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審決分類 審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 B65G
管理番号 1151173
審判番号 不服2004-26360  
総通号数 87 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 1994-07-12 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2004-12-27 
確定日 2007-01-22 
事件の表示 平成5年特許願第258605号「偏平物品の取扱い装置」拒絶査定不服審判事件〔平成6年7月12日出願公開、特開平6-191639〕について、次のとおり審決する。 
結論 本件審判の請求は、成り立たない。 
理由 1.手続の経緯・本願発明
本願は、平成5年10月15日(パリ条約による優先権主張、1992年10月16日、フランス国)の出願であって、本願の請求項1ないし10に係る発明は、平成12年8月28日付け、平成15年8月5日付け、平成16年9月2日付け及び平成17年1月26日付けの各手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項1ないし10に記載されているところ、本願の請求項1に係る発明は、
「【請求項1】 偏平な物品(10)を、内部が特別な雰囲気にされた作業ステーション(6,6A,6B)内へ送込むように個別のボックス(1)内の超清浄の雰囲気中に閉込めた該偏平物品(10)を取扱う装置において、内部が超清浄の雰囲気にされた個別のボックス(1)と、これらボックス(1)を通常の雰囲気中で搬送する装備(3)と、その内において該ボックス(1)が開かれ、ボックスから該偏平物品(10)が引出され、該偏平物品が該作業ステーション(6,6A,6B)内に滞留する全期間中特別な雰囲気下に保持される、該偏平物品(10)のための該作業ステーション(6,6A,6B)と搬送装備(3)との間に設けられるインターフェイス(5)と、該偏平物品(10)を超清浄雰囲気下に保持したまま2つの該作業ステーション(6A,6B)を剛性結合する該偏平物品(10)の移送トンネル(4)と、該ボックスの搬送の操作と制御を行う装備とを備えて成り、
該偏平物品(10)がシリコン・ウェファであり、該個別ボックス(1)が超偏平であり、そして隠蔽ドアを有し、該インターフェイス(5)が、アクセス・トンネルを構成し、且つアクセス・トンネル内に偏平物品(10)を通過させるようにアクセス・トンネル内で作動する取上げ及び設置ロボット(12)をアクセス・トンネル内に装備する体部(11)を有し、体部(11)内は、その中を該扁平物品(10)がロボット(12)により移送されている時に、送られた空気或いは窒素の流れにより清掃を行なわれることを特徴とする、偏平物品取扱い装置。」
であるものと認める。
なお、上記平成17年1月26日付けの手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項1において、上記のアンダーライン箇所は、“偏平物品(1)”、また、“取上げ及びロボット(12)”と記載されているが、明細書全体の記載からみると、符号の“(1)”は“(10)”の誤記と、また、“取上げ及びロボット(12)”は“取上げ及び設置ロボット(12)”の誤記と認められるから、本願の請求項1に係る発明(以下、「本願発明」という。)を上記のとおり認定した。

2.引用例とその記載事項
これに対して、原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先権主張の日前に頒布された刊行物である、特開昭64-44036号公報(以下、「第1引用例」という。)、特開昭61-170583号公報(以下、「第2引用例」という。)、特開平4-157749号公報(以下、「第3引用例」という。)、特開昭64-44035号公報(以下、「第4引用例」という。)、特開平3-188646号公報(以下、「第5引用例」という。)には、それぞれ、図面とともに次の事項が記載されている。

