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審決分類 審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない(前置又は当審拒絶理由) H01L
管理番号 1311736
審判番号 不服2014-899  
総通号数 196 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2016-04-28 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2014-01-17 
確定日 2016-03-03 
事件の表示 特願2011-221201「低収容キャリアの使用方法」拒絶査定不服審判事件〔平成24年1月19日出願公開、特開2012- 15550〕について、次のとおり審決する。 
結論 本件審判の請求は、成り立たない。 
理由 1 手続の経緯・本願発明
本件出願は、2005(平成17)年8月19日(パリ条約による優先権主張外国庁受理 2004年8月19日 米国、2005年8月19日 米国)を国際出願日とする出願である特願2007-528083号の一部を平成23年10月5日に新たな特許出願としたものであって、平成25年1月21日付けで拒絶の理由が通知され、同年4月26日に意見書の提出とともに手続補正がなされたが、同年9月9日付けで拒絶査定された。
これに対して、平成26年1月17日に拒絶査定に対する審判請求と同時に手続補正がなされ、平成27年2月23日付けで当審から拒絶の理由が通知され、同年6月16日に意見書の提出とともに手続補正がなされたものである。

そして、本件出願の請求項1ないし8に係る発明は、平成27年6月16日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項1ないし8に記載された事項により特定されるものと認められるところ、その請求項1の記載は、以下のとおりのものである。
「 【請求項1】
工場内でワークピースを処理する方法であって、
前記工場に、ワークピースがワークピースロットとして処理されるワークピース処理流れを画定するワークピース処理ステーションを提供するステップと、
ワークピースを各々保持する所定のワークピース保持領域を有し、且つ1以上のワークピースを前記ワークピース処理流れ内においてワークピース処理ステーション間で搬送するキャリアを提供するステップと、
前記ワークピースロットとは異なり、前記ワークピースロットの形成の後に形成され、かつ前記ワークピースロットのうちの少なくとも1つからのワークピースを含む仮想ロットを前記キャリアに確立するステップと、を有し、
前記仮想ロットは、前記ワークピース処理流れにおける前記キャリアによる一方のワークピース処理ステーションから他方のワークピース処理ステーションへの搬送のために、前記キャリアのワークピース収容量と異なる選択自在な数のワークピースを含み、
前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでアンロードされる際に、第1のワークピースロットからのワークピースを含む第1の仮想ロットを保持し、
前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでロードされる際は、第1のワークピースロットとは異なる第2のワークピースロットからのワークピースを含む第2の仮想ロットを保持することを特徴とする方法。」(以下「本願発明」という)

2 当審が通知した拒絶の理由
一方、当審が平成27年2月23日付けで通知した拒絶の理由の概要は、以下のとおりである。
本件出願の請求項1ないし8に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。
記
引用文献1:特表2003-500855号公報

3 引用文献の記載事項
(1)当審が通知した上記拒絶の理由で引用した特表2003-500855号公報(以下「引用文献」という)には、図面とともに次の事項が記載されている(下線は理解の便のため当審で付与)。

a 「【0024】
本発明により、ウェーハは、加工ユニット、測定ユニットおよび/または搬送システムのキャパシティに適合する、変更可能(バリアブル)なロットサイズにて集結される。
【0025】
このとき、ウェーハは、搬送システムによる搬送のために搬送ロットに、そして加工ユニットまたは測定ユニットでの処理のために、加工ロットに集められる。
【0026】
すなわち、本発明の根本的な思想は、確定しているサイズの特定のロットによるウェーハの束縛を廃止することにある。
【0027】
搬送システムを通じてのウェーハ搬送は、変化しうる(バリアブル)ロットサイズで行われる。この場合、個々のロットサイズは、ウェーハを導入しようとする先の加工ユニットまたは測定ユニットの加工キャパシティと瞬時稼働率(momentanen Auslastungsgrad)とに適合されている。
【0028】
個々の加工ユニットおよび測定ユニットにおいては、搬送システムから供給されるウェーハロットは、ばらばらに解かれ、必要に応じて、そして加工ユニットまたは測定ユニットのキャパシティに応じて、新しいロットサイズに集約され、1つのロットにおいて同時に加工される。
【0029】
ウェーハが、それぞれの加工ユニットまたは測定ユニットにおいて必要とされるロットサイズですでに搬送システムを通じて供給される場合、旧ロットの解除と新ロットの集結とを略すこともできる。
【0030】
加工ユニットまたは測定ユニットにおけるロットの加工のあと、必要に応じてこのロットは再び解除され、そこから新しいウェーハロットが集結され、そのロットが搬送システムに導入される。そのあと、個々のロットは、全プロセスにおける加工順序に対応して、さらに別の加工ユニットまたは測定ユニットに導入される。」

