件発明1においては、最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有するのであるから、引用発明における紫外線とは異なるものである。したがって、相違点1-2は実質的な相違点である。
イ 本件発明1における数値限定について
(ア)前記第3、2(4)?(8)における実施例1?4及び比較例1?6の結果についてまとめると、以下のとおりである。なお、比較例7については、本件特許明細書の段落【0090】に「重合性官能基を有する重合体(A)」との記載はあるものの、段落【0090】の記載からみて、比較例7における重合体には、ブチルアクリレート由来のカルボキシル基のブチルエーテル基及びアクリル酸由来のカルボキシル基を有するものの、重合性官能基を持っていないため対象から除外した。
(イ)3質量%メタノール溶液の状態での波長365nmの質量吸光係数(単位:ml/g・cm。以下「本件吸光係数」という。)が、「200以上1000以下」である、2種類の光重合開始剤(本件吸光係数が実施例1では361及び実施例2では472)については、重合体(A)100質量部に対して「2質量部」以下の添加量であれば、本件発明1に規定された粘着力比を達成しつつ、保管安定性(粘着力低減率90%以上)も達成できる。比較例1からは、光重合剤を重合体(A)100重量部に対して3質量部含有させると、保管安定性(粘着力低減率90%以上)が達成できないことが読み取れる。
(ウ)本件吸光係数が、「200以上1000以下」の範囲を超える7858である光重合開始剤を用いた比較例2?3においては、本件発明1が規定する本件発明1に規定された粘着力比は達成するものの、保管安定性が達成できないことが読み取れる。
(エ)本件吸光係数が、「200以上1000以下」の範囲未満である176である光重合開始剤を用いた比較例4?6においては、重合体(A)100質量部に対して光重合開始剤を3質量部以上添加しないと、本件発明1に規定される粘着力比を達成できないことが読み取れる。
(オ)前記(イ)?(エ)から、本件発明1における本件吸光係数についての数値限定の意味は、光重合開始剤のうち、本件単一ピークの紫外線を照射した場合に、本件発明1における粘着力比及び保存安定性を本件発明1における重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上、2.0質量部以下配合した場合であっても、達成可能である範囲を見いだしたことにあるということができる。
ウ 予測可能性について
(ア)前記イにおける検討から、引用発明における紫外線照射(リンテック株式会社製Adwill RAD2000m/8使用、光量:160mJ/cm^(2))に替えて、最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を照射可能な紫外線光源を用いて、積算光量が200mJ/cm^(2)となるように紫外線を照射したときに、本件発明1に規定する粘着力比を満たすかどうか、また、粘着シートとして必要な保存安定性を満たすかどうかは、本件優先日前には予測することができなかったというほかない。
(イ)引用発明に用いられている光重合開始剤は、前記第3、2(4)?(8)に摘記した本件特許明細書に開示された実施例1に用いられているIRGACURE651と一致しているが、本件特許明細書を参照することなく、本件発明1に規定する粘着力比を満たすかどうか、また、粘着シートとして必要な保存安定性を満たすかどうかは、本件優先日前には予測することができなかったということに変わりはない。
(ウ)そうすると、相違点1-2に関して、当業者が容易に想到し得たと認めるに足りる証拠はなく、本件発明1は引用発明に基づいて当業者が容易に想到し得た発明であるということはできない。
4 本件発明2?5に対して
本件発明2?5は、本件発明1を包含し、さらに特定事項を付加した発明であるから、本件発明1と同様の理由で、引用発明に基づいて当業者が容易に想到し得た発明であるということはできない。
5 小括
本件発明1?5は、引用発明と同一であるということはできず、引用発明等に基いて当業者が容易に発明をすることができたものということもできないから、特許法第29条第1項第3号の発明に該当せず、特許法第29条第2項の規定により特許をうけることができない発明でもないから、特許法第113条第2号に該当せず、本件発明1?5に係る特許を取り消すべきものとすることはできない。

第6 記載要件についての当審の判断
1 特許法第36条第6項第1号について
(1)前記第4、1(1)のように通知された、光重合開始剤の含有量の下限については、本件訂正により、「0.01重量部以上」との特定事項を追加する訂正がなされたため、特許法第36条第6項第1号の理由は解消した。
(2)申立人は、意見書において光重合開始剤の含有量の上限について、前記第3、2(4)?(8)における実施例においては、重合体(A)100重量部に対して1重量部の例が記載されているが、「2重量部以下」まで拡張・一般化することができない旨主張する。
しかしながら、光重合開始剤を、重合体(A)100重量部に対して2重量部としたときであっても本件発明の課題は通常解決できると考えられるし、課題が解決できないと認めるに足る証拠はない。
2 特許法第36条第6項第2号について
前記第4、1(2)のように通知された、訂正前請求項1おける「前記紫外線を含むエネルギー線」が紫外線以外に何を含むかという不明確さは、本件訂正により解消された。
3 小括
以上から、本件特許請求の範囲は、特許法第36条第6項第1、2号の規定を満たさないといえず、特許法第113条第4号の規定により取り消すべきとすることはできない。

