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| 審決分類 |
審判 査定不服 5項独立特許用件 特許、登録しない。 G01M 審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 G01M |
|---|---|
| 管理番号 | 1227705 |
| 審判番号 | 不服2008-18065 |
| 総通号数 | 133 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2011-01-28 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2008-07-15 |
| 確定日 | 2010-11-24 |
| 事件の表示 | 平成10年特許願第348559号「モジュレータ及びモジュレータを備える電気光学センサー」拒絶査定不服審判事件〔平成12年 2月25日出願公開、特開2000- 55785〕について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は、成り立たない。 |
| 理由 |
第1 手続の経緯 本願は、平成10年12月8日(パリ条約による優先権主張1998年2月16日、韓国)の出願であって、平成18年7月21日付けで拒絶理由が通知され、平成19年1月24日付けで手続補正(以下、「本件補正1」という。)がなされたが、同年6月15日付けで最後の拒絶理由が通知され、同年12月20日付けで手続補正(以下、「本件補正2」という。)がなされたが、平成20年4月11日付けで補正却下の決定がなされ、同日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年7月15日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年8月14日付けにて手続補正(以下、「本件補正3」という。)がなされたものである。 さらに、平成21年11月13日付けで審尋がなされ、回答書が平成22年5月17日付けで請求人より提出されたものである。 第2 本件補正3についての補正の却下の決定 [補正の却下の決定の結論] 平成20年8月14日付け手続補正を却下する。 [理由] 1 補正後の本願発明 本件補正3により、特許請求の範囲の請求項7は、 「【請求項7】 本体と、前記本体の一部に形成された光反射手段と、前記本体の他部分に形成されたブロワとを備えるモジュレータと、 前記モジュレータに光を発生させる光源と、 前記モジュレータから出る光を処理するためのプロセッシング部とを含み、 前記モジュレータにおいて、前記ブロワは、前記本体の外周全体に沿って環状に複数の噴射ホールを備え、該噴射ホールの各々は、前記反射手段の平面に対する垂直方向から前記本体の外側の方へ所定の角度を成して気体を噴射するように配置されていることを特徴とする電気光学センサー。」 から 「【請求項1】 本体と、前記本体の一部に形成された光反射手段と、前記本体の他部分に形成されたブロワと、前記モジュレータ本体を支持し、前記ブロワを含んで成り、多数個の噴射ホールを有する支持手段とを備えるモジュレータと、 前記モジュレータに光を発生させる光源と、 前記モジュレータから出る光を処理するためのプロセッシング部とを含み、 前記モジュレータにおいて、前記本体は前記支持手段を備え、前記ブロワは、前記支持手段に結合され、前記本体の外周全体に沿って環状に複数の噴射ホールを備え、該噴射ホールの各々は、前記反射手段の平面に対する垂直方向から前記本体の外側の方へ所定の角度を成して気体を噴射するように配置され、前記支持手段は気体が流れる通路となる内部空間を有していることを特徴とする電気光学センサー。」 と補正された。(下線は補正箇所を示す。) 本件補正3は、補正前の請求項7に係る発明を特定するために必要な事項である「モジュレータ」を「前記モジュレータ本体を支持し、前記ブロワを含んで成り、多数個の噴射ホールを有する支持手段とを備えるモジュレータ」と限定し、同じく補正前の請求項7に係る発明を特定するために必要な事項である「モジュレータにおいて」を「前記モジュレータにおいて、前記本体は前記支持手段を備え」と限定し、同じく補正前の請求項7に係る発明を特定するために必要な事項である「前記ブロワは」を「前記ブロワは、前記支持手段に結合され、」と限定し、さらに前記支持手段について、「前記支持手段は気体が流れる通路となる内部空間を有している」と特定したものを含むものである。 したがって、本件補正3は,平成18年法律第55号改正附則第3条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前(以下,「平成18年法改正前」という。)の特許法第17条の2第4項第2号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで、本件補正後の前記請求項1に係る発明(以下「補正発明」という。)が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか(平成18年法改正前の特許法第17条の2第5項において準用する同法第126条第5項の規定に適合するか)について以下に検討する。 