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審決分類 審判 全部申し立て 特36条6項1、2号及び3号 請求の範囲の記載不備  H01L
審判 全部申し立て 2項進歩性  H01L
管理番号 1383222
総通号数 4 
発行国 JP 
公報種別 特許決定公報 
発行日 2022-04-28 
種別 異議の決定 
異議申立日 2020-06-03 
確定日 2022-01-05 
異議申立件数 2 
訂正明細書 true 
事件の表示 特許第６６１６２６５号発明「加熱部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 
結論 特許第６６１６２６５号の特許請求の範囲を，訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり，訂正後の請求項〔１−５〕，６，７，〔８−１４〕，１５，１６について訂正することを認める。 特許第６６１６２６５号の請求項１−５，６，７に係る特許を維持する。 特許第６６１６２６５号の請求項８，１０−１４，１５，１６に係る特許を取り消す。 特許第６６１６２６５号の請求項９に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。 
理由 第１ 手続の経緯
特許第６６１６２６５号の請求項１〜１６に係る特許についての出願は，平成２８年９月８日（優先権主張 平成２７年１０月１６日）に出願され，令和元年１１月１５日にその特許権の設定登録がされ，令和元年１２月４日に特許掲載公報が発行された。本件特許異議の申立ての経緯は，以下のとおりである。

令和２年６月３日：特許異議申立人河井清悦（以下「申立人１」という。）による請求項１〜１６に係る特許に対する特許異議の申立て
令和２年６月４日：特許異議申立人本間賢一（以下「申立人２」という。）による請求項１，２，６〜１３，１５，１６に係る特許に対する特許異議の申立て
令和２年１１月２７日付け：取消理由通知書
令和３年２月２６日：特許権者による訂正請求書及び意見書の提出
令和３年５月１１日：申立人１による意見書の提出
令和３年５月１２日：申立人２による意見書の提出
令和３年７月７日付け：取消理由通知書（決定の予告）

令和３年７月７日付け取消理由通知書（決定の予告）に対して，特許権者からの応答はなかった。


第２ 訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
令和３年２月２６日提出の訂正請求書による訂正請求（以下「本件訂正請求」という。）は，次の訂正事項１〜４１からなる。

１．１ 請求項１〜５に係る訂正事項
（１）訂正事項１
特許請求の範囲の請求項１に「前記発熱体を包囲する包囲体」と記載されているのを，「前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を包む包囲体」に訂正する。
請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２〜５も同様に訂正する。
（２）訂正事項２
特許請求の範囲の請求項１に「前記包囲体の外側に設けられ」と記載されているのを，「前記外層部の外側に設けられ」に訂正する。
請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２〜５も同様に訂正する。
（３）訂正事項３
特許請求の範囲の請求項１に「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」と記載されているのを，「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に訂正する。
請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２〜５も同様に訂正する。
（４）訂正事項４
特許請求の範囲の請求項１に「前記直管部それぞれの前記一端側及び前記他端側」と記載されているのを，「前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側」に訂正する。
請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２〜５も同様に訂正する。
（５）訂正事項５
特許請求の範囲の請求項１に「カバーを有する」と記載されているのを「カバーを有し，前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ，」に訂正する。
請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２〜５も同様に訂正する。
（６）訂正事項６
特許請求の範囲の請求項１に「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている」と記載する訂正を行う。
請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２〜５も同様に訂正する。

１．２ 請求項６に係る訂正事項
（１）訂正事項７
特許請求の範囲の請求項６に「前記発熱体を包囲する包囲体」と記載されているのを，「前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体」に訂正する。
（２）訂正事項８
特許請求の範囲の請求項６に「前記包囲体の外側に設けられ」と記載されているのを，「前記外層部の外側に設けられ」に訂正する。
（３）訂正事項９
特許請求の範囲の請求項６に「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」と記載されているのを，「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に訂正する。
（４）訂正事項１０
特許請求の範囲の請求項６に「前記直管部それぞれの前記一端側及び前記他端側」と記載されているのを，「前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側」に訂正する。
（５）訂正事項１１
特許請求の範囲の請求項６に「カバーを有する」と記載されているのを「カバーを有し，前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ，」に訂正する。
（６）訂正事項１２
特許請求の範囲の請求項６に「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている」と記載する訂正を行う。

１．３ 請求項７に係る訂正事項
（１）訂正事項１３
特許請求の範囲の請求項７に「前記発熱体を包囲する包囲体」と記載されているのを，「前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体」に訂正する。
（２）訂正事項１４
特許請求の範囲の請求項７に「前記包囲体の外側に設けられ」と記載されているのを，「前記外層部の外側に設けられ」に訂正する。
（３）訂正事項１５
特許請求の範囲の請求項７に「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」と記載されているのを，「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に訂正する。
（４）訂正事項１６
特許請求の範囲の請求項７に「前記直管部それぞれの前記一端側及び前記他端側」と記載されているのを，「前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側」に訂正する。
（５）訂正事項１７
特許請求の範囲の請求項７に「カバーを有する」と記載されているのを「カバーを有し，前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ，」に訂正する。
（６）訂正事項１８
特許請求の範囲の請求項７に「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている，」と記載する訂正を行う。

１．４ 請求項８〜１４に係る訂正事項
（１）訂正事項１９
特許請求の範囲の請求項８に「前記発熱体を包囲する包囲体」と記載されているのを，「前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体」に訂正する。
請求項８の記載を引用する請求項１０〜１４も同様に訂正する。
（２）訂正事項２０
特許請求の範囲の請求項８に「前記包囲体の外側に設けられ」と記載されているのを，「前記外層部の外側に設けられ」に訂正する。
請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項１０〜１４も同様に訂正する。
（３）訂正事項２１
特許請求の範囲の請求項８に「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」と記載されているのを，「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に訂正する。
請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項１０〜１４も同様に訂正する。
（４）訂正事項２２
特許請求の範囲の請求項８に「前記ガス管と対向する位置に配置された温度検知部」と記載されているのを，「前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部」に訂正する。
請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項１０〜１４も同様に訂正する。
（５）訂正事項２３
特許請求の範囲の請求項８に「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，」と記載する訂正を行う。
請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項１０〜１４も同様に訂正する。
（６）訂正事項２４
特許請求の範囲の請求項８に「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り，」と記載する訂正を行う。
請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項１０〜１４も同様に訂正する。
（７）訂正事項２５
特許請求の範囲の請求項８に「前記温度検知部は，前記フレキシブル管と非接触となるよう配置されている」と記載されているのを，「前記温度検知部は 前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」に訂正する。
請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項１０〜１４も同様に訂正する。
（８）訂正事項２６
特許請求の範囲の請求項９を削除する。
（９）訂正事項２７
特許請求の範囲の請求項１０に「前記フレキブル管の蛇腹部」と記載されているのを，「前記フレキシブル管の蛇腹部」に訂正する。

１．５ 請求項１５に係る訂正事項
（１）訂正事項２８
特許請求の範囲の請求項１５に「前記発熱体を包囲する包囲体」と記載されているのを，「前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体」に訂正する。
（２）訂正事項２９
特許請求の範囲の請求項１５に「前記包囲体の外側に設けられ」と記載されているのを，「前記外層部の外側に設けられ」に訂正する。
（３）訂正事項３０
特許請求の範囲の請求項１５に「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」と記載されているのを，「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に訂正する。
（４）訂正事項３１
特許請求の範囲の請求項１５に「前記ガス管と対向する位置に配置された温度検知部」と記載されているのを，「前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部」に訂正する。
（５）訂正事項３２
特許請求の範囲の請求項１５に「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，」と記載する訂正を行う。
（６）訂正事項３３
特許請求の範囲の請求項１５に「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り，」と記載する訂正を行う。
（７）訂正事項３４
特許請求の範囲の請求項１５に「前記温度検知部は，前記フレキシブル管と非接触となるよう配置されている」と記載されているのを，「前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」に訂正する。

１．６ 請求項１６に係る訂正事項
（１）訂正事項３５
特許請求の範囲の請求項１６に「前記発熱体を包囲する包囲体」と記載されているのを，「前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体」に訂正する。
（２）訂正事項３６
特許請求の範囲の請求項１６に「前記包囲体の外側に設けられ」と記載されているのを，「前記外層部の外側に設けられ」に訂正する。
（３）訂正事項３７
特許請求の範囲の請求項１６に「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」と記載されているのを，「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に訂正する。
（４）訂正事項３８
特許請求の範囲の請求項１６に「前記ガス管と対向する位置に配置された温度検知部」と記載されているのを，「前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部」に訂正する。
（５）訂正事項３９
特許請求の範囲の請求項１６に「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，」と記載する訂正を行う。
（６）訂正事項４０
特許請求の範囲の請求項１６に「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り，」と記載する訂正を行う。
（７）訂正事項４１
特許請求の範囲の請求項１６に「前記フレキシブル管と非接触となるよう配置されている」と記載されているのを，「前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている，」に訂正する。

１．７ 一群の請求項について
ア 訂正前の請求項１，２，３，４，５について，訂正前の請求項２，３，４はそれぞれ請求項１を引用しているものであって，訂正事項１〜６によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。また，訂正前の請求項５は，請求項３を引用しているものであって，訂正事項１〜６によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正される請求項３に連動して訂正されるものである。
したがって，訂正前の請求項１，２，３，４，５に対応する訂正後の請求項１，２，３，４，５は，特許法120条の5第4項に規定する一群の請求項である。

イ 訂正前の請求項８，９，１９，１１，１２，１３，１４について，訂正前の請求項９，１０，１１，１４はそれぞれ請求項８を引用しているものであって，訂正事項１９〜２５によって記載が訂正される請求項８に連動して訂正されるものである。また，訂正前の請求項１２は，請求項１１を引用しているものであって，訂正事項１９〜２５によって記載が訂正される請求項８に連動して訂正される請求項１１に連動して訂正されるものである。また，訂正前の請求項１３は，請求項１２を引用しているものであって，訂正事項１９〜２５によって記載が訂正される請求項８に連動して訂正される請求項１１に連動して訂正される請求項１２に連動して訂正されるものである。
したがって，訂正前の請求項８，９，１０，１１，１２，１３，１４に対応する訂正後の請求項８，９，１０，１１，１２，１３，１４は，特許法120条の5第4項に規定する一群の請求項である。

２．訂正の目的の適否，新規事項の有無，及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
２．１ 請求項１〜５に係る訂正事項（訂正事項１〜６）について
（１）訂正事項１について
（１．１）訂正の目的の適否
訂正事項１は，「包囲体」を「外層部と内層部を含む包囲体」と限定するものであるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（１．２）新規事項の有無
訂正事項１は，本件特許の明細書，特許請求の範囲又は図面（以下「明細書等」という。）の段落００３３における「ガス配管１０を加熱する加熱部３１０は， 包囲体としてのガス配管１０側の内層部５１０及び大気側の外層部５００に囲まれている 」との記載に基づくものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項１は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（１．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項１は，「包囲体」という特定事項を「外層部と内層部を含む包囲体」という概念的に下位のものに限定するものであり，請求項１のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（２）訂正事項２について
（２．１）訂正の目的の適否
訂正事項２は，「留め部」が「包囲体の外側に設けられ」ていたものを，「外層部の外側に設けられ」ているものに限定する訂正であり，「外層部と内層部を含む包囲体」のうち，特に「外層部」の外側に設けられるものに限定する訂正であるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（２．２）新規事項の有無
訂正事項２は，明細書等の段落００３３における「包囲体（外層部５００）の外側に設けられ，包囲体（外層部５００）の一端側と他端側とが隣接した状態で一端側と他端側を留める留め部７００」との記載に基づくものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項２は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（２．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項２は，「留め部」の設けられる位置を，「外層部と内層部を含む包囲体」のうち，特に「外層部」の外側に設けられるものに限定する訂正であり，請求項１のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（３）訂正事項３について
（３．１）訂正の目的の適否
訂正事項３は，訂正前の「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」との事項を訂正後の「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に限定するものであるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（３．２）新規事項の有無
訂正事項３は，明細書等の段落００３３における「図４(ｂ)には，加熱部３１０をガス配管１０の外周に装着する際，包囲体の一端側と他端側を隣接させ，一端側と他端側との間の僅かな隙間を留め部７００により覆う様子が示されている。」との記載，段落００４０における「加熱部３１０は，後述する図１１に示すように，包囲体を展開すると，ガス配管１０の延在方向が長手方向として略長方形に構成されている。ガス配管１０の外周に装着し，包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態とすると，ガス配管１０の外周全周を覆うようになる。」との記載，段落００４３における「包囲体をガス配管１０に装着した際に，包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態でガス配管１０の外周を覆うように一端側と他端側とを留める留め部７００が構成されている。」との記載に基づくものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項３は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（３．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項３は，訂正前の「前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態」との事項を訂正後の「前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態」に限定するものであり，請求項１のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（４）訂正事項４について
（４．１）訂正の目的の適否
訂正事項４は，訂正前の「前記直管部それぞれの前記一端側及び前記他端側を覆う」「カバー」を，訂正後の「前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆う」「カバー」に限定するものであり，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（４．２）新規事項の有無
訂正事項４は，明細書等の段落００４０における「ガス配管１０の外周に装着し，包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態とすると，ガス配管１０の外周全周を覆うようになる。すなわち，包囲体は，ガス配管１０に装着した際に，包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態でガス配管１０の外周を覆うように構成されている。」，段落００４７における「留め部７００は，カバー部７０１とカバー部７０１に設けられた接着部７０４と，包囲体の外層部５００に設けられた接着部７０３とで構成されている。」との記載に基づくものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項４は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（４．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項４は，請求項１の「カバー」について「前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆う」ものであることを限定するものであり，請求項１のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（５）訂正事項５について
（５．１）訂正の目的の適否
訂正事項５は，訂正前の請求項１について「前記ガス管と前記内層部との間に， 前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ」と限定するものであるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（５．２）新規事項の有無
訂正事項５は，明細書等の段落００３４における「絶縁部材６００には，包囲体よりも熱の蓄熱度の大きい材質を用いると，ガス配管１０の加熱具合を均一にしやすくなるため，好適である。例えば，絶縁部材６００は，ガラスクロス材よりも蓄熱度の大きいアルミナクロス材で構成すると良い。」，段落００４２における「また，加熱部３１０は，図４に示すように，内層部５１０よりも蓄熱度が大きい絶縁部材６００がガス配管１０と内層部５１０との間に設けられ，発熱体５３０からの熱エネルギーがこの絶縁部材６００に吸収され，絶縁部材６００からの熱伝導でガス配管１０を加熱する構成としている。」との記載に基づくものである。
ここで，明細書等の上記箇所における「絶縁部材６００」は，「発熱体５３０からの熱エネルギー」を吸収し，「絶縁部材６００からの熱伝導でガス配管１０を加熱する」ことで「ガス配管１０の加熱具合を均一にしやすく」するためのものであって，電気的な絶縁分離を目的とするものでないことは明らかであるから，明細書等には「内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材」が記載されているに等しいものと理解できる。
そうすると，訂正事項５は，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（５．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項５は，訂正前の請求項１について「前記ガス管と前記内層部との間に， 前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ」と限定するものであるから，請求項１のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（６）訂正事項６について
（６．１）訂正の目的の適否
訂正事項６は，訂正前の請求項１において「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている」と限定するものであるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（６．２）新規事項の有無
訂正事項６は，明細書等の段落００３５における「また，加熱部３１０は，絶縁部材６００とガス配管１０の隙間に，例えば板状に形成された集熱板等の温度検知部５５５を備えている。」との記載に基づくものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項６は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（６．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項６は，訂正前の請求項１において「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている」と限定するものであるから，請求項１のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

