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審決分類 審判 査定不服 2項進歩性 取り消して特許、登録 H01S
管理番号 1319850
審判番号 不服2016-2507  
総通号数 203 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2016-11-25 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2016-02-19 
確定日 2016-10-12 
事件の表示 特願2014- 27965「超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成26年 5月22日出願公開、特開2014- 96610、請求項の数(21)〕について、次のとおり審決する。 
結論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 
理由 1.手続の経緯
本願は、2005年3月3日(パリ条約による優先権主張外国庁受理2004年3月31日、米国)を国際出願日とする特願2007-506187号の一部を平成26年2月17日に新たな特許出願としたものであって、平成27年2月18日付けで拒絶理由が通知され、同年5月25日に特許請求の範囲の補正がなされたが、同年10月19日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成28年2月19日に拒絶査定不服審判の請求がなされると同時に特許請求の範囲の補正がなされたものである。

2.平成28年2月19日になされた補正について
平成28年2月19日になされた補正(以下「本件補正」という。)は、以下の事項を内容としている。
(1)補正前の請求項1、11、12、13、14、15、21及び26に記載の「圧縮ヘッド」を「磁気パルス圧縮回路」に改める。
(2)補正前の請求項11に記載の「前記少なくとも2つの圧縮ヘッドの」及び補正前の請求項15に記載の「少なくとも2つの圧縮ヘッドの」を削除する。
(3)補正前の請求項12に記載の「第3の電極対を含んでおり、前記少なくとも2つの圧縮ヘッドは更に第3の圧縮ヘッドを含んでおり」を「第3の電極対及び第3の磁気パルス圧縮回路を含んでおり」に改める。
(4)補正前の請求項16ないし20を削除し、補正前の請求項21ないし26の番号を繰り上げる。
上記の事項(1)ないし(3)は、特許法第17条の2第5項第4号に規定する明りょうでない記載の釈明を目的としていると認められ、上記の事項(4)は同項第1号に規定する請求項の削除を目的としていると認められる。
したがって、本件補正は、特許法第17条の2第5項の規定に適合する。
また、本件補正は、特許法第17条の2第3項及び第4項に違反するところはない。

3.本願発明
上記2のとおり本件補正は特許法第17条の2第3項ないし第5項の規定に適合するから、本願の請求項1ないし21に係る発明(以下、それぞれ「本願発明1」ないし「本願発明21」という。)は、本件補正による補正後の請求項1ないし21に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項1及び請求項16は、それぞれ以下のとおりである。なお、請求項2ないし15は、請求項1の従属項であり、請求項17ないし21は、請求項16の従属項である。

「【請求項1】
超高繰返し数レーザシステムであって、
超高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステムと、
前記主発振器レーザシステムからレーザ出力光パルスビームを受け取る一対の電力増幅レーザチャンバと、を含み、
前記主発振器レーザシステムのレーザ出力光パルスビームは、前記一対の電力増幅レーザチャンバの第1のチャンバを通過し、その後前記一対の電力増幅レーザチャンバの第2のチャンバを通過してビーム反射器に到達し、前記ビーム反射器は前記出力光パルスビームを反射し、反射された出力光パルスビームは前記一対の電力増幅レーザチャンバの第2のチャンバを通過し、その後前記一対の電力増幅レーザチャンバの第1のチャンバを通過し、前記一対の電力増幅レーザチャンバの第1のチャンバは第1の磁気パルス圧縮回路を含んでおり、前記一対の電力増幅レーザチャンバの第2のチャンバは第2の磁気パルス圧縮回路を含んでおり、前記第1及び第2の磁気パルス圧縮回路は、電気的に並列に接続されている、ことを特徴とするシステム。」

「【請求項16】
MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム出力を生成する方法であって、
主発振器レーザシステムから超高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスを出力する段階と、
少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバのそれぞれにおいて、前記主発振器レーザシステムの出力パルスビームが最初に前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバの第1のチャンバを通り、次に前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバの第2のチャンバを通ってビーム反射器へ向かうように、前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取り、前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバのそれぞれにおいて、前記超高パルス繰返し数を前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバの数で割ったものに等しいパルスの繰返しで、前記受け取ったレーザ出力光パルスの一部を交互に増幅して超高パルス繰返し数の増幅された出力レーザ光パルスを形成する段階と、ここで、前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバの各々は、少なくとも2つの磁気パルス圧縮回路の1つを含み、前記少なくとも2つの磁気パルス圧縮回路は並列に接続されている、
を含むことを特徴とする方法。」

