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審決分類 審判 査定不服 5項独立特許用件 特許、登録しない。 H01J
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 H01J
管理番号 1164808
審判番号 不服2005-20330  
総通号数 95 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2007-11-30 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2005-10-20 
確定日 2007-09-20 
事件の表示 特願2000-247956「エネルギーフィルタを用いた透過型電子顕微鏡の分光データ処理方法、及びその透過型電子顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成14年 2月22日出願公開、特開2002- 56798〕について、次のとおり審決する。 
結論 本件審判の請求は、成り立たない。 
理由 1.手続きの経緯
本願は、平成12年8月10日の出願であって、平成17年9月14日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年10月20日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年11月21日付で手続補正がなされたものである。

2.平成17年11月21日付の手続補正についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
平成17年11月21日付の手続補正(以下、「本件補正という。」)を却下する。
[理由]
(1) 補正後の本願発明
本件補正は、補正前の請求項1を、
「試料を透過した電子線のエネルギーを分光計で振り分けるエネルギーフィルタ方式の透過型電子顕微鏡を用いて、試料の元素分布を撮影する場合に、前記分光計を通して撮影される元素分布に関する分光データの撮影時間を試料のドリフトに対応し得るよう、ドリフト補正による分解能より単位時間を設定して時分割し、時分割撮影によって得られたこれらの複数の分光データを位置合わせして積算しバックグランドを差し引き演算することにより、ドリフト補正された元素分布画像を得ることを特徴とする透過型電子顕微鏡の分光データ処理方法。」から、
「試料を透過した電子線のエネルギーを分光計で振り分けるエネルギーフィルタ方式の透過型電子顕微鏡を用いて、試料の元素分布を撮影する場合に、前記分光計を通して撮影される元素分布に関する分光データの撮影時間を試料のドリフトに対応し得るよう、ドリフト量またはドリフト速度の算出に基づきドリフト補正による分解能より単位時間の時分割撮影時間及び撮影回数を設定して時分割し、時分割撮影によって得られたこれらの複数の分光データを位置合わせして積算しバックグランドを差し引き演算することにより、ドリフト補正された元素分布画像を得ることを特徴とする透過型電子顕微鏡の分光データ処理方法。」
と補正することを含むものである。
上記補正は、補正前の請求項1に記載の「ドリフト補正による分解能より単位時間を設定して時分割し、」を、「ドリフト量またはドリフト速度の算出に基づきドリフト補正による分解能より単位時間の時分割撮影時間及び撮影回数を設定して時分割し、」と限定するものであるから、特許法第17条の2第4項第2号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
そこで、本件補正後の請求項1に記載された発明(以下、「本願補正発明」という。)が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか(特許法第17条の2第5項において準用する同法第126条第5項の規定に適合するか)について以下に検討する。

(2)原査定の理由に引用された引用例
引用例1;特開平2000-106120号公報
引用例2;特開平8-22169号公報
引用例3;国際公開00/41206号パンフレット
(2).1 引用例1の記載内容
【特許請求の範囲】の【請求項2】には、
「【請求項2】 パルス電圧印加手段、マイクロチャネルプレート、CCD撮影機、撮影像取込手段、位置ズレ計算手段、補正手段、および重合手段が備えられており、
パルス電圧印加手段によりマイクロチャネルプレートに短時間幅のパルス電圧が印加され、マイクロチャネルプレートに入力された電子顕微鏡像は印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力され、この電子顕微鏡像がCCD撮影機により順次撮影され、
撮影像取込手段により撮影像が順次コンピュータのRAMに取り込まれ、
位置ズレ計算手段によりRAMに記憶された撮影像間の位置ズレが計算され、補正手段により位置ズレを相殺補正した補正像が得られ、重合手段により補正像を重ね合わせた重合像が得られ、続けて位置ズレ計算手段により重合像と連続する他の撮影像間の位置ずれが計算され、補正手段により位置ズレを相殺補正した補正像が得られ、重合手段により補正像を重ね合わさせた重合像が順次得られる電子顕微鏡装置。」
と記載されている。

【0002】、【0003】段落には、
「【0002】
【従来の技術とその課題】
従来より、電子顕微鏡を用いた試料の顕微像観察では、高い分解能での観察を行なうために、たとえば写真フィルムへの撮影に、通常2?4秒程度の時間を必要としていた。
しかしながら、低温または高温環境下において電子顕微鏡像を観察すると、試料のわずかな温度変動に起因する試料のドリフト…に起因する試料の振動が生じてしまう。このため、…ドリフト…の影響により…低温下での試料の顕微像観察を高分解能で行なうことは困難であ…った。
【0003】
そこで、この出願の発明は、…低温および高温環境下でも、高分解能で試料の観察を行なうことのできる、新しい電子顕微鏡装置を提供することを目的としている。」
と記載されている。

