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現在の検索キーワード: 内田 正和

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審決年月日 審判番号 発明・考案の名称 結論 代理人 請求人    
2021/10/06 不服
2021 -3750 
被加工物の処理装置、及び載置台 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。 小曳 満昭 その他   東京エレクトロン株式会社   原文 保存
該当なし  
2021/06/16 不服
2020 -16888 
容器内清浄化装置および清浄化方法 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   TDK株式会社   原文 保存
該当なし  
2021/06/16 不服
2020 -16392 
基板移送ロボットエンドエフェクタ 本件審判の請求は、成り立たない。 田中 伸一郎 その他   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2021/05/13 不服
2020 -15173 
半導体処理ツール 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   ブルックス オートメーション インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2021/04/21 不服
2020 -7634 
半導体被加工物処理システム 本件審判の請求は,成り立たない。   ブルックス オートメーション インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2021/03/31 不服
2020 -14189 
処理のために基板を支持する静電キャリア 本件審判の請求は,成り立たない。   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2021/03/10 不服
2019 -3838 
強化されたプロセスの均一性および低減された基板の滑りのためのサセプタ 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 近藤 直樹 その他   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2021/02/17 不服
2019 -7433 
半導体デバイスのウェハーのスクライビング 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 伊東 忠重 その他   ルミレッズ ホールディング ベーフェー   原文 保存
該当なし  
2020/11/25 不服
2020 -5490 
ALD反応炉における基板の装填 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   ピコサン オーワイ   原文 保存
該当なし  
2020/11/09 異議
2020 -700036 
静電チャック装置及びその製造方法 特許第6551104号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された特許…… 大谷 保     原文 保存
該当なし  
2020/10/15 不服
2019 -14632 
ガラス基板の検査装置 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   東朋テクノロジー株式会社   原文 保存
該当なし  
2020/09/30 不服
2020 -336 
ファセット付き内面を有する保持リング 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2020/08/12 不服
2019 -16642 
研磨方法及び不純物除去用組成物並びに基板及びその製造方法 本件審判の請求は、成り立たない。 田中 秀▲てつ▼ その他   株式会社フジミインコーポレーテッド   原文 保存
該当なし  
2020/07/22 不服
2019 -11200 
基板収納容器 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 岩池 満 その他   ミライアル株式会社   原文 保存
該当なし  
2020/05/07 不服
2018 -8142 
静電クランプの健全性の監視に基づく電荷の積分 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2020/02/18 不服
2019 -8197 
ダイシング装置 本件審判の請求は、成り立たない。   株式会社東京精密   原文 保存
該当なし  
2019/12/25 異議
2019 -700677 
半導体加工用粘着テープおよび半導体装置の製造方法 特許第6475901号の請求項1ないし4に係る特許を維持する。     原文 保存
該当なし  
2019/12/24 不服
2019 -864 
ウエハ加工用テープ 本件審判の請求は、成り立たない。   古河電気工業株式会社   原文 保存
該当なし  
2019/10/16 不服
2017 -2460 
基板搬送システム、基板処理装置、及び基板搬送方法 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   ブルックス オートメーション インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2019/09/20 不服
2019 -576 
中波長赤外線アブレーションを用いるウェハ剥離 本件審判の請求は,成り立たない。 上野 剛史 その他   インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション   原文 保存
該当なし  
2019/06/20 異議
2019 -700147 
半導体加工用粘着テープおよび半導体装置の製造方法 特許第6386696号の請求項1ないし8に係る特許を維持する。     原文 保存
該当なし  
2019/04/16 不服
2017 -13942 
ダイシングテープ一体型接着シート、及び、ダイシングテープ一体型接着シートを用いた半導体装置の製造方法 本件審判の請求は,成り立たない。   日東電工株式会社   原文 保存
該当なし  
2019/03/25 不服
2016 -19587 
同軸駆動真空ロボット 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   ブルックス オートメーション インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2019/03/11 不服
2018 -649 
レーザーダイシング装置及びレーザーダイシング方法 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。   株式会社東京精密   原文 保存
該当なし  
2019/02/08 不服
2017 -6737 
位置合わせ誤差を求めるための装置と方法 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。 上島 類 その他   エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー   原文 保存
該当なし  
2019/02/05 不服
2017 -11329 
半導体ウェーハをプラズマ・ダイシングする方法及び装置 本件審判の請求は,成り立たない。   プラズマ - サーム、エルエルシー   原文 保存
該当なし  
2019/01/24 異議
2018 -700899 
加熱装置 特許第6321522号の請求項1及び7に係る特許を維持する。     原文 保存
該当なし  
2018/11/06 不服
2018 -856 
インゴットとワークホルダの接着方法及び接着装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 鷲頭 光宏 その他   株式会社SUMCO   原文 保存
該当なし  
2018/10/16 不服
2017 -6571 
化学機械的研磨のスペクトルに基づく監視のための装置および方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2018/09/27 異議
2017 -701036 
静電チャックおよびウェーハ処理装置 特許第6124156号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付…… 市川 浩 その他     原文 保存
該当なし  

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