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| 審決分類 |
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 H01C |
|---|---|
| 管理番号 | 1238600 |
| 審判番号 | 不服2008-8336 |
| 総通号数 | 140 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2011-08-26 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2008-04-03 |
| 確定日 | 2011-06-17 |
| 事件の表示 | 平成 9年特許願第370342号「電気抵抗薄膜及びセンサデバイス」拒絶査定不服審判事件〔平成11年 7月21日出願公開、特開平11-195504〕について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は、成り立たない。 |
| 理由 |
第1 手続の経緯 本願は,平成9年12月26日の出願であって,平成19年8月29日付けの拒絶理由通知に対して,同年11月10日付けで手続補正書及び意見書が提出されたが,平成20年2月26日付けで拒絶査定がされ,これに対し,同年4月3日に審判請求がされるとともに,同年5月7日付け(方式指令により,同年6月25日付けで補正)で手続補正書が提出されたものである。 第2 補正の却下の決定 [補正の却下の決定の結論] 平成20年5月7日付けの手続補正書による補正を却下する。 [理由] 1 平成20年5月7日付けの手続補正の内容 平成20年6月25日付けで補正された同年5月7日付けの手続き補正(以下「本件補正」という。)は,特許請求の範囲を補正するものであり,その内容は,以下のとおりである。 〈補正事項a〉 補正前の請求項1の「鉄10?70%および残部パラジウム」を,補正後の請求項1の「パラジウム50?85%および残部鉄」と補正すること。 〈補正事項b〉 補正前の請求項2の「原子量比にて,鉄10?70%」を,補正後の請求項2の「原子量比にて,パラジウム50?85%」と補正し,補正前の請求項2の「コバルト20%以下,マンガン20%以下,銀20%以下」を,補正後の請求項2の「コバルト20%以下,銀20%以下」と補正し,補正前の請求項2の「残部パラジウム」を,補正後の請求項2の「残部鉄」と補正すること。 〈補正事項c〉 補正前の請求項3の「鉄10?70%および残部パラジウム」を,補正後の請求項3の「パラジウム50?85%および残部鉄」と補正すること。 〈補正事項d〉 補正前の請求項5の「原子量比にて,鉄10?70%」を,補正後の請求項5の「原子量比にて,パラジウム50?85%」と補正し,補正前の請求項5の「コバルト20%以下,マンガン20%以下,銀20%以下」を,補正後の請求項5の「コバルト20%以下,銀20%以下」と補正し,補正前の請求項5の「残部パラジウム」を,補正後の請求項5の「残部鉄」と補正すること。 〈補正事項e〉 補正前の請求項7の「鉄10?70%および残部パラジウム」を,補正後の請求項7の「パラジウム50?85%と残部鉄」と補正すること。 〈補正事項f〉 補正前の請求項9の「原子量比にて,鉄10?70%」を,補正後の請求項9の「原子量比にて,パラジウム50?85%」と補正し,補正前の請求項9の「コバルト20%以下,マンガン20%以下,銀20%以下」を,補正後の請求項9の「コバルト20%以下,銀20%以下」と補正し,補正前の請求項9の「残部パラジウム」を,補正後の請求項9の「残部鉄」と補正すること。 〈補正事項g〉 補正前の請求項10を,削除すること。 2 補正の目的の適否についての検討 (1)補正事項a,c,eについて 補正事項a,c,eは,補正前の請求項1,3,7の「鉄10?70%および残部パラジウム」を,各々補正後の請求項1,3の「パラジウム50?85%および残部鉄」及び補正後の請求項7の「パラジウム50?85%と残部鉄」に補正することにより,その材料の数値を限定的に減縮したものであるから,特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。 (2)補正事項b,d,fについて 補正事項b,d,fは,補正前の請求項2,5,9の「原子量比にて,鉄10?70%」及び「残部パラジウム」を,各々補正後の請求項2,5,9の「原子量比にて,パラジウム50?85%」及び「残部鉄」と補正し,補正前の請求項2,5,9の「コバルト20%以下,マンガン20%以下,銀20%以下」を,各々補正後の請求項2,5,9の「コバルト20%以下,銀20%以下」と補正することにより,特定される材料を限定的に減縮したものであるから,特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。 (3)補正事項gについて 補正事項gは,請求項の削除を目的とする補正に該当する。 (4)まとめ したがって,本件補正は,平成14年法律第24号改正附則第2条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第17条の2第4項(以下「特許法第17条の2第4項」という。)第1号及び第2号に規定する要件を満たす。 3 独立特許要件についての検討 (1)はじめに 上記2において検討したとおり,本件補正は,特許法第17条の2第4項第2号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とする補正を含むものであるから,本件補正が,平成18年法律第55号改正附則第3条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第17条の2第5項(以下「特許法第17条の2第5項」という。)において準用する同法第126条第5項の規定に適合するか否かについて検討する。 (2)本件補正後の請求項1に係る発明 本件補正後の請求項1に係る発明(以下「本願補正発明」という。)は,平成20年6月25日付けで補正された同年5月7日付けの手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて,その特許請求の範囲の請求項1に記載された事項により特定される,以下のとおりである。 「【請求項1】 原子量比にて,パラジウム50?85%および残部鉄と不可避的不純物からなり,Fe-Pd規則相を含み,0?200℃における平均の抵抗温度係数が3000×10^(-6)・℃^(-1)以上であることを特徴とする電気抵抗薄膜。」 (3)引用例に記載された発明 引用例:特開昭59-50501号公報 原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭59-50501号公報(以下「引用例」という。)には,「感温電気抵抗体」(発明の名称)に関して,次の記載がある。 ア 発明の背景等 ・「産業上の利用分野 本発明は,温度測定装置や流速測定装置又は電子回路の温度補償などに用いられる感温電気抵抗体に関するものである。 背景技術とその問題点 従来,流速測定装置や温度測定装置の感応部には,主としてタングステン,白金等が細い線材又は薄膜として用いられてきた。また,製造が容易で安価なニツケル薄膜も使用されているが,いずれも,単体金属であるため電気固有抵抗値が小さくそのままでは温度センサーとして不適当である。」(1頁左下欄8?18行) ・「発明の目的 本発明は,電気固有抵抗値が高くて静電耐圧特性がよく且つ抵抗温度係数の大きい感温電気抵抗体を得ることを目的とするものである。」(1頁右下欄11?14行) イ 実施例 ・「実施例1 直径1mm長さ3.2mmのムライト系磁器を電気絶縁基体とし,その表面にパラジウム85重量%鉄15重量%のパラジウム・鉄合金を抵抗膜としてマグネトロン・スパツタ法により被着する。パラジウム・鉄合金薄膜は抵抗加熱法による真空蒸着,或いは電子ビームによる真空蒸着,無電解メツキ法等により形成しうるが,成分の制御が容易な点でマグネトロン・スパツタ法が適当である。次いで,熱処理後,直径0.98mm高さ1mm厚み0.2mmの錫メツキした鉄キヤツプを両端に挿入して電極とし,レーザー光によりピツチ100μm溝幅50μmのスパイラル切溝を入れてから直径0.5mmNL軟銅線をリード線として溶接し,抵抗膜表面をエポキシ系塗料でコーテイングして感温電気抵抗体を得る。 このようにして作成した試料の10個について特性試験を行ないデータの平均値を取つたところ,次の如き結果を得た。 初期抵抗値 抵抗温度係数 静電耐圧 (Ω) (PPM/℃) (V) 4.1 6558 2600 26.5 6109 2500 ただし,初期抵抗値は,端子キヤツプ挿入後有効長1.6mm間の室温における抵抗値とした。抵抗温度係数は,レーザー光線でスパイラル切溝を入れリード線を溶接し塗装を施した試料を0℃と100℃の2点の油中で抵抗値を測定し,計算で1℃当たりの変化率を求めたものである。1000PPM/℃は1℃当たり0.1%の抵抗値変化を表わし,この値が大きい程温度センサーとしての特性がよいことになる。」(2頁左上欄2行?同頁右上欄下から7行) ウ 発明の効果 ・「発明の効果 以上説明したとおり,本発明によれば,特異性質を有するパラジウム・鉄合金を活用することにより,電気固有抵抗値が高くて静電耐圧特性に優れ抵抗温度係数が大きいばかりでなくパラジウムのもつ耐蝕性を損うことなく膜の硬度が向上した,温度センサーとして幾つかの適性を合わせもつ理想的な感温電気抵抗体を得ることができ,その実用的価値は極めて大きい。」(3頁左上欄15行?同頁右上欄3行) 上記ア?ウによれば,引用例には,次の発明(以下「引用発明」という。)が記載されているものと認められる。 「パラジウム85重量%鉄15重量%のパラジウム・鉄合金を抵抗膜としてマグネトロン・スパツタ法により被着した後に,熱処理を行ったパラジウム・鉄合金薄膜からなり,0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求めた抵抗温度係数が6558PPM/℃であることを特徴とする感温電気抵抗体。」 (4)対比 (4-1)次に,本願補正発明と引用発明とを対比する。 