ポートフォリオ機能
| ポートフォリオを新規に作成して保存 |
|
|
| 既存のポートフォリオに追加保存 |
|
PDFをダウンロード
|
| 審決分類 |
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 G06F |
|---|---|
| 管理番号 | 1185081 |
| 審判番号 | 不服2005-18824 |
| 総通号数 | 107 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2008-11-28 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2005-09-29 |
| 確定日 | 2008-09-25 |
| 事件の表示 | 特願2001-205111「基板処理システム、基板処理装置、追加情報取得方法、プログラム及び記録媒体」拒絶査定不服審判事件〔平成15年 1月24日出願公開、特開2003- 22200〕について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は、成り立たない。 |
| 理由 |
1.手続の経緯 本願は、平成13年7月5日の出願であって、平成17年3月24日付けで最後の拒絶理由が通知され、同年5月26日付けで手続補正がなされたものの、この手続補正は同年8月17日付けで却下され同日付けで拒絶査定がなされた。その後、同年9月29日に拒絶査定不服審判請求がなされ、同年10月26日付けで手続補正がなされたものである。 2.本願発明 本願の請求項1に係る発明(以下、「本願発明」という。)は、平成17年10月26日付け手続補正書によって補正された明細書又は図面の記載からみて、次のとおりのものと認める。 「【請求項1】 ネットワークを介してコンピュータと基板処理装置とを通信可能に接続した基板処理システムであって、 前記コンピュータに、前記基板処理装置の障害の対処情報を含み、かつ追加的に前記基板処理装置のベンダーから提供された追加情報を蓄積する追加情報蓄積手段を備え、 前記基板処理装置に、 前記追加情報を前記ネットワークを介して取得する追加情報取得手段と、 前記追加情報取得手段により取得した前記追加情報を記憶する追加情報記憶手段と、 前記追加情報取得手段により前記追加情報を取得するか否かを選択する選択手段と、 を備えることを特徴とする基板処理システム。 」 3.引用文献 原査定の拒絶の理由に引用された特開平11-15520号公報(以下、「引用文献1」という。)には、図面と共に以下の事項が記載されている。 A.「 【0001】 【発明の属する技術分野】 本発明は、例えば半導体生産用機器などの保守を必要とする産業用機器の遠隔保守システムに関する。」 B.「【0010】 【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。 【0011】 ＜産業用機器の遠隔保守システムの第1の実施の形態＞ 図1は、本発明の好適な実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。101は、産業用機器を提供するベンダ(装置供給メーカ)の事業所である。この実施の形態は、産業用機器として、半導体製造工場で使用する半導体製造装置、例えば、前工程用機器(露光装置、塗布現像装置、熱処理装置等)や後工程用機器(組み立て装置、検査装置等)を想定している。 【0012】 102?104は、産業用機器のユーザとしての半導体製造メーカの生産工場である。生産工場102?104は、互いに異なるメーカに属する工場であっても良いし、同一のメーカに属する工場(例えば、前工程用の工場、後工程用の工場等)であっても良い。 【0013】 各工場102?104には、夫々、複数の産業用機器106と、それらを結ぶLAN(イントラネット)109と、各産業用機器106の稼動状況を監視する監視装置としてのホストコンピュータ107とが設けられている。 【0014】 各工場102?104に設けられたホストコンピュータ107は、世界的な規模で広がった通信手段であるインターネット105を介してベンダ101側の管理装置であるホストコンピュータ108に接続されている。