２．２ 請求項６に係る訂正事項（訂正事項７〜１２）について
訂正事項７〜１２の内容は，訂正事項１〜６の内容にそれぞれ対応する。そうすると，訂正事項７〜１２は，請求項６に対し訂正事項１〜６と同旨の訂正を行うものであるから，上記２．１で検討したのと同様にして，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。

２．３ 請求項７に係る訂正事項（訂正事項１３〜１８）について
訂正事項１３〜１８の内容は，訂正事項１〜６の内容にそれぞれ対応する。そうすると，訂正事項１３〜１８は，請求項７に対し訂正事項１〜６と同旨の訂正を行うものであるから，上記２．１で検討したのと同様にして，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。

２．４ 請求項８〜１４に係る訂正事項（訂正事項１９〜２７）について
（１）訂正事項１９〜２１について
訂正事項１９〜２１の内容は，訂正事項１〜３の内容にそれぞれ対応する。そうすると，訂正事項１９〜２１は，請求項８〜１４に対し訂正事項１〜３と同旨の訂正を行うものであるから，上記２．１の（１）〜（３）で検討したのと同様にして，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。

（２）訂正事項２２について
（２．１）訂正の目的の適否
訂正事項２２は，「前記ガス管」を「前記フレキシブル管」に限定する訂正であるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（２．２）新規事項の有無
訂正事項２２は，明細書等の段落００５２における「ガス配管１０のうち，特にフレキシブル管１０を覆う場合に使用される」との記載に基づくものであり，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項２２は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（２．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項２２は，「前記ガス管」を「前記フレキシブル管」に限定する訂正であるから，請求項８のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（３）訂正事項２３について
（３．１）訂正の目的の適否
訂正事項２３は，訂正前の請求項８について「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部」との限定をするものであるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（３．２）新規事項の有無
訂正事項２３は，明細書等の段落００５４における「図１０(ｃ)に示すように，フレキシブル管１０に装着される加熱部３１０は，包囲体としての内層部５１０及び外層部５００との間に，発熱体５３０と該発熱体５３０を支持するための支持部としての断熱部材５４０を含む発熱部と発熱体５３０のガス配管１０とは反対側に配置される断熱部５２０とを積層したもので主として構成されている。」，訂正前の請求項９における「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有する発熱部を設け」との記載に基づくものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項２３は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（３．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項２３は，訂正前の請求項８について「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部」との限定をするものであり，請求項８のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（４）訂正事項２４について
（４．１）訂正の目的の適否
訂正事項２４は，訂正前の請求項８について「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り」との限定をするものであり，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（４．２）新規事項の有無
訂正事項２４は，明細書等の段落００５３における「図１０(ｂ)に示す断面図からわかるように，加熱部３１０とフレキシブル管１０間に間隙が形成されている。これは，加熱部３１０の内径をフレキシブル管１０の径よりも大きくしているためである。形成した間隙を加熱していることで温度安定性の確保を図っている。」との記載に基づくものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではない。よって，訂正事項２４は特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（４．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項２４は，訂正前の請求項８について「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り」との限定をするものであり，請求項８のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（５）訂正事項２５について
（５．１）訂正の目的の適否
訂正事項２５は，訂正前の請求項８の「前記温度検知部は，前記フレキシブル管と非接触となるように配置されている」との事項を「前記温度検知部は 前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」と限定するものであるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（５．２）新規事項の有無
訂正事項２５は，明細書等の段落００５３「加熱部３１０とフレキシブル管１０間に間隙が形成されている。」，段落００５５「温度検知部をフレキシブル管１０に設置し温度制御すると，フレキシブル管１０の温度は，直管部の温度よりも上昇し，１つのガス配管１０内で温度差が生じ，温度均一性が悪化する。よって，図１０(ｃ)に示す加熱部３１０でフレキシブル管１０を加熱し，熱電対５５０は，発熱部に設置するように構成される。例えば，熱電対５５０は，発熱体５３０と同様に断熱部材５４０に縫製して取り付けられている。」，段落００５７「本実施における加熱部３１０は，フレキシブル管１０と加熱部３１０の内層部５１０との間に間隙を設けており，熱電対５５０を加熱部３１０内部に設置(発熱部に設置)しているので，熱電対５５０とフレキシブル管１０を接触させることによる局所的な温度変化の測定に起因する温度制御の不安定さが解消され，フレキシブル管１０全体を均等に加熱することができる。」，段落００３５「集熱板等の温度検知部５５５」との記載及び図１０に基づくものである。
ここで，明細書等における「温度検知部」が集熱板や熱電対等を包含する事項であることは，上記段落００３５の記載や，段落００５７において「温度検知部をフレキシブル管１０に設置し温度制御すると，・・・温度均一性が悪化する。よって，・・・熱電対５５０は，発熱部に設置するように構成される。」との記載からも明らかである。
そうすると，訂正事項２５は明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，新規事項を追加するものではないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（５．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項２５は，訂正前の請求項８の「前記温度検知部は，前記フレキシブル管と非接触となるように配置されている」との事項を「前記温度検知部は 前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」と限定するものであるから，請求項８のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（６）訂正事項２６について
（６．１）訂正の目的の適否
訂正事項２６は，請求項の削除を目的とするものであるから，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（６．２）新規事項の有無
訂正事項２６は，請求項を削除するものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（６．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項２６は，請求項を削除するものであるから，実質上特許請求の範囲を拡張し，または変更するものではなく，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

（７）訂正事項２７について
（７．１）訂正の目的の適否
訂正事項２７は，「前記フレキブル管」を「前記フレキシブル管」に訂正するものであるから，特許法120条の5第2項ただし書２号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。
（７．２）新規事項の有無
訂正事項２７は，「前記フレキブル管」を「前記フレキシブル管」に訂正するものであるから，明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法120条の5第9項で準用する同法126条5項の規定に適合する。
（７．３）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
訂正事項２７は，誤記を訂正するものであるから，請求項１０のカテゴリーや対象，目的を変更するものではなく，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当しないから，特許法120条の5第9項で準用する同法126条6項の規定に適合する。

２．５ 請求項１５に係る訂正事項（訂正事項２８〜３４）について
ア 訂正事項２８〜３０の内容は訂正事項１〜３の内容にそれぞれ対応する。そうすると，訂正事項２８〜３０は請求項１５に対し訂正事項１〜３と同旨の訂正を行うものであるから，上記１．２で検討したのと同様にして，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。
イ 訂正事項３１〜３４の内容は，訂正事項２２〜２５の内容にそれぞれ対応する。そうすると，訂正事項３１〜３４は請求項１５に対し訂正事項２２〜２５と同旨の訂正を行うものであるから，上記２．４の（２）〜（５）で検討したのと同様にして，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。

２．６ 請求項１６に係る訂正事項（訂正事項３５〜４１）について
ア 訂正事項３５〜３７の内容は，訂正事項１〜３の内容にそれぞれ対応する。そうすると，訂正事項３５〜３７は請求項１６に対し訂正事項１〜３と同旨の訂正を行うものであるから，上記２．１の（１）〜（３）で検討したのと同様にして，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。
イ 訂正事項３８〜４１の内容は，訂正事項２２〜２５の内容にそれぞれ対応する。そうすると，訂正事項３８〜４１は請求項１６に対し訂正事項２２〜２５と同旨の訂正を行うものであるから，上記２．４の（２）〜（５）で検討したのと同様にして，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。

３．小括
以上のとおり，本件訂正請求による訂正は，特許法120条の5第2項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同法同条９項において準用する同法126条5項及び６項の規定に適合する。
したがって，特許請求の範囲を，訂正請求書に添付された特許請求の範囲のとおり，訂正後の請求項〔１−５〕，６，７，〔８−１４〕，１５，１６について訂正することを認める。


第３ 訂正後の本件発明
本件訂正請求により訂正された請求項１〜１６に係る発明（以下，それぞれ「本件発明１」〜「本件発明１６」という。）は，訂正特許請求の範囲の請求項１〜１６に記載された以下の事項により特定されるとおりのものである。

【請求項１】
直線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部とを有するガス管の表面を覆い，加熱する加熱部であって，
発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
前記ガス管と対向する位置に配置された温度検知部と，を備え，
前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は，前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し，
前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材が設けられ，
前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている
加熱部。
【請求項２】
前記温度検知部は，前記ガス管の表面に沿って前記ガス管側の主面が湾曲するよう構成されている請求項１記載の加熱部。
【請求項３】
前記屈曲部には，前記カバーに巻き込んで，前記屈曲部を覆う補助カバーが設けられる請求項１記載の加熱部。
【請求項４】
前記カバーには，その内部に該カバーの強度を高めるシートが設けられている請求項１記載の加熱部。
【請求項５】
前記補助カバーは，その内部に該補助カバーの強度を高めるシートを設けない構成である請求項３記載の加熱部。
【請求項６】
基板を処理する処理室と，前記処理室内に原料ガスを供給するガス管を有するガス供給系と，前記ガス管の表面を覆い，加熱する加熱部と，を備え，
前記ガス管は，直線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部を有し，
前記加熱部は，
前記ガス管を加熱する発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
前記ガス管と対向する位置に配置された温度検知部と，を備え，
前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は，前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し，
前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材が設けられ，
前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている
基板処理装置。
【請求項７】
発熱体の外側に配置される断熱部と，前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，直線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部とを有するガス管と対向する位置に配置された温度検知部と，を備え，前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は，前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し，前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材が設けられ，前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている，前記ガス管の表面を覆う加熱部により，前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら，前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程を有する半導体装置の製造方法。
【請求項８】
蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面を覆い，加熱する加熱部であって，
発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部と，
前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，を備え，
前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り，
前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部及び前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている加熱部。
【請求項９】
（削除）
【請求項１０】
前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記発熱体は，前記フレキシブル管を基軸として前記フレキシブル管の蛇腹部の山折部と谷折部とに一部が平行となるように形成されている請求項８記載の加熱部。
【請求項１１】
前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記断熱部は複数の断熱層で構成され，
前記断熱層それぞれは，前記フレキシブル管内のガスの流れ方向に対して垂直方向に切り込まれ，複数に分割されている請求項８記載の加熱部。
【請求項１２】
前記断熱層それぞれは，前記フレキシブル管内のガスの流れ方向に対して垂直方向に延在するスリットが設けられている請求項１１記載の加熱部。
【請求項１３】
隣接する前記断熱層それぞれのスリットの位置がずらされて配置されている請求項１２記載の加熱部。
【請求項１４】
前記包囲体には，前記フレキシブル管内のガス流れ方向に対して垂直方向に延在する折り目が設けられている請求項８記載の加熱部。
【請求項１５】
基板を処理する処理室と，前記処理室内に原料ガスを供給するガス管を有するガス供給系と，前記ガス管の表面を覆い，加熱する加熱部と，を備え，
前記ガス管は，蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含み，
前記加熱部は，
発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部と，
前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，を有し，
前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り，
前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている
基板処理装置。
【請求項１６】
発熱体の外側に配置される断熱部と，前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部と，前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，を有し，前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り，前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている，加熱部により前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら，前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程を有する半導体装置の製造方法。」


第４ 取消理由通知書（決定の予告）における取消理由の概要
訂正後の請求項８，１０〜１６に係る特許に対して，当審が令和３年７月７日付けの取消理由通知書（決定の予告）により特許権者に通知した取消理由（以下，「取消理由（決定の予告）」という。）の概要は，以下のとおりである。

・取消理由１
請求項８，１０〜１６に係る発明は，その優先権主張の日前に日本国内又は外国において，頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の文献１又は文献１６に記載された発明及び文献５〜１５，１７〜２０に記載された周知技術及び技術的事項に基づいて，その優先権主張の日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから，請求項８，１０〜１６に係る特許は，特許法29条2項の規定に違反してされたものであり，取り消されるべきものである。