ア 引用発明の「パラジウム85重量%鉄15重量%」は,原子量比に換算すると,パラジウム約75%鉄約25%の原子量比であるから,本願補正発明の「原子量比にて,パラジウム50?85%および残部鉄」の数値範囲と重なり,また,引用発明でも,本願補正発明の「不可避的不純物」に対応するものを含んでいることは,技術常識として明らかであるので,引用発明の「パラジウム85重量%鉄15重量%」は,本願補正発明の「原子量にて,パラジウム50?85%および残部鉄と不可避的不純物」に相当する。 イ 引用発明の「0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求めた抵抗温度係数が6558PPM/℃であること」において,「0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求めた」ことは,0℃?100℃の平均であり,また,「PPM/℃」は,本願補正発明の「10^(-6)・℃^(-1)」と等価であるから,引用発明の「0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求めた抵抗温度係数が6558PPM/℃であること」は,本願補正発明の「平均の抵抗温度係数が3000×10^(-6)・℃^(-1)以上であること」に相当する。 ウ 引用発明の「マグネトロン・スパツタ法により被着した」「パラジウム・鉄合金薄膜からな」「る感温電気抵抗体」は,本願補正発明の「電気抵抗薄膜」に相当する。 (4-2)そうすると,本願補正発明と引用発明の一致点と相違点は,次のとおりである。 《一致点》 「原子量比にて,パラジウム50?85%および残部鉄と不可避的不純物からなり,平均の抵抗温度係数が3000×10^(-6)・℃^(-1)以上であることを特徴とする電気抵抗薄膜。」 《相違点》 《相違点1》 本願補正発明は,「Fe-Pd規則相を含」むのに対して,引用発明は,Fe-Pd規則相を含むことが特定されていない点。 《相違点2》 本願補正発明は,抵抗温度係数が,「0?200℃における平均の抵抗温度係数」であるのに対して,引用発明は,抵抗温度係数が,「0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求めた抵抗温度係数」である点。 (5)相違点についての判断 (5-1)相違点1について ア 本願の明細書の発明の詳細な説明には,本願補正発明の「Fe-Pd規則相」を生ずる条件として,「作製する材料の最終状態が規則状態であればよいことから,その製造法はおのずと決まってくる。すなわち,800℃以下の温度に加熱した基板上に成膜すること,800℃以上の温度に加熱した基板上に成膜した後,規則-不規則変態が起こる冷却速度で薄膜を冷却すること,非加熱の基板上に成膜した後,800℃以下の温度で規則化の熱処理施すこと,もしくは,非加熱の基板上に成膜し800℃以上の温度で熱処理を施した後,規則-不規則変態が起こる冷却速度で薄膜を冷却することなどの方法により,大きな抵抗温度係数を示すFe-Pd薄膜を得ることができる。」(段落【0027】)と記載されている。 ここで,上記記載中には,「非加熱の基板上に成膜した後,800℃以下の温度で規則化の熱処理を施すこと」により,Fe-Pd規則相が生ずることが示されている。 イ また,本願の明細書の発明の詳細な説明には,実施例1の記載において,「・・・次に得られた薄膜を,各種雰囲気中200℃?1000℃の各種温度で0.5時間加熱後室温まで炉中冷却(冷却速度:200℃/時間)した。これらの薄膜にハンダを用いて直径0.05mmの被服導線を溶接して電極となし,4端子法にて抵抗温度係数の測定を行った。その結果,表1に示したとおり,いずれの雰囲気においても抵抗温度係数は3000×10^(-6)・℃^(1)以上を示し,最大約8000×10^(-6)・℃^(-1)の非常に大きい値が得られた。表1は,それら熱処理条件と,0℃における比抵抗および熱処理後の0?200℃における抵抗温度係数を示す。抵抗温度係数は熱処理温度によって異なっているが,これは規則化の度合いに対応する。すなわち800℃以上の高温からの徐冷では完全には規則化しないため,完全に規則化する700?800℃で熱処理した場合と比べて抵抗温度係数は小さくなる。また,低温になるほど原子の拡散が遅いことから,本実施例のように熱処理時間が一定である場合,熱処理温度が低いほど規則化の度合いは小さく,従って抵抗温度係数は小さくなる。しかし,規則化が十分ではなくとも抵抗温度係数は3000×10^(-6)・℃^(-1)以上を示し,かつ200℃以下の温度で使用する場合原子の拡散はほとんど起こらないため経時変化も生じず,したがって該薄膜における特性の安定性が損なわれることはない。」(【0036】)と記載されている。 ここで,上記記載中には,「抵抗温度係数は熱処理温度によって異なっているが,これは規則化の度合いに対応する。」こと,「800℃以上の高温からの徐冷では完全には規則化しないため,完全に規則化する700?800℃で熱処理した場合と比べて抵抗温度係数は小さくなる。」ことが記載されており,表1に示されている抵抗温度係数の数値をみると,800℃以上の高温でも,少なくとも一部は規則化していることが示唆されている。 