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| 審決分類 |
審判 査定不服 特36条6項1、2号及び3号 請求の範囲の記載不備 特許、登録しない(前置又は当審拒絶理由)(定型) H01L 審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない(前置又は当審拒絶理由)(定型) H01L 審判 査定不服 特36条4項詳細な説明の記載不備 特許、登録しない(前置又は当審拒絶理由)(定型) H01L |
|---|---|
| 管理番号 | 1260164 |
| 審判番号 | 不服2010-22769 |
| 総通号数 | 153 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2012-09-28 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2010-10-08 |
| 確定日 | 2012-07-09 |
| 事件の表示 | 特願2005-334838「イマージョン式リソグラフィ露光装置、イマージョンリソグラフィ露光方法における微小泡除去方法およびイマージョン式リソグラフィ露光方法」拒絶査定不服審判事件〔平成19年 6月 7日出願公開、特開2007-142217〕について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は、成り立たない。 |
| 理由 |
本願は、平成17年11月18日の出願であって、その請求項1ないし14に係る発明は、平成21年11月4日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項1ないし14に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 これに対して、平成23年10月3日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。 そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。 |
| 審理終結日 | 2012-02-14 |
| 結審通知日 | 2012-02-17 |
| 審決日 | 2012-02-28 |
| 出願番号 | 特願2005-334838(P2005-334838) |
| 審決分類 |
P
1
8・
537-
WZF
(H01L)
P 1 8・ 121- WZF (H01L) P 1 8・ 536- WZF (H01L) |
| 最終処分 | 不成立 |
| 前審関与審査官 | 杉浦 淳 |
| 特許庁審判長 |
村田 尚英 |
| 特許庁審判官 |
橋本 直明 森林 克郎 |
| 発明の名称 | イマージョン式リソグラフィ露光装置、イマージョンリソグラフィ露光方法における微小泡除去方法およびイマージョン式リソグラフィ露光方法 |
| 代理人 | 川崎 康 |
| 代理人 | 橘谷 英俊 |
| 代理人 | 勝沼 宏仁 |
| 代理人 | 佐藤 泰和 |
| 代理人 | 関根 毅 |
| 代理人 | 赤岡 明 |