ホストコンピュータ107は、このインターネット105を介して、各産業用機器106の稼動状況を示すステータス情報(例えば、トラブルが発生した産業用機器の症状)を工場側からベンダ側に通知する他、その通知に対応する応答情報(例えば、トラブルに対する対処方法を指示する情報、対処用のプログラムやデータ)をベンダ側から受け取ることができる。なお、以下では、ステータス情報及び/又は応答情報を保守情報という。 」 C.「 【0017】 図2は、各工場に設置されたホストコンピュータ107の動作を示すフローチャートである。ホストコンピュータ107は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、LAN109を介して接続された複数(n)台の産業用機器106の稼動状況を定期的に監視する。そして、トラブルが発生している場合には、ホストコンピュータ107は、トラブルの症状その他のトラブルに関連するステータス情報を取得して、それをインターネット105を介してベンダ101側に通知する。 【0018】 図2のフローチャートに示す例では、ホストコンピュータ107は、監視対象の複数の産業用機器106を第1?第nの産業用機器として識別し管理する。そして、パラメータiを順次インクリメントしながら(ステップS207,S208)、第iの産業用機器の稼動状況を監視し(ステップS203)、トラブルが発生している場合には、該当する産業用機器から、その稼動状態に関するステータス情報を取得し(ステップS204)、そのステータス情報をインターネット105を介してベンダ101側に報告する(ステップS205)。そして、ステータス情報の報告に応答してベンダ101側から送信されてくる応答情報に基づいて、可能な場合(例えば、ソフトウェアの更新等によりトラブルを解決可能な場合)には、LAN109を介してトラブルに係る産業用機器を自動で保守する(ステップS206)。なお、トラブルの自動保守ができない場合には、例えばディスプレイにその旨のメッセージを表示する。 【0019】 各産業用機器106は、ホストコンピュータ107からの要求に応じて、トラブルの発生の有無をホストコンピュータ107に通知し(ステップS203に対応)、更にそのトラブルの内容を特定して、その特定した内容を示すステータス情報(例えば、トラブルの内容を示すエラーコード)をホストコンピュータ107に通知する機能を有する(ステップS204に対応)。 【0020】 ステップS205において、ホストコンピュータ107がベンダ101側に通知するステータス情報には、例えば、トラブルが発生した産業用機器の機種、シリアルナンバー、エラーコード、トラブルの発生した時間等が含まれる。このエラーコードとトラブルの内容との対応関係は、例えば、インターネット105を介してベンダ101側のホストコンピュータ108から随時更新することができる。」 D.「 【0022】 一方、ベンダ101側の管理装置であるホストコンピュータ108は、各工場に設置されたホストコンピュータ107からの通信に対して、例えば24時間体制で待機する。図3は、ベンダ101側のホストコンピュータ108の動作を示すフローチャートである。 【0023】 ベンダ101側のホストコンピュータ108は、図3のフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、各工場102?104の産業機器106の稼動状況を監視する。 【0024】 先ず、ホストコンピュータ108は、トラブルの報告(ステータス情報の通知)があるか否かを監視し(ステップS302)、報告があった場合には、その報告に係るステータス情報を取得する(ステップS303)。そして、ホストコンピュータ108は、このステータス情報に基づいて、各工場の産業用機器の保守を管理するためのトラブルデータベース(DB)を参照し、当該報告に係る産業用機器に関して、同一の症状が過去に発生したことがあるか否か、すなわち、同一の症状がトラブルデータベース(後述の501)に登録されているか否かを調査する(ステップS304)。 【0025】 その結果、登録されている場合(ステップS304において“ｙeｓ”)には、更に、その症状に対する対処法がトラブルデータベースに登録されているか否かを判断(ステップS306)し、登録されている場合には、その登録された対処法に関する応答情報(例えば、対処法を示すコード情報やメッセージ、対処用のプログラムやデータ等)を、トラブルの報告に係る工場のホストコンピュータ107にインターネット105を介して通知する(ステップS307)。 