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| 審決分類 |
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない(前置又は当審拒絶理由) H01L |
|---|---|
| 管理番号 | 1135254 |
| 審判番号 | 不服2003-3671 |
| 総通号数 | 78 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2000-04-21 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2003-03-06 |
| 確定日 | 2006-04-21 |
| 事件の表示 | 平成10年特許願第283126号「静電チャック装置」拒絶査定不服審判事件〔平成12年4月21日出願公開、特開2000-114358〕について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は、成り立たない。 |
| 理由 |
1.手続の経緯・本願発明 本願は、平成10年10月5日の出願であって、その請求項1〜5に係る発明は、平成17年8月26日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項1〜5に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項1に係る発明(以下、「本願発明」という。)は次のとおりのものである。 「金属基盤上に、少なくとも電気絶縁層と電極と吸着層とが積層された静電チャック装置において、 少なくとも前記吸着層を接着する接着剤層の側端部を被覆する侵食防止絶縁物が設けられ、 前記金属基盤と吸着層の間に、電気絶縁性弾性層を有し、 前記接着剤層と電気絶縁性弾性層の間に、絶縁性フィルムを有し、 前記吸着層が、セラミック板からなり、 前記接着剤層および電気絶縁性弾性層が、ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、オレフィン系共重合体、ポリフェニルエーテル共重合体から選択される1種または2種以上の混合物からなるゴム成分を含有することを特徴とする静電チャック装置。」 2.刊行物記載の発明(事項) 平成17年6月22日付けで当審が通知した拒絶の理由に引用され、本願の出願前に国内で頒布された刊行物である、特開平9-260473号公報(以下、「刊行物1」という。)、特開平10-144778号公報(以下、「刊行物2」という。)、特開平7-147247号公報(以下、「刊行物3」という。)、及び、特開平8-148549号公報(以下、「刊行物4」という。)には、以下の事項が記載されている。 (1)刊行物1 (1-イ)段落【0006】〜【0009】 「【発明の実施の形態】 以下に本発明を図1、2に基いて詳述する。 図1及び図2は、本発明の双極型静電チャックの例を示したもので、第2絶縁層1、接着剤層2、第1絶縁層3、接着剤層4、金属基板5、導電性パターン6、リード線7よりなり、リード線7に通電してウエハを第2絶縁層1に吸着させるものである。・・・ 第1絶縁層3に使用されるセラミックスは、静電チャックの熱伝導性を高めるために高熱伝導性のものが好ましく、熱伝導率は0.05 cal/cm・sec・℃以上のものがよく、窒化アルミニウム、アルミナ、窒化ホウ素、窒化珪素から選ばれたものである。・・・ 導電性パターン6は、静電チャックのウエハ吸着のための電極として作用するもので、材質としては銅、アルミニウム、ニッケル、銀、タングステンなどの金属系の導電体、または窒化チタンなどのセラミックス系の導電体が例示され、膜厚は1〜100μmとすればよく、好ましくは5〜50μmとすればよい。・・・ 第2絶縁層としては、高熱伝導性の弾性体が用いられ・・・る。・・・」 (1-ロ)段落【0015】 「本発明の静電チャックの各層は接着または密着により積層すればよいが、接着剤を用いることが好ましく、接着剤としては、公知のシリコーンゴム系接着剤が好ましい。・・・」 以上の記載事項及び図2の記載からみて、刊行物1には次の発明が記載されていると認められる。 