・取消理由２
請求項８，１０〜１６に係る発明は，その優先権主張の日前に日本国内又は外国において，頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の文献１６に記載された発明及び文献１４，２１に記載された技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項８，１０〜１６に係る特許は，特許法29条2項の規定に違反してされたものであり，取り消されるべきものである。

文献１（甲１−１）：「ＰＲＯＤＵＣＴＳ ＧＵＩＤＥ 総合カタログ」，第３版，株式会社豊中ホット研究所，２０１４年 １月
文献５（甲１−５）：「クリーンルーム用マントルヒーター」，ＩＮＴＥＲＮＥＴ ＡＲＣＨＩＶＥ ＷＡＹＢＡＣＫ ＭＡＣＨＩＮＥ，［ｏｎｌｉｎｅ］，２０１５年７月２日，株式会社東京技術研究所のホームページ，インターネット＜ＵＲＬ：https://web.archive.org/web/２０１５０７０２１３１８２８/http://tt-labo.co.jp/seihin０１/seihin０１_０３.html＞
文献６（甲１−６，甲２−２）：特表２０１３−５００４５１号公報
文献７（甲１−７）：特開平１−１４５５３７号公報
文献８（甲１−８）：特開２０１２−８８１７１号公報
文献９（甲１−９，甲２−３）：特開２０１４−８５１８５号公報
文献１０（甲１−１０）：「初心者のための測定技術入門」−温度を測るテクニック（熱電対を正しく使う）−，熱物性，１９９４年１０月，第８巻，第４号，ｐｐ．２７６〜２８０
文献１１（甲１−１２）：特開平９−２３２２９５号公報
文献１２（甲１−１５）：特開２０１０−２７６１８４号公報
文献１３（甲１−１６）：特開平９−２２９２８５号公報
文献１４（甲１−１３，甲２−４）：実願昭６０−９２号（実開昭６１−１１６２８２号）のマイクロフィルム
文献１５（甲１−１４）：「真空機器に使用するベローズ」，真空，１９８３年１０月，第２６巻，第１０号，ｐｐ．７５７〜７６９
文献１６（甲２−１）：特開２００２−３５２９４１号公報
文献１７（甲１−１７）：特開２００２−２９５７８３号公報
文献１８（甲１−１８）：特開平７−３０５７９６号公報
文献１９（甲１−１９，甲２−６）：特開２００３−２９４１９２号公報
文献２０（甲１−２０）：特開平１０−１４１５８７号公報
文献２１（甲２−５）：特開２００９−２３０４５４号公報

なお，上記において，「文献１」等の表記は，令和２年１１月２７日付け取消理由通知書の表記による。また，上記において，特許異議申立人河井清悦（申立人１）の提出した甲第１号証〜甲第２０号証を，それぞれ「甲１−１」〜「甲１−２０」と記載し，特許異議申立人本間賢一（申立人２）の提出した甲第１号証〜甲第６号証を，それぞれ「甲２−１」〜「甲２−６」と記載した。

第５ 文献に記載された事項
１．文献１の記載と引用発明２
（１）文献１の記載
取消理由（決定の予告）において引用した文献１（甲１−１）（「ＰＲＯＤＵＣＴＳ ＧＵＩＤＥ 総合カタログ」，第３版，株式会社豊中ホット研究所，２０１４年 １月）には，次の記載がある。（下線は当審により付加。）

「カバーヒーター／マントルヒーター

特長
ヒーター・保温材一体型で，ヒータートレースや保温工事のよけいな手間を省略でき，ランニングコストに優れた効果を発揮。
ほとんどの形状に対して対応可能。

使用用途
●半導体製造装置の排気系配管の加熱・保温
●配管設備の加熱・保温（エルボ，配管，バルブ，フランジ，Ｕ字管，Ｖ字管，Ｙ字管，変形パイプ，枝管，ホッパー，ｅｔｃ．）
・・・（以下略）」（２６頁）

「

」
「■製作には下記情報などをご提示下さい
・・・（中略）・・・
●温度センサー：熱電対Ｋ（ＣＡ），Ｊ（ＩＣ）やＰｔ−１００Ωなど
」（２７頁下から１４行〜４行）

（２）引用発明２
文献１（甲１−１）の２６頁には，「カバーヒーター／マントルヒーター」として，以下の図（当審による。以下同じ。追記は，特許異議申立人河井清悦の提出した特許異議申立書の２３頁の写真を利用した。）に示す構成が記載されているものと理解できる。

上記図から，次の事項が見て取れる。
・直線状に形成された複数の直管部と直管部間を連接する屈曲された屈曲部とを有する配管。
・包囲体に含まれる表面層の一端側と他端側とが隣接した状態で一端側と他端側とを留める表面層の外側にある留め部を備えること。
・蛇腹状の形成されたフレキシブル管の表面をカバーヒーターで覆うこと。
ここで，文献１の２６頁に記載された「使用用途」を参照すると，文献１には，「半導体製造装置の排気系配管」の「フレキシブル管」の表面を，上記図のように「カバーヒーター」で覆うことが記載されているものと理解できる。
また，文献１の２７頁に示された「構造図」から，発熱層の外側に配置される保温層と，保温層及び発熱層を包囲する表面層及び内面層とが見てとれる。
さらに，文献１の２７頁に示された「材料」によれば，「発熱層」は「ニッケルクロム＋Ｅグラス二重編組」で構成されることが記載されている。

以上によれば，文献１（甲１−１）には次の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
「蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含む半導体製造装置の排気系配管の表面を覆い，加熱・保温するカバーヒーターであって，
ニッケルクロム及びＥグラス二重編組で構成された発熱層と，
発熱層の外側に配置される保温層と，
保温層及び発熱層を包囲する，表面層及び内面層と，
表面層の一端側と他端側とが隣接した状態で表面層の長手方向の一端側と他端側とを留める表面層の外側にある留め部と，
温度センサーと，
を備えるカバーヒーター。」

２．文献１６の記載と引用発明３
（１）文献１６の記載
取消理由（決定の予告）で引用した文献１６（甲２−１）（特開２００２−３５２９４１号公報）には，次の記載がある。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は耐熱クロス上にヒーター線を取り付けて外装カバーを縫着してなる脱着可能なヒーターカバーに関するが，詳しくは内側発熱体に外装カバーを取り付けたヒーター内蔵式の脱着カバーとその成形法に関するものである。」
「【０００９】
【実施例】以下，図面によって本発明の実施例について説明する。図１から図４は，本発明の外装カバー付ヒーター内蔵式の脱着カバーとその成形方法を示したものであり，１はその脱着カバー本体である。この脱着カバー１は，ヒーターなどの発熱体と断熱材とからなる内生地２と外装クロス３とリード線４とから構成されている。内生地２は筒状に形成されている袋体に発熱体と断熱材とが装着されている。また，このように構成された内生地２の外周面にはリード線４が外側に取り出されるように外装クロス３で巻き付けられている。なお，５はベルクロであり内生地２に外装クロス３の装着用貼着部である。また，袋体の耐熱用のクロスに挿入されている内側発熱体と外装クロス３とが別体に構成されており，その外装クロス３の内側と外側とが縫製されている。したがって，発熱体とリード線４とが一体化されているとともにリード線４が耐熱用の内側クロスから外側に取り出すことが可能となる。
【００１０】図５と図６は本発明の他の実施例を示したものであり，６が外装カバー，８が袋体，９がヒーターケーブル，１０がアルミ箔，１１がリード線である。この実施例による脱着カバーは，所望付法に裁断した内生地２で袋体８を成形加工する工程と，前記袋体８に発熱体と断熱材を装着する工程と，前記内生地２から発熱体のリード線１１を取り出し外装カバー６を取り付ける工程とからなる工程により成形されている。本図からも明らかのように，この場合の脱着カバーは内生地２の袋体８内がアルミ箔１０にヒーターケーブル９が装着されており，更にリード線１１の外側への取り出しを可能になるように外装カバー６が装着されている。具体的な成形方法は，まず所望の寸法に裁断された内生地２で袋体を成形する。その際，必要に応じて内生地２内にヒーターケーブル９を固定若しくは縫い付ける。次に，袋体８にヒーターケーブル９と袋体８の内側に挿着されている断熱材とをセットして内生地２からヒーターケーブル９のリード線１１を外側に取り出す。その際，小さな穴からリード線１１の先端を引き出してリード線１１の接続作業を行なう。このようにリード線１１の接続作業終了したならば外装カバー６を取り付ける。なお，７は接続部でＰはパイプである。」

文献１６（甲２−１）の図１，４，５として，以下の図面が示されている。






上記図１，４から，直線状のパイプＰや屈曲部を有するパイプＰの表面を覆う脱着カバー１において，内生地２の外側に設けられ，内生地２の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める外装クロス３とベルクロ５を備えることが見てとれる。
また，上記図１，４，５から，発熱体であるヒーターケーブル９の外側に配置される断熱材が見てとれる。

（２）引用発明３
以上によれば，文献１６（甲２−１）には次の発明（以下「引用発明３」という。）が記載されているものと認められる。
「直線状のパイプＰや屈曲部を有するパイプＰの表面を覆う脱着カバー１にお
いて，
発熱体であるヒーターケーブル９の外側に配置される断熱材と，
ヒーターケーブル９が装着されるアルミ箔１０と，
断熱材及びヒーターケーブル９を装着する内生地２で成形された袋体８と，
内生地２の外側に設けられ，内生地２の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める外装クロス３とベルクロ５と，を備える
脱着カバー１。」

３．文献５の記載
取消理由（決定の予告）で引用した文献５（甲１−５）（「クリーンルーム用マントルヒーター」，ＩＮＴＥＲＮＥＴ ＡＲＣＨＩＶＥ ＷＡＹＢＡＣＫ ＭＡＣＨＩＮＥ，［ｏｎｌｉｎｅ］，２０１５年７月２日，株式会社東京技術研究所のホームページ，インターネット＜ＵＲＬ：https://web.archive.org/web/２０１５０７０２１３１８２８/http://tt-labo.co.jp/seihin０１/seihin０１_０３.html＞）には，次の記載がある。
「クリーンルーム用マントルヒーター｜マントルヒーター｜東京技術研究所」
「


クリーンルーム用マントルヒーター
クリーンルームでの使用を目的に開発した製品です。」

「仕様
最高耐熱温度：200℃・400℃
構造：ヒーターと断熱材一体型
固定：ワンタッチ固定（マジップテープ等）
発熱設計：省エネ安全設計
付属品：センサー等内蔵設計可

製作時に必要な情報
使用方法：何を何度に加熱，保温するのか，被加熱物の材質は何なのか，できるだけ詳細な情報
形状：被加熱物の図面，マンガ図或いは現物
使用温度：被加熱物を何度に加熱したいか
使用電圧：ヒーターを使用される電圧
電気容量：特にご指定がなければ弊社にて算出
固定方法：通常マジックテープとめ
リード長：特にご指定がなければ1000mm
オプション：熱電対，サーモスタット，温度ヒューズ内蔵
※使用に関してはご要望に応じて製作可能ですので，ご相談ください。

用途
半導体製造装置の排気系配管の加熱・保温
配管設備の加熱・保温（エルボ，配管，バルブ，フランジ，U字管，V字管，Y字管，変形パイプ，枝管，ホッパー，etc)」

４．文献６〜１０の記載と周知技術２
（１）文献６〜１０の記載
ア 取消理由（決定の予告）で引用した文献６（甲１−６，甲２−２）（特表２０１３−５００４５１号公報）には，次の記載がある。
【０００１】
本発明は，パイプ加熱装置に関するものである。より詳細には，半導体の製造工程， ＬＣＤ工程または化学工程等に必要とされる気体や液体を供給するために設置されるパイプラインを加熱するパイプ加熱装置に関する。」
「【００４４】
温度制御のために，パイプラインの温度を測定する温度センサーをさらに設けることができる。温度センサーは，内部シート１４の表面に設けられ，パイプライン１２の温度を制御部が読み込む。」
「【００５５】
半導体の製造工程，ＬＣＤ工程，または化学工程におけるパイプラインは，線形，エルボ形，Ｔ字型等様々な形状のパイプが連結されて形成されるが，この様々な形状のパイプを加熱するためには，各形状に対応するパイプ加熱装置を用意する必要がある。
【００５６】
図５は，エルボ形パイプと線形パイプとが連結されているパイプライン１２に，本実施例に係るパイプ加熱装置を装着した状態を示すものである。」
「【００６０】
線形パイプを加熱するためのパイプ加熱装置とエルボ形パイプを加熱するためのパイプ加熱装置とを互いに接するようにパイプラインに設置し，ベルクロ２８を用いてパイプラインにパイプ加熱装置をホルディングする。パイプ加熱装置間の隣接部位から熱が放出されるおそれがある場合は，隣接部位にテーピング処理をすることができる。」

イ 取消理由（決定の予告）で引用した文献７（甲１−７）（特開平１−１４５５３７号公報）には，次の記載がある。
「〔産業上の利用分野〕
本発明は，被測温体の表面温度を検出ための熱電対に関する。」（第１頁左下欄第１６〜１８行）
「本実施例は以上のように構成されているので，第４図に示すように，例えば内部に水が存在するボイラチューブ７の表面にニッケル薄板２をスポット溶接６等によって取付けることにより，この薄板２は，ボイラチューブ７の曲面に沿って密着する。また，鞘管１も熱容量が小さく，ニッケル薄板２の被測温体であるボイラチューブ７との接触面積が広く，且つ，温接点５がニッケル薄板２の厚さだけの小間隔をおいて被測温体側壁面の近くに位置している。そのために応答性が良く，特に被測温体の温度が変動する場合でも時間遅れがなく，正確な温度が測定できる。」（第２頁右下欄第７〜１８行）