【0009】段落には、
「【0009】
【実施例】図1は、この出願の発明の一実施例である電子顕微鏡装置を例示した要部構成図である。
この図1に例示した電子顕微鏡装置では、電子銃(1)からの電子線(18)が各種レンズ等を通って試料(2)に照射され、試料(2)を透過した電子線(18)が各種レンズ等を通って電子レンズにより結像されて、試料の電子顕微鏡像(3)が得られる従来の透過型電子顕微鏡(=TEM)が利用され…ている。」
と記載されている。

【0011】?【0013】 段落には、
「【0011】…電子顕微鏡像(3)はマイクロチャネルプレート(4)から印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力するようになる。
【0012】そして、マイクロチャネルプレート(4)から短時間幅で出力した連続電子顕微鏡像(3)は、…CCD撮影機(6)に入射し順次撮影される。
このようにして電子顕微鏡像(3)を短時間間隔で撮影、つまり高速撮影することができ…る。
【0013】ここで、パルス電圧印加手段(36)は、ドリフト中の試料の格子像を撮影できる程度に短い時間幅のパルス電圧を印加することが好ましく、この短時間幅は、たとえば50ナノ秒等のように極めて短時間であり、短ければ短いほどよい。また、CCD撮影機(6)は、撮影制御手段(16)により、パルス電圧の短時間幅と同調させて撮影するように、または一定時間内に所望の枚数を撮影するように制御されていることが好ましい。」
と記載されている。

【0017】段落には、
「【0017】ところで、上述のように高速撮影された電子顕微鏡像(3)は、結像に寄与する電子の個数が少ない、つまりS/N比が低いために、画質の低下が生じる恐れがある。そこで、この発明の装置では、以下のようにして撮影像のS/N比の向上を図ることができる。
すなわち、たとえば図4に例示したように、撮影像取込手段(37)、位置ズレ計算手段(38)、補正手段(39)、および重合手段(40)が備えられ、まず、撮影像取込手段(37)によりCCD撮影機(6)により撮影された連続撮影像が順次コンピュータ本体(13)のRAM(41)に取り込まれる。次いで、位置ズレ計算手段(38)によりRAM(41)に記憶された撮影像間の位置ズレが計算され、補正手段(39)により位置ズレを相殺補正した補正像が得られ、重合手段(40)により補正像を重ね合わせた重合像が得られ、続けて位置ズレ計算手段(37)により重合像と連続する他の撮影像間の位置ずれが計算され、補正手段(38)により位置ズレを相殺補正した補正像が得られ、重合手段(39)により補正像を重ね合わさせた重合像が順次得られる。そして、最終的に得られた一枚の重合像がS/N比の良好な撮影像となる。」
と記載されている。

(2).2 引用例1に記載された発明
上記引用例1の記載から、引用例1には、
「試料を透過した電子線が電子レンズにより結像されて、試料の電子顕微鏡像が得られる透過型電子顕微鏡であって、
試料の電子顕微鏡像がCCD撮影機により順次撮影され、
撮影像取込手段により撮影像が順次コンピュータのRAMに取り込まれ、
位置ズレ計算手段によりRAMに記憶された撮影像間の位置ズレが計算され、補正手段により試料の位置ズレを相殺補正した補正像が得られ、重合手段により補正像を重ね合わせた重合像が得られ、続けて試料の位置ズレ計算手段により重合像と連続する他の撮影像間の位置ずれが計算され、補正手段により試料の位置ズレを相殺補正した補正像が得られ、重合手段により補正像を重ね合わさせた重合像が順次得られる電子顕微鏡装置。」
の発明(以下、「引用発明」という。)が記載されている。