【0026】 応答情報の通知を受けた工場側のホストコンピュータ107は、その応答情報に基づいて、可能な場合には、自動で該当する産業用機器を正常な状態に復帰させ、それが不可能な場合には、例えば、ディスプレイ等に当該産業用機器のオペレータに対するメッセージを出力する。」 E.「 【0028】 ここで、ステップS304において、当該トラブルに係る症状と同一の症状がトラブルデータベースに登録されていないと判断した場合には、当該症状をトラブルデータベースに新規に登録した後にステップS308を実行する。 【0029】 オペレータへの報告(ステップS308)が終ると、ホストコンピュータ108は、トラブルデータベースを更新する(ステップS309)。この更新により、例えば、対処法(応答情報)の送信の有無や、トラブルの報告を受けた時間等がトラブルデータベースに登録される。 【0030】 図4は、ステップS308で報告を受けた保守部門の担当者が取り得る措置の流れの一例を示す図である。先ず、担当者は、トラブルデータベースを参照して、トラブルの内容を把握し、対処が必要であるか否かを判断する(ステップS402)。そして、対処の必要がない場合(例えば、ステップS307で適正な対処法を該当する工場に通知している場合)には、例えばトラブルの再現に備えてインターネット105を介して該当する産業用機器106の稼動状態を監視する(ステップS404)。 【0031】 一方、対処が必要な場合(ステップS403において“Nｏ”)には、担当者は、トラブルデータベースに蓄積された情報等を参照して最適な対処方針を選択する(ステップS403)。 【0032】 この対処方針としては、先ず、インターネット105を介してオンラインでトラブルを解決することが考えられる(ステップS407)。この一例として、トラブルの原因がソフトウェアの誤りに起因する場合が挙げられる。この場合、該当する産業用機器のメモリ内のパラメータやプログラムをインターネット105及び工場側のホストコンピュータ107を介してオンラインで修正することも可能である。 【0033】 他の対処方針としては、電子メール、ファクシミリ、電話等の手段により、工場のオペレータに対して、トラブルの解決方法を指示することが考えられる(ステップS406)。 【0034】 ステップS405及びS406のいずれの方法でも対処不能な重大なトラブルの場合には、工場を訪問して対処することになる(ステップS405)。 【0035】 対処が完了したら、担当者は、ホストコンピュータ108又はコンピュータ110を操作することにより、当該トラブルに関する情報に基づいてトラブルデータベースを更新する(ステップS409)。 【0036】 次に、ベンダ101側のホストコンピュータ108に備えられたトラブルデータベースに関して説明する。LAN109を介してホストコンピュータ108に接続された各コンピュータ110さらにはインターネットを介して接続された各工場の産業用機器106のコンソールは、専用又は汎用のブラウザソフトを内蔵しており、これにより、例えば図5に一例を示す様な画面のユーザインターフェースを構成している。 【0037】 ベンダ又は各工場のオペレータは、図5に一例を示す画面を参照しながら、産業用機器の機種(401)、シリアルナンバー(402)、トラブルの件名(403)、発生日(404)、緊急度(405)、症状(406)、対処法(407)、経過(408)等の情報を入力することができる。なお、前述のように、トラブルデータベースへの情報の入力は、ホストコンピュータ108により自動的に実行される場合もある。 【0038】 図5に示す画面に係るブラウザソフトは、ハイパーリンク機能(410?412)を有し、これによりベンダの各部門の要員や工場のオペレータは、例えば、各項目の更に詳細な情報にアクセスしたり、ソフトウェアのライブラリから最新バージョンのソフトウェアを引出したり、工場のオペレータの参考に供する操作ガイド(補助情報)を引出したりすることができる。 【0039】 上記のようにベンダ101側の各部門、例えば保守部門、製造部門、開発部門の要員は、LAN109を介してホストコンピュータ108に接続されたコンピュータ110を用いてトラブルデータベースにアクセスすることができる。