4.引用例
これに対して、原査定の拒絶理由に引用された特開昭63-92073号公報(以下「引用例」という。)には、図とともに次の記載がある(下線は当審による)。

ア 「本発明はレーザビームを増幅して出力する方式のガスレーザ装置に関する。」(第1頁右下欄第3?4行)
イ 「本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、増幅度を高繰り返し率のもとで向上できるガスレーザ装置を提供することを目的とする。」(第2頁左上欄第9?12行)
ウ 「第1図は本発明の一実施例で、パルスガスレーザ発振装置(1)とこの発振装置からのレーザビーム(2)を増幅する増幅装置(3)とを備えている。パルスガスレーザ発振装置(1)はたとえばTEACO_(2)レーザやエキシマレーザなどのTE形で、ガスレーザ媒質を大気圧と同程度もしくは数気圧の圧力に封入した密閉容器(4)とこの容器内に所定の距離をおいて対向配置された一対の主放電電極(5),(6)とこれら電極の一方をアース(7)に接続して他方に接続する高圧パルス電源(8)および主放電電極(5),(6)を間にしてガス循環装置を具備した密閉容器(4)に気密に取り付けられ光共振器を構成する全反射鏡(9)、出力鏡(10)とで構成されている。なお、図示せぬが主放電電極(5),(6)の近傍には主放電を行う前に予備電離を行う予備放電が設けられている。一方、増幅装置(3)は概略的にはパルスガスレーザ発振装置(1)の光共振器を除いた構成と原理的には同じになるもので、全反射鏡(9)、出力鏡(10)の位置に相当する箇所にそれぞれ透過窓(11a),(11b)を気密に取り付けパルスガスレーザ発振装置(1)と同等のガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器(12)とこの気密容器(12)内に設けられた二対の主放電電極(13),(14)および(15),(16)と、各別に設けられ上記電極の一方にそれぞれ放電電力を供給する高圧パルス電源(17),(18)とで構成されている。なお、上記二対の放電電極の他方はそれぞれアース(19),(20)に接続され、また、二対の放電電極間には両者の放電部(21),(22)を仕切るために石英等からなる透明板(23)が設けられている。上記放電部(21),(22)はパルスガスレーザ発振装置(1)の放電部(24)より大の空間になっている。上記増幅装置(3)はパルスガスレーザ発振装置(1)に近接し透過窓(11a),(11b)と全反射鏡(9)、出力鏡(10)とが同軸となる位置に設けられている。ところで、パルスガスレーザ発振装置(1)には主放電が予備電離に引き続いて生じるタイミングを放電電流の値で検出する検出部(25)が設けられ、その検出信号は整形処理部(26)に入力され波形整形されて増幅装置(3)側の高圧パルス電源(17),(18)の放電タイミングを制御する制御部(27)に送出されるようになっている。この制御部(27)は主放電電極(13),(14)と(15),(16)の放電を交互に行わせるとともにパルスガスレーザ発振装置(1)側のパルス発振に同期するように放電タイミング制御するようになっている。
次に上記構成による作用について第2図に基づいて説明する。
すなわち、パルスガスレーザ発振装置(1)において、同図(a)に示すタイミングでレーザビーム(2)が得られる。これらレーザビーム(2)は透過窓(11a)から入射し二つの放電部(21),(22)を通過する。この通過において、制御部(27)からの制御動作によって上記放電部(21),(22)はそれぞれ同図(b)および(c)に示すタイミング、すなわちレーザビーム(2)の発振タイミングに同期しかつ交互に放電(31),(32)を繰り返す。このような増幅装置(3)における放電にパルスレーザ(30)は逐一同期して増幅され同図(d)に示す増幅出力の(23)(レーザビーム)となって透過窓(11b)から放出される。」(第2頁右上欄第10行?第3頁左上欄第7行)