(1)第1引用例(特開昭64-44036号公報)の記載事項
(イ)「本発明は、半導体製造設備における装置間ウエハ授受機構に係り、特にウエハの授受工程における発塵、およびウエハへの塵埃の付着を防止するために好適な装置間ウエハ授受機構に関する。」(第1頁右下欄第3?6行)
(ロ)「 本発明では、クリーンボックスに配備されたクリーンユニットよりクリーンガスを吹き出し、クリーンボックス内をクリーン状態に保つ。前記クリーンガスには、エアやN2ガス等が使用される。」(第2頁右上欄第14?17行)
(ハ)「クリーンボックスとウエハキャリッジ間でウエハの授受を行う時は、クリーンボックスに形成されたウエハ出入口に向かってウエハキャリッジを移動させ、」(第2頁右上欄第18行?左下欄第1行)
(ニ)「クリーンボックス1の内部には、クリーンロボット2と、ウエハ19を搬入,搬出するためのローダステージ4およびアンローダステージ5と、クリーンユニット6とが設置されている。また、クリーンボックス1の側壁には、キャリアステージ21に搭載されたウエハキャリア10を接続すべき位置にウエハ出入口8が形成されている。
前記クリーンロボット2には、ウエハハンドリング部3が設けられている。
前記クリーンユニット6からは、クリーンガス7を吹き出すようになっている。そして、クリーンボックス1の内部は、クリーンユニット6から吹き出されるクリーンガス7を層流状態に保ち、クリーン度を維持するようになっている。」(第3頁右上欄第6?19行)
(ホ)「ウエハ出入口8には、第3図に示すように、第1のゲートバルブ9が設けられており、この第1のゲートバルブ9によりウエハ出入口8は密閉されている。」(第3頁右上欄第20行?左下欄第3行)
(ヘ)「ウエハキャリア10の開口部11には、第3図に示すように、第2のゲートバルブ12が設けられており、この第2のゲートバルブ12によりウエハキャリア10は密閉されている。」(第3頁左下欄第4?7行)
(ト)「ウエハキャリア10の内部には、第2図?第8図に示すように、ウエハ19が収納されている。そして、この実施例ではウエハキャリア10に収納されているウエハ19を前記クリーンボックス1内のクリーンロボット2に設けられたウエハハンドリング部3により、クリーンボックス1内に取り込み、予め決められた処理を施した後、ウエハキャリア10内に戻すようになっている。」(第3頁右下欄第8?15行)
(チ)「第1,第2のゲートバルブ9,12を開くと同時に、クリーンボックス1の内部からウエハ出入口8を通って第5図に示すように、クリーンガス7が噴出し、このクリーンガス7はウエハキャリア10の内部と、第1,第2のゲートバルブ9,12周辺の間隙32,33から吹き出す。その結果、ウエハ出入口8とウエハキャリア10の開口部11間の空間部がクリーンガス7により外気と遮断され、クリーン状態に保たれる。」(第5頁右上欄第2?10行)
(リ)「ウエハ出入口8にウエハキャリア10の開口部11を接続した後、第7図に示すように、クリーンロボット2のウエハハンドリング部3を伸長させ、このウエハハンドリング部3をウエハ出入口8からウエハキャリア10の内部に挿入し、ウエハキャリア10からウエハ19を受け取る。ついで、ウエハハンドリング部3を収縮させ、ウエハ19をクリーンボックス1内に取り込み、続いてクリーンロボット2を旋回させ、ウエハ19を第2図に示すローダステージ4に引き渡す。
その後、ウエハ19はローダステージ4により処理装置(図示せず)に送られ、予め決められた処理が順次施される。
処理が終了したウエハ19は、第2図に示すアンローダステージ5に位置決めされ、クリーンロボット2によりウェハキャリア10の内部に戻される。
ついで、前述の動作と逆順序に動作させ、ウエハ出入口8を第1のゲートバルブ9で密閉し、ウエハキャリア10の開口部11を第2のゲートバルブ12により密閉し、ウエハキャリア10をウエハ出入口8から切り離して原位置に戻し、ウエハ授受の1ストロークを終了する。」(第5頁左下欄第7行?右下欄第8行)

ところで、記載事項(ハ)でいう「ウエハキャリッジ」は「ウエハキャリア10」を指すことが明らかであるから、図面に開示されている技術事項をも参酌するとともに記載事項(イ)?(リ)を総合すると、第1引用例には、実質的に、次の発明(以下、「引用発明」という。)が記載されているものと認められる。
「ウエハ19を、処理装置内へ送込むように個別のウエハキャリア10内のクリーン状態の中に閉込めた該ウエハ19を取扱う装置において、内部がクリーン状態にされた個別のウエハキャリア10と、クリーンボックス1に形成されたウエハ出入口8に向かってこれらウエハキャリア10を移動させる手段と、開かれたウエハキャリア10からクリーンボックス1内に該ウエハ19が引出され、該ウエハ19が該処理装置内に滞留する全期間中クリーン状態に保持される、該ウエハ19のための該処理装置とウエハキャリア10を移動させる手段との間に設けられるクリーンボックス1とを備えて成り、
該ウエハキャリア10が超偏平であり、そしてウエハキャリア10を密閉する第2のゲートバルブ12を設けており、該クリーンボックス1が、クリーンボックス1内にウエハ19を通過させるようにクリーンボックス1内で作動するクリーンロボット2をクリーンボックス1内に装備する体部を有し、体部内は、その中を該ウエハ19がクリーンロボット2により移送されている時に、送られた空気或いは窒素の流れにより清掃を行なわれるウエハ取扱い装置。」

(2)第2引用例(特開昭61-170583号公報)の記載事項
(ヌ)「第2図に示したように、エツチング用の半導体製造処理装置のモジユール1と1′との間に真空結合装置3を取付けた。この結合装置は第4図あるいは第5図の構成でベルト6を駆動する軸5は、外部モータ等によつて必要な時駆動される。」(第2頁左上欄第14?18行)

(3)第3引用例(特開平4-157749号公報)の記載事項
(ル)「簡易クリーン室10には台車12等に搭載された真空クリーンボックス15が移動自在に配置される。」(第3頁右上欄第18?20行)