また、このトラブルデータベースには、外回りの保守要員もインターネット105を介して携帯端末等によりアクセスすることができる。これによって、ベンダの各部門の情報を一元的に管理することができ、各部門において、常に最新の情報を入手することができる。 【0040】 また、トラブルデータベースの一部の情報をユーザ(工場)側に開放することにより、ユーザは、過去に蓄積された様々な保守情報をインターネットを介して入手し、自らがトラブルに対して適切な対処を採ることができる。このように、この実施の基体においては、ベンダ及び複数のユーザ間で保守情報を共有化することにより、保守の効率を飛躍的に高めている。」 (1)上記Dの記載によれば、ホストコンピュータ108はトラブルデータベースに同一の症状が登録されているか否かを調査し(ステップS304)、登録されている場合、更に、その症状に対する対処法が登録されているか否かを判断(ステップS306)しているから、トラブルデータベースは、トラブルに対する対処方法が登録されているものである。 (2)上記Eの記載によれば、トラブルデータベースにトラブルの内容が登録されていない場合、担当者が工場のオペレータにトラブルの解決方法を指示し、対処が完了したら、担当者は、ホストコンピュータ108又はコンピュータ110を操作することにより、当該トラブルに関する情報に基づいてトラブルデータベースを更新する(ステップS409)。更に、37段落の記載によれば、ベンダ又は各工場のオペレータは、図5に一例を示す画面を参照しながら、産業用機器の機種(401)、シリアルナンバー(402)、トラブルの件名(403)、発生日(404)、緊急度(405)、症状(406)、対処法(407)、経過(408)等の情報を入力することができるとされているから、トラブルデータベースは新たに発生したトラブルに対する対処方法を追加できるようになっている。 (3)上記Cの記載によれば、産業用機器は稼働状態を監視し、トラブルの症状を取得し、インターネットを介してホストコンピュータに通知しているから、発生したトラブルの症状をホストコンピュータに通知する手段を有するものである。また、上記Dの記載によれば、工場側のホストコンピュータは、応答情報を受け取り、産業用機器を正常な状態に復帰させているから、トラブルに対する対処方法を受け取る手段を有するものである。 以上より、引用文献1には、次の発明(以下、「引用発明」という。)が記載されている。 インターネットを介してベンダのホストコンピュータと半導体生産機器とを通信可能に接続した産業用機器の遠隔保守システムであって、 前記ホストコンピュータに、前記半導体生産機器のトラブルに対する対処方法を登録したトラブルデータベースを備え、このトラブルデータベースは新たに発生したトラブルに対する対処方法を追加できるものであり、 前記半導体生産機器に、 発生したトラブルの症状を前記ホストコンピュータに通知する手段と、 トラブルに対する対処方法を受け取る手段 を備えた産業用機器の遠隔保守システム 4.対比 本願発明と引用発明とを対比すると、 引用発明の「インターネット」「ホストコンピュータ」「半導体生産機器」「トラブルに対する対処方法」は、それぞれ、本願発明の「ネットワーク」「コンピュータ」「基板処理装置」「障害の対処情報」に相当する。 引用発明の「新たに発生したトラブルに対する対処方法」は、ベンダのオペレータにより入力されるものであるから、本願発明の「追加情報」に相当し、また、引用発明の「トラブルデータベース」は、新たに発生したトラブルに対する対処方法を追加登録出来るものであるから、本願発明の「追加情報蓄積手段」に相当する。 本願発明の「基板処理システム」は、ネットワークを介して基板処理装置の障害に対処するシステムであるから、引用発明の「産業用機器の遠隔保守システム」と実質的に同等のものである。 引用発明の半導体生産機器が備える「発生したトラブルの症状を前記ホストコンピュータに通知する手段」「トラブルに対する対処方法を受け取る手段」は、引用発明がトラブルの状況をホストコンピュータに知らせ、ホストコンピュータがトラブルデータベースを基に該当する対処方法を検索し、その対処方法を半導体生産機器に知らせる方式を前提として、トラブルを解消するために必要となる手段であり、本願発明の「追加情報取得手段」「追加情報記憶手段」「選択手段」は、障害の対処情報を基板処理装置側に送り、基板処理装置側で該当する障害の対処情報を見つけることを前提として、基板処理装置の障害に対処するために必要となる手段であるから、両者は、障害解決のための手段である点で一致している。 