上記によれば、引用例には、
「パルスガスレーザ発振装置(1)とこの発振装置からのレーザビーム(2)を増幅する増幅装置(3)とを備えている、増幅度を高繰り返し率のもとで向上できるガスレーザ装置であって、
増幅装置(3)は、透過窓(11a),(11b)を気密に取り付け、ガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器(12)とこの気密容器(12)内に設けられた二対の主放電電極(13),(14)および(15),(16)と、各別に設けられ上記電極の一方にそれぞれ放電電力を供給する高圧パルス電源(17),(18)とで構成されており、二対の放電電極間には両者の放電部(21),(22)を仕切るために石英等からなる透明板(23)が設けられており、
パルスガスレーザ発振装置(1)の検出部(25)からの検出信号は、増幅装置(3)側の高圧パルス電源(17),(18)の放電タイミングを制御する制御部(27)に送出されるようになっている、ガスレーザ装置。」(以下「引用発明」という。)が記載されているものと認められる。

5.本願発明1について
(1)対比
本願発明1と引用発明を対比する。
ア 引用発明の「ガスレーザ装置」は、「増幅度を高繰り返し率のもとで向上できる」ものであるから、「高繰返し数レーザシステム」といえる。
イ 引用発明の「パルスガスレーザ発振装置(1)」は、本願発明1の「高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステム」に相当する。
ウ 本願発明1の「一対の電力増幅レーザチャンバ」は、「第1の放電部と第2の放電部を有する増幅装置」といえ、本願発明1と引用発明は、「前記主発振器レーザシステムからレーザ出力光パルスビームを受け取る一対の放電部を有する増幅装置」を含む点で一致する。
エ 本願発明1の「磁気パルス圧縮回路」は、「高圧パルス電源」といえ、本願発明1と引用発明は、「前記一対の放電部を有する増幅装置の第1の放電部は第1の高圧パルス電源を備え、前記一対の放電部を有する増幅装置の第2の放電部は第2の高圧パルス電源を備えて」いる点で一致する。
オ 以上のことから、両者は、
「高繰返し数レーザシステムであって、
高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステムと、
前記主発振器レーザシステムからレーザ出力光パルスビームを受け取る一対の放電部を有する増幅装置と、を含み、
前記主発振器レーザシステムのレーザ出力光パルスビームは、前記一対の放電部を有する増幅装置の第1の放電部を通過し、その後前記一対の放電部を有する増幅装置の第2の放電部を通過し、前記一対の放電部を有する増幅装置の第1の放電部は第1の高圧パルス電源を備え、前記一対の放電部を有する増幅装置の第2の放電部は第2の高圧パルス電源を備えているシステム。」の点で一致する。
カ 一方、両者は、次の点で相違する。
[相違点1]
本願発明1において、「高繰返し数レーザシステム」及び「高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステム」における「繰返し数」が「超高繰返し数」であるのに対し、引用発明では「高繰返し率」である点。
[相違点2]
上記「一対の放電部を有する増幅装置」が、本願発明1では、「(第1のチャンバと第2のチャンバからなる)一対の電力増幅レーザチャンバ」であるのに対し、引用発明では、このような2つのチャンバからなるものではなく、「ガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器(12)」内に二対の主放電電極(13),(14)および(15),(16)を設けたものである点。
[相違点3]
上記「前記一対の放電部を有する増幅装置の第1の放電部を通過し、その後前記一対の放電部を有する増幅装置の第2の放電部を通過」した「前記主発振器レーザシステムのレーザ出力光パルスビーム」が、本願発明1では、「ビーム反射器に到達し」、「前記ビーム反射器は前記出力光パルスビームを反射し、反射された出力光パルスビームは前記一対の電力増幅レーザチャンバの第2のチャンバを通過し、その後前記一対の電力増幅レーザチャンバの第1のチャンバを通過」するのに対し、引用発明は、このような「ビーム反射器」による出力光パルスビームの反射を行うものでない点。
[相違点4]
上記「高圧パルス電源」が、本願発明1では、「磁気パルス圧縮回路」であり、「第1の磁気パルス圧縮回路」及び「第2の磁気パルス圧縮回路」が「電気的に並列に接続されている」のに対し、引用発明の「高圧パルス電源(17),(18)」がこのようなものであるか不明な点。

