ポートフォリオ機能
| ポートフォリオを新規に作成して保存 |
|
|
| 既存のポートフォリオに追加保存 |
|
PDFをダウンロード
|
| 審決分類 |
審判 全部申し立て 特36条6項1、2号及び3号 請求の範囲の記載不備 B24B 審判 全部申し立て 2項進歩性 B24B 審判 全部申し立て 特36条4項詳細な説明の記載不備 B24B |
|---|---|
| 管理番号 | 1322263 |
| 異議申立番号 | 異議2015-700346 |
| 総通号数 | 205 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許決定公報 |
| 発行日 | 2017-01-27 |
| 種別 | 異議の決定 |
| 異議申立日 | 2015-12-24 |
| 確定日 | 2016-09-15 |
| 異議申立件数 | 1 |
| 訂正明細書 | 有 |
| 事件の表示 | 特許第5739111号発明「研磨パッド」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 |
| 結論 | 特許第5739111号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項[1?2]について訂正することを認める。 特許第5739111号の請求項1?2に係る特許を維持する。 |
| 理由 |
1.手続の経緯 特許第5739111号の請求項1及び2に係る特許についての出願は、平成22年4月19日に特許出願され、平成27年5月1日にその特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、特許異議申立人石井悠太により特許異議の申立てがなされ、平成28年4月13日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である平成28年6月15日に意見書の提出及び訂正の請求があったものである。 2.訂正の適否についての判断 (1)訂正の内容 本件訂正請求による訂正の内容は以下のア?ウのとおりである。 ア 請求項1に係る「シリコーン系化合物からなり、」を「シリコーン系化合物からなり、多孔層中の高分子弾性体に対するシリコーン系化合物の混合比率が0.1?10重量%であり、」に訂正する。 イ 請求項1に係る「多孔層がシリコーンオイルを含む高分子弾性体溶液を使用して湿式凝固法により多孔化を発現させたものであり、高分子弾性体がポリウレタンエラストマー、ポリウレアエラストマー、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー、ポリアクリル酸樹脂、アクリロニトリル・ブタジエンエラストマー、スチレン・ブタジエンエラストマーの群の中から選ばれるいずれかであり、シリコーン系化合物がポリエーテル変性シリコーンオイルであり、」を「シリコーン系化合物がポリエーテル変性シリコーンオイルであり、多孔層がポリエーテル変性シリコーンオイルを含む高分子弾性体溶液を使用して湿式凝固法により多孔化を発現させたものであり、高分子弾性体がポリウレタンエラストマー、ポリウレアエラストマー、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー、ポリアクリル酸樹脂、アクリロニトリル・ブタジエンエラストマー、スチレン・ブタジエンエラストマーの群の中から選ばれるいずれかであり、」に訂正する。 ウ 請求項2に係る「側鎖ポリエーテル変性シリコーンオイルである」を「側鎖ポリエーテル変性シリコーンオイルであり、HLB値が0である」に訂正する。 (2)訂正の目的の適否、一群の請求項、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 上記アの訂正事項に関連する記載として、特許明細書の発明の詳細な説明には「多孔層中の高分子弾性体に対するシリコーン系化合物の混合比率としては、0.1?10重量%、・・・の範囲であることが好ましい。」(段落0021、5?6行)との記載がされていることから、「多孔層中の高分子弾性体に対するシリコーン系化合物の混合比率が0.1?10重量%であり」とする発明は特許明細書に記載されているものと認められる。 上記アの訂正は、特許明細書に記載された事項の範囲内においてシリコーン系化合物の混合比率を具体的に特定し、限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 また、上記イの訂正事項は、願書に添付した明細書中の発明の詳細な説明に基づいて導き出される構成であり、具体的には訂正前の請求項に使用された語句の記載順序の変更、及び請求項に記載された語句をより明瞭にするために重複記載したものと認められ、上記イの訂正は、明瞭でない記載の釈明を目的とする訂正であって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。 さらに、上記ウの訂正事項に関連する記載として、特許明細書の発明の詳細な説明には「このように表面に局在するためには、シリコーン系化合物は、HLB値(界面活性剤の水と油への親和性の程度を表す値)の低いものであることが好ましく」(段落0021)との記載がされ、具体的には段落0040の実施例において「ポリエーテル変性シリコーンオイル(東レ・ダウコーニング株式会社製、SF8428、固形分濃度30%、側鎖ポリエーテル変性、HLB=0)」が用いられていることから、「HLB値が0である」とする発明は特許明細書に記載されているものと認められる。 