(4)第4引用例(特開昭64-44035号公報)の記載事項
(ヲ)「ウエハ受取口16のキャリアスライドガイド20に枚葉キャリア19を着装する。着装した枚葉キャリア19は、スライドガイド20上をクリーンボックス12の中へ送られる。送られた枚葉キャリア19は、ウエハ18を取り出すために、枚葉キャリア19の前蓋を取出せる位置でウエハ18を取出す準備に入る。」(第3頁左下欄第2?8行)
(ワ)「該工程で処理する必要があると判断した時は、プッシャ39により工程間搬送装置37から装置間搬送装置35へ枚葉キャリア19を分岐する。」(第4頁右上欄第4?7行)
(カ)「ウエハを保持・格納した枚葉キャリア19は、装置間搬送装置35を経由して合流装置36で工程間搬送装置37に合流させて、次工程へ送る。」(第4頁左下欄第9?12行)

(5)第5引用例(特開平3-188646号公報)の記載事項
(ヨ)「第6図は……、筐体3Aの出し専用の出し入れ口4Aと自動洗浄装置12の入れ専用の出し入れ口12Aとをコンベア13Aで連結し、同様に筐体3Aの入れ専用の出し入れ口4Bと自動洗浄装置12の出し専用の出し入れ口12Bとをコンベア13Bで連結した状態である。」(第6頁左上欄第16行?右上欄第4行)

3.発明の対比
本願発明と引用発明とを対比するに、一般に、ウエハとしてシリコン・ウエハは自明であるから、引用発明の「ウエハ19」は本願発明の「偏平な物品(10);シリコン・ウェファ」に相当し、以下同様に、「処理装置」は「作業ステーション(6,6A,6B)」に、「ウエハキャリア10」は「ボックス(1)」に、「クリーンボックス1」は「インターフェイス(5)」に、「第2のゲートバルブ12」は「隠蔽ドア」に、「クリーンロボット2」は「取上げ及び設置ロボット(12)」に相当する。そして、引用発明の「クリーン状態」とは、この種の半導体製造設備の一般常識からみて、本願発明の「超清浄の雰囲気」「特別な雰囲気」、「超清浄雰囲気」に相当する状態をいうものと認められる。また、引用発明の「クリーンボックス1に形成されたウエハ出入口8に向かってこれらウエハキャリア10を移動させる手段」は、本願発明の「搬送装備(3)」の一種であるといえる。
よって、本願発明と引用発明とは、
【一致点】
「偏平な物品を、作業ステーション内へ送込むように個別のボックス内の超清浄の雰囲気中に閉込めた該偏平物品を取扱う装置において、内部が超清浄の雰囲気にされた個別のボックスと、開かれたボックスから該偏平物品が引出され、該偏平物品が該作業ステーション内に滞留する全期間中特別な雰囲気下に保持される、該偏平物品のための該作業ステーションと搬送装備との間に設けられるインターフェイスとを備えて成り、
該偏平物品がシリコン・ウェファであり、該個別ボックスが、超偏平であり、そして隠蔽ドアを有し、該インターフェイスが、偏平物品を通過させるように作動する取上げ及び設置ロボットを装備する体部を有し、体部内は、その中を該扁平物品が該ロボットにより移送されている時に、送られた空気或いは窒素の流れにより清掃を行なわれる偏平物品取扱い装置」である点で一致し、次の点で相違する。
【相違点】
(1)本願発明は、作業ステーション(6,6A,6B)の内部が「特別な雰囲気にされ」ているのに対し、引用発明は、このような構成についてまで限定していない点。
(2)本願発明は、「ボックス(1)を通常の雰囲気中で搬送する装備(3)」と、「該ボックスの搬送の操作と制御を行う装備」とを備えているのに対し、引用発明は、「クリーンボックス1に形成されたウエハ出入口8に向かってこれらウエハキャリア10を移動させる手段」を備えていることまではいえるものの、この相違点でいう本願発明の具体的な構成についてまでは限定していない点。
(3)本願発明は、「その内において該ボックス(1)が開かれ、ボックスから該偏平物品(10)が引出され」というように、インターフェイス(5)内においてボックス(1)が開かれ、この開かれたボックス(1)から偏平物品(10)が引出される構成としているのに対し、引用発明は、単に、開かれたウエハキャリア10(ボックス)からクリーンボックス1(インターフェイス)内にウエハ19(偏平物品)が引出されるという構成にとどまる点。
(4)本願発明は、「偏平物品(10)を超清浄雰囲気下に保持したまま2つの作業ステーション(6A,6B)を剛性結合する該偏平物品(10)の移送トンネル(4)」を備えているのに対し、引用発明は、このような構成を具備していない点。
(5)本願発明では、インターフェイス(5)が、「アクセス・トンネル」を構成し、且つ「アクセス・トンネル」内に偏平物品(10)を通過させるように「アクセス・トンネル」内で作動する取上げ及び設置ロボット(12)を「アクセス・トンネル」内に装備する体部(11)を有するのに対し、引用発明では、クリーンボックス1(インターフェイス)の具体的構成を表現するに当たって「アクセス・トンネル」という用語を用いていない点。