ウ 取消理由（決定の予告）で引用した文献８（甲１−８）（特開２０１２−８８１７１号公報）には，次の記載がある。
【０００１】
本発明は，被測温体の表面温度を検出するための温度測定用熱電対及びその製造方法に関する。」
「【００２６】
先ず，図１〜図５に基づき，本発明の第１実施形態を説明する。
【００２７】
本実施形態の温度測定用熱電対１は，図１〜図３に示すように，異種金属からなる熱電対素線３，３を，先端封止される金属シース２に電気絶縁材５とともに内装し，該金属シース２の外面に，被測温体表面９に取り付けるための金属薄板４を固着したものである。
・・・
【００３０】
金属シース２を被測温体表面９に取り付けるための金属薄板４は，金属シース２の被測温体表面９に対向する側の外面に接触状態で配されるベース薄板４０と，金属シース２の被測温体表面９に対向しない側の外面に接触状態で被着され，且つベース薄板４０に接合一体化させるカバー薄板４１とより構成されている。
これらベース薄板４０やカバー薄板４１の素材は，熱伝導率の違いによる温度分布の乱れを避けるべく，被測温体と同材質が好ましいが，他の材質を採用することも可能である。本例では例えば厚さ０．１ｍｍ程の薄いステンレス板が用いられるが，使用場所及び目的に応じて各種の金属材料が使用可能で，またその厚さも適宜調整することができる。互いに溶接固着されるベース薄板４０やカバー薄板４１，金属シース２は，同一素材にすることで互いの溶接時の固着性が向上し，溶接パワーを絞って熱破壊を防止しつつ，しっかりとした溶接固着強度を保つことができるメリットがある。
【００３１】
カバー薄板４１は，少なくとも金属シース２の先端部２０の外面２１に溶接することにより固着され，本例では，先端部２０の外面２１に溶接される主接合部６１，及び同じく金属シース２の先端封止部より基端側の外周面２２に溶接される複数の副接合部６２，…により金属シース２に固着されている。主接合部６１及び副接合部６２の溶接は，薄板の溶接に適した電気抵抗溶接である。ここで，主接合部６１の溶接に比べ，副接合部６２の溶接のパワーは小さく設定されている。具体的には，溶接電源電圧をより小さく設定している。
【００３２】
被測温体としては，例えば内部に水が存在するボイラチューブであり，図２に示すようにその表面９にベース薄板４０をスポット溶接等による溶接接合部６４によって取り付けることにより，このベース薄板４０はカバー薄板４１とともにボイラチューブの曲面に沿って密着することとなる。溶接以外の他の取付手段でベース薄板４０を被測温体表面９に固着することもできる。被測温体表面へのベース薄板４０の溶接は，電気抵抗溶接以外に種々の溶接を用いることができ，Ｔｉｇ溶接やレーザ溶接も好適に用いられる。」

エ 取消理由（決定の予告）で引用した文献９（甲１−９，甲２−３）（特開２０１４−８５１８５号公報）には，次の記載がある。
「【００３２】
第二温度センサ９は，流量を算出する処理装置（図示せず）と電気的に接続されるとともに，ヒータ２の下部に設置され，ヒータ２の下部における配管１０の表面温度を計測する。第二温度センサ９は，配管１０の形状（第一実施形態では曲面）に沿って変形自在であることが好ましく，例えばフィルム型温度センサによって構成することができる。また，第二温度センサ９は，配管表面に沿って充分に変形自在な程度に素線の径が細ければ，熱電対であってもよい。なお，図２，図３では，説明の便宜上，第二温度センサ９が強調して記載されている。実際には，第二温度センサ９の厚みは，ヒータ２よりも大幅に薄くすることができる。また，第二温度センサ９はヒータ２の下部に，例えばアルミテープ等で固定することが出来る。」

オ 取消理由（決定の予告）で引用した文献１０（甲１−１０）（「初心者のための測定技術入門」−温度を測るテクニック（熱電対を正しく使う）−，熱物性，１９９４年１０月，第８巻，第４号，ｐｐ．２７６〜２８０）には，次の記載がある。
「４．熱電対の取り付けによる温度測定の誤差について
熱電対による温度測定の誤差は，素線の個体差などを含む素線自身の温度特性や測定回路を構成する各要素（接点，導線，測定器など）によるのはもちろんですが，この他にともすれば忘れがちなのが，熱電対を挿入することによる測温場の乱れによる影響です．熱電対による温度測定は熱電対の測温接点を被測温物に接触させ，測温接点が被測温物と等しい温度になることでその物体の温度が計測できるというものですが，実際には，熱電対素線や保護管に沿って熱が伝わり測温接点やその付近の物体の温度が変わってしまったり，素線 や保護管を測温点まで引き回すためにまわりの流体や熱の流れが乱され，結果的に測温点の温度が変わってしまうことがあります．なるべく細い熱電対を用いればこれらの影響は小さくなります（特に銅−コンスタンタン熱電対では銅の熱伝導率が高いので線径を太くできない４））が，細い熱電対には前述（２章）の問題もあるので注意が必要です．」（２７９頁右欄１３行〜２９行）

（２）周知技術２
上記文献６（特に段落０００１，００４４を参照。）及び文献７〜１０の記載によれば，次の技術的事項（以下「周知技術２」という。）が周知であったといえる。
・ガス管の加熱装置において，ガス管と対向する位置に温度検知部を配置すること。

５．文献１１の記載
取消理由（決定の予告）で引用した文献１１（甲１−１２）（特開平９−２３２２９５号公報）には，次の記載がある。
「【００１０】
【発明の実施の形態】次に，本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は本発明を減圧ＣＶＤ装置に適用した一例を示す構成図である。反応室１はガス配管３を介してＳｉＨ2Ｃｌ2 ガス及びＮＨ3 ガスの各ガス源であるガスボンベ２に接続される。ガス配管３には第１ないし第４の各バルブ４，５，６，７が介挿配置され，これらのバルブの切り換え制御と，ガス配管３に設けたマスフローコントローラ８によって反応室１に供給されるガス流量が制御されるように構成される。また，反応室１は真空ポンプ９によって所定の負圧に制御される。そして，前記ガス配管３では，ガスボンベ２に近い第１バルブ４からマスフローコントローラ８の直前の第２バルブ５までの間に断熱材１０を設け，この断熱材１０によってガス配管３のその領域を被っている。また，この断熱材１０で被われたガス配管３の領域では，その下流側の一部に電気ヒータ１１が設けられ，温度制御回路１２によって電気ヒータ１１の加熱温度を制御するように構成される。なお，前記電気ヒータ１１には温度センサ１３が付設されており，この温度センサ１３の検出温度に基づいて加熱温度を所定の温度に制御することが行われる。
【００１１】この構成においては，温度制御回路１２により電気ヒータ１１を加熱制御し，ガス配管３のその部分を４０℃に調整する。また，ガス配管３は断熱材１０によって覆われているために，外気や風等による放熱の影響を配管が受けないので，ガス配管３では第２バルブ５から第１バルブ４に向かって緩やかに下降する温度勾配が構成される。このため，ガスボンベ２から反応室１に向けて通流されるＳｉＨ2Ｃｌ2 及びＮＨ3 ガスは，第１バルブ４から第２バルブ５に向かって断熱材１０内のガス配管３を僅かながら温度が上がる方向に通流されることになる。このように，温度が上がる方向にガスが流れるので，同一圧力下では飽和蒸気圧は大きくなる方向になり，このガスがガス配管３内で再液化することはなくなる。なお，ガスはマスフローコントローラ８にてＳｉＨ2Ｃｌ2 は０．１SLM ，ＮＨ3 は０．９SLM に流量制御され，第３バルブ６を経て圧力３０Ｐａ，温度８００℃の反応室１へ導入される。反応室１において，窒化膜成長に関与しなかった残ガスは真空ポンプ９により排出される。」




上記図１から，ガス配管３は，直線状に形成された複数の直管部と直管部間を連接する屈曲された屈曲部を有することが見てとれる。

６．文献１２の記載
取消理由（決定の予告）で引用した文献１２（甲１−１５）（特開２０１０−２７６１８４号公報）には，次の記載がある。
【０００１】
本発明は，種々の熱処理装置や成形装置等における可動部と固定部の間に連結されるフレキシブル管，特に内部に加熱流体を流通させるフレキシブル管用の断熱カバーと，この断熱カバーを用いたフレキシブル管の断熱構造に関する。」
「【００３２】
加えて，この断熱カバーＣ１にあっては，断熱材２がカバー本体１に縫い付けられているから，フレキシブル管Ｆの動きに追従して屈伸変形する際，カバー本体１内で断熱材２がずれ動くことがなく，もって断熱材２の偏りによる断熱作用の不均一化を回避できると共に，該断熱材２の折れや断裂もより確実に防止できる。また，断熱材２に用いるガラス繊維マットは長手方向の一定間隔置き形成したスリット２ａによって曲げ変形性がよいため，フレキシブル管Ｆの動きに断熱カバーＣ１がより円滑に追従できる。更に，断熱カバーＣ１とフレキシブル管Ｆとは，非密着状態であるため，互いに拘束されずに無理なく変形でき，それだけ各々の疲労劣化が軽減されて長寿命化する。」
「【００４２】
その他，カバー本体１の縫製形態やサイズ，該カバー本体１に対する断熱材２の縫い付け状態等，細部構成については実施形態以外に種々設計変更可能である。更に，本発明の断熱カバーを適用するフレキシブル管Ｆについても，図８で例示したようなステンレス鋼線やステンレス鋼帯板の編組による被覆を施したものに限らず，一般的なステンレス鋼等の薄肉金属製の蛇腹管も適用対象となる。」

７．文献１３の記載
取消理由（決定の予告）で引用した文献１３（甲１−１６）（特開平９−２２９２８５号公報）には，次の記載がある。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，板状センサの配管用取付具に係り，特に板状に形成された温度センサを小径の配管に取り付けるための板状センサの配管用取付具に関する。」
「【００１７】このように構成することにより，前記実施の形態の配管用取付具１０よりも更に配管１６への取り付けが容易になる。また，本実施の形態では，上側のブロック１８Ａを分割可能に形成し，センサ１２を配管１６に直接接触させて温度を測定するように構成したが，センサ１２と配管１６とは直接接触させずに，ブロック１８Ａに伝達される熱を測定するように構成してもよい。すなわち，図４に示すように，上側のブロック１８Ａを一体物として構成し，その上面にセンサ１２を取り付ける。そして，配管１６からブロック１８Ａに伝達される熱をセンサ１２で測定する。この際，図４に示すように，前記実施の形態で開放されていたケーシング２０の前部及び後部を側板２０ａ3 ，２０ｂ3 で覆う（但し，上側ケーシング２０の後部はセンサ１２の光ファイバー１６をガイドできる開口部を形成する）とともに，ケーシング２０の内側に断熱材２６Ａ，２６Ｂを敷設して，センサ１２とブロック１８Ａ，１８Ｂとを断熱材２６Ａ，２６Ｂで覆うことにより，センサ１２を直接配管１６に接触させて測定した状態と近い状態で配管１６の温度測定を行うことができる。また，この場合，ブロック１８Ａ，１８Ｂを金属（例えばアルミ）等の熱伝導率の高い物質で形成することにより，より高い精度の測定値を得ることができる。」

８．文献１４〜１５の記載と周知技術３
（１）文献１４〜１５の記載
ア 取消理由（決定の予告）で引用した文献１４（甲１−１３，甲２−４）（実願昭６０−９２号（実開昭６１−１１６２８２号）のマイクロフィルム）には，次の記載がある。
「２．実用新案登録請求の範囲
ジャバラ形状を有するフレキシブルな内管と，該内管の外方に位置し該内管に取り付けられたヒータと，該昇温ヒータ及び前記内管を包囲するフレキシブルな外管とを有するフレキシブルチューブ。」（明細書１頁４行〜９行）
「３．考案の詳細な説明
（産業上の利用分野）
本考案は真空プロセスを用いる半導体装置と，ガス供給源又は排気装置等とを接続するフレキシブルチューブに関する。」（明細書１頁１１行〜１４行）
「（従来の技術）
近年，半導体装置の微細化に伴って特公昭５７−５２９５３号公報にみられる様なＣＶＤ装置，スパッタ装置，あるいは，エッチング装置等の真空プロセスを用いる半導体製造装置が多様される様になった。この様な真空プロセスを用いる装置では，真空度を保ちつつレイアウト上の自由度を増加させる為に，ガス供給源又は排気装置との接続部分にジャバラ形状のフレキシブルチューブを用いる様になった。これは，ストレート管は硬質材料が用いられているのでフレキシブルに曲げることはできず，又，ストレート管のままで軟質材料を用いると内圧と外圧との気圧の差によりつぶれてしまうという不都合があるからである。」（明細書１頁１５行〜２頁８行）
「 以下，本実施例の作用を説明する。真空プロセスを用いる半導体製造装置は概ね第３図の様な構成となっている。
図においてガスはフレキシブルチューブ３１から反応管３２へ導入される。反応管３２は反応ヒータ３３により加熱されており，この中でガスの反応が生ずる。反応により反応管３２中に置かれた図示しない半導体基板上には，反応生成物が析出する。」（明細書５頁１５行〜６頁３行）
「又，ガスの導入部のフレキシブルチューブ３１について説明すれば，この中を通るガスは前述の様に一部液体のまま通るが，これを反応管３２に達するまで強制的に昇温し，完全に気化する作用をする。この場合のヒータ部６の温度は，ガス排出部のフレキシブルチューブ３５に使われるもの程高温にする必要はない。この温度は，用いるガスの沸点，フレキシブルチューブ３１までの配管条件等を考慮して決定するのが好ましい。」（明細書７頁１９行〜８頁７行）
「本考案の実施例のフレキシブルチューブを半導体製造装置，特にＣＶＤ装置の排気側に用いた場合，・・・（中略）・・・又，ガス供給側に用いた場合，ここを通るガスを完全に気化することができるようになり膜質の向上に寄与する。」（明細書８頁１１行〜９頁１０行）