2 引用刊行物およびその記載事項 (1)本願優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平10-19734号公報(以下、「刊行物1」という。)には、「液晶ディスプレイ基板の検査装置」について、図面とともに次の事項が記載されている。(下線は当審で付与した。) ア 「【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するための検査装置に関する。」 イ 「【0013】 【発明が解決しようとする課題】ところで、このようなアクティブマトリクス基板の検査は、ダストを極度に少なくしたクリーンルーム内で行なわれていた。一方、このクリーンルーム内において、装置あるいは人体に起因するダストが少なからず発生している。そして、このダストが検査基板に付着することによりスキャン技術を用いたアクティブマトリクス基板の検査に支障をきたすことがあった。」 ウ 「【0030】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について説明する。 【0031】本発明の基板の欠陥検査装置は、基板上に微小間隔をおいて対向して配置された基板の欠陥検査手段と、基板の欠陥検査方向前方に、基板へのダストの付着等の表面状態の検知手段と、基板上に付着したダストの除去手段とから構成されている。」 エ 「【0048】(実施例)以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。 【0049】図1に本発明の一実施例である大型基板の検査装置の概略を示す。 【0050】この検査装置は、検査対象となる大型の検査基板6の欠陥を検査する方向前方にダストの付着等の基板上の表面状態を検知するセンサ13、センサ13が検知したダストの情報を処理する制御装置15、検査基板6に付着したダストを除去するために制御装置15からの操作信号により連動して動作する圧空装置16および真空装置17、圧空装置16により気体の圧力、流速、流量および噴出時間を調整してダストに気体を噴出する圧空噴出口11、真空装置17により減圧状態および吸入時間を調整してダストおよび気体を吸入するダスト吸い込み口12、検査対象となる検査基板6を固定するための真空吸着機能を有しさらに任意の方向に移動可能な固定装置9、検査基板6に電源(図示せず)と電気的に接続され30μmの間隔で対向して配置された電気光学素子1、電気光学素子1の情報を画像データとして処理するための受光器および光源等が入っているボックス8により構成されている。・・・」 オ 「【0055】次に、光学的状態が変化した電気光学素子1に対して光源2から光を照射して、電気光学素子1の底面に形成した金蒸着膜の反射体26により光を反射させる。ここで光源2としては、ハロゲンランプを用いたが、その他各種レーザ光を用いることができる。」 カ 「【0060】ダスト除去について説明する。 ・・・ 【0062】圧空装置16は、制御装置15から送られてきた命令により、瞬間的に圧力が5kg/cm^(2)の圧空を吹き出す。それから図2(b)に示すように、この圧空は、ホースを介して圧空噴出口11から噴出する。噴出する圧空によりアクティブマトリクス基板23に付着しているダスト10をアクティブマトリクス基板23から引き離し、舞い上がらせる。圧空噴出口11は、ダスト10をアクティブマトリクス基板面23から確実に引き離し、舞い上がらせるために、アクティブマトリクス基板面23に対して45゜の角度で圧空が吹き付けられるように、固定されている。」 キ 図1には、電気光学素子1、ボックス8、圧空噴出口11は一体であり,検査装置の主要部を形成している様子が描かれている。 そうすると、これらの記載と図面を総合すると、刊行物1には、次の発明が記載されていると認められる。 「電気光学素子1と、電気光学素子1の底面に形成した金蒸着膜の反射体26と、ダストに気体を噴出する圧空噴出口11とを備え、電気光学素子1の情報を画像データとして処理するための受光器および光源等が入っているボックス8と、 圧空装置16とを有し、 圧空は、ホースを介して圧空噴出口11から噴出し、圧空噴出口11は、アクティブマトリクス基板面23に対して45゜の角度で圧空が吹き付けられるように、固定されているいる検査装置の主要部。」(以下、「引用発明」という。) (2)本願優先日前に頒布された刊行物である特開昭61-24232号公報(以下、「刊行物2」という。)には、図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「第3図は本発明のLSIホトマスク検査装置の一実施例である。異物除去部14を対物レンズ10の周囲に配している。その他の構成と動作は第1図で示した従来例の実施例と同様である。第4図に異物除去方法の具体例を示す。対物レンズ10のホルダ15にノズル16a、16bを形成する。ノズル16a、16bの入口には配管チューブ17が接続してあり、空気源からの空気は、フィルタ19,方向切換弁18を通過した後、ノズル16a又は16bに供給されるようになっている。」(第2頁右下欄18行?第3頁左上欄7行) (3)本願優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開昭54-83871号公報(以下、「刊行物3」という。)