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| 審決分類 |
審判 全部申し立て 2項進歩性 H01L |
|---|---|
| 管理番号 | 1043188 |
| 異議申立番号 | 異議2000-71931 |
| 総通号数 | 21 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許決定公報 |
| 発行日 | 1998-08-21 |
| 種別 | 異議の決定 |
| 異議申立日 | 2000-05-09 |
| 確定日 | 2001-02-14 |
| 異議申立件数 | 1 |
| 訂正明細書 | 有 |
| 事件の表示 | 特許第2974995号「試料搬出入装置」の請求項1、2に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。 |
| 結論 | 訂正を認める。 特許第2974995号の請求項1、2に係る特許を取り消す。 |
| 理由 |
1.[手続の経緯] 本件特許第2974995号(請求項の数2、以下、「本件特許」という)は、平成1年12月13日(以下、「遡及出願日」という)に出願された特願平1-321441号の特許出願の一部を、特許法第44条第1項に規定する新たな特許出願とした、特願平10-64969号の特許出願に係るもので、平成11年9月3日に登録された。その後平成12年5月9日に、上記特許異議申立人より、全請求項に関して特許異議の申立てがあったので当審において、当該申立ての理由を検討の上、平成12年9月1日付で、全請求項に係る本件特許の取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成12年11月20日に特許異議意見書と共に訂正請求書が提出されたものである。 2.[訂正請求の認容と本件特許発明] 特許権者が上記訂正請求によって求める訂正の趣旨は、特許請求の範囲の減縮と、当該減縮に基づいて生じる明細書の明瞭でない記載の釈明とを目的として、特許明細書又は図面に記載された事項の範囲内で特許明細書を訂正しようとするものであって、しかも、実質上、特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもないから、請求に係る訂正は、特許法第120条の4第2項の規定及び同条第3項で準用する同第126条の規定を満たしている。 したがって、上記訂正請求を認容することとし、本件特許発明は、上記訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項1及び2に記載された事項によって、それぞれ特定される次のとおりのものと認める。 【請求項1】「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、 前記閉容器を開閉する開閉手段と、 前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で、前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」(この請求項1に係る発明を、以下、「本件発明」という) 【請求項2】「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、 該閉容器を所定の前記真空処理モジュールに対応する位置に移動させる手段と、 前記閉容器を開閉する開閉手段と、 前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」 3.[引用例とその記載事項の概要] 上記取消理由において引用した、いずれも、本件特許に係る上記遡及出願日(平成1年12月13日)より前に頒布された刊行物は、次のとおりである。 刊行物1:特開昭63-28047号公報(甲第2号証) 刊行物2:特開昭60-115216号公報(甲第1号証) 刊行物3:特開昭56-4244号公報(参考資料1) (1)上記刊行物1には、「クリーン搬送方法」に関して、第1〜4図と共に、次のイ〜ホの記載がある。 イ 「各作業工程を実行する設備は、それぞれ独立したクリーンチャンバー内に配設されている。すなわち、パターン形成工程の設備はクリーンチャンバー5A、・・・、イオン注入工程の設備はクリーンチャンバー5H内にそれぞれ設けられている。」(第2頁左下欄第13行〜同右下欄第4行) ロ 「本発明は、複数のクリーンチャンバーを用い、それらの複数のクリーンチャンバーのうち少なくとも1個以上を移動自在とし、前記クリーンチャンバーの移送口相互を結合した状態で被搬送物を移し変える方法・・・」(第2頁右上欄第10〜14行) ハ 「クリーン搬送車7は、クリーンチャンバーに車(キャスター)8を設けて移動自在にしたもの」(第2頁右下欄第17〜18行) ニ 「被搬送物の各クリーンチャンバー5A乃至5H間の移送及び資材保管庫9及び半製品保管庫10と各クリーンチャンバー5A乃至5H間の搬送は、クリーン搬送車7を無線もしくは有線で移動させることによって行う。