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審決年月日 審判番号 発明・考案の名称 結論 代理人 請求人    
2020/03/11 異議
2018 -700879 
被処理物の温度測定装置及び温度測定方法並びに攪拌・脱泡方法 特許第6388992号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正…… 特許業務法人森脇特許事務所     原文 保存
該当なし  
2019/04/08 無効
2017 -800041 
原稿圧着板開閉装置 特許第5223070号の明細書及び特許請求の範囲を、訂正請求書に添…… 横本 幸昌 その他   下西技研工業 株式会社   原文 保存
該当なし  
2017/02/07 不服
2014 -21487 
複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 近藤 直樹 その他   カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー   原文 保存
該当なし  
2016/11/17 不服
2014 -21488 
複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 近藤 直樹 その他   カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー   原文 保存
該当なし  
2016/04/11 不服
2015 -8811 
光学要素ユニット 本件審判の請求は、成り立たない。 杉村 憲司   カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー   原文 保存
該当なし  
2016/02/22 不服
2014 -16807 
リソグラフィ工程の制御方法 本件審判の請求は、成り立たない。 稲葉 良幸   エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.   原文 保存
該当なし  
2016/01/15 不服
2015 -630 
半導体素子及び半導体素子のパターン形成方法 本件審判の請求は、成り立たない。 木内 敬二 その他   三星電子株式会社   原文 保存
該当なし  
2016/01/05 不服
2014 -24643 
フォトマスクブランク及びフォトマスクの製造方法 本件審判の請求は、成り立たない。 岡田 貴志 その他   信越化学工業株式会社 凸版印刷株式会社   原文 保存
該当なし  
2016/01/04 不服
2015 -1495 
組成物、複合体の製造方法及び光学部材の製造方法 本件審判の請求は、成り立たない。   東洋合成工業株式会社   原文 保存
該当なし  
2015/12/22 不服
2015 -1232 
マイクロリソグラフィ用の掩蔽瞳を有する投影対物系 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 岸 慶憲 その他   カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー   原文 保存
該当なし  
2015/08/14 不服
2014 -19032 
利用者認証機能付きロッカーシステム 本件審判の請求は、成り立たない。 今岡 憲   古川 次則 大野 清光   原文 保存
該当なし  
2015/02/02 不服
2014 -1025 
光学部材保持装置、光学部材の位置調整方法、及び露光装置 本件審判の請求は、成り立たない。   株式会社ニコン   原文 保存
該当なし  
2014/12/12 不服
2013 -22445 
露光装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 下山 治 その他   キヤノン株式会社   原文 保存
該当なし  
2014/09/29 不服
2013 -20352 
極紫外線(EUV)フォトマスクのエッチング方法 本件審判の請求は、成り立たない。   アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド   原文 保存
該当なし  
2014/09/17 不服
2013 -3007 
光学要素ユニット 本件審判の請求は、成り立たない。 下地 健一   カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー   原文 保存
該当なし  
2014/06/27 不服
2013 -18291 
フォトマスクブランクス 本件審判の請求は、成り立たない。   大日本印刷株式会社   原文 保存
該当なし  
2014/01/31 不服
2012 -23090 
版露光装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 緒方 雅昭 その他   ハイデルベルガー ドルツクマシーネン アクチエンゲゼルシヤフト   原文 保存
該当なし  
2014/01/29 不服
2012 -25646 
ソルダーレジストパターンの形成方法 本件審判の請求は、成り立たない。 竹内 将訓 その他   太陽ホールディングス株式会社   原文 保存
該当なし  
2013/10/15 不服
2012 -21442 
階調マスク 本件審判の請求は、成り立たない。   大日本印刷株式会社   原文 保存
該当なし  
2013/09/02 不服
2012 -22175 
リソグラフィ装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 稲葉 良幸   エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.   原文 保存
該当なし  
2013/04/02 不服
2012 -5043 
露光装置、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 本件審判の請求は、成り立たない。 稲葉 良幸   エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.   原文 保存
該当なし  
2013/03/18 不服
2012 -5334 
原稿圧着板自動開閉装置及びこの原稿圧着板自動開閉装置を備えた事務機器 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   株式会社ナチュラレーザ・ワン   原文 保存
該当なし  
2013/02/27 不服
2012 -10308 
半導体装置およびその製造方法ならびに半導体製造用マスク、光近接処理方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 有田 貴弘   ルネサスエレクトロニクス株式会社   原文 保存
該当なし  
2013/02/27 訂正
2013 -390017 
リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 特許第5162559号に係る明細書及び特許請求の範囲を本件審判請求…… 田中 智典 その他   エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.   原文 保存
該当なし  
2013/02/06 不服
2011 -28093 
印写リソグラフィの方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 稲葉 良幸   エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.   原文 保存
該当なし  
2012/12/19 不服
2011 -21440 
原稿圧着板開閉装置 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   加藤電機株式会社   原文 保存
該当なし  
2012/11/09 不服
2011 -21491 
グレートーンマスクブランク及びグレートーンマスクの製造方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   HOYA株式会社   原文 保存
該当なし  
2012/09/13 不服
2011 -17093 
リソグラフィ装置及びレチクル誘導CDUを補償するデバイス製造方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.   原文 保存
該当なし  
2012/09/12 不服
2011 -17396 
露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。   株式会社ニコン   原文 保存
該当なし  
2012/08/28 不服
2011 -17661 
半導体デバイスを形成する方法およびシステム 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 有原 幸一 その他   ヒューレット-パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.   原文 保存
該当なし  

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