には、図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「この発明はレーザを用いてて被測定物の移動速度等を計測するレーザ速度計に関するもので、特に除水、除蒸気のエアーパージに使用するノズルの改良に関するものである。」(第1頁左下欄18行?右下欄1行) イ 「第1図はこの発明の動作を示す概略図である。図において、(1)は架台(2)に固定され,センサ(3)と接しているノズルであり、その形状は中空円筒状でその中空内をレーザ光(4)、反射光(5)が通る。ノズル(1)から被測定物(6)にパージエアー(7)を吹きつけ、水(8)、蒸気(9)を除くものである。」(第1頁右下欄10行?16行) 3 当審の判断 (1)対比 ア 引用発明と補正発明とを対比すると、その構造・機能からみて、引用発明の「電気光学素子1」、「反射体26」、「圧空噴出口11」、「受光器」、「光源」、「ボックス8」、「圧空装置16」、および「検査装置の主要部」は、それぞれ、補正発明の「本体」、「本体の一部に形成された光反射手段」、「噴射ホール」、「プロセッシング部」、「光源」、「支持手段」、「ブロワ」、および「電気光学センサー」に相当することが明らかである。 イ 引用発明では、「電気光学素子1」が「ボックス8」に支持されているといえるから、引用発明の、「電気光学素子1と、電気光学素子1の底面に形成した金蒸着膜の反射体26と、ダストに気体を噴出する圧空噴出口11とを備え」た「ボックス8」と、「圧空装置16」とを有する点と、 補正発明の「本体と、前記本体の一部に形成された光反射手段と、前記本体の他部分に形成されたブロワと、前記モジュレータ本体を支持し、前記ブロワを含んで成り、多数個の噴射ホールを有する支持手段とを備えるモジュレータ」とを含む点とは、 「本体と、前記本体の一部に形成された光反射手段と、前記本体の他部分に形成されたブロワと、前記モジュレータ本体を支持し、噴射出口を有する支持手段とを備えるモジュレータ」とを含む点で共通する。 ウ 引用発明の、「圧空は、ホースを介して圧空噴出口11から噴出し、圧空噴出口11は、アクティブマトリクス基板面23に対して45゜の角度で圧空が吹き付けられるように、固定されている」と、 補正発明の「噴射ホールの各々は、前記反射手段の平面に対する垂直方向から前記本体の外側の方へ所定の角度を成して気体を噴射するように配置され」「前記支持手段は気体が流れる通路となる内部空間を有している」とは、 引用発明の、圧空噴出口11からの噴射が、図1より反射体26の平面に対する垂直方向からの電気光学素子1の外側の方へ行われていることが明らかであるから、 「噴射出口は、前記反射手段の平面に対する垂直方向から前記本体の外側の方へ所定の角度を成して気体を噴射するように配置され」、噴射出口へ「気体が流れる通路を有している」点で共通する。 そうすると、両者は、 (一致点) 「本体と、前記本体の一部に形成された光反射手段と、前記本体の他部分に形成されたブロワと、前記モジュレータ本体を支持し、噴射出口を有する支持手段とを備えるモジュレータと、 前記モジュレータに光を発生させる光源と、 前記モジュレータから出る光を処理するためのプロセッシング部とを含み、 前記モジュレータにおいて、前記本体は前記支持手段を備え、前記本体外周に噴射出口を備え、該噴射出口は、前記反射手段の平面に対する垂直方向から前記本体の外側の方へ所定の角度を成して気体を噴射するように配置され、噴射出口へ気体が流れる通路を有している電気光学センサー」 である点で一致し、以下の点で相違するといえる。 (相違点1) ブロワについて、補正発明では、支持手段が「ブロワを含んで成り」「支持手段に結合され」「前記支持手段は気体が流れる通路となる内部空間を有している」のに対して、引用発明では、「ボックスに結合されているか不明であり、」気体はホースを介して流れる点。 (相違点2) 本体外周に備える噴射出口について、補正発明では、「本体の外周全体に沿って環状に複数」の噴射ホールを備えるのに対して、引用発明では、単一の「圧空噴出口11」である点。 (2)相違点についての判断 まず、相違点1を検討する。 ブロワの支持手段への結合については、引用発明もブロワを有しており、刊行物1の図1、2ではブロワがボックスの上に記載されており、ブロワのボックスへの結合を阻害する要因も見当たらないので、ボックスがブロワを含んで成り、ブロワがボックスに結合されることは、当業者が必要に応じて適宜成し得る設計事項にすぎない。 また、前記支持手段が気体が流れる通路となる内部空間を有していることについては、刊行物2の記載事項である上記「2(2)ア」に「対物レンズ10のホルダ15にノズル16a、16bを形成する。ノズル16a、16bの入口には配管チューブ17が接続してあり」と記載されているように、気体を吹き付けて異物を除去する装置において、支持手段に気体が流れる内部空間を設ける構成は周知技術である。 してみると、引用発明の気体の流れる通路として、上記周知の構成を採用して、相違点1における本願発明の構成とすることは、当業者が容易に想到するものといえる。 次に、相違点2を検討する。 刊行物3の記載事項である上記「2(3)イ」に「図において、(1)は架台(2)に固定され,・・・ているノズルであり、その形状は中空円筒状で・・・。