例えば、第2図のように、クリーンチャンバー5Aの搬送口15にクリーン搬送車7の移送口16を結合(ドッキング)し、両移送口15,16を開き、搬送車7側のローダ及びアンローダとしてのマジックハンド機構20を介して被搬送物をクリーンチャンバー5Aに対して供給するか、またはクリーンチャンバー5Aより取り出す。」(第3頁左上欄第15行〜同右上欄第6行) ホ 「なお、スパッタや蒸着等の成膜工程及びイオン注入工程は、真空中で行われるので、・・・真空チャンバー自体をクリーンチャンバーとして利用するが、・・・これらの真空チャンバーとクリーン搬送車の間は気密性と機能性を高める上から2重扉構造が望ましい。・・・真空チャンバーへの搬送には、真空の効率と機能性を高めるために真空チャンバーを載置した搬送車を利用しても良い。」(第5頁右下欄第3〜16行) (2)また、上記刊行物2(特に、第4頁左下欄第2〜16行参照)には、真空処理室とバッファ室と真空予備室を、また、刊行物3(特に、第2頁左上欄第14行〜同右上欄第4行参照)には、真空処理室に相当するウエーハ処理室と、バッファ室に相当するウエーハ搬送室と、真空予備室とをそれぞれ連設すると共に、バッファ室あるいはバッファ室に相当するところに、ウエハ等を搬送する搬送機構を設ける構成が示されている。 4.[発明の対比] 刊行物1記載の「クリーンチャンバー」のうちで、「各作業工程を実行する設備」を備えているものは、上記イ、ロ及びホの記載を参酌すると、本件発明において、試料を真空処理する「真空処理モジュール」に相当し、同様に「クリーン搬送車」は「移動可能な閉容器」に相当している。また、上記ニの「クリーンチャンバー5Aの搬送口15にクリーン搬送車7の移送口16を結合(ドッキング)し、両移送口15,16を開き」という記載から、クリーンチャンバー及びクリーン搬送車のそれぞれの「移送口」に「開閉手段」が設けられていることは明らかである。更に、上記イのとおり、各クリーチャンバーは、各作業工程に対応して設けられているところから、各クリーチャンバーには単一の真空処理室が備えられているとみることができる。そして、上記ニの「クリーンチャンバー5Aの搬送口15にクリーン搬送車7の移送口16を結合(ドッキング)し、両移送口15,16を開き、搬送車7側のローダ及びアンローダとしてのマジックハンド機構20を介して被搬送物をクリーンチャンバー5Aに対して供給するか、またはクリーンチャンバー5Aより取り出す」という記載は、「各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で、前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する」ことと同義といえる。 したがって、本件発明と刊行物1記載の発明の一致点と相違点は、次のとおりである。 ＜一致点＞ 「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、 前記閉容器を開閉する開閉手段と、 前記各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で、前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えた試料搬出入装置。」である点。 ＜相違点＞ 本件発明では、真空処理モジュールに「真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室」が備えられ、当該バッファ室内に「前記ロック室を介して試料を搬出入する搬出入手段」が設けられるとされるのに対し、刊行物1には、真空処理モジュールにバッファ室及びロック室が備えられことや、ロック室を介して試料を搬出入する搬出入手段をバッファ室内に設けることについて言及がない点。 5.[相違点の検討] 上記の刊行物2及び3記載の「真空予備室」は、大気状態と真空状態とが切り替え可能に構成されているもので、本件発明における「ロック室」に相当しており、これらの刊行物にも示されているように、真空処理室にバッファ室とロック室とを連設すると共に、ロック室を介して被処理物の搬出入を行う手段をバッファ室に設ける構成は、真空処理モジュールにおいて通常採用されている周知のものである。 一方、刊行物1における、上記ホの「2重扉構造が望ましい」という記載は、ロック室の必要性を示唆したものとも解しうるし、また、真空処理モジュールと閉容器とによって形成される閉空間の内部において試料の搬出入を行うための手段は、真空処理モジュールあるいは閉容器のいずれの側に設けてもよいものであることは明らかである。 そうすると、刊行物1における上記の示唆等に基づいて、刊行物1記載の「各作業工程を実行する」ためのクリーンチャンバー(真空モジュール)において、上記周知の構成を採用して、本件発明のようにすることは、当業者が容易に想到しうる設計事項といえる。 しかも、本件発明の作用効果は、上記各刊行物の記載から予測しうる範囲を越えるものではない。 したがって、本件発明は、上記刊行物記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものといえるし、請求項1に係る本件特許は、特許法第29条第2項の規定に基づいて拒絶査定をしなければならない特許出願に対してされたことになる。 