「金属板5上に、シリコーンゴム系接着剤層4、セラミックスからなる第1絶縁層3、電極として作用する導電性パターン6、シリコーンゴム系接着剤層2及び高熱伝導性の弾性体からなりウエハを吸着する第2絶縁層1が積層された双極型静電チャックにおいて、 前記金属板5とウエハを吸着する第2絶縁層1の間に、シリコーンゴム系接着剤層4を有し、 前記シリコーンゴム系接着剤層2とシリコーンゴム系接着剤層4の間に、セラミックスからなる第1絶縁層3を有し、 前記ウエハを吸着する第2絶縁層1が、高熱伝導性の弾性体からなり、 前記シリコーンゴム系接着剤層2およびシリコーンゴム系接着剤層4が、シリコーンゴムからなる双極型静電チャック。」(以下、「刊行物1記載の発明」という。) (2)刊行物2の段落【0006】〜【0009】 「【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、上記接合により構成された静電チャックでは、半導体製造過程においてプラズマに曝されることになる吸着面に極めて近い部位(一般的には吸着面下方約0.5mmの部位)に接合部分が現れることになるため、プラズマ照射に近い部分で接着剤が露出していると、以下のような問題が発生する。 すなわち、有機系の接着剤である場合には、露出した接着剤が著しく損傷してしまい、それにより静電チャックの寿命が短くなる。詳しく説明すると、半導体製造装置の真空チャンバー内は、SiCl4 ,SiH2 Cl2 ,PCl3 ,BCl3 ,HCl,Cl2 ,CH4 ,C2 F6 ,C4 F8 ,NF3 ,O2 の如き、腐食性のガスが導入されたり、さらに、F系,Cl系ガスのプラズマも形成されるという厳しい腐食環境下にあるため、静電チャック全体に優れた耐食性が要求される。ところが、有機系の接着剤は上述したような腐食性ガス或いはプラズマに対して耐食性が不十分である。一方、セラミックスを主成分とする無機系接着剤は、結合材または硬化剤中にアルカリ金属を含んでいるため、これら重金属によってウエハーが汚染される恐れがある。 よって、腐食性ガス及びプラズマによって著しく損傷される恐れのある部位にこれらの接着剤が存在することは好ましくない。なお、ガラスについても耐食性が十分とは云えず、製造上の理由により低融点ガラスを用いる場合には、添加物中の金属元素によってウエハーが汚染する恐れがある。 本発明は以上のような従来の静電チャックにおける課題を考慮してなされたものであり、使用した接着剤が損傷することがなく、且つ安定した吸着力の得られる静電チャックを提供するものである。」 上記の記載事項からみて、刊行物2には、静電チャックにおいて、「接着剤の露出する部分がプラズマ及び腐食性ガスにより著しく損傷し、静電チャックの寿命が短くなる」との課題が存在することが記載されていると認められる。 (3)刊行物3の段落【0013】〜【0014】 「請求項3に係わる発明は、前述のプラズマ処理装置の支持台の場合、被処理体の温度コントロール用の冷却ジャケットやヒータの組み付け等のために、複数の部材の組み合わせよりなる多重構造とし、且つその上面に被処理体を吸着保持する静電チャックを有した構成のものがあるが、この多重構造部材の各々の外周面及び相互の接合面と、静電チャックの被処理体吸着面を除いた周面とに、高分子ポリベンゾイミダゾール樹脂被膜を設けたことを特徴とする。 これにて多重構造の支持台においても、それら各部材の外周面並びに相互の隙間内も含め、耐熱性、耐電気絶縁性並びに耐腐食性を確実に維持できると共に、耐プラズマ性及び真空脱ガス特性にも優れ、パーティクル等の不純物質の発生を抑え、パーティクルフリー、コンタミネーションフリーで非常にクリーンな環境を得て信頼性の高い能率的な処理の実現に有効となる。」 上記の記載事項からみて、刊行物3には、静電チャックにおいて、「被処理体吸着面を除いた周面に高分子ポリベンゾイミダゾール樹脂被膜を設け、耐熱性、耐電気絶縁性、耐腐食性、耐プラズマ性及び真空脱ガス特性に優れたものとすること。」が記載されていると認められる。 (4)刊行物4 (4-イ)段落【0008】 「以下、本発明について図面を参酌して詳細に説明する。