4.当審の判断
(1)相違点(1)について
この種の作業ステーションが、特別な雰囲気にされることは技術常識であるから、相違点(1)でいう本願発明の構成事項に格別の創意を見出すことができない。

(2)相違点(2)について
引用発明の「クリーンボックス1に形成されたウエハ出入口8に向かってこれらウエハキャリア10を移動させる手段」は、本願発明の「搬送する設備(3)」の一種であるといえるし、また、引用発明においてウエハキャリア10の移動は、技術常識からみて本願発明と同様に、通常の雰囲気中で行われるということができるから、本願発明の「搬送する装備(3)」と本質的な違いはない。
しかも、ウエハ等の処理作業に当たり、本願発明の「搬送する装備(3)」に相当する部材を備えることは、第3引用例の記載事項(ル)、第4引用例の記載事項(ワ)(カ)、第5引用例の記載事項(ヨ)にも記載されているように従来周知の技術であるし、このような装備において搬送の操作及び制御を行うことは自明な事項である。
よって、相違点(2)でいう本願発明の構成事項に格別の創意を見出すことができない。

(3)相違点(3)について
引用発明も、クリーンボックス1(インターフェイス)内にウエハ19(偏平物品)を引出す点において本願発明と技術的に変わるところがないばかりでなく、第4引用例の記載事項(ヲ)には、「枚葉キャリア19は、スライドガイド20上をクリーンボックス12の中へ送られる。送られた枚葉キャリア19は、ウエハ18を取り出すために、枚葉キャリア19の前蓋を取出せる位置でウエハ18を取出す準備に入る。」と記載されているように、「クリーンボックス12(インターフェイス)内において枚葉キャリア19(ボックス)を開いてウエハ18(扁平物品)を引出す」という事項が実質的に開示されている。
そして、上記第4引用例記載の事項が、引用発明と共通の技術分野に属するものである以上、当該事項を引用発明に採り入れることに格別困難性は認められないから、引用発明に第4引用例記載の事項を適用することにより、相違点(3)でいう本願発明の構成事項とすることは、当業者であれば容易に想到することができたものである。

(4)相違点(4)について
第2引用例において、「半導体製造処理装置のモジユール1と1′との間に真空結合装置3を取付けた。」と記載されているように、“2つの作業ステーション(半導体製造処理装置のモジユール1と1′)を真空結合する”という技術事項が開示され、この結合部は、真空結合装置ということからみて、当然、超清浄雰囲気下に保持したままモジユール1と1′とを剛性結合するものといえるし、また、同引用例において、「ベルト6を駆動する軸5は、外部モータ等によつて必要な時駆動される。」と記載されているように、実質的に、移送トンネルを備えることも開示されているといえる。
そして、上記第2引用例記載の技術事項が、引用発明と共通の技術分野に属するものである以上、当該技術事項を引用発明に採り入れることに格別困難性は認められないから、引用発明に第2引用例記載の技術事項を適用することにより、相違点(4)でいう本願発明の構成事項とすることは、当業者であれば容易に想到することができたものである。

(5)相違点(5)について
本願発明の「インターフェイス(5)」に相当する引用発明の「クリーンボックス1」についてみると、ウエハ19がクリーンボックス1内に設けられたローダステージ4により処理装置に送られる(第1引用例の記載事項(ニ)、(リ)を参照)ことからして、このクリーンボックス1は、実質的に、処理装置への「アクセス・トンネル」を構成しているということができるから、相違点(5)でいう本願発明と引用発明との相違点は、単なる表現上の相違にすぎない。

(6)作用効果について
そして、本願発明の作用効果も、引用発明、第2引用例?第5引用例に記載された発明及び上記周知の技術から、当業者であれば予測できる程度のものであって、格別なものとはいえない。

5.むすび
したがって、本願発明(請求項1に係る発明)は、引用発明、第2引用例?第5引用例に記載された発明及び上記周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
よって、結論のとおり審決する。
 
審理終結日 2006-08-31 
結審通知日 2006-09-01 
審決日 2006-09-12 
出願番号 特願平5-258605
審決分類 P 1 8・ 121- Z (B65G)
最終処分 不成立  
前審関与審査官 中島 昭浩  
特許庁審判長 鈴木 久雄
特許庁審判官 ぬで島 慎二
永安 真
発明の名称 偏平物品の取扱い装置  
代理人 浅村 皓  
代理人 浅村 肇  
代理人 森 徹  
代理人 岩本 行夫  
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