文献１４の第１図及び第３図として，以下の図面が示されている。





イ 取消理由（決定の予告）で引用した文献１５（甲１−１４）（「真空機器に使用するベローズ」，真空，１９８３年１０月，第２６巻，第１０号，ｐｐ．７５７〜７６９）には，次の記載がある。
「１．まえがき
ベローズは単純であまり目立たない存在ではあるが，真空機器の駆動部分に用いられる重要な機能部品のひとつである。
真空産業は今さら述べるまでもなく，近年急速に発展している分野であり，内容的にも中性粒子である気体分子だけを扱っていた真空から，電子，イオン，プラズマといった荷電粒子を利用する真空まで，その取扱い範囲が拡がった。
このためベローズも，従来のＯリングに代表されるようなパッキンシールでは困難な高真空用のシール部品として，例えば各種の半導体製造設備，核融合実験装置，荷電粒子加速器などの駆動部分のシールやバルブの部品として，多く利用されるようになっている。」（７５７頁左欄１行〜１４行）

（２）周知技術３
上記文献１４（特に「従来の技術」参照。）及び文献１５の記載によれば，次の技術的事項（以下「周知技術３」という。）が周知であったといえる。
・半導体製造装置において，蛇腹状に形成されたフレキシブルチューブを用いること。

９．文献１７の記載
取消理由（決定の予告）で引用した文献１７（甲１−１７）（特開２００２−２９５７８３号公報）には，次の記載がある。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，マントルヒータ及びその製造方法に係り，詳しくは精密器具や装置などの直管や曲管の配管，継手，弁など（以下，配管という）の他，その精密器具や装置自体の保温または加熱を目的として用いるマントルヒータ及びその製造方法に関するものである。」
「【００２１】発熱体３００は，図１（ａ）に示す断熱クロス３０１に絶縁被覆された発熱線３０２を無機繊維製シート３０３のガラスクロスに縫い糸３０４で縫い付けられたり，図１（ｂ）の示すようにシート状発熱体３０５など所定の形状や容量を有するものが使用できる。また，発熱線３０２には，リード線３０６を介して電源接続用コネクタ３０７が取り付けられている。なお，この発熱体３００は，次の不燃難燃繊維製シート４００に取り付けてもよい。
【００２２】不燃難燃繊維製シート４００は，無機繊維製シート，有機繊維製シートとを使用でき，無機質繊維製シートは，ガラスファイバー，セラミックファイバー，シリカファイバーなどの無機繊維材にニードル加工を施してコロイダルシリカ，アルミナゾル，ケイ酸ソーダなどの無機質バインダーでシート状に形成させたものが好ましい。また，アラミド，ポリアミド，ポリイミドなどの有機繊維製シートも使用できる。」
文献１７（甲１−１７）の図８として，以下の図面が示されている。


１０．文献１８〜２０の記載と周知技術４
（１）文献１８〜２０の記載
ア 取消理由（決定の予告）で引用した文献１８（甲１−１８）（特開平７−３０５７９６号公報）には，次の記載がある。
「【００１０】
【作用】本発明の断熱ホースは，上記のような構造としたものであるから，ホースが急角度に曲げられたり，曲げて包装されたり，外部から衝撃を受けたりした場合にあっても，断熱材３を内外２層以上の複数層とし，内層３１の継目３ａ部分と外層３２の継目３ｂ部分とをホースの軸線方向に変位させてあるので，内壁１から外壁２に通じるような間隙が生じることがなく，また，このことは屈曲状に配管された配管箇所における大径側部分においても同じであるから，局部的に断熱効果を損なうことがなく，また，ホース全体の断熱効果も充分に発揮し，しばしばホースの外周面に発生していた結露現象を解消することができる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の実施例について，図面に基づいて説明する。図１は，本発明の第１実施例を示す図であって，上半部分を破断した図である。該実施例に示したホースＨは，内壁１に補強線４を配設してある構造の実施例に関するものであって，内壁１は，肉厚０.３〜０.５mm程度の軟質のポリ塩化ビニール（ＰＶＣ）樹脂素材で形成したテープの一方（図において右側）の側縁部分を折り返して，その折り返し部分の間隙５中に直径１.５〜２.０mm硬質ポリプロピレン製の補強線４を非接着状態にして抱き込ませ，折り返した二重壁部分１１ｂを接着し，このようにしながら，または前工程でこのようにしたものを，ホース形成筒体上において螺旋状に順次巻回し，他方（図において左側）の側縁部分を補強線４の上側において重合させて，この重合部分１１ａを接着させた構造としたものである。
【００１２】断熱材３は，ポリエチレン（ＰＥ）樹脂製の発泡率２０倍〜４０倍程度の高発泡独立気泡のスポンジ体を２〜３mm厚さの断面長方形状に裁断した２本の帯材を，前記内壁１の形成中に内壁１の外周面上において，内壁１を形成するテープと螺旋ピッチを相互に半ピッチ宛ずらせながら巻回形成した内層３１と外層３２との２層からなっている。外層２は，内壁１形成テープと同様に軟質のＰＶＣ樹脂素材で肉厚０.３〜０.５mm程度に形成したテープを，断熱材３の外層３２の外周面上において，断熱材３を圧縮させながら，スポンジ帯材と同ピッチで後続縁側（図において左側）の約半幅を重ね合わせながら螺旋状に巻回し，この重合部分２１を接着させてある。」

文献１８（甲１−１８）の図１として，以下の図面が示されている。



イ 取消理由（決定の予告）で引用した文献１９（甲１−１９，甲２−６）（特開２００３−２９４１９２号公報）には，次の記載がある。
「【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図１〜図３に示す。なお，図６と同一または類似する部材には同じ符号が付されている。図１〜図３において，１は配管，２は硬質ポリウレタンフォームからなる内層側の割り筒型成形断熱材，３は緊縛用金属バンド，４ａ，４ｂは前記内層側の割り筒型成形断熱材の円周方向の突き合わせ目地部および管軸方向の突き合わせ目地部に充填されたグラスウールのクッション材，５は目地部を被覆する金属箔テープ，６は内層側の断熱材の外周面に巻き付けた耐冷性フィルムからなる被覆テープであり，７は硬質ポリウレタンフォームからなる外層側の割り筒型成形断熱材，８は緊縛用バンド，９ａ，９ｂは前記外層側の割り筒型成形断熱材の円周方向の突き合わせ目地部および管軸方向の突き合わせ目地部に充填されたグラスウールのクッション材，１０，１１はその目地部に貼り付けた防湿粘着テープ，１２は金属外装材であって，この外層側の断熱材を装着する前に，外層側の管軸方向の目地部に対向する内層側成形断熱材の表面に保護材１３を介在させた構成としている。」

文献１９（甲１−１９，甲２−６）の図１〜３として，以下の図面が示されている。







ウ 取消理由（決定の予告）で引用した文献２０（甲１−２０）（特開平１０−１４１５８７号公報）には，次の記載がある。
「【００１２】【発明の実施の形態及び実施例】以下，本発明を図面を参照して，更に詳細に説明する。図１は，本発明の一構成例にかかる断熱材付きフレキシブル管を示すもので，この断熱材付きフレキシブル管１は，フレキシブル管本体２の外周面に第１断熱材シート３を巻き付け，更にこのシート３の上に第２断熱材シート４を巻き付けたものであり，第１断熱材シート３及び第２断熱材シート４には，それぞれ多数のスリット５，６が入っている。なお，断熱材付きフレキシブル管１の構成を説明するために，図１では，各断熱材シート３，４の一部を破断して示す。
【００１３】このフレキシブル管本体２としては，従来より使用されているものを使用することができ，例えば亜鉛めっき箔やステンレス箔のような金属箔によって蛇腹状の管体に形成したものを使用することができ，具体的には，スチール箔ダクト，アルミ箔ダクト，ステンレス箔ダクト等を挙げることができる。ここで，フレキシブル管本体２を形成する金属箔の厚さ，管の内径は特に制限されるものではなく，金属の種類，使用目的等によって適宜選定することができるが，通常，金属箔の厚さは０．０３〜０．３ｍｍ，好ましくは０．０８〜０．１２ｍｍ程度のものが好適に使用され，内径は５０〜１０００ｍｍ程度のものが好適に使用される。」

文献２０の図１として，以下の図面が示されている。


（２）周知技術４
上記１８〜２０の記載によれば，次の事項（以下「周知技術４」という。）が周知であったといえる。
・管を覆う断熱材を複数の断熱層で構成し，断熱層それぞれは，管内の流れ方向に対して垂直方向に切り込まれたスリットにより分割され，隣接する異なる断熱層のスリットの位置がずれた配置とすること。

１１．文献２１の記載
取消理由（決定の予告）で引用した文献２１（甲２−５）（特開２００９−２３０４５４号公報）には，次の記載がある。
「【０００１】
本発明は温度調節器及び温度調節器の取付方法に関し，特に，パイプの外周面を覆って加熱するジャケットヒーターの温度調節用のものに適用し得るものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品の製造では各種のガスが利用される。例えば，ＣＶＤ装置では，反応室から排気ポンプはパイプで連結され，このパイプを介して反応ガス（排気ガス）が排気される。この排気ガスは，凝固によって流路壁面に固形膜を生成し，排気ポンプの負荷を増大させるなどの悪影響を生じやすい。そのため，パイプ内部でガスが凝結しないように，パイプを一定温度に保つことが行われる。内部に面状の柔軟なヒーターを有する面状のジャケットヒーターで，パイプの外周面を覆い，ジャケットヒーターと温度調節器とを接続して，温度調節器からジャケットヒーターに加熱用の電力供給を行うと共に，ジャケットヒーターの内部に設けられている温度センサの出力を温度調節器にフィードバックし，温度調節器が一定温度に保つように調節する。」
「【００１３】
長手方向に沿う一側面から上面にかけての角には，図示しないジャケットヒーターに加熱用の電力供給を行う一対のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部２と，ジャケットヒーターの内部に設けられている温度センサに繋がっている一対のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部３と，スプリングコネクタに接続するリード線から被覆部分を除外する長さの目安を与える小さな半円筒状の窪みでなるゲージ４とが設けられている。」


第６ 当審の判断
１．取消理由通知書（決定の予告）に記載した取消理由について
取消理由通知書（決定の予告）において以下のように記載したとおり，本件発明８，１０〜１６は，引用発明２及び文献５〜１５，１７〜２０に記載された技術的事項に基づき当業者が容易に発明をすることができたものである。また，本件発明８，１０〜１６は，引用発明３及び文献１４，２１に記載された技術的事項に基づき当業者が容易に発明することができたものである。

１．１ 本件発明８について
（１）引用発明２からの容易想到性について
（１．１）一致点及び相違点
本件発明８と引用発明２を比較する。
ア 引用発明２における「蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含む半導体製造装置の排気系配管の表面を覆い，加熱・保温するカバーヒーター」が，本件発明８における「蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面を覆い，加熱する加熱部」に相当する。
イ 引用発明２における「保温層」が本件発明８における「断熱部」に相当し，以下同様に，「表面層」が「外層部」に，「内面層」が「内層部」に，「温度センサー」が「温度検知部」に，それぞれ相当する。
ウ 引用発明２における「表面層の一端側と他端側とが隣接した状態で表面層の長手方向の一端側と他端側とを留める表面層の外側にある留め部」が，本件発明８における「前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部」に相当する。
エ 引用発明２における「ニッケルクロム」は周知のヒーター線材料であり，本件発明８における「発熱体」に相当する。また，引用発明２における「Ｅグラス二重編組」は，Ｅガラスファイバーを二重編組したものであるから，本件発明８における「断熱部材」に相当する。
オ 引用発明２における「表面層」及び「内面層」が，本件発明８における「包囲体」に相当する。
カ 引用発明２における「発熱層」は，「表面層」と「内面層」との間に配置されているから，本件発明８における「発熱部」と引用発明２における「発熱層」とは，ともに「前記発熱体と」「断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，を備え」る点で共通する。

そうすると，本件発明８と引用発明２の一致点及び相違点は，以下のとおりとなる。
＜一致点＞
蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面を覆い，加熱する加熱部であって，
発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
温度検知部と，
前記発熱体と断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，を備える加熱部。」
＜相違点２−１＞
本件発明８では，「温度検知部」が「前記フレキシブル管と対向する位置に配置され」ているのに対し，引用発明２では，「温度センサー」の配置が特定されていない点。
＜相違点２−２＞
本件発明８では，「断熱部材」は「前記発熱体が取り付けられる」ものであるのに対し，引用発明２では，「Ｅグラス二重編組」は「ニッケルクロム」が取り付けられるものであることは特定されていない点。
＜相違点２−３＞
本件発明８では，「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図」るのに対し，引用発明２では，そのことが特定されていない点。
＜相違点２−４＞
本件発明８では，「前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部及び前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」のに対し，引用発明２では，「温度センサー」の取り付けと配置について特定されていない点。