b 「【0037】
図1に、あるウェーハ加工装置の実施例を示す。この装置は、ウェーハの加工に必要となる工程を実施するための複数の加工ユニット1を有する。この種の工程は、エッチングプロセス、ウエットケミカル処理、拡散処理ならびに洗浄処理における加工過程を含む。
【0038】
これらの工程のために、それぞれ1つまたは複数の加工ユニット1を設けることができる。
そのために、この装置は、個々の工程の結果を検査する多数の測定ユニット2を有している。
【0039】
加工ユニット1および測定ユニット2は、クリーンルーム3内に設けられる。代わりに、装置を、クリーンルーム3における1つのシステムを用いて、分散させて配置することもできる。
【0040】
加工ユニット1および測定ユニット2は、搬送システムにより互いに結ばれている。搬送システムは、コンベアシステム4とストレージシステムとを有する。コンベアシステム4は、例えば、ローラーコンベアのシステムにより構成することができる。保管システムの保管庫5は、特に、ストッカとして形成されている。
【0041】
ウェーハは、搬送容器6に収められ、コンベアシステム4により搬送される。搬送容器6は、カセットあるいは同類の形態に形成することができる。」

c 「【0052】
本発明により、ウェーハは、加工ユニット1、測定ユニット2および/または搬送システムのキャパシティに適合した、変化しうるロットサイズにて集結される。
【0053】
このロットサイズは、本装置の利用形態にもよるが、通常300枚のウェーハを収めることができる。しかし、ロットサイズを1枚だけとすることも可能であるので、1枚ずつのウェーハが1つのロットを構成することもできる。なお、それらのロットは、個々の加工ユニット1および測定ユニット2のキャパシティに応じて、加工制御機構により自動的に集結または解除される。この場合、搬送ロットと加工ロットとの加工制御は異なる。また、この場合、ウェーハは、搬送ロットとなって搬送システムにおいて案内される。さらに、ウェーハは、加工ロットに集結されて、それぞれの加工ユニット1または測定ユニット2において加工される。とりわけ、ロットサイズは、搬送ロットと加工ロットとでは異なることがある。」

d 「【0056】
図1に示した装置におけるウェーハの進行は、中央の加工制御機構により制御され、監視される。加工ユニット1または測定ユニット2におけるウェーハの加工のために、ウェーハは、搬送システムを通り、それぞれの加工ユニット1または測定ユニット2に導入される。
【0057】
加工プロセスが始まると、一定数のウェーハが、保管システムの保管庫5からとりだされ、例えば、図2に示すような加工ユニット1に導入される。それに代わる形態としては、ウェーハは、クリーンルーム3の外部から直接にコンベアシステム4に導入され、コンベアシステム4が、ウェーハを加工ユニット1に運ぶ。いずれの場合でも、加工ユニット1へのウェーハ導入は、搬送ロットによって行われる。また、搬送ロットのロットサイズは、加工ユニット1のキャパシティに応じて定められる。
【0058】
そのために、加工ユニット1から、搬送システムの適切なコンピュータユニット13に対し、制御命令が送り出される。この制御命令により、加工ユニット1のための搬送ロットの編成が開始される。この制御命令の内容は、目的場所を形成している加工ユニット1、ならびに、形成しようとする搬送ロットのロットサイズである。この場合、まず始めに、それぞれの加工ユニット1におけるウェーハの瞬間所要量(momentane Bedarf)が加工制御機構から問い合わせられ、ロットサイズが、加工ユニット1の瞬間所要量に適合される。」