(2).3 引用例2の記載内容
【0001】、【0002】段落には、
「【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は透過型電子顕微鏡に係り、特に、試料を透過した電子線から特定のエネルギーを有する電子のみを分離して結像させることにより、微小領域の元素分布像を得ることのできるエネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡、及びその透過型電子顕微鏡を用いた元素分布の観察方法に関する。
【0002】
【従来の技術】透過型電子顕微鏡は、電子線,電子レンズを用いて試料像を拡大,観察する装置であり、試料の微細構造を同定するのに用いられる。また、エネルギーフィルタは試料を透過した電子線を分光し、特定のエネルギー幅の電子のみを取り出す装置である。両者を組み合わせることにより、特定のエネルギーの電子のみの像が得られるようになる。
【0003】光軸の調整が完了したエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡では、光軸上にエネルギー選択スリットを挿入することにより弾性散乱電子のみの電子顕微鏡像(ゼロロス像)が得られる。入射電子線の加速電圧をδEだけ増加させて観察すると、試料でδEだけエネルギーをロスした電子がエネルギーフィルタを通過した後、エネルギー選択スリットを通過する。従って、δEだけエネルギーをロスした電子によるエネルギーフィルタ像は、加速電圧をδEだけ増加することによって得られる。」
と記載されている。

【0037】段落には、
「【0037】(6)電子顕微鏡の加速電圧を全体にΔEだけ増加すれば、δEからδE+ΔEのエネルギーロス像がフレームメモリ11aに、δE-ΔEからδEのエネルギーロス像がフレームメモリ11bに入力されるようになる。前者のロス像は図3(d)に示す画像A′に、後者のロス像は図3(c)に示す画像B′に対応する。このとき、波高調整機構12による調整が完了しているので、像強度が減衰されたエネルギーロス像B′は、エネルギーロス像A′の正確なバックグラウンドとなる。従って画像演算器14によって出力される減算画像(A′-B′×減衰定数)は、図3(g)のようにバックグラウンドを除去した目的元素の二次元分布像となる。」
と記載されている。

(2).4 引用例3の記載内容
明細書第7頁第8行?同頁第17行には、
「…走査透過型電子顕微鏡は元素のコアロスエネルギーのデータベースを有し、電子線検出部が2チャンネル以上で構成され、…電子分光部と電子線検出部をコアロスエネルギーの電子線が検出されるように…、走査部で電子線を走査すると同時に、指定元素のコアロスエネルギーの直前と直後の電子線強度を電子線検出部で…測定し、…電子線検出部のバックグラウンド補正…を行い、コアロスエネルギー直後の電子線強度をコアロスエネルギー直前の電子線強度で除算し、得られた演算結果を実時間で画像表示…。」
と記載されている。

(3)対比
そこで、本願補正発明と引用発明とを比較する。
ア.引用発明の「試料の位置ズレ」は、本願補正発明の「試料のドリフト」に相当する。
イ.引用発明の「位置ズレを相殺補正」することは、本願補正発明の「ドリフト補正」することに相当する。
ウ.引用発明の「試料の電子顕微鏡像がCCD撮影機により順次撮影」されることは、本願補正発明の「時分割撮影」に相当する。
エ.引用発明の「撮影像」は、本願補正発明の「分光データ」に相当する。
オ.引用発明の位置ズレを相殺補正した「重合像」は、本願補正発明のドリフト補正された「画像」に相当する。
カ.引用発明の「補正手段により試料の位置ズレを相殺補正した補正像」を得て、「重合手段により補正像を重ね合わ」せることは、実質的に、本願補正発明の「複数のデータを位置合わせして積算し」、「ドリフト補正された画像を得ること」に相当する。
キ.引用発明は、データである「撮影像」の位置ズレを相殺補正した「重合像」を得る処理方法を含むから、引用発明は、データ処理方法であるといえる。

そうすると両者は、
「試料を透過した透過型電子顕微鏡を用いて、試料を撮影する場合に、時分割撮影によって得られたこれらの複数のデータを位置合わせして積算しドリフト補正された画像を得ることを特徴とする透過型電子顕微鏡のデータ処理方法。」
において一致し、以下の点で相違する。

相違点1
本願補正発明が、「電子線のエネルギーを分光計で振り分けるエネルギーフィルタ方式」の透過型電子顕微鏡であり、データが分光データであって、「元素分布」を撮影するものであるのに対し、引用発明は、透過型電子顕微鏡であるものの、「電子線のエネルギーを分光計で振り分けるエネルギーフィルタ方式」であり、データが分光データであって、「元素分布」を撮影するものである旨の記載がない点。

相違点2
本願補正発明が、撮影時間を「試料のドリフトに対応し得るよう、ドリフト量またはドリフト速度の算出に基づきドリフト補正による分解能より単位時間の時分割撮影時間及び撮影回数を設定」するのに対して、引用発明には、その旨の記載がない点。