（１．２）相違点に対する判断
（１．２．１）相違点２−１について
上記第５の４．（２）において文献６〜１０に記載の周知技術２として示したとおり，ガス管を加熱する装置において，ガス管と対向する位置に温度検出部を配置することは，当業者の周知技術であるから，引用発明２において「温度センサー」を「フレキシブル管と対向する位置に配置」することは，当業者が適宜なし得たことである。
（１．２．２）相違点２−２について
引用発明２における「発熱層」は，「ニッケルクロム及びＥグラス二重編組」で構成された層であるから，上記「ニッケルクロム」が上記「Ｅグラス二重編組」に取り付けられて１つの層を成していることは技術的に明らかである。そうすると，相違点２−２は実質的な相違点ではない。
仮にそうでないとしても，ヒーター線を断熱部材に取り付けることは，文献１７（段落００２１参照）に記載された公知の技術であるから，引用発明２において相違点２−２に係る構成とすることは，当業者が格別の困難なくなし得たことである。
（１．２．３）相違点２−３について
引用発明２の「カバーヒーター」は，「蛇腹状に形成されたフレキシブル管」の表面を覆うものであるところ，フレキシブル管は山折部と谷折部を有するから，「カバーヒーター」で「フレキシブル管」の表面を覆う際には，「カバーヒーター」の「内面層」と「フレキシブル管」の「谷折部」とによって「間隙」が形成されるものと認められる。そうすると，本件発明８と引用発明２は，いずれも「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図」るものであって，この点において両者に構成上の差異を認めることはできない。
たとえそうでないとしても，フレキシブル管と断熱カバーを非密着状態で覆う構成は文献１２（段落００３２参照）に記載された公知の構成であるから，引用発明２において相違点３に係る構成とすることは，当業者が容易に想到し得たことである。
（１．２．４）相違点２−４について
文献５（「仕様」の欄参照）には，マントルヒーターすなわち「カバーヒーター」に熱電対，サーモスタット，温度ヒューズを内蔵させることが記載されており，文献１３（段落００１７参照）には，温度センサーを配管に直接接触させずに測定を行うことが記載されている。そうすると，引用発明２において「温度センサー」を「フレキシブル管」と直接接触しないように「カバーヒーター」に内蔵させることは，上記文献５，１３に記載の技術的事項から容易に想到し得たことである。
そして，上記「カバーヒーター」への内蔵を具体化するに当たり，「カバーヒーター」内のどこに配置するかは当業者が適宜選択する設計事項であるところ，「ニッケルクロム」の取り付けられている「Ｅグラス二重編組」に設置することを選択することも，当業者が適宜なし得たことである。それにより，「前記間隙，前記内層部及び前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」との事項は自ずと充足されることになる。
したがって，引用発明２において相違点２−４に係る構成とすることは，当業者が容易になし得たことである。
（１．２．５）小括
以上のとおり，本件発明８は，引用発明２に文献６〜１０に記載の周知技術及び文献５，１２，１３，１７に記載の技術的事項を適用することにより，当業者が容易に発明をすることができたものである。

（２）引用発明３からの容易想到性について
（２．１）一致点及び相違点
本件発明８と引用発明３を比較する。
ア 引用発明３の「パイプＰ」は，本件発明８の「管」に対応し，引用発明３の「脱着カバー１」は，「直線状のパイプＰや屈曲部を有するパイプＰの表面を覆う」ものであり，発熱体を含むことから，本件発明８と引用発明３とは，「管の表面を覆い，加熱する加熱部」である点で共通する。
イ 引用発明３における「ヒーターケーブル９」は，本件発明８の「発熱体」に相当し，以下同様に，「断熱材」は「断熱部」に，「袋体８」は「包囲体」に，「外装クロス３とベルクロ５」は「留め部」に，それぞれ相当する。
ウ 引用発明３の「袋体８」は「内生地２」を成形したものであるところ，当該「内生地２」のうち，外側（リード線を引き出す側）にあるものが，本件発明８の「外層部」に相当し，内側（リード線を引き出す側と反対側）にあるものが，本件発明８の「内層部」に相当する。
エ 引用発明３の「外装クロス３」及び「ベルクロ５」は，「内生地２の外側に設けられ，内生地２の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と他端側を留める」ものであるから，本件発明８と引用発明３は，ともに「前記包囲体の外側に設けられ，前記包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，を備える」点で一致する。
オ 引用発明３の「ヒーターケーブル９」は「アルミ箔１０」に装着されており，「袋体８」内に装着されるものであるから，当該「ヒーターケーブル９」及び「アルミ箔１０」は，本件発明８における「発熱部」に対応する。すなわち，本件発明８と引用発明３は，「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，を備え」る点で共通する。

そうすると，本件発明８と引用発明３の一致点及び相違点は以下のとおりとなる。
＜一致点＞
「管の表面を覆い，加熱する加熱部であって，
発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と，を備える加熱部。」
＜相違点３−１＞
本件発明８は「蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面を覆い，加熱する加熱部」であるのに対し，引用発明３は，「蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面」を覆うことが特定されていない点。
＜相違点３−２＞
本件発明８は「前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部」を有するのに対し，引用発明３は，温度検知部について特定されていない点。
＜相違点３−３＞
本件発明８は「発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し」ているのに対し，引用発明３は，「ヒーターケーブル９」が取り付けられる断熱部材を有することが特定されていない点。
＜相違点３−４＞
本件発明８では「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図」るのに対し，引用発明３では，当該事項が特定されていない点。
＜相違点３−５＞
本件発明８では，「前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部及び前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」のに対し，引用発明３では，当該事項が特定されていない点。

（２．２）相違点に対する判断
（２．２．１）相違点３−１について
文献１４から，半導体装置とガス供給源を接続するジャバラ形状のフレキシブルチューブを加熱することは，一般的に行われていることであるといえる。そうすると，パイプの表面を覆って加熱する「脱着カバー１」の発明である引用発明３を，文献１４のようなジャバラ形状のフレキシブルチューブに適用するで，相違点３−１に係る構成とすることは，当業者が容易になし得たことである。
（２．２．２）相違点３−２について
文献２１には，「パイプの外周面を覆って加熱するジャケットヒーターであって，ジャケットヒーターの内部に設けられている温度センサ。」の技術的事項が記載されている。ここで，対象物の加熱を行う際，所定の温度で加熱するために温度測定を行うことは通常の技術課題であり，引用発明３の「脱着カバー１」もパイプを所定の温度で加熱するためのものであるから，引用発明３に文献２１の技術を適用し，「脱着カバー１」の内部に温度センサ（温度検知部）を設けることは，当業者が容易になし得たことである。その際，当該温度センサがパイプと対向する位置となることは自明である。
（２．２．３）相違点３−３について
本件発明８における「断熱部材」とは，熱をわずかでも遮断し得るあらゆる部材を含むものと解されるから，引用発明３の「アルミ箔１０」も，本件発明８の「断熱部材」に含まれるものといえる。すなわち，相違点３は実質的な相違点ではない。
（２．２．４）相違点３−４について
上記（２．２．１）で検討したとおり，引用発明３を「ジャバラ形状のフレキシブルチューブ」（フレキシブル管）に適用することは，当業者が容易になし得たことである。
ここで，文献１６の図１から見てとれるように，引用発明３の「脱着カバー１」は，パイプ表面と接するように覆うものである。一方，フレキシブル管は山折部と谷折部を有するから，引用発明３をフレキシブル管に適用した際には，「脱着カバー１」の内側の「内生地２」とフレキシブル管の谷折部とによって「間隙」が形成されることになる。そうすると，引用発明３において相違点３−１に係る構成とすること，すなわち引用発明３をフレキシブル管に適用することにより，引用発明３においても，自ずと「前記発熱体は，前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図」ることになるといえる。よって，引用発明３において相違点３−４に係る構成とすることは，当業者が容易になし得たことである。
（２．２．５）相違点３−５について
上記（２．２．２）で検討したとおり，引用発明３の「脱着カバー１」の内部に温度センサ（温度検知部）を設けることは当業者が容易になし得たことであるところ，その具体化において，「脱着カバー１」内部のどこに温度センサ（温度検知部）を設けるかは，当業者が適宜選択する設計事項であり，「ヒーターケーブル９」とともに「アルミ箔１０」に配置することも，適宜なし得たことであるといえる。そして，当該配置は，自ずと「前記間隙，前記内層部及び前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり，前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になる」との事項を充足する配置である。よって，引用発明３において相違点３−５に係る構成とすることは，当業者が適宜なし得たことである。
（２．２．６）小括
したがって，本件発明８は，引用発明３に，文献１４及び文献２１に記載された技術的事項を適用することにより，当業者が容易になし得たものである。

１．２ 本件発明１０〜１４について
（１）引用発明２からの容易想到性について
（１．１）本件発明１０
本件発明１０と引用発明２を比較すると，引用発明２は，上記１．１の（１）（１．１）で述べた相違点２−１〜２−４に加え，「前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記発熱体は，前記フレキシブル管を基軸として前記フレキブル管の蛇腹部の山折部と谷折部とに一部が平行となるように形成されている」ことが特定されていない点で，本件発明１０と相違する。
しかしながら，文献１４の第１図には，フレキシブル管１のジャバラ形状の山折部と谷折部に沿ってシースヒータ３を配置することが記載され，文献１７の段落００２１及び図８には，発熱線３０２が，曲管の長手方向に一部が平行となるように配置された構成が記載され，いずれも公知であるから，引用発明２において文献１４，１７の構成を採用し，「前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記発熱体は，前記フレキシブル管を基軸として前記フレキブル管の蛇腹部の山折部と谷折部とに一部が平行となるように形成されている」構成とすることは，当業者が容易になし得たことである。
また，相違点２−１〜２−４の構成とすることは，上記１．１の（１）（１．２）に示したとおり，文献６〜１０に記載の周知技術及び文献５，１２，１３，１７に記載の技術的事項から，当業者が容易になし得たことである。
（１．２）本件発明１１〜１３
本件発明１１〜１３と引用発明２を比較すると，引用発明２は，上記相違点２−１〜２−４に加え，訂正特許請求の範囲の請求項１１〜１３に特定される事項について特定されていない点で，本件発明１１〜１３とそれぞれ相違する。
しかしながら，上記第５の１０．（２）において文献１８〜２０に記載の周知技術４として示したとおり，管を覆う断熱材を複数の断熱層で構成し，断熱層それぞれは，管内の流れ方向に対して垂直方向に切り込まれたスリットにより分割し，隣接する異なる断熱層のスリットの位置がずれた配置とすることは，当業者の周知技術であるから，引用発明２において，「保温層」を複数の断熱層で構成し，断熱層それぞれは管内の流れ方向に対して垂直方向に切り込まれたスリットにより分割し（本件発明１１，１２），隣接する異なる断熱層のスリットの位置がずれた配置とする（本件発明１３）ことは，周知技術４に照らし当業者が適宜なし得たことである。また，相違点２−１〜２−４は，上記１．１の（１）（１．２）に示したとおり，文献６〜１０に記載の周知技術及び文献５，１２，１３，１７から，当業者が容易になし得たことである。
（１．３）本件発明１４
本件発明１４と引用発明２を比較すると，引用発明２は，上記相違点２−１〜２−４に加え，「前記包囲体には，前記フレキシブル管内のガス流れ方向に対して垂直方向に延在する折り目が設けられている」ことが特定されていない点で本件発明１４と相違する。
しかしながら，「フレキシブル管」の曲がりに追従できるように「表面層」に折り目を設けることは，当業者の通常の創作能力の発揮により適宜なし得た程度のことである。また，相違点２−１〜２−４は，上記１．１の（１）（１．２）に示したとおり，文献６〜１０に記載の周知技術及び文献５，１２，１３，１７から，当業者が容易になし得たことである。

（２）引用発明３からの容易想到性について
（２．１）本件発明１０
本件発明１０と引用発明３を比較すると，引用発明３は，上記１．１（２）（２．１）で述べた相違点３−１〜３−５に加え，「前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記発熱体は，前記フレキシブル管を基軸として前記フレキブル管の蛇腹部の山折部と谷折部とに一部が平行となるように形成されている」ことが特定されていない点で，本件発明１０と相違する。
しかしながら，文献１４の第１図には，フレキシブル管１のジャバラ形状の山折部と谷折部に沿ってシースヒータ３を配置することが記載され公知であるから，引用発明３において文献１４の構成を採用し，「前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記発熱体は，前記フレキシブル管を基軸として前記フレキブル管の蛇腹部の山折部と谷折部とに一部が平行となるように形成されている」構成とすることは，当業者が容易になし得たことである。また，相違点３−１〜３−５の構成とすることは，上記１．１の（２）（２．２）に示したとおり，文献１４及び文献２１に記載された技術的事項から，当業者が容易になし得たことである。

（２．２）本件発明１１〜１３
本件発明１１〜１３と引用発明３を比較すると，引用発明３は，上記相違点３−１〜３−５に加え，訂正特許請求の範囲の請求項１１〜１３に特定される事項について特定されていない点で，本件発明１１〜１３とそれぞれ相違する。
しかしながら，上記第５の１０．（２）において文献１８〜２０に記載の周知技術４として示したとおり，管を覆う断熱材を複数の断熱層で構成し，断熱層それぞれは，管内の流れ方向に対して垂直方向に切り込まれたスリットにより分割し，隣接する異なる断熱層のスリットの位置がずれた配置とすることは，当業者の周知技術であるから，引用発明３において，「保温層」を複数の断熱層で構成し，断熱層それぞれは管内の流れ方向に対して垂直方向に切り込まれたスリットにより分割し（本件発明１１，１２），隣接する異なる断熱層のスリットの位置がずれた配置とする（本件発明１３）ことは，周知技術４に照らし当業者が適宜なし得たことである。また，相違点３−１〜３−５の構成とすることは，上記１．１の（２）（２．２）に示したとおり，文献１４及び文献２１に記載された技術的事項から，当業者が容易になし得たことである。