よって、本願発明と引用発明とは、 ネットワークを介してコンピュータと基板処理装置とを通信可能に接続した基板処理システムであって、 前記コンピュータに、前記基板処理装置の障害の対処情報を含み、かつ追加的に前記基板処理装置のベンダーから提供された追加情報を蓄積する追加情報蓄積手段を備え、 前記基板処理装置に、 障害解決のための手段 を備えることを特徴とする基板処理システム である点で一致し、次の点で相違する。 相違点 障害解決のための手段が、本願発明では、基板処理装置側で障害の対処情報を見つけることを前提として「追加情報取得手段」「追加情報記憶手段」「選択手段」を有するものであるのに対し、引用発明では、ホストコンピュータ側でトラブルに対する対処方法を見つけることを前提として「発生したトラブルの症状を前記ホストコンピュータに通知する手段」「トラブルに対する対処方法を受け取る手段」を有するものである点 5.相違点についての検討 障害への対処情報を中央で一元的に管理し、求めに応じて対処情報を提供する方式、障害への対処情報を対象とする箇所に分散してその場で対処する方式、及びそれらの方式を組み合わせた方式はいずれも周知のものである。例えば、特開平2-91735号公報のものは、ホストコンピュータに復旧処理知識ベースを、分散コンピュータには復旧手続ファイルを有し、分散コンピュータで発生する障害レベルに応じて分散コンピュータの復旧手続ファイル又はホストコンピュータの復旧処理知識ベースを用いて復旧処理を実行している。 また、引用文献1の【0040】段落には、「また、トラブルデータベースの一部の情報をユーザ(工場)側に開放することにより、ユーザは、過去に蓄積された様々な保守情報をインターネットを介して入手し、自らがトラブルに対して適切な対処を採ることができる。」と記載されており、引用発明と同様に障害への対処情報を中央で一元的に管理する利点を生かしつつ、インターネットを通じて対処情報の一部を対象とする機器の存在する箇所にロードしておくことにより、その場で対処する方式が示されている。そして、ユーザがインターネットを介して対処情報を入手して利用するためには、本願発明における「追加情報取得手段」「追加情報記憶手段」に相当する手段が必要となることは自明のことである。更に、引用文献1の【0039】段落に「ベンダ101側の各部門、例えば保守部門、製造部門、開発部門の要員は、LAN109を介してホストコンピュータ108に接続されたコンピュータ110を用いてトラブルデータベースにアクセスすることができる。また、このトラブルデータベースには、外回りの保守要員もインターネット105を介して携帯端末等によりアクセスすることができる。これによって、ベンダの各部門の情報を一元的に管理することができ、各部門において、常に最新の情報を入手することができる。」と記載されているように、各部門の要員はトラブルデータベースに選択的にアクセスできるものであるから、追加情報にアクセスする場合に、なんらかの「選択手段」を設けることは容易に想到し得ることである。 そして、本願発明の構成によってもたらされる効果も、引用発明から当業者ならば容易に予測することができる程度のものであって、格別のものとはいえない。 6.むすび したがって、本願発明は、引用文献1に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 よって、結論のとおり審決する。 |
| 審理終結日 | 2008-07-23 |
| 結審通知日 | 2008-07-29 |
| 審決日 | 2008-08-13 |
| 出願番号 | 特願2001-205111(P2001-205111) |
| 審決分類 |
P
1
8・
121-
Z
(G06F)
|
| 最終処分 | 不成立 |
| 前審関与審査官 | 坂庭 剛史 |
| 特許庁審判長 |
山崎 達也 |
| 特許庁審判官 |
吉岡 浩 石田 信行 |
| 発明の名称 | 基板処理システム、基板処理装置、追加情報取得方法、プログラム及び記録媒体 |
| 代理人 | 吉竹 英俊 |
| 代理人 | 有田 貴弘 |
| 代理人 | 吉田 茂明 |