e 「【0065】
加工ロットが加工ユニット1において加工された後、この加工ロットは、ローディング/アンローディングポート8を通って第2のコンベア10に送り出され、そして第2のハンドリング機器12に達する。接続されているコンピュータユニット13では、その加工ロットは、標識と加工オーダーとにより識別される。このために、加工ユニット1で加工される全加工ロットは、所属のコンピュータユニット13に記憶される点が合理的である。
【0066】
加工ロットが識別されたあと、この加工ロットは解除され、少なくとも1つの搬送ロットに移される。そのために、加工ユニット1のコンピュータユニット13から加工制御機構へ制御命令が伝送される。回答として、加工制御機構は、1つまたは複数の搬送ロットの編成のための制御命令を発信する。
【0067】
この搬送ロットの編成は、次に設けられている加工ユニット1および測定ユニット2のキャパシティに対応して行われる。このために、次に設けられている加工ユニット1および測定ユニット2は、加工制御機構により問い合わせを受ける。それぞれの加工ユニット1および測定ユニット2のキャパシティ基準に応じて、加工ロットから、1つまたは複数の搬送ロットが編成される。基本的には、複数の加工ロットを1つの搬送ロットに集約することも可能である。
【0068】
ある加工ロットを複数の搬送ロットに移転させようとする場合は、ハンドリング機器12によって、加工ロットのウェーハはさまざまな搬送容器6に装入される。いずれの場合でも、各搬送ロットは、再び、標識と搬送オーダーとにより加工制御機構において識別され、検査される。搬送オーダーの生成により、当該搬送ロットのウェーハは、装置の配分過程に再び受け入れられる。同時に、搬送オーダーの生成により、対応する加工オーダーの消去が行われる。しかるのち、さまざまな搬送ロットのウェーハは、次の目的場所に導入され、そこで図2に示される実施例と同じように、ウェーハのハンドリングが行われる。」

f 上記摘記事項aないしeを、技術常識を踏まえて整理すると、引用文献には以下の発明が記載されていると認められる。
「搬送システムにより互いに結ばれた加工ユニット1及び測定ユニット2が設けられたクリーンルーム3内でウェーハを処理する方法であって、
前記クリーンルーム3に、ウェーハが加工ロットとして処理されるウェーハの進行を画定する加工ユニット1を提供するステップと、
ウェーハを収めるカセットあるいは同類の形態に形成され、且つ1以上のウェーハを前記ウェーハの進行内において加工ユニット1間で搬送する搬送容器6を提供するステップと、
前記加工ロットとは異なり、前記加工ロットの形成の後に形成される搬送ロットを前記搬送容器6に確立するステップと、を有し、
前記搬送ロットは、前記ウェーハの進行における前記搬送容器6による一方の加工ユニット1から他方の加工ユニット1への搬送のために、変化しうる(バリアブル)ロットサイズのウェーハを含み、
前記搬送容器6は、加工ユニット1でアンロードされる際に、加工ロットからのウェーハを含む搬送ロットを保持し、
前記搬送容器6は、加工ユニット1でロードされる際は、次に設けられている加工ユニット1の加工ロットからのウェーハを含む搬送ロットを保持する方法。」(以下「引用発明」という)

4 対比
本願発明と引用発明とを対比する。
引用発明の「搬送システムにより互いに結ばれた加工ユニット1及び測定ユニット2が設けられたクリーンルーム3」は、加工ユニット1等でウェーハ加工を行う場所であるから、本願発明の「工場」に相当する。
また、引用発明の「ウェーハ」が本願発明の「ワークピース」に相当し、同様に「加工ユニット1」が「ワークピース処理ステーション」に、「搬送容器6」が「キャリア」に、それぞれ相当することは、当業者には自明である。そして、引用発明の「搬送容器6」が「ウェーハを収めるカセットあるいは同類の形態に形成され」ているという事項は、カセットの形態というものがウェーハを各々保持するウェーハ保持領域を有する構造となっていることは技術常識に過ぎないから、本願発明の「キャリア」が「ワークピースを各々保持する所定のワークピース保持領域を有し」ている事項に相当するものである。
さらに、引用発明の「加工ロット」は、加工ユニット1での処理に対応したウェーハロットのことであるから、本願発明の「ワークピースロット」に相当する。そして、この加工ロットとして処理される「ウェーハの進行」は、本願発明の「ワークピース処理流れ」に相当するものと認められる。また、引用発明の「搬送ロット」は、引用文献の上記摘記事項eを参照すると、加工制御機構により加工ユニットにおけるロット加工の後に加工ロットを解除して新しいウェーハロットとして編成される性質のものであるから、本願発明の「仮想ロット」に相当するものである。また、引用発明の搬送ロットにおける「変化しうる(バリアブル)ロットサイズのウェーハ」は、本願発明の仮想ロットの「選択自在な数のワークピース」に相当する。
そして、引用発明の搬送容器6における、加工ユニット1でアンロードされる際の「加工ロット」及び「搬送ロット」と、加工ユニット1でロードされる際の「次に設けられている加工ユニット1の加工ロット」及び「搬送ロット」は、本願発明のキャリアにおける、「第1のワークピースロット」及び「第1の仮想ロット」と、「第2のワークピースロット」及び「第2の仮想ロット」と比較して、単に「第1」及び「第2」という表現上の違いがあるだけで、実質的に相当するものである。