１．３ 本件発明１５について
（１）引用発明２からの容易想到性について
本件発明１５と引用発明２を比較すると，引用発明２は，上記相違点２−１〜２−４に加え，「基板を処理する処理室と，前記処理室内に原料ガスを供給するガス管を有するガス供給系と」を備えた「基板処理装置」であることが特定されていない点で本件発明１５と相違する。
しかしながら，基板処理装置が処理室やガス供給系を備える構成は上記文献１１などに見られる一般的な装置構成であり，半導体製造装置においてフレキシブルチューブを用いることは，文献１４〜１５に記載の周知技術３のとおり，当業者に周知の技術であるから，引用発明２において上記相違点に係る構成とすることは，文献１１及び文献１４〜１５に記載の周知技術３から当業者が容易になし得たことである。また，上記相違点２−１〜２−４は，上記１．１の（１）（１．２）に示したとおり，文献６〜１０に記載の周知技術及び文献５，１２，１３，１７から，当業者が容易になし得たことである。

（２）引用発明３からの容易想到性について
本件発明１５と引用発明３を比較すると，引用発明３は，上記相違点３−１〜３−５に加え，「基板を処理する処理室と，前記処理室内に原料ガスを供給するガス管を有するガス供給系と」を備えた「基板処理装置」であることが特定されていない点で本件発明１５と相違する。
しかしながら，文献１４には，ガスをフレキシブルチューブ３１から反応管３２へ導入し，反応管３２中に置かれた半導体基板上に反応生成物を析出する半導体製造装置が記載され，当該装置において，フレキシブルチューブを昇温ヒータで加熱することが記載されている。すなわち，「基板を処理する処理室と，前記処理室内に原料ガスを供給するガス管を有するガス供給系と」を備えた「基板処理装置」，及び，当該装置において「ガス管」を加熱することは，いずれも文献１４に記載された公知の構成である。そうすると，引用発明３において上記相違点に係る構成とすることは，文献１４に記載された技術的事項から当業者が容易になし得たことである。また，相違点３−１〜３−５の構成とすることは，上記１．１の（２）（２．２）に示したとおり，文献１４及び文献２１に記載された技術的事項から，当業者が容易になし得たことである。

１．４ 本件発明１６について
（１）引用発明２からの容易想到性について
本件発明１６と引用発明２を比較すると，引用発明２は，上記相違点２−１〜２−４に加え，「加熱部により前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら，前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程を有する半導体装置の製造方法」であることが特定されていない点で，本件発明１６と相違する。
しかしながら，「加熱部により前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら，前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程を有する半導体装置の製造方法」は，例えば文献１１の段落００１１に記載された製造方法であり，また，文献１４〜１５に記載の周知技術３に示すとおり，「フレキシブル管」は半導体製造装置のガス管として周知であるから，引用発明２において上記相違点に係る構成とすることは，文献１１及び文献１４〜１５に記載の周知技術３から当業者が容易になし得たことである。さらに，相違点２−１〜２−４は，上記１．の（１）（１．２）に示したとおり，文献６〜１０に記載の周知技術及び文献５，１２，１３，１７から，当業者が容易になし得たことである。

（２）引用発明３からの容易想到性について
本件発明１６と引用発明３を比較すると，引用発明３は，上記相違点３−１〜３−５に加え，「加熱部により前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら，前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程を有する半導体装置の製造方法」であることが特定されていない点で，本件発明１６と相違する。
しかしながら，文献１４には，ガスの導入部のフレキシブルチューブ３１を加熱して反応管３２内にガスを導入して，半導体基板上に反応生成物を析出する半導体装置の製造方法が記載されている。また，加熱において温度検知部で温度検知を行うことは，当業者が普通に行うことである。そうすると，引用発明３において上記相違点に係る構成とすることは，文献１４に記載された技術的事項から当業者が容易になし得たことである。また，相違点３−１〜３−５の構成とすることは，上記１．１の（２）（２．２）に示したとおり，文献１４及び文献２１に記載された技術的事項から，当業者が容易になし得たことである。

１．５ 小括
以上のとおり，本件発明８，１０〜１６は，引用発明２及び文献５〜１５，１７〜２０に記載された技術的事項に基づき，又は，引用発明３及び文献１４，２１に記載された技術的事項に基づき，当業者が容易に発明することができたものであるから，特許法29条2項の規定により特許を受けることができない発明である。


２．取消理由通知書（決定の予告）において採用しなかった特許異議申立理由について
２．１ 異議申立理由の概要
（１）申立人１による特許異議の申立てについて
申立人１による，令和２年６月３日付け特許異議申立書に記載した特許異議の申立ての理由の概要は，本件特許の請求項１〜１６に係る特許は，下記の申立理由のとおり，特許法113条2号又は４号に該当する，というものである。

・申立理由１−Ａ（進歩性）
本件訂正前の請求項１〜７に係る発明は，甲第１号証（文献１）に記載された発明並びに甲第２号証〜甲第５号（文献２〜５）証及び甲第６号証〜甲第１０号証（文献６〜１０）に記載の周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法29条2項の規定により特許を受けることができないものであるから，同法113条2号に該当する。

・申立理由１−Ｂ（進歩性）
本件訂正前の請求項８〜１６に係る発明は，甲第１号証（文献１）に記載された発明並びに甲第２号証〜甲第５号証（文献２〜５），甲第１３号証〜甲第１４号証（文献１４〜１５）及び甲第５，１５，１６号証（文献５，１２，１３）に記載の周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法29条2項の規定により特許を受けることができないものであるから，同法113条2項に該当する。

・申立理由１−Ｃ（明確性）
本件訂正前の請求項１〜１６に係る発明は，特許請求の範囲の記載が特許法36条6項2号の規定に適合するものではないから，本件特許の請求項１〜１６に係る特許は，同法113条4号に該当する。

（２）申立人２による特許異議の申立てについて
申立人２による，令和２年６月４日付け特許異議申立書に記載した特許異議の申立ての理由の概要は，本件特許の請求項１，２，６〜１３，１５，１６に係る特許は，下記の申立理由のとおり，特許法113条2号又は４号に該当する，というものである。

・申立理由２−Ａ（進歩性）
本件訂正前の請求項１，２，６，７に係る発明は，甲第１号証（文献１６）に記載された発明及び甲第２号証（文献６）又は甲第３号証（文献９）に記載された技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法29条2項の規定により特許を受けることができないものであるから，同法113条2号に該当する。

・申立理由２−Ｂ（進歩性）
本件訂正前の請求項８〜１３，１５，１６に係る発明は，甲第１号証（文献１）に記載された発明並びに甲第４号証（文献１４），甲第５号証（文献２１）及び甲第６号証（文献１９）に記載された技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法29条2項の規定により特許を受けることができないものであるから，同法113条2項に該当する。

・申立理由２−Ｃ（サポート要件）
本件訂正前の請求項１，２，６〜１３，１５，１６に係る発明は，特許請求の範囲の記載が特許法36条6項1号の規定に適合するものではないから，本件特許の請求項１，２，６〜１３，１５，１６に係る特許は，同法113条4号に該当する。

・申立理由２−Ｄ（明確性）
本件訂正前の請求項１，２，６，７に係る発明は，特許請求の範囲の記載が特許法36条6項2号の規定に適合するものではないから，本件特許の請求項１，２，６，７に係る特許は，同法113条4号に該当する。

２．２ 証拠方法
上記特許異議申立書とともに提出された証拠方法は，以下のとおりである。

（１）申立人１により提出された証拠方法
・甲第１号証（文献１）：「ＰＲＯＤＵＣＴＳ ＧＵＩＤＥ 総合カタログ」，第３版，株式会社豊中ホット研究所，２０１４年 １月
・甲第２号証（文献２）：「マントルヒータ」，ＩＮＴＥＲＮＥＴ ＡＲＣＨＩＶＥ ＷＡＹＢＡＣＫ ＭＡＣＨＩＮＥ，［ｏｎｌｉｎｅ］，２０１５年８月９日，ワッティー株式会社のホームページ，インターネット＜ＵＲＬ：https://web.archive.org/web/２０１５０８０９０４４４２１ /http://www.watty.co.jp/heater/mantle.html＞
・甲第３号証（文献３）：「マントルヒーター／ジャケットヒーター」，ＩＮＴＥＲＮＥＴ ＡＲＣＨＩＶＥ ＷＡＹＢＡＣＫ ＭＡＣＨＩＮＥ，［ｏｎｌｉｎｅ］，２０１５年１０月２日，株式会社東京技術研究所のホームページ，インターネット＜ＵＲＬ：https://web.archive.org/web/２０１５１００２２３４０５４/http://tt-labo.co.jp/seihin０１/seihin０１_０１.html＞
甲第４号証（文献４）：「製品情報 応用製品 ジャケットヒーター」，ＩＮＴＥＲＮＥＴ ＡＲＣＨＩＶＥ ＷＡＹＢＡＣＫ ＭＡＣＨＩＮＥ，［ｏｎｌｉｎｅ］，２０１４年５月２８日，有明マテリアル株式会社のホームページ，インターネット＜ＵＲＬ：https://web.archive.org/web/２０１４０５２８１０４６０３/http://www.ariake-materials.co.jp/j/products/jacket.html＞
甲第５号証（文献５）：「クリーンルーム用マントルヒーター」，ＩＮＴＥＲＮＥＴ ＡＲＣＨＩＶＥ ＷＡＹＢＡＣＫ ＭＡＣＨＩＮＥ，［ｏｎｌｉｎｅ］，２０１５年７月２日，株式会社東京技術研究所のホームページ，インターネット＜ＵＲＬ：https://web.archive.org/web/２０１５０７０２１３１８２８/http://tt-labo.co.jp/seihin０１/seihin０１_０３.html＞
甲第６号証（文献６）：特表２０１３−５００４５１号公報
甲第７号証（文献７）：特開平１−１４５５３７号公報
甲第８号証（文献８）：特開２０１２−８８１７１号公報
甲第９号証（文献９）：特開２０１４−８５１８５号公報
甲第１０号証（文献１０）：「初心者のための測定技術入門」−温度を測るテクニック（熱電対を正しく使う）−，熱物性，１９９４年１０月，第８巻，第４号，ｐｐ．２７６〜２８０
甲第１１号証：特開平９−８９１９０号公報
甲第１２号証（文献１１）：特開平９−２３２２９５号公報
甲第１３号証（文献１４）：実願昭６０−９２号（実開昭６１−１１６２８２号）のマイクロフィルム
甲第１４号証（文献１５）：「真空機器に使用するベローズ」，真空，１９８３年１０月，第２６巻，第１０号，ｐｐ．７５７〜７６９
甲第１５号証（文献１２）：特開２０１０−２７６１８４号公報
甲第１６号証（文献１３）：特開平９−２２９２８５号公報
甲第１７号証（文献１７）：特開２００２−２９５７８３号公報
甲第１８号証（文献１８）：特開平７−３０５７９６号公報
甲第１９号証（文献１９）：特開２００３−２９４１９２号公報
甲第２０号証（文献２０）：特開平１０−１４１５８７号公報

（２）申立人２により提出された証拠方法
甲第１号証（文献１６）：特開２００２−３５２９４１号公報
甲第２号証（文献６）：特表２０１３−５００４５１号公報
甲第３号証（文献９）：特開２０１４−８５１８５号公報
甲第４号証（文献１４）：実願昭６０−９２号（実開昭６１−１１６２８２号）のマイクロフィルム
甲第５号証（文献２１）：特開２００９−２３０４５４号公報
甲第６号証（文献１９）：特開２００３−２９４１９２号公報

（なお，上記において「文献１」等の表記は，令和２年１１月２７日付け取消理由通知書の表記による。）


２．３ 甲号証の記載
ア 申立人１により提出された甲第１号証〜甲第２０号証（以下「甲１−１〜甲１−２０」という。），及び，申立人２により提出された甲第１号証〜甲第６号証（以下「甲２−１〜甲２−６」という。）のうち，取消理由通知書（決定の予告）において文献１，５〜２１として引用された文献に記載された事項は，上記第５において摘記したとおりである。

イ 申立人１により提出された甲第２号証（文献２）の記載は，以下のとおりである。
甲第２号証（文献２）の１／２ページには，下記のとおり，「ヒータ一覧」として「マントルヒータ」が示されている。
「マントルヒータ｜ヒータ一覧｜ワッティー株式会社」
「

配管部品，容器の均一加熱を実現
クリーンルーム対応
断熱材の施工が不要
被加熱部の温度測定・制御も確実に」
ウ 申立人１により提出された甲第３号証（文献３）の記載は，以下のとおりである。
甲第３号証（文献３）の１／２ページには，下記のとおり，「マントルヒーター」として「ジャケットヒーター」が示されている。
「ジャケットヒーター｜マントルヒーター｜東京技術研究所」
「


マントルヒーター／ジャケットヒーター
様々な形状の装置の加熱保温ができるジャケットタイプのヒーターです。」
「ジャケットヒーターの特長
様々なタイプのタンク・容器・配管・ボンベ・ガラス器具・特殊装置等，お客様がお使いのものの形状に合わせて製作致します。
写真は配管用のヒーターです。
他にも，食品の加熱，車の塗装ライン，樹脂の射出成形機等，業種を問わず様々な工場・施設に導入しております。
発熱体と断熱材が一体になっていますので，ヒーターと断熱材が分かれている従来のヒーターと比較すると取り扱いがとても簡単で，ヒーターの脱着も早く，機器のメンテナンスも楽になり，作業性が上がります。」

エ 申立人１により提出された甲第４号証（文献４）の記載は，以下のとおりである。
甲第４号証（文献４）の１／２ページには，下記のとおり，「製品情報」として「ジャケットヒーター」が示されている。
「ジャケットヒーター｜製品情報｜有明マテリアル株式会社」
「製品情報
応用製品
ジャケットヒーター
・・・
当社製ジャケットヒーターはご要望に応じ，設計・作製を行います。複雑形状や細配管にも対応可能です。
ジャケットヒーターとは；
工業用ヒーターであり，配管過熱用（〜８００℃程度）です。脱着＝取り外し 取り付け が容易なように，ジャケットのような構造を有しています。マジックテープ留め，ベルト留め，ホック留め，ボタン留め など各種選択可能です。」
「

