• ポートフォリオ機能


ポートフォリオを新規に作成して保存
既存のポートフォリオに追加保存

  • この表をプリントする
PDF PDFをダウンロード
審決分類 審判 査定不服 2項進歩性 取り消して特許、登録 G01B
管理番号 1269163
審判番号 不服2011-20286  
総通号数 159 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2013-03-29 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2011-09-20 
確定日 2013-02-15 
事件の表示 特願2007-556555「積層プロセス用の光学式モニタリングシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成18年 8月31日国際公開、WO2006/089752、平成20年 8月14日国内公表、特表2008-531999、請求項の数(9)〕について、次のとおり審決する。 
結論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 
理由 本願は、平成18年2月23日(パリ条約による優先権主張 2005年2月26日(DE)ドイツ連邦共和国)の出願であって、その請求項1-9に係る発明は、特許請求の範囲の請求項1-9に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。

すなわち、原審で主たる引用例として引用された刊行物である、特開2001-356009号公報(刊行物1)や、特開昭63-300933号公報(刊行物2)には、請求項1に係る発明を特定するための事項である「第1および第2の光チョッパ(10、11)は測定フェーズ、基準フェーズおよび少なくとも1つの暗フェーズを生成するためにプロセッサユニット(21)と接続されており、かつ回転式基板保持部(3)の回転駆動部(4)は、該基板保持部(3)上に配置された基板(2)の回転運動を検出するためにプロセッサユニット(21)と接続されているか、または接続可能である」との構成により、時間ジッタを除去することについて記載されていない。
すなわち、刊行物1は、モニター基板5上に成形された薄膜の膜厚を監視する膜厚監視計に関するものであるが、モニター基板5は回転運動をするものではなく、そもそも時間ジッタが生じないから、時間ジッタを光チョッパによって除去する請求項1に係る発明とは技術思想を異にするものである。
次に、刊行物2は回転するサブストレートホルダ2上に非減衰測定領域(貫通孔)8、非透過性測定領域7、測定対象(薄膜)6を設け、各領域を透過する光量を計測して薄膜の光学特性(膜厚)を計測するものであり、構造上時間ジッタが生じ得るものでる点で本願発明と類似するが、それを除去するためのチョッパを備えていない。チョッパ盤12が記載されているけれども、これは、光ビームを個別のパルス列に分解するためのものであり、本願発明に係るチョッパとは、その技術的意義を異にする。
また、「基準フェーズ、測定フェーズおよび暗フェーズを少なくとも1つのピエゾ圧電式光チョッパまたは電気ひずみ式光チョッパまたは磁気ひずみ式光チョッパを介して時間的にずらし、基板の位置に依存してデジタル調整する」との構成を備えるもう1つの独立請求項である請求項7に係る発明についても、同様である。
そして、前記構成により請求項1に係る発明、請求項7に係る発明、及びこれらを引用する各請求項に係る発明は、「測定フェーズが、正確に基板の所望の測定場所と同期され、時間ジッタが除去される旨の明細書に記載の効果を奏するものである。
したがって、請求項1ないし請求項9に係る発明は、いずれも、前記刊行物1,2に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。

また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
 
審理終結日 2013-01-18 
結審通知日 2013-01-25 
審決日 2013-02-05 
出願番号 特願2007-556555(P2007-556555)
審決分類 P 1 8・ 121- WY (G01B)
最終処分 成立  
前審関与審査官 清藤 弘晃  
特許庁審判長 飯野 茂
特許庁審判官 森 雅之
山川 雅也
発明の名称 積層プロセス用の光学式モニタリングシステム  
代理人 二宮 浩康  
代理人 星 公弘  
代理人 久野 琢也  
代理人 高橋 佳大  
代理人 篠 良一  
代理人 アインゼル・フェリックス=ラインハルト  
代理人 矢野 敏雄  
  • この表をプリントする

プライバシーポリシー   セキュリティーポリシー   運営会社概要   サービスに関しての問い合わせ