上記ウの訂正は、特許明細書に記載された事項の範囲内において側鎖ポリエーテル変性シリコーンオイルのHLB値を具体的に特定し、限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 そして、これら訂正は一群の請求項ごとに請求されたものである。 (3)むすび 以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は特許法第120条の5第2項第1号及び第3号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第4項及び同条第9項において準用する同法第126条第4項から第6項までの規定に適合するので、訂正後の請求項〔1-2〕について訂正を認める。 3.特許異議の申立てについて (1)本件発明 本件訂正請求により訂正された訂正後の請求項1及び2に係る発明(以下「本件発明1及び2」という。)は、その特許請求の範囲の請求項1及び2に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 請求項1「表面に開口部を有する多孔層が存在する研磨パッドであって、多孔層が高分子弾性体とシリコーン系化合物からなり、多孔層中の高分子弾性体に対するシリコーン系化合物の混合比率が0.1?10重量%であり、シリコーン系化合物がポリエーテル変性シリコーンオイルであり、多孔層がポリエーテル変性シリコーンオイルを含む高分子弾性体溶液を使用して湿式凝固法により多孔化を発現させたものであり、高分子弾性体がポリウレタンエラストマー、ポリウレアエラストマー、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー、ポリアクリル酸樹脂、アクリロニトリル・ブタジエンエラストマー、スチレン・ブタジエンエラストマーの群の中から選ばれるいずれかであり、かつ支持体の上に開口径が20?130μmの開口部を有する多孔層が存在するものであることを特徴とする研磨パッド。」 請求項2「シリコーン系化合物が側鎖ポリエーテル変性シリコーンオイルであり、HLB値が0であることを特徴とする請求項1記載の研磨パッド。」 (2)取消理由の概要 訂正前の請求項1及び2に係る特許に対して平成28年4月13日付けで特許権者に通知した取消理由は、要旨次のとおりである。 ア 本件特許出願は、発明の詳細な説明が、当業者が請求項1、2に係る発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されていない。よって、請求項1、2に係る特許は、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 イ 本件特許請求の範囲の請求項1、2に係る特許は、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えるものである。よって、請求項1、2に係る特許は、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ウ 請求項1、及び、これを引用する請求項2に係る発明は明確でない。よって、請求項1及び2に係る特許は、特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 エ 請求項1に係る発明は、甲第1号証、甲第14号証、甲第16号証及び本件出願時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項1に係る発明の特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。また、請求項2に係る発明は、請求項1と同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。 (3)甲号証の記載 ア 甲第1号証(特開2004-256738号公報)には、 「【請求項1】 (A)ウレタン系弾性樹脂、 (B)フェノキシ樹脂及び (C)ジメチルホルムアミド を含有することを特徴とする研磨布用樹脂組成物。 【請求項2】 前記請求項1記載の研磨布用樹脂組成物からなり、かつ湿式成膜法により形成された研磨層を有することを特徴とする研磨布。 【請求項3】 前記研磨層の表面がバフされている請求項2記載研磨布。」 「【0007】 【発明が解決しようとする課題】 本発明が解決しようとする課題は、CMPの研磨工程で用いる研磨液に対する耐性が高く、研磨布表面への塵、埃等の付着が少なく、研磨時の被研磨物への汚染が極めて少ない研磨布用樹脂組成物を提供することである。」 「【0009】 【発明の実施の形態】 本発明で用いられるウレタン系弾性樹脂としては、例えば、ポリエーテル系ウレタン樹脂、ポリエステル系ウレタン樹脂、ポリエステルエーテル系ウレタン樹脂、ポリカーボネート系ウレタン樹脂等が挙げられる。この中でも、ポリエステル系ウレタン樹脂は、湿式成膜性が良好になるので好ましい。」 「【0014】 研磨布の研磨層に連続発泡セル構造を形成するために、研磨層は湿式成膜法で形成するのが好ましい。