(2)判断
上記相違点について検討する。
ア 相違点1について
本願明細書の【0005】によれば、本願発明1における「超高繰返し数」とは、4000Hz以上のパルス繰返し数をいうものと理解される。
ここで、4000?6000Hz程度のパルス繰返し数を有するパルスガスレーザ発振装置は、本願優先日前に周知であり(例えば、特開2002-57391号公報(【0011】)、特開2002-134813号公報(【0011】))る。
引用例には、パルスガスレーザ発振装置のパルス繰返し数について具体的な数値は記載されていないが、引用例には「増幅度を高繰り返し率のもとで向上できるガスレーザ装置を提供すること」を目的とすることが記載されているから(上記4.イ)、引用発明において、パルスガスレーザ発振装置(1)として上記周知のパルスガスレーザ発信装置を採用し、「パルスガスレーザ発振装置(1)」及び「ガスレーザ装置」のパルス繰返し数を4000Hz以上すなわち「超高繰返し数」とすることは当業者が容易に想到し得ることである。
したがって、相違点1に係る本願発明1の構成は、当業者が容易に想到し得ることである。
イ 相違点2について
引用発明においては、上記のとおり、「一対の放電部を有する増幅装置」は、「ガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器(12)」内に二対の主放電電極(13),(14)および(15),(16)を設けたもの、すなわち、1つのチャンバ内に二対の主放電電極(13),(14)および(15),(16)を設けたものであり、引用例には、本願発明1のように、2つの放電部をそれぞれ独立した2つのチャンバとすることの記載や示唆はなく、そのようにする動機があるとはいえない。
したがって、相違点2に係る本願発明1の構成は、当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
イ 相違点3について
引用発明においては、引用例に記載されるように「増帳装置(3)はパルスガスレーザ発振装置(1)に近接し透過窓(11a),(11b)と全反射鏡(9)、出力鏡(10)とが同軸となる位置に設けられ」る配置構造となっており、ビーム反射器の導入が想定される配置構造ではない。
したがって、相違点3に係る本願発明1の構成は、当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
ウ 相違点4について
引用例には、「高圧パルス電源」として「磁気パルス圧縮回路」を採用することの記載や示唆はなく、また、本願発明1のごとく、これらを電気的に並列に接続することの記載や示唆もない。
したがって、相違点4に係る本願発明1の構成は、当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
エ 以上のとおりであって、上記相違点2ないし4に係る本願発明の構成について、当業者が容易に想到し得ることができたものということはできないから、本願発明1について、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。

6.本願発明16について
本願発明16は、「MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム出力を生成する方法」であって、前記超高繰返し数ガス放電レーザシステムについて、(1)「少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバ」を備えていること、(2)「ビーム反射器」を備えており「前記主発振器レーザシステムの出力パルスビームが最初に前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバの第1のチャンバを通り、次に前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバの第2のチャンバを通ってビーム反射器へ向かうように、前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取」ること、(3)「前記少なくとも2つの電力増幅レーザチャンバの各々は、少なくとも2つの磁気パルス圧縮回路の1つを含み、前記少なくとも2つの磁気パルス圧縮回路は並列に接続されている」ことが、実質的に特定されている。
これら(1)ないし(3)の事項は、上記5.(1)カに記載した相違点2ないし4に係る本願発明1の構成と実質的に同じであり、これら構成は、上記5.(2)で説示したのと同様に、いずれも当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
したがって、本願発明16について、引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。

7.本願発明2ないし15及び本願発明17ないし21について
本願の請求項2ないし15は請求項1の従属項であり、本願発明2ないし15は、本願発明1をさらに限定したものである。したがって、本願発明2ないし15は、本願発明1と同様に、当業者が引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
また、本願の請求項17ないし21は請求項16の従属項であり、本願発明17ないし21は、本願発明16をさらに限定したものである。したがって、本願発明17ないし21は、本願発明16と同様に、当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。

8.むすび
以上のとおり、本願発明1ないし21は当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
 
審決日 2016-09-29 
出願番号 特願2014-27965(P2014-27965)
審決分類 P 1 8・ 121- WY (H01S)
最終処分 成立  
前審関与審査官 古田 敦浩佐藤 秀樹  
特許庁審判長 小松 徹三
特許庁審判官 近藤 幸浩
河原 英雄
発明の名称 超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム  
代理人 江口 昭彦  
代理人 大貫 敏史  
代理人 稲葉 良幸  
代理人 内藤 和彦  

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