相違点3
本願補正発明が、「バックグランドを差し引き演算する」のに対して、引用発明には、その旨の記載がない点。

(4)判断
相違点1について検討する。
「電子線のエネルギーを分光計で振り分けるエネルギーフィルタ方式」の透過型電子顕微鏡であり、データが分光データであって、「元素分布」を撮影することは、当該技術分野において周知手段(例えば、引用例2、3等参照)であるから、相違点1に係る構成は当業者が容易に想到できたことである。

相違点2について検討する。
引用例1には、「試料のドリフトに対応し得るよう、ドリフト量またはドリフト速度の算出に基づきドリフト補正による分解能より単位時間の時分割撮影時間及び撮影回数を設定」するとの明示的記載がないが、引用発明は、ドリフト補正することを目的(【0002】段落)としており、また、「パルス電圧印加手段(36)は、ドリフト中の試料の格子像を撮影できる程度に短い時間幅のパルス電圧を印加することが好ま」しいとの記載(【0013】段落)、「一定時間内に所望の枚数を撮影するように制御されていることが好ましい。」との記載(【0013】段落)、「重合手段(39)により補正像を重ね合わさせた重合像が順次得られる。そして、最終的に得られた一枚の重合像がS/N比の良好な撮影像となる。」との記載(【0017】段落)からみて、引用発明においてドリフト量またはドリフト速度の算出をしなければ、「ドリフト中の試料の格子像を撮影できる程度に短い時間幅のパルス電圧を印加すること」ができない、即ち、当該「時間幅」の目安を得ることができないから、引用発明においても、ドリフト量またはドリフト速度を算出することが明らかである。
また、「ドリフト補正による分解能より単位時間の時分割撮影時間及び撮影回数を設定」することも、上記【0013】段落の記載からみて引用発明において当然行っていることにすぎない。
そうすると、相違点2は、実質的な相違ではない。

相違点3について検討する。
「バックグランドを差し引き演算する」ことは、当該技術分野において周知手段(例えば、引用例2、3等参照)であるから、相違点3に係る構成は当業者が容易に想到できたことである。

そして、本願補正発明の作用効果も、引用発明及び周知手段から当業者が予測できる範囲のものである。

したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知手段に基づいて当業者が容易に想到しえたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。

(5)むすび
以上のとおり、本件補正は、特許法第17条の2第5項で準用する同法第126条第5項の規定に違反するものであり、特許法第159条第1項で準用する特許法第53条第1項の規定により却下されるべきものである。

3.本願発明について
平成17年11月21日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項1に係る発明(以下、同項記載の発明を「本願発明」という。)は、平成16年8月9日付で補正された明細書の特許請求の範囲の請求項1に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「試料を透過した電子線のエネルギーを分光計で振り分けるエネルギーフィルタ方式の透過型電子顕微鏡を用いて、試料の元素分布を撮影する場合に、前記分光計を通して撮影される元素分布に関する分光データの撮影時間を試料のドリフトに対応し得るよう、ドリフト補正による分解能より単位時間を設定して時分割し、時分割撮影によって得られたこれらの複数の分光データを位置合わせして積算しバックグランドを差し引き演算することにより、ドリフト補正された元素分布画像を得ることを特徴とする透過型電子顕微鏡の分光データ処理方法。」
(1)引用例
原査定の拒絶の理由に引用された引用例1及びその記載事項は、前記「2.(2)」に記載したとおりである。

(2)対比・判断
本願発明は、前記2.で検討した本願補正発明の、「ドリフト量またはドリフト速度の算出に基づきドリフト補正による分解能より単位時間の時分割撮影時間及び撮影回数を設定して時分割し、」から「ドリフト量またはドリフト速度の算出に基づき」及び「時分割撮影時間及び撮影回数」の限定を省くものである。

そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「2.(4)」に記載したとおり、引用発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。

(3)むすび
以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。
よって、結論のとおり審決する。
 
審理終結日 2007-07-23 
結審通知日 2007-07-24 
審決日 2007-08-06 
出願番号 特願2000-247956(P2000-247956)
審決分類 P 1 8・ 575- Z (H01J)
P 1 8・ 121- Z (H01J)
最終処分 不成立  
前審関与審査官 堀部 修平  
特許庁審判長 末政 清滋
特許庁審判官 濱田 聖司
辻 徹二
発明の名称 エネルギーフィルタを用いた透過型電子顕微鏡の分光データ処理方法、及びその透過型電子顕微鏡  
代理人 ポレール特許業務法人  
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