ウ 引用発明は,「マグネトロン・スパツタ法により被着した後に,熱処理を行ったパラジウム・鉄合金薄膜からな」るので,「熱処理を行」うことにより,上記ア,イに示されるように,本願補正発明のような「Fe-Pd規則相」が少なくとも一部には生じていることが推定され,また,本願補正発明の「抵抗温度係数が3000×10^(-6)・℃^(-1)以上である」ことに相当する引用発明の「抵抗温度係数が6558PPM/℃である」ことからも,引用発明において,本願補正発明のような「Fe-Pd規則相」が少なくとも一部には生じていることが裏付けられている。 エ したがって,引用発明は,実質的にFe-Pd規則相を含むものと推定されるから,相違点1は,実質的なものではない。 (5-2)相違点2について ア 引用発明は,抵抗温度係数を,「0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求め」ているが,200℃までの温度範囲の測定をする必要があれば,0?200℃における平均の抵抗温度係数を求めることになるのは当然である。 また,引用発明の「0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求めた抵抗温度係数が6558PPM/℃である」ことからすると,引用発明において,0?200℃における平均の抵抗温度係数を求めた場合,抵抗温度係数が,3000×10^(-6)・℃^(-1)以上となる蓋然性が高いものと認められる。 イ そうすると,引用発明の「0℃と100℃の2点の油中で抵抗値から求めた抵抗温度係数が6558PPM/℃であること」に換えて,必要により0?200℃の測定を行い,本願補正発明の「0?200℃における平均の抵抗温度係数が3000×10^(-6)・℃^(-1)以上である」ようにすることは,当業者が必要に応じて適宜なし得たものといえる。 (6)独立特許要件のまとめ 以上,検討したとおり,上記相違点1,2は,実質的なものではないか,当業者が容易に想到できたものであり,本願補正発明は,引用例に記載された発明に基づいて,当業者が容易に発明することができたものであるから,特許法29条2項の規定により,特許願の際独立して特許を受けることができない。 4 補正の却下についてのむすび 以上のとおり,本件補正は,平成18年法律第55号改正附則第3条第1項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第17条の2第5項において準用する同法第126条第5項の規定に適合しないものである。 したがって,本件補正は,特許法第159条第1項において読み替えて準用する同法第53条第1項の規定により却下すべきものである。 第3 本願発明 1 上記のとおり,平成20年5月7日付けの手続補正は却下されたので,本願の請求項1に係る発明(以下「本願発明」という。)は,平成19年11月10日付けの手続補正の特許請求の範囲の請求項1に記載された事項により特定される,以下のとおりのものである。 「【請求項1】 原子量比にて,鉄10?70%および残部パラジウムと不可避的不純物からなり,Fe-Pd規則相を含み,0?200℃における平均の抵抗温度係数が3000×10^(-6)・℃^(-1)以上を有することを特徴とする電気抵抗薄膜。」 2 引用例の記載と引用発明については,上記第2 3 (3)において認定したとおりである。 3 対比・判断 前記第2 2 (1)で検討したように,本願補正発明は,本件補正前の発明の「鉄10?70%および残部パラジウム」を,「パラジウム50?85%および残部鉄」と限定したものである。逆に言えば本件補正前の発明(本願発明)は,本願補正発明から上記の限定をなくしたものである。 そうすると,上記上記第2 2 (4)において検討したように,本願補正発明が,引用例に記載された発明に基づいて,当業者が容易に発明をすることができたものであるから,本願発明も,同様の理由により,引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものといえる。 したがって,本願発明は,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 第4 むすび 以上のとおりであるから,本願は,他の請求項に係る発明について検討するまでもなく,拒絶をすべきものである。 よって,結論のとおり審決する。 |
| 審理終結日 | 2011-03-30 |
| 結審通知日 | 2011-04-05 |
| 審決日 | 2011-04-25 |
| 出願番号 | 特願平9-370342 |
| 審決分類 |
P
1
8・
121-
Z
(H01C)
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| 最終処分 | 不成立 |
| 前審関与審査官 | 鈴木 匡明、久保田 昌晴 |
| 特許庁審判長 |
相田 義明 |
| 特許庁審判官 |
小野田 誠 松田 成正 |
| 発明の名称 | 電気抵抗薄膜及びセンサデバイス |
| 代理人 | 村井 卓雄 |