ノズル(1)から被測定物(6)にパージエアー(7)を吹きつけ、水(8)、蒸気(9)を除くものである。」と記載されているように、「本体の外周全体に沿って環状に噴射出口」を備える構成は周知技術である。また、環状に噴射出口を備えるに際して、環状に噴射出口を備えるようにするか、本願優先日前に頒布された刊行物である特開昭61-138424号公報の第4図に記載のように、環状に複数の噴射出口を備えるようにするかは、当業者が適宜選択する事項にすぎない。 してみると、引用発明の噴出出口として、上記両周知の構成を採用して、相違点2における本願発明の構成とすることは、当業者が容易に想到するものといえる。 そして、本願明細書に記載された効果も、引用発明および周知技術から、当業者が予測し得る範囲のものであり、格別顕著なものといえない。 したがって、補正発明は、引用発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるというべきであり、特許法第29条第2項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 4 まとめ 以上のとおりであるから、本件補正は、平成18年法改正前の特許法第17条の2第5項において準用する同法第126条第5項の規定に違反するので、同法第159条第1項の規定において読み替えて準用する同法第53条第1項の規定により、却下すべきものである。 第3 本願発明について 1 本願発明 本件補正3は、上記のとおり却下されることとなるので、本願の請求項1?15に係る発明は、本件補正1により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項1?15に記載された事項により特定されたものであって、その請求項7に係る発明は、次のとおりであると認める。 「【請求項7】 本体と、前記本体の一部に形成された光反射手段と、前記本体の他部分に形成されたブロワとを備えるモジュレータと、 前記モジュレータに光を発生させる光源と、 前記モジュレータから出る光を処理するためのプロセッシング部とを含み、 前記モジュレータにおいて、前記ブロワは、前記本体の外周全体に沿って環状に複数の噴射ホールを備え、該噴射ホールの各々は、前記反射手段の平面に対する垂直方向から前記本体の外側の方へ所定の角度を成して気体を噴射するように配置されていることを特徴とする電気光学センサー。」(以下、「本願発明」という。) 2 引用刊行物およびその記載事項 本願優先日前に頒布された刊行物1?3およびその記載事項は、上記「第2 2」に記載したとおりである。 3 当審の判断 本願発明は、補正発明の「前記モジュレータ本体を支持し、前記ブロワを含んで成り、多数個の噴射ホールを有する支持手段とを備えるモジュレータ」から「前記モジュレータ本体を支持し、前記ブロワを含んで成り、多数個の噴射ホールを有する支持手段とを備える」との限定を省き、補正発明の「前記モジュレータにおいて、前記本体は前記支持手段を備え」から「前記本体は前記支持手段を備え」との限定を省き、補正発明の「前記ブロワは、前記支持手段に結合され」から「前記支持手段に結合され」との限定を省き、さらに「前記支持手段は気体が流れる通路となる内部空間を有している」との限定を省いたものに相当する。 そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、更に他の要件を付加したものに相当する補正発明が、上記「第2 3」において検討したとおり、引用発明および周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるというべきである。 なお,請求人は,回答書において請求項1に「噴射ホールが、光反射手段の平面から30-60°の角度に位置する」構成を付加した補正案を提示しているが、刊行物1に「【0025】さらに、気体噴出手段は、基板面から30゜以上60゜以下に設定することが、基板からダストを除去する上で好ましい。」と記載されており、請求人の補正案は採用できない。 第4 まとめ 以上のとおり、本願発明は、引用発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 したがって、その他の請求項について言及するまでもなく、本願出願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。 |
| 審理終結日 | 2010-06-29 |
| 結審通知日 | 2010-06-30 |
| 審決日 | 2010-07-13 |
| 出願番号 | 特願平10-348559 |
| 審決分類 |
P
1
8・
121-
Z
(G01M)
P 1 8・ 575- Z (G01M) |
| 最終処分 | 不成立 |
| 前審関与審査官 | 平田 佳規 |
| 特許庁審判長 |
岡田 孝博 |
| 特許庁審判官 |
石川 太郎 信田 昌男 |
| 発明の名称 | モジュレータ及びモジュレータを備える電気光学センサー |
| 代理人 | 臼井 伸一 |
| 代理人 | 岡部 讓 |
| 代理人 | 越智 隆夫 |
| 代理人 | 加藤 伸晃 |
| 代理人 | 岡部 正夫 |
| 代理人 | 朝日 伸光 |