第7 取消理由に採用しなかった特許異議の申立て理由について
申立人は、特許異議申立書において、本件発明の実施例において用いられる重合体(A)及び光重合開始剤(B)の種類、比率が近接することから、甲1発明に対して、本件単一ピーク紫外線を照射した場合に、本件発明1に係る粘着力比が達成されると推認されると主張する。
しかしながら、照射光が異なる以上、どの程度の粘着力比になるかは、実験しなければ明らかでなく、申立人の主張は理由がない。

第8 むすび
1 特許第6580219号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり請求項〔1-5〕について訂正することを認める。
2 取消理由通知の理由により本件発明1?5に係る特許を取り消すべきとすることはできない。
3 他に本件発明1?5に係る特許を取り消す理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
 
発明の名称 (57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基材と、前記基材の一方の主面側に設けられた粘着剤層とを備えた粘着シートであって、
前記粘着剤層は、重合性官能基を有する重合体(A)および前記重合性官能基を有する重合体(A)100質量部に対して0.01質量部以上、2質量部以下の光重合開始剤(B)を含有する粘着剤組成物から形成されたものであり、
前記光重合開始剤(B)は、その3質量%メタノール溶液の波長365nmの質量吸光係数(単位:ml/g・cm)が200以上1000以下であり、
最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を照射可能な紫外線光源を用いて、積算光量が200mJ/cm^(2)となるように紫外線を前記粘着剤層に照射したときに、
前記粘着シートは、前記粘着剤層における前記基材に対向する面と反対側の主面を測定対象面、シリコンウェハの鏡面を被着面として、JIS Z0237:2000に準拠して180°引き剥がし試験を行ったときに測定される粘着力について、前記紫外線を照射する前の状態における粘着力の、前記紫外線を照射した後の状態における粘着力に対する比が、10以上である
ことを特徴とする粘着シート。
【請求項2】
請求項1に記載される粘着シートをデバイス関連部材の一の面に貼付する工程、
前記デバイス関連部材における前記粘着シートが貼付した一の面と反対側の面側から加工を行って、加工された前記デバイス関連部材に前記粘着シートが貼着した状態とする工程、
前記加工されたデバイス関連部材に貼着する前記粘着シートが備える前記粘着剤層に対して、最大強度が350nm以上400nm以下の範囲にあり半値全幅が5nm以上30nm以下である単一の発光ピークをその発光スペクトルが有する光線を照射して、前記粘着剤層に含有される重合性官能基の重合反応を進行させる工程、および
前記硬化した粘着剤層を備えた粘着シートから前記加工されたデバイス関連部材を剥離する工程を備えること
を特徴とする加工されたデバイス関連部材の製造方法。
【請求項3】
前記光線の光源は紫外線発光ダイオードを含む、請求項2に記載の加工されたデバイス関連部材の製造方法。
【請求項4】
前記粘着シートはバックグラインドシートであって、前記加工は研磨加工を含む、請求項2または3に記載の加工されたデバイス関連部材の製造方法。
【請求項5】
前記粘着シートはダイシングシートであって、前記加工は切断加工を含む、請求項2または3に記載の加工されたデバイス関連部材の製造方法。
 
訂正の要旨 審決(決定)の【理由】欄参照。
異議決定日 2021-03-03 
出願番号 特願2018-131060(P2018-131060)
審決分類 P 1 651・ 537- YAA (C09J)
P 1 651・ 113- YAA (C09J)
P 1 651・ 121- YAA (C09J)
最終処分 維持  
前審関与審査官 井上 能宏  
特許庁審判長 天野 斉
特許庁審判官 蔵野 雅昭
門前 浩一
登録日 2019-09-06 
登録番号 特許第6580219号(P6580219)
権利者 リンテック株式会社
発明の名称 粘着シートおよび加工されたデバイス関連部材の製造方法  
代理人 飯田 理啓  
代理人 村雨 圭介  
代理人 早川 裕司  
代理人 村雨 圭介  
代理人 飯田 理啓  
代理人 早川 裕司  
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