本発明の研磨布用樹脂組成物で樹脂を溶解する溶剤は、ジメチルホルムアミド(以下、DMFと略す。)であるが、必要に応じ他の溶剤及び水を併用して用いることもできる。」 「【0019】 また、本発明の研磨布用樹脂組成物には、研磨層の成膜速度の調整、良好な平面平滑り性、均一で微細な連続発泡セル構造を形成するために、必要に応じて湿式成膜助剤を配合しても良い。このような湿式成膜助剤としては、例えば、ジオクチルスルホコハク酸ナトリウム、ヒマシ油、グリセリン・トリパルミテート、シリコンオイル等が挙げられる。これらは、単独で用いることも、2種類以上を併用して用いることもできる。 【0020】 本発明の研磨布用樹脂組成物を用いた研磨布は、公知の湿式成膜法によって製造することができる。前記研磨布用樹脂組成物を基材に塗布した後、水に浸漬することによって、樹脂組成物中の溶剤と水が置換し、樹脂組成物中の固形物が析出して成膜する。次いで、残留DMFを水で良く洗い流し、マングルロール等で絞った後、乾燥することにより、本発明の研磨布用樹脂組成物を用いた研磨布が製造できる。」 が記載されている。 以上の記載によれば、甲第1号証には以下の発明(以下、「甲1発明」という。)が記載されていると認められる。 「発泡セルを有し表面がバフされた研磨層が存在する研磨布であって、研磨層が弾性樹脂とシリコンオイルを含み、研磨層が、弾性樹脂を湿式凝固する際の成膜助剤としてシリコンオイルを含む弾性樹脂溶液を使用して、湿式凝固法により発泡セルを発現させたものであり、弾性樹脂がウレタン系弾性樹脂であり、基材の上に研磨層が存在するものである、研磨布。」 イ 甲第14号証(「産業資材用合成樹脂1」、CRISVON XOLTEX CRISCOAT LUCKAMIDE、1988年(昭和63年)2月発行)には、 「CRISVON ASSISTOR SD-7(ポリエーテル変性シリコーンオイル)などの成膜助剤がウレタン樹脂を湿式加工するのに用いられ、湿式加工には必須成分であって、これにより表面平滑性が向上し、セル形状が調整できること」(18?19頁) が記載されている。 ウ 甲第16号証(特開平7-150479号公報)には、 「一般に、表皮層となるウレタン系樹脂中にシリコーンオイル等の表面滑性を付与する添加剤を加えることによって、表面摩耗強度が向上すること」(段落0005) が記載されている。 (4)判断 ア 特許法第36条第4項第1号について 「ポリエーテル変性シリコーンオイル」は、例えば甲第10号証(特開平4-308279号公報)の請求項5にも示されており、「ポリエーテル変性シリコーンオイル」が他の物質群と比べて共通の特徴を有することは、当業者にとって周知の事実である。 そして、具体的に東レ・ダウコーニング株式会社製、SF8428、固形分濃度30%、側鎖ポリエーテル変性、HLB=0という実施例を示されていることから、本件発明1及び2の実施をすることができないものとはいえない。 また、当該技術分野においては、甲第11号証(再公表特許WO2005/010068号公報)の【0058】に「部は質量部を示す」と記載されているように、「部」を「質量部」と認識することが通常であり、「質量」と「重量」は実質的に同義である。 そして、本件明細書の【0021】に「多孔層中の高分子弾性体に対するシリコーン系化合物の混合比率としては、0.1?10重量%、特には0.5?5重量%の範囲であることが好ましい。」と記載されていることからして、「1部」という記載に接した当業者であれば、「重量%」を意味していると認識することが通常であると考えられる。 したがって、発明の詳細な説明が、当業者が本件発明1及び2の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されているものと認められ、記載不備はない。 イ 特許法第36条第6項第1号について 上述のとおり、「ポリエーテル変性シリコーンオイル」は明細書に実施をすることができる程度に記載されている。そして、発明の詳細な説明に記載された範囲を超えているとすることはできない。 したがって、請求項1、2に係る特許は、発明の詳細な説明に記載した範囲内のものと認められ、記載不備はない。 ウ 特許法第36条第6項第2号について 請求項1の記載から、多孔層が「シリコーン系化合物」かつ「シリコーンオイル」である「ポリエーテル変性シリコーンオイル」を含むこと、すなわち請求項1において「シリコーン系化合物」と「シリコーンオイル」は同一のものであることが理解できる。 また、甲第6号証(特開平2-88229公報)の表5に実施例5として、穴径が22.5-92.4μmのものが示されているように、「開口径が20?130μmの開ロ部」という構成は、当業者であれば十分理解できるものと認められる。 したがって、本件発明1及び2は明確と認められ、記載不備はない。 エ 特許法第29条第2項について (対比・判断) 本件発明1と甲1発明とを対比すると、甲1発明は、「多孔層中の高分子弾性体に対するシリコーン系化合物の混合比率が0.1?10重量%であり、シリコーン系化合物がポリエーテル変性シリコーンオイルであり、多孔層がポリエーテル変性シリコーンオイルを含む高分子弾性体溶液を使用して湿式凝固法により多孔化を発現させたものであり」、支持体の上に存在する多孔層が「開口径が20?130μmの開口部を有する」との事項を有していない。 