6.[請求項2に係る発明について] 請求項2に係る発明では、本件発明の構成に加えて「該閉容器を所定の前記真空処理モジュールに対応する位置に移動させる手段」が付加されているが、上記3.のロ〜ニに指摘したように、刊行物1には、「複数のクリーンチャンバーのうち少なくとも1個以上」に「車(キャスター)8を設けて移動自在にしたもの」を「無線もしくは有線で移動させる」旨が記載されており、当該移動させる手段は実質上刊行物1にも開示されているといえる。 したがって、請求項2記載の発明も本件発明と同様に、上記刊行物記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたもので、請求項2に係る本件特許は、特許法第29条第2項の規定に基づいて拒絶査定をしなければならない特許出願に対してされたことになる。 7.[むすび] 以上のとおりであるから、請求項1及び2に係る本件特許は、平成6年法律第116号附則第14条の規定によって適用される、平成7年政令第205号第4条第2項の規定に基づいて、特許法第114条第2項に規定の取り消すべき旨の決定をすべきものに該当する。 よって、結論のとおり決定する。 |
| 発明の名称 |
(54)【発明の名称】 複数真空処理装置 (57)【特許請求の範囲】 【特許請求の範囲】 【請求項1】 各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、 前記閉容器を開閉する開閉手段と、 前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。 【請求項2】 各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、 該閉容器を所定の前記真空処理モジュールに対応する位置に移動させる手段と、 前記閉容器を開閉する開閉手段と、 前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。 【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】 本発明は、試料を真空で連続して複数処理する真空処理装置に係わり、特に半導体製造装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】 従来の複数処理装置は、例えば、セミ・コンダクタ・ワールド(Semi Cｏndｕcｔｏｒ Wｏｒld)1989、8、38〜40頁に記載されているように各処理室は、真空にされた搬送室等で連結されていた。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】 上記従来技術の放射状連結は、各処理室が放射状に連結されているため、試料の大口径化に伴う設置場所の拡がり、又は、連結される処理室の数にも制限があった。 【0004】 また、上記従来技術の直線状連結は、各処理室が放射状に連結されているため、処理前後の試料の位置が離れ操作性が悪く、各処理室の大きさにより、各室の標準化が困難であった。 【0005】 さらに、上記従来技術は、各処理室が真空の搬送室等で常に連結されているため、各処理室の保守スペースが不十分で移動等も困難であり、また、各真空処理室間が連結されるための相互汚染も問題があった。 【0006】 本発明の目的は、各処理室の相互汚染がなく、保守性が良い連続で複数の処理が行えるようにすることにある。 【0007】 【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するために、本発明の特徴とするところは、各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、前記閉容器を開閉する開閉手段と、前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことにある。 【0008】 上記のように構成すれば、閉容器により閉じた状態で搬送した試料を、汚染させること無く、複数の真空処理モジュールの各処理室に容易に、且つより確実に搬出入可能な試料出搬入装置を得ることができる。 また、各真空処理モジュールは単一の真空処理室とバッファ室とを備えており、各バッファ室内に搬出入手段が設けられ、前記各真空処理モジュールに対応して閉容器が配置された状態で、閉容器に開閉手段を介して試料を搬出入するように構成したので、閉容器に搬送手段を設けたものに比べて、構成が簡単になり、制御が容易になる。 特に、真空処理モジュールを単一の真空処理室とバッファ室から構成し、閉容器を移動型としているため、各真空処理室の処理時間に差が有っても、試料の搬出入に大きなロスタイムを生ずることはない。 【0009】 【発明の実施の形態】 以下、本発明の一実施例を図1および図2により説明する。 