そうすると、引用発明は、
「工場内でワークピースを処理する方法であって、
前記工場に、ワークピースがワークピースロットとして処理されるワークピース処理流れを画定するワークピース処理ステーションを提供するステップと、
ワークピースを各々保持する所定のワークピース保持領域を有し、且つ1以上のワークピースを前記ワークピース処理流れ内においてワークピース処理ステーション間で搬送するキャリアを提供するステップと、
前記ワークピースロットとは異なり、前記ワークピースロットの形成の後に形成され、かつ前記ワークピースロットのうちの少なくとも1つからのワークピースを含む仮想ロットを前記キャリアに確立するステップと、を有し、
前記仮想ロットは、前記ワークピース処理流れにおける前記キャリアによる一方のワークピース処理ステーションから他方のワークピース処理ステーションへの搬送のために、選択自在な数のワークピースを含み、
前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでアンロードされる際に、第1のワークピースロットからのワークピースを含む第1の仮想ロットを保持し、
前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでロードされる際は、第2のワークピースロットからのワークピースを含む第2の仮想ロットを保持する方法。」
である点で本願発明と一致し、以下の点で本願発明と相違する。

＜相違点1＞
キャリアによる一方のワークピース処理ステーションから他方のワークピース処理ステーションへの搬送時のワークピースの数について、本願発明では、「前記キャリアのワークピース収容量と異なる」ものであるのに対し、引用発明では、搬送容器6のウェーハ収容量と異なるか否か不明である点。
＜相違点2＞
ワークピース処理ステーションでロードされる際のキャリアは、本願発明では、「第1のワークピースロットとは異なる第2のワークピースロットからのワークピースを含む第2の仮想ロットを保持する」ものであるのに対し、引用発明では、アンロードの際の加工ユニット1の加工ロットと、ロードの際の次に設けられている加工ユニット1の加工ロットとが異なるか否か不明である点。

5 当審の判断
＜相違点1＞について
引用文献の上記摘記事項cからみて、引用発明では、ウェーハのロットサイズは、加工ユニット1や搬送システムのキャパシティに適合して変化するもので、搬送ロットと加工ロットで異なることもあるものである。そうすると、加工ロット及び搬送ロットのロットサイズによっては、搬送時に選択されたウェーハの数が搬送容器6の収容量と一致しない状況が生じることも、技術常識から考えて当然予測できるものである。そして、引用発明は、このような選択されたウェーハの数と搬送容器6の収容量とが一致する状況においてのみ適用可能なものではないことは明らかである。したがって、相違点1に係る本願発明の構成を引用発明が備えるようにすることは、引用発明及び技術常識から当業者であれば容易に想到し得るものというべきである。

＜相違点2＞について
引用文献の上記摘記事項eからみて、引用発明では、加工ロットが加工ユニット1で加工された後に、当該加工ロットは解除され、次に設けられている加工ユニット1及び測定ユニット2のキャパシティに対応して1つ又は複数の搬送ロットが編成されるものである。また、引用文献の段落【0009】にも「ウェーハを入れた搬送容器は、個々の加工および測定のプロセスの結果にもよるが、順次個々の加工ユニットおよび測定ユニットに導入される。そこで問題となるのは、個々の加工ユニットおよび測定ユニットが、相異なるキャパシティ(容量)を持っていることである。」と示されているように、個々の加工ユニット及び測定ユニットが相異なるキャパシティ(容量)を持っていることは技術常識に過ぎない。そうすると、引用発明において、加工ユニット1の加工ロットと次に設けられている加工ユニット1の加工ロットとの間で、ワークピースが相違する状況が生じ得ることは、当業者が想定できる事項であって格別なものではない。そして、そのようにワークピースが相違する状況が生じた場合に、搬送ロットに含まれるワークピースが、搬送ロットの編成ごとに一部異なってしまうことも当然想定されるものである。したがって、引用発明において相違点2に係る本願発明の構成を備えるようにすることは、引用発明及び技術常識から当業者であれば容易に想到し得るものというべきである。

また、本願発明によってもたらされる効果も、引用発明及び技術常識から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものではない。

6 むすび
したがって、本願発明は、引用発明及び技術常識に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により、拒絶をすべきものである。
よって、本件出願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。
 
審理終結日 2015-10-01 
結審通知日 2015-10-06 
審決日 2015-10-19 
出願番号 特願2011-221201(P2011-221201)
審決分類 P 1 8・ 121- WZ (H01L)
最終処分 不成立  
前審関与審査官 金丸 治之  
特許庁審判長 久保 克彦
特許庁審判官 栗田 雅弘
長屋 陽二郎
発明の名称 低収容キャリアの使用方法  
代理人 藤村 元彦  

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