図1は、本発明の静電チャック装置の一例の模式的断面図である。本発明の静電チャック装置は、金属基盤1の上に、絶縁性の優れた接着剤層2を形成し、その上に金属の蒸着膜またはメッキ膜からなる電極層3が設けられ、その上にプラスチックフィルムからなる電気絶縁層4が設けられた構造を有しており、プラスチックフィルムの表面が被吸着物を設置する面になっている。・・・」 (4-ロ)段落【0014】 「【実施例】 次に、本発明を実施例および比較例によって説明する。なお、部数は全て重量基準で示す。 実施例1 ・・・電極層の表面に下記組成よりなる接着剤を用いて、厚さ20μmになるように第1回目の塗布を行い、150℃で5分間乾燥した後、さらに第2回目の塗布を行って、膜厚40μmの接着剤層(絶縁層)を形成した。 アクリロニトリル-ブタジエンゴム(ニッポール1001、日本ゼオン社製) 100部 高純度エポキシ樹脂(エピコートYL979、油化シェル社製) 50部 クレゾール型フェノール樹脂(CKM2400、昭和高分子社製) 50部 ジシアンジアミド(和光純薬社製) 5部 メチルエチルケトン 500部 得られた積層シート全体の厚さは90μmであった。この積層シートを、アルミニウム基盤の所定の寸法に合わせて打ち抜き加工を行い、アルミニウム基盤に貼り合わせて100℃〜150℃までのステップキュアー処理を5時間行い、直径8インチの静電チャック面を有する静電チャック装置を作製した。」 上記の記載事項からみて、刊行物4には、静電チャック装置において、「プラスチックフィルムからなる電気絶縁層を設けること。」、及び、「接着剤層(絶縁層)を、アクリロニトリル-ブタジエンゴムを含有するものとすること。」が記載されていると認められる。 3.対比 本願発明と刊行物1記載の発明とを対比すると、後者の「金属板5」が前者の「金属基盤」に、後者の「電極として作用する導電性パターン6」が前者の「電極」に、後者の「双極型静電チャック」が前者の「静電チャック装置」に、それぞれ相当することは明らかである。また、後者の「高熱伝導性の弾性体からなりウエハを吸着する第2絶縁層1」と前者の「セラミック板」からなる「吸着層」とは「吸着層」の限りで、後者の「セラミックスからなる第1絶縁層3」と前者の「絶縁性フィルム」とは「絶縁層」の限りで、後者の「シリコーンゴム系接着剤層2」と前者の「ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、オレフィン系共重合体、ポリフェニルエーテル共重合体から選択される1種または2種以上の混合物からなるゴム成分を含有する」「接着剤層」とは「ゴム成分を含有する接着剤層」の限りで、それぞれ共通する。 そして、後者の「シリコーンゴム系接着剤層4」は、それが電気絶縁性でかつ弾性を有することは技術常識であるから、前者の「ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、オレフィン系共重合体、ポリフェニルエーテル共重合体から選択される1種または2種以上の混合物からなるゴム成分を含有する」「電気絶縁弾性層」と「ゴム成分を含有する電気絶縁弾性層」の限りで共通する。 さらに、後者の「シリコーンゴム系接着剤層4」、「セラミックスからなる第1絶縁層3」及び「シリコーンゴム系接着剤層2」は、前者の「電気絶縁層」に相当する。 そうすると、本願発明と刊行物1記載の発明との一致点及び相違点は、以下のとおりである。 〈一致点〉 「金属基盤上に、電気絶縁層と電極と吸着層とが積層された静電チャック装置において、 前記金属基盤と吸着層の間に、電気絶縁性弾性層を有し、 接着剤層と電気絶縁性弾性層の間に、絶縁層を有し、 前記接着剤層および電気絶縁性弾性層が、ゴム成分を含有する、静電チャック装置」である点。 〈相違点1〉 前者は、少なくとも前記吸着層を接着する接着剤層の側端部を被覆する侵食防止絶縁物が設けられているのに対して、後者は、接着剤層の側端部を被覆する侵食防止絶縁物が設けられていない点。 〈相違点2〉 前者は、接着剤層と電気絶縁性弾性層の間に設けられる絶縁層が、絶縁性フィルムであるのに対して、後者は、当該絶縁層がセラミックスである点。 〈相違点3〉 前者は、吸着層がセラミック板からなるのに対して、後者は、吸着層が高熱伝導性の弾性体からなる点。 