【0010】 図1において、システムの構成は、試料を大気中から真空中へ、および真空中から大気中へ戻すため、ロードアンロード装置1と、そこから試料を真空保持の状態で受け取り又は受け渡し可能な真空移動装置2と、その真空移動装置2との間で試料を真空保持状態で搬出入可能な一つ以上の処理モジュール3a〜3cでなる。 【0011】 図2において、真空移動装置2と一つの処理モジュールの構成について説明する。 【0012】 まず、真空移動装置2は、試料を真空状態に保持する移動真空室4と、試料搬出入時開くゲートバルブ5aとで真空室を形成する。その移動真空室4には、試料の搬出入時に稼働する試料搭載装置10が取り付けられている。また、真空移動装置2がロードアンロード装置1および各処理モジュール3a〜3c間を移動するために移動装置11が設けられると共に、移動真空室4に設けられたロック室6aを処理モジュール3又はロードアンロード装置の真空室のロック室6bと連結する結合装置9が設けられている。 【0013】 各処理モジュール3は、試料の処理を行う処理室8と、搬送アーム16の収納される真空保持のバッファ室7と、真空移動装置2のロック室6aと連結されるロック室6bより真空室が形成され、各室は、ゲートバルブ5bおよび5cにより連通となる。ロック室6bには、ロック室6aおよび6bを大気に戻すためにN2ガス元14がバルブ15を介して接続され、また、真空引きをするために真空ポンプ12がバルブ13を介して接続されている。また、ロードアンロード装置1にも上記の処理モジュール3と同様の機構が設けられる。 【0014】 以上、本実施例によれば、ロードアンロード装置および各処理モジュールの真空室を単独で切り離して配置していても、試料は、各処理の開始から終了まで真空状態で処理することができる。 【0015】 【発明の効果】 本発明によれば、閉容器により閉じた状態で搬送した試料を、汚染させること無く、複数の真空処理モジュールの各処理室に容易に、且つより確実に搬出入可能な試料出搬入装置を得ることができる。 また、各真空処理モジュールは単一の真空処理室とバッファ室とを備えており、各バッファ室内に搬出入手段が設けられ、前記各真空処理モジュールに対応して閉容器が配置されれた状態で、閉容器に開閉手段を介して試料を搬出入するように構成したので、閉容器に開閉手段を設けたものに比べて、構成が簡単になり、制御が容易になる。 特に、真空処理モジュールを単一の真空処理室とバッファ室から構成し、閉容器を移動型としているため、各真空処理室の処理時間に差が有っても、試料の搬出入に大きなロスタイムを生ずることはない。 【図面の簡単な説明】 【図1】 本発明の一実施例の複数真空処理装置の構成を表した平面図である。 【図2】 図1の処理モジュール部の縦断面図である。 【符号の説明】 1…ロードアンロード室、2…真空移動装置、3…処理モジュール、4…移動真空室、5a〜5c…ゲートバルブ、6…ロック室、7…バッファ室、8…処理室、9…結合装置、10…試料搭載装置、11…移動装置、12…真空ポンプ、13…バルブ、14…N2ガス元、15…バルブ、16…搬送アーム。 |
| 訂正の要旨 |
上記訂正の要旨は、次のイ〜ニのとおりである。 イ 発明の名称を「試料搬出入装置」から「複数真空処理装置」に訂正する。 ロ 請求項1及び2のそれぞれにおいて、冒頭の「各々試料が真空処理される単一の真空処理室とバッファ室とを備えた複数の真空処理モジュールと、各真空処理モジュールに対応して配置される移動可能な閉容器と、」という記載を、「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、」と訂正する。 ハ 同じく、請求項1及び2それぞれの末尾の「前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールに対応して前記閉容器が配置された状態で、前記閉容器に前記各開閉手段を介して前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」という記載を、「前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに1つの前記閉容器が連結された状態で、前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」と訂正する。 ニ 特許明細書における「発明の詳細な説明」の、上記ロ、ハの訂正事項に対応する箇所(【0007】)について、当該各訂正事項と同趣旨の訂正をする。 |
| 異議決定日 | 2000-12-21 |
| 出願番号 | 特願平10-64969 |
| 審決分類 |
P
1
651・
121-
ZA
(H01L)
|
| 最終処分 | 取消 |
| 前審関与審査官 | 中西 一友、柴沼 雅樹、瀧内 健夫 |
| 特許庁審判長 |
神崎 潔 |
| 特許庁審判官 |
鈴木 久雄 大島 祥吾 |
| 登録日 | 1999-09-03 |
| 登録番号 | 特許第2974995号(P2974995) |
| 権利者 | 株式会社日立製作所 |
| 発明の名称 | 複数真空処理装置 |
| 代理人 | 高田 幸彦 |
| 代理人 | 竹ノ内 勝 |
| 代理人 | 高田 幸彦 |
| 代理人 | 竹ノ内 勝 |