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審決分類 審判 査定不服 2項進歩性 取り消して特許、登録(定型) H01L
審判 査定不服 特36条4項詳細な説明の記載不備 取り消して特許、登録(定型) H01L
管理番号 1371453
審判番号 不服2020-1379  
総通号数 256 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2021-04-30 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2020-02-03 
確定日 2021-03-16 
事件の表示 特願2017-507985「プラズマ化学気相堆積システムにおいて高温で圧縮又は引張応力を有するウェハを処理する方法及び装置」拒絶査定不服審判事件〔平成28年 2月18日国際公開、WO2016/025573、平成29年 9月14日国内公表、特表2017-527115、請求項の数(10)〕について、次のとおり審決する。 
結論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 
理由 本願は、平成27年 8月12日(パリ条約による優先権主張 2014年 8月15日 (US)アメリカ合衆国)の出願であって、その請求項1?10に係る発明は、令和 3年 1月 5日付け手続補正によって補正された特許請求の範囲の請求項1?10に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由及び当審で通知した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
 
審決日 2021-02-24 
出願番号 特願2017-507985(P2017-507985)
審決分類 P 1 8・ 121- WYF (H01L)
P 1 8・ 536- WYF (H01L)
最終処分 成立  
前審関与審査官 杢 哲次  
特許庁審判長 加藤 浩一
特許庁審判官 脇水 佳弘
小川 将之
発明の名称 プラズマ化学気相堆積システムにおいて高温で圧縮又は引張応力を有するウェハを処理する方法及び装置  
代理人 園田・小林特許業務法人  
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