〈相違点4〉 前者は、接着剤層および電気絶縁性弾性層の含有するゴム成分が、ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、オレフィン系共重合体、ポリフェニルエーテル共重合体から選択される1種または2種以上の混合物からなるのに対して、後者は、当該ゴム成分が、シリコーンゴムからなる点。 4.当審の判断 上記相違点1〜4について、以下検討する。 (1)相違点1について 刊行物3記載の「高分子ポリベンゾイミダゾール樹脂被膜」は静電チャックに耐腐食性、耐プラズマ性を付与するものであるから、「侵食防止絶縁物」と言い得るものであり、そうすると、刊行物3記載の事項は、静電チャックにおいて、「被処理体吸着面を除いた周面に高分子ポリベンゾイミダゾール樹脂からなる侵食防止絶縁物被膜を設け、耐腐食性、耐プラズマ性等に優れたものとすること。」と言い換えることができる(上記2.(3)を参照)。 ところで、刊行物2には、静電チャックにおいて、「接着剤の露出する部分がプラズマ及び腐食性ガスにより著しく損傷し、静電チャックの寿命が短くなる」との課題が存在することが示されているから(上記2.(2)を参照)、接着剤層を有する静電チャックに関する刊行物1記載の発明も当該課題を有することは当業者が当然に想起することであり、したがって、刊行物1記載の発明に刊行物3記載に事項を組み合わせ、相違点1に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得たことである。 (2)相違点2、4について 刊行物4には、静電チャック装置において、「プラスチックフィルムからなる電気絶縁層を設けること。」、及び、「接着剤層(絶縁層)を、アクリロニトリル-ブタジエンゴム(当審注:本願発明の「ブタジエン-アクリロニトリル共重合体からなるゴム」と同一物である)を含有するものとすること。」が示されている(上記2.(4)を参照)。 そして、刊行物1記載の発明と刊行物4記載の上記事項とは、「静電チャック装置」という同一の技術分野に属し、しかも、両者を組み合わせることを妨げる特段の事情を見出し得ないことからすれば、刊行物1記載の発明に刊行物4記載の事項を適用して、相違点2、4に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得たことである。 (3)相違点3について 吸着層をセラミック板で構成した静電チャック装置は、例をあげるまでもなく、従来周知であり、当該周知の事項を、同じく静電チャック装置に関する刊行物1記載の発明に適用して、相違点3に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得たことである。 (4)作用効果について そして、本願発明の作用効果は、刊行物1記載の発明、刊行物2〜4記載の事項及び従来周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。 この点について、請求人は、平成17年8月26日付け意見書第3頁9行〜34行において、「しかしながら、本件発明1は、吸着層がセラミック板からなる静電チャック装置において、特定のゴム成分を含有した接着剤層および電気絶縁性弾性層を設けること、すなわち、セラミック板からなる吸着層と、特定のゴム成分を含有した接着剤層および電気絶縁性弾性層とを組み合わせることによって、引用例1〜5からは予測されない効果を奏するものです。以下、このことについて詳しく説明いたします。 セラミックス製の静電チャックは、耐久性が高い反面、ウエハとの密着性が悪いという問題があります(引用例1の段落[0003]参照)。この問題に対して本件発明1は、加熱処理等により、熱膨張率の差によって生じる応力、接着剤の体積変化による応力によって、セラミック板からなる吸着層の平面度が低下し、その結果、ウエハとの密着性が低下することにはじめて着目し、これら応力を緩和するために、特定のゴム成分を含有した電気絶縁性弾性層および接着層を設けています。 