そして、当該事項により、本件発明1は、 「本発明の研磨パッドは、表面に開口部を有する多孔層が存在するが、多孔層表面の孔径(開口径)としては、20?130μmの範囲であることが好ましく、・・・孔径が小さい場合、研磨加工時に用いるスラリー(研磨液)の多孔層内での循環不良や、研磨加工時の削り粉が開口部入り口あるいは、多孔内部に詰まる傾向にある。この場合、スラリーの循環が妨げられ、研磨加工に時間を要する上、所望の研磨表面が得られない傾向にある。また、孔径が大きい場合、研磨パッド表面の被研磨物と接触する面積が減ることとなり、スラリーの循環量こそ増えるものの、研磨レートが低下する等、研磨加工の非効率化をもたらす傾向にある。多孔層表面と被研磨物の間に存在し得るスラリーが減少することにより、物理化学的な研削仕事量の低下を招いてしまうためである。」(段落0025) という顕著な効果を奏するものであり、本件発明1は、甲1発明、甲第14号証に記載の技術的事項、及び甲第16号証に記載の技術的事項から、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 オ 特許異議申立人の意見について 特許異議申立人石井悠太は、平成28年8月8日付け意見書(6頁8?15行)において、 「微多孔性のポリウレタンシートの製造において、ポリエーテル変性シリコーンオイルを添加することは、本件特許出願時において当業者に周知であり(甲7?14号証)、更に、甲14号証には、ポリエーテル変性シリコーンオイルが表面平滑性を向上させることが記載されており、甲16号証には、シリコーンオイル等の表面滑性を付与する添加剤を加えると表面摩耗強度が向上することが記載されている。従って、甲1発明において、表面平滑性及び耐摩耗性を向上させるために、シリコンオイルとしてポリエーテル変性シリコーンオイルを用いることは、当業者にとって容易なことであった。」 と主張する。 ここで、甲第16号証に「天然皮革に近い風合い」と記載されているように、見かけ等が重視される一般的な皮革として用いられる場合と、研磨パッドでは求められる特性が異なるところ、それぞれに求められる特性に応じて、材料の配合等を決定することは当然に考慮することである。 したがって、一般的なスエードに用いられている材料であるからといって、刊行物1に記載された研磨パッドの発明において、「ポリエーテル変性シリコーンオイル」を当然に選択して用いるとまではいうことはできない。 すなわち、刊行物1に接した当業者が実施しようとすれば、当然に「ボリエーテル変性シリコーンオイル」を選択するという動機付けが存在するとはいえない。 よって、甲第1号証には、湿式凝固法により研磨パッドの表面に多孔化を発現させるシリコーンオイルとして「ポリエーテル変性シリコーンオイル」を選択する動機付けが記載されているものと認められず、他に、上記動機付けが周知であることを示す証拠もないから、本件発明1が甲第1号証に記載された発明から容易とはいえない。 カ むすび 以上のとおりであるから、取消理由ア?エによっては、本件請求項1及び2に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件請求項1及び2に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。 |
| 発明の名称 |
(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 表面に開口部を有する多孔層が存在する研磨パッドであって、多孔層が高分子弾性体とシリコーン系化合物からなり、多孔層中の高分子弾性体に対するシリコーン系化合物の混合比率が0.1?10重量%であり、シリコーン系化合物がポリエーテル変性シリコーンオイルであり、多孔層がポリエーテル変性シリコーンオイルを含む高分子弾性体溶液を使用して湿式凝固法により多孔化を発現させたものであり、高分子弾性体がポリウレタンエラストマー、ポリウレアエラストマー、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー、ポリアクリル酸樹脂、アクリロニトリル・ブタジエンエラストマー、スチレン・ブタジエンエラストマーの群の中から選ばれるいずれかであり、かつ支持体の上に開口径が20?130μmの開口部を有する多孔層が存在するものであることを特徴とする研磨パッド。 【請求項2】 シリコーン系化合物が側鎖ポリエーテル変性シリコーンオイルであり、HLB値が0であることを特徴とする請求項1記載の研磨パッド。 |
| 訂正の要旨 |
審決(決定)の【理由】欄参照。 |
| 異議決定日 | 2016-09-06 |
| 出願番号 | 特願2010-95890(P2010-95890) |
| 審決分類 |
P
1
651・
537-
YAA
(B24B)
P 1 651・ 536- YAA (B24B) P 1 651・ 121- YAA (B24B) |
| 最終処分 | 維持 |
| 前審関与審査官 | 五十嵐 康弘、齊藤 彬 |
| 特許庁審判長 |
栗田 雅弘 |
| 特許庁審判官 |
渡邊 真 平岩 正一 |
| 登録日 | 2015-05-01 |
| 登録番号 | 特許第5739111号(P5739111) |
| 権利者 | 帝人コードレ株式会社 |
| 発明の名称 | 研磨パッド |
| 代理人 | 為山 太郎 |
| 代理人 | 為山 太郎 |