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宮崎 園子
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審決年月日
審判番号
発明・考案の名称
結論
代理人
請求人
2003/07/01
不服
2001 -2181
熱処理方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
東京エレクトロン株式会社
原文
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該当なし
2003/06/20
不服
2001 -617
熱処理装置
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
東京エレクトロン株式会社
原文
保存
該当なし
2003/06/03
不服
2001 -7245
多結晶半導体膜の製造方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
株式会社日立製作所
原文
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該当なし
2003/04/21
不服
2001 -3362
非晶質薄膜結晶化方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
住友重機械工業株式会社
原文
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該当なし
2003/03/31
不服
2001 -9373
結晶性ケイ素膜の製造方法、結晶性ケイ素膜、半導体装置およびアクティブマトリクス基板
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
シャープ株式会社
原文
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該当なし
2003/03/31
不服
2001 -6421
半導体装置とその作製方法およびメモリ装置の作製方法およびレーザードーピング処理方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
株式会社半導体エネルギー研究所
原文
保存
該当なし
2003/03/31
異議
2002 -70622
熱処理装置及び熱処理方法
特許第3206566号の請求項1ないし10に係る特許を維持する。
加藤 大登
原文
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該当なし
2003/03/10
審判
1999 -12087
プラズマ処理方法
本件審判の請求は、成り立たない。
谷澤 靖久 その他
日本電気株式会社
原文
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該当なし
2003/02/07
異議
2002 -71936
半導体装置製造用の石英製装置
特許第3253734号の請求項1ないし8に係る特許を維持する。
原文
保存
該当なし
2003/02/03
審判
1999 -19035
転位低減方法
本件審判の請求は、成り立たない。
今城 俊夫 その他
ルミレッズ ライティング ユーエス リミテッドライアビリティ カンパニー
原文
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該当なし
2003/01/30
異議
2002 -71933
縦型反応炉
特許第3253384号の請求項1ないし2に係る特許を維持する。
原文
保存
該当なし
2002/12/17
不服
2001 -13907
重合体誘電体層におけるバイア・ホールの製造方法
原査定を取り消す。 本願の請求項1〜27に係る発明は、特許すべ……
ロックヒード マーティン コーポレーション
原文
保存
該当なし
2002/10/18
不服
2002 -7264
薄膜加工方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
福田 武通 その他
株式会社半導体エネルギー研究所
原文
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該当なし
2002/10/09
異議
2001 -70740
基板上の膜を選択的に加熱する方法
特許第3086489号の請求項1ないし14に係る特許を取り消す。
小林 泰 その他
原文
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該当なし
2002/09/03
異議
2002 -70535
半導体基板の製造方法
訂正を認める。 特許第3204855号の請求項1ないし12に係る特許を維……
八田 幹雄
原文
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29条の2(拡大された先願の地位)
2002/07/17
不服
2000 -8924
光ファイバコア部材と光ファイバ母材およびそれらの製造方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
信越化学工業株式会社
原文
保存
該当なし
2002/06/20
不服
2001 -21958
薄膜半導体装置の製造方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
藤綱 英吉 その他
セイコーエプソン株式会社
原文
保存
該当なし
2002/05/27
異議
2001 -73115
基板ベーク装置
訂正を認める。 特許第3170521号の請求項1、2に係る特許を取り消……
大西 健治
原文
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該当なし
2002/05/20
不服
2001 -11454
熱処理装置及び熱処理方法
本件審判の請求は、成り立たない。
碓氷 裕彦 その他
株式会社日本自動車部品総合研究所
原文
保存
該当なし
2002/05/20
異議
2000 -70548
ドライエッチング方法
訂正を認める。 特許第2932488号の請求項1に係る特許を維持する。
小林 博通 その他
原文
保存
該当なし
2002/02/27
審判
1999 -14223
半導体装置の製造方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
小池 隆彌
シャープ株式会社
原文
保存
該当なし
2002/02/14
不服
2001 -338
多結晶半導体薄膜の熱処理方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
橋本 剛
ソニー株式会社
原文
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該当なし
2001/12/10
異議
2001 -70479
EG用ポリシリコン膜の被着方法
訂正を認める。 特許第3076202号の請求項1ないし3に係る特許を維……
安倍 逸郎 その他
原文
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新規事項の追加
2001/10/26
審判
1999 -10373
凹凸形状を有する多結晶Siのエッチバック方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
京本 直樹 その他
日本電気株式会社
原文
保存
該当なし
2001/10/12
審判
1999 -8304
レジスト除去方法
原査定を取り消す。 本願の請求項1に係る発明は、特許すべきも……
京本 直樹 その他
日本電気株式会社
原文
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該当なし
2001/09/12
不服
2001 -4439
水素プラズマ処理方法
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
セイコーエプソン株式会社
原文
保存
該当なし
2001/08/30
異議
2000 -73257
半導体ウエハの製造方法
特許第3014152号の請求項1に係る特許を取り消す。
原文
保存
該当なし
2001/08/07
不服
2001 -2162
縦型熱処理装置
原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
東京エレクトロン株式会社
原文
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該当なし
2001/08/07
異議
1998 -73932
基板温度測定のための方法及び装置
訂正を認める。 特許第2711239号の請求項1ないし6に係る特許を維……
塩田 辰也 その他
原文
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新規事項の追加
2001/07/16
不服
2000 -6155
低抵抗多結晶シリコン薄膜の製造方法
本件審判の請求は、成り立たない。
ソニー株式会社
原文
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該当なし
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