引用例1には、吸着層としてセラミックスのかわりに弾性体を用いることによって、吸着層とウエハとの密着性の問題を解決することが記載されていますが、セラミック板からなる吸着層とウエハとの密着性の問題を解決するために、特定のゴム成分を含有した電気絶縁性弾性層および接着層を設けるという知見はありません。 引用例4には、単に接着剤の一例としてアクリロニトリル-ブタジエンゴムを含有した接着剤が記載されているだけであり、吸着層がセラミック板からなる場合において、このような接着層が、熱膨張率の差によって生じる応力、接着剤の体積変化による応力を緩和するという知見はありません。 引用例2、3、5にも、吸着層がセラミック板からなる場合において、特定の接着層によって熱膨張率の差によって生じる応力、接着剤の体積変化による応力を緩和するという知見はありません。 このように本件発明1の効果は、各構成(セラミック板からなる吸着層と、特定のゴム成分を含有した電気絶縁性弾性層および接着層と)の結合によりはじめてもたらされたものであり、かつ顕著なものですから、上記構成が個々に公知であって、引用例に記載されている技術とはいえ、これらから容易に想到することができたものではありません。」と主張する。 しかしながら、本願発明において、特定のゴム成分を含有した接着剤層および電気絶縁性弾性層とすることに関する本願明細書の記載は、段落【0007】の「電気絶縁性弾性層14は、電気絶縁性および応力緩和性に優れたもので、金属基盤12及び絶縁性フィルム16との接着性の高いものが適用される。さらに耐熱性に優れているものが望ましい。 特に、応力緩和能力の高い、ヤング率の低い弾性に富む接着剤が好ましい。 こうした要件を満たす為、接着剤にゴム成分を添加することにより、接着剤層に適度の弾性を付与し、この電気絶縁性弾性層14自身及び又は接着剤層20に体積変化が生じた場合にもこの弾性によって応力を緩和し、セラミック板からなる吸着層22の歪みを防ぐことができる。 しかし、特に応力緩和効果が高いものとして、ゴム成分とフェノール系抗酸化剤を含むものが好ましい。 ゴム成分として特に好ましいものは、ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、オレフィン系共重合体、ポリフェニルエーテル共重合体から選択される1種または2種以上の混合物であり、特にブタジエン-アクリロニトリル共重合体が好適である。ブタジエン-アクリロニトリル共重合体は弾性が適当であり、吸着層22に加わる応力を緩和する作用に優れているからである。」にとどまり、「セラミック板からなる吸着層」と「特定のゴム成分を含有した接着剤層および電気絶縁性弾性層」とを組み合わせることによって、相乗効果とでいうべき格別顕著な作用効果を奏しているとは、到底認め難い。 したがって、作用効果に関する請求人の主張は採用できない。 5.むすび 以上のとおり、本願発明は、刊行物1記載の発明、刊行物2〜4記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 よって、請求項2〜5に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する |
| 審理終結日 | 2006-02-15 |
| 結審通知日 | 2006-02-21 |
| 審決日 | 2006-03-06 |
| 出願番号 | 特願平10-283126 |
| 審決分類 |
P
1
8・
121-
WZ
(H01L)
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| 最終処分 | 不成立 |
| 前審関与審査官 | 柴沼 雅樹 |
| 特許庁審判長 |
西川 恵雄 |
| 特許庁審判官 |
佐々木 正章 鈴木 孝幸 |
| 発明の名称 | 静電チャック装置 |
| 代理人 | 渡邊 隆 |
| 代理人 | 高橋 詔男 |
| 代理人 | 西 和哉 |
| 代理人 | 西 和哉 |
| 代理人 | 志賀 正武 |
| 代理人 | 村山 靖彦 |
| 代理人 | 渡邊 隆 |
| 代理人 | 鈴木 三義 |
| 代理人 | 青山 正和 |
| 代理人 | 志賀 正武 |
| 代理人 | 青山 正和 |
| 代理人 | 鈴木 三義 |
| 代理人 | 村山 靖彦 |
| 代理人 | 高橋 詔男 |