」

オ 申立人１により提出された甲第１１号証の記載は，以下のとおりである。
「【０００２】
【従来の技術】工場等の建築物内外において，冷却水，温水等の流体の配管に保温材を巻いて保温及び断熱処理が行われる場合がある。この場合，配管を覆った保温材を保護するため，保温材を配管に保持するための補助材や，外部からの輻射熱の遮断及び装飾のための外装材等の被覆材を用いて上記保温材を被覆することが必要である。外装材や補助材の種類は配管のある位置等で規定されているが，例として次のようなものがあげられる。外装材としては，綿布，アルミガラスクロス，アスファルトテープ，カラー亜鉛鉄板，アルミニウム板，ステンレス鋼板等があげられ，また，補助材としては，鉄線，原紙，粘着テープ，ポリエチレンフィルム，防水麻布等があげられる。」
「【００３１】図４（ａ）に示すように，両端部２４，２４’のなす角度が直角である保温材の屈曲部２１の外湾側の屈曲部分の外湾曲部の中央部２２に，被覆シート１の本体片２の離形紙を剥がしてその中央部をあわせて貼着する。次いで，両端部の被覆片３ａの離形紙をそれぞれ剥がし，本体片２の端辺５から連続する直線で形成される被覆片３ａの一側辺を保温材の側面と端面２４，２４’との境界の端部に沿って貼着する。そして，中央の被覆片３ｂの離形紙を剥がし，貼る位置が既に貼着された上記被覆片３ａの間のほぼ中央になるように貼着する。このとき，既に貼着された被覆片の間に，３本の未貼着の被覆片３ｃ，３ｄ及び３ｅが残っている。このうち中央に位置する被覆片３ｃを既に貼着された上記被覆片３ａと３ｂの間のほぼ中央になるように貼着する。そして，残った各被覆片３ｄ及び３ｅを順に貼着することにより，被覆シート１を全部貼着する。被覆シート１の被覆片３の全部を貼着した様子は，図４（ｂ）に示しており，各被覆片３が一部重なりながら，隙間なく貼着されている。このように，始めに両端の被覆片を貼着した後，貼着された被覆片間の中央に相当する被覆片を順に貼着することにより，特に技能を用いる必要なく，容易に，密着させて貼着することができる。」

２．４ 申立理由についての判断
上記申立理由のうち，申立理由１−Ｂ及び申立理由２−Ｂは，取消理由通知書（決定の予告）に記載した取消理由１〜２と同様の理由であるから，申立理由１−Ｂについての当審の判断は，上記１．において引用発明２からの容易想到性として示したとおりであり，申立理由２−Ｂについての当審の判断は，上記１．において引用発明３からの容易想到性として示したとおりである。
そして，他の申立理由についての当審の判断は以下のとおりである。

（１）申立理由１−Ａ（進歩性）について
（１．１）本件発明１について
（１．１．１）引用発明１の認定
上記第５の１．（２）示した文献１（甲１−１）の２６頁の図から，直線状に形成された複数の直管部と直管部間を連接する屈曲された屈曲部を有する配管を覆うカバーヒーターが見てとれる。また，包囲体に含まれる表面層の一端側と他端側とが隣接した状態で一端側と他端側とを留める表面層の外側にある留め部を備えること，直管部と屈曲部とを覆う留め部は，カバーを有することが見てとれる。
そうすると，文献１（甲１−１）には，次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「直線状に形成された複数の直管部と直管部間を連接する屈曲された屈曲部を有する配管を有する半導体製造装置の排気系配管の表面を覆い，加熱・保温するカバーヒーターであって，
ニッケルクロム及びＥグラス二重編組で構成された発熱層と，
発熱層の外側に配置される保温層と，
保温層及び発熱層を包囲する，表面層及び内面層と，
表面層の一端側と他端側とが隣接した状態で表面層の長手方向の一端側と他端側とを留める表面層の外側にある留め部と，
温度センサーと，を備え，
直管部と屈曲部とを覆う留め部はカバーを有する，カバーヒーター。」

（１．１．２）一致点及び相違点
本件発明１と引用発明１を対比する。
ア 引用発明１における「直線状に形成された複数の直管部と直管部間を連接する屈曲された屈曲部を有する配管を有する半導体製造装置の排気系配管の表面を覆い，加熱・保温するカバーヒーター」が，本件発明１における「線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部とを有するガス管の表面を覆い，加熱する加熱部」に相当する。
イ 引用発明１における「保温層」が本件発明１における「断熱部」に相当し，以下同様に，「発熱層」が「発熱体」に，「表面層」が「外層部」に，「内面層」が「内層部」に，「温度センサー」が「温度検知部」に，「カバー」が「カバー」に，それぞれ相当する。
ウ 引用発明１における「表面層」及び「内面層」が，本件発明１における「包囲体」に相当する。
エ 引用発明１における「表面層の一端側と他端側とが隣接した状態で表面層の長手方向の一端側と他端側とを留める表面層の外側にある留め部」が，本件発明１における「前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部」に相当する。

そうすると，本件発明１と引用発明１の一致点及び相違点は，以下のとおりとなる。
＜一致点＞
「直線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部とを有するガス管の表面を覆い，加熱する加熱部であって，
発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
温度検知部と，を備え，
前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は，カバーを有する，
加熱部。」
＜相違点１ａ＞
本件発明１では，「温度検知部」が「前記ガス管と対向する位置に配置された」ものであるのに対し，引用発明１では，「温度センサー」が「排気系配管」と「対向する位置に配置された」とは特定されていない点。
＜相違点１ｂ＞
本件発明１では，「留め部」が有する「カバー」が「前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆う」のに対し，引用発明１では，「カバー」についてそのような特定はされていない点。
＜相違点１ｃ＞
本件発明１では，「前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材が設けられ」，「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている」のに対して，引用発明１では，当該「前記内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材が設けられ」ることについて特定されていない点。

（１．１．３）相違点についての判断
事案に鑑み，はじめに相違点１ｃについて検討する。
配管と内層部との間に，内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材を設け，温度センサーを当該部材と配管との隙間に配置する構成は，文献２〜１０（甲１−１〜甲１−１０）のいずれにも記載されていない構成であり，また，当業者に周知の構成であるともいえない。
したがって，他の相違点について検討するまでもなく，本件発明１は引用発明１及び文献２〜１０に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。

（１．１．４）申立人１の主張について
令和３年５月１１日付け意見書において申立人１は，「引用発明１のカバーヒーターにおいて，ガス管を均一に加熱することは技術常識であることから，内面層の材料として，適宜複数種類の材料を積層して組み合わせ，最内面に熱の蓄積度の大きい材料で形成された部材（例えば，アルミナクロス）を設けることは，当業者が適宜なし得る設計事項である。」から，本件発明１は当業者が容易に発明をすることができたものである旨を主張している。
しかしながら，カバーヒーターにおいて，ガス管を均一に加熱すること」との技術課題を解決する手段は様々に考えられるところ，特に「内面層の材料として，適宜複数種類の材料を積層して組み合わせ，最内面に熱の蓄積度の大きい材料で形成された部材（例えば，アルミナクロス）を設けること」が周知の解決手段であることが，具体的証拠により示されていないから，申立人１の上記主張は採用できない。

（１．２）本件発明２〜７について
本件発明２〜７は，いずれも上記相違点１ｃに係る構成を含む発明であるから，本件発明１と同様の理由により，引用発明１及び文献２〜１０に記載された周知技術から当業者が容易に発明することができたものではない。

（１．３）まとめ
したがって，申立理由１−Ａによって本件発明１〜７に係る特許を取り消すことはできない。

（２）申立理由２−Ａ（進歩性）について
（２．１）本件発明１について
（２．１．１）本件発明１と引用発明３の対比
本件発明１と引用発明３を対比する。
ア 引用発明３の「パイプＰ」は，本件発明１の「管」に対応し，引用発明３の「脱着カバー１」は，「直線状のパイプＰや屈曲部を有するパイプＰの表面を覆う」ものであり，発熱体を含むことから，本件発明１と引用発明３とは，「管の表面を覆い，加熱する加熱部」である点で共通する。
イ 引用発明３における「ヒーターケーブル９」は，本件発明１の「発熱体」に相当し，以下同様に，「断熱材」は「断熱部」に，「袋体８」は「包囲体」に，「外装クロス３とベルクロ５」は「留め部」に，それぞれ相当する。
ウ 引用発明３の「袋体８」は「内生地２」を成形したものであるところ，当該「内生地２」のうち，外側（リード線を引き出す側）にあるものが，本件発明１の「外層部」に相当し，内側（リード線を引き出す側と反対側）にあるものが，本件発明８の「内層部」に相当する。
エ 引用発明３の「外装クロス３」及び「ベルクロ５」は，「内生地２の外側に設けられ，内生地２の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と他端側を留める」ものであるから，本件発明１と引用発明３は，ともに「前記包囲体の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，を備える」点で一致する。
オ 引用発明３の「外装クロス３」は「内生地２の一端側と他端側」を覆うものであるから，本件発明１の「カバー」に対応し，本件発明１と引用発明３は「前記留め部は，前記直管部それぞれの前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有する。」点で共通する。

そうすると，本件発明１と引用発明３の一致点及び相違点は以下のとおりとなる。
＜一致点＞
「管の表面を覆い，加熱する加熱部であって，
発熱体の外側に配置される断熱部と，
前記断熱部および前記発熱体を包囲する，外層部と内層部を含む包囲体と，
前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と，
前記留め部は，前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有している，
加熱部。」
＜相違点３ａ＞
本件発明１は「蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面を覆い，加熱する加熱部」であるのに対し，引用発明３は，「蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面」を覆うことが特定されていない点。
＜相違点３ｂ＞
本件発明１は「前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部」を有するのに対し，引用発明３は，温度検知部について特定されていない点。
＜相違点３ｃ＞
本件発明１は「留め部」が「前記直管部と前記屈曲部とを覆う」ものであるのに対し，引用発明３では，「外装クロス３とベルクロ５」についてそのような特定はなされていない点。
＜相違点３ｄ＞
本件発明１は，「前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材が設けられ」「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている」のに対し，引用発明３では，当該「部材」を設けることが特定されていない点。

（２．１．２）相違点についての判断
事案に鑑み，はじめに相違点３ｄについて検討する。
文献６（甲２−２）及び文献９（甲２−３）には「前記ガス管と前記内層部との間に，前記内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材が設けられ」「前記温度検知部が，前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている」構成は記載も示唆もされておらず，また，当該構成が周知の技術であるともいえない。
したがって，本件発明１は，引用発明３並びに文献６及び文献９に記載された技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（２．２）本件発明２，６，７について
本件発明２，６，７は，いずれも上記相違点３ｄの構成を含む発明であるから，本件発明１と同様の理由により，引用発明３並びに文献６及び文献９に記載された技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（２．３）まとめ
したがって，申立理由２−Ａによって本件発明１，２，６，７に係る特許を取り消すことはできない。

（３）申立理由１−Ｃ（明確性）について
ア 申立理由１−Ｃは，訂正前の請求項１は次の（ア）〜（イ）の点で不明確であり，訂正前の請求項２〜１６も同様の理由により不明確であり，訂正前の請求項１６は次の（ウ）の点で不明確であるというものである。
（ア）訂正前の請求項１には「前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は，前記直管部のそれぞれの前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有する」と記載されているものの，当該記載より前に「前記直管部それぞれ」の「一端側及び他端側」の記載がなく，不明確である。
（イ）訂正前の請求項１において，「直管部」や「包囲体」における「一端側」や「他端側」の方向の基準・定義が一義的に特定できず，不明確である。
（ウ）訂正前の請求項１６には「前記フレキシブル管と非接触となるように配置されている加熱部により前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら，前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程」と記載されているところ，本件特許明細書の段落００１２によれば「加熱部」はジャケットヒータ等の「ガス配管用ヒータ２２」であり，「フレキシブル管」を覆うように装着されるものであるから，上記における「前記フレキシブル管と非接触となるように配置」との記載は不明確である。

イ これに対し，訂正後の請求項１には，「外層部と内層部を含む包囲体と」「前記外層部の外側に設けられ，前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と他端側とを留める留め部」「前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は，前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し」（下線部は訂正箇所を示す。）と記載されており，当該記載によれば，「前記」の指示内容や「一端側」及び「他端側」の具体的意味は明確であるといえる。
また，訂正後の請求項１６には，「前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され，前記間隙，前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている」（下線は訂正箇所を示す。）と記載されており，当該記載によれば，「温度検知部」と「フレキシブル管」が非接触に配置されることが明確に特定されているといえる。
以上のとおり，訂正後の請求項１〜１６においては，上記（ア）〜（ウ）の記載不備は解消されているものと認められる。

ウ 申立人１は，令和３年５月１１日提出の意見書において，本件特許明細書の段落００４０の記載によれば，ガス配管１０の延在方向が長手方向であるとすると，ガス配管に装着する際には，包囲体の「短手方向の」一端側と他端側が隣接した状態とするものであり，訂正後の請求項１〜８，１０〜１６は依然として不明確である旨主張している。しかしながら，本件特許明細書の段落００４０，００６２及び図１１から，訂正後の請求項１における「長手方向の一端側と他端側」が，長方形において２組ある一端側と他端側のうち，長手方向（長手に沿った辺）を含む一端側と他端側を指すことは明らかである。
また，申立人１は上記意見書において，訂正後の請求項１，６，７における「内層部よりも熱の蓄積度が大きい部材」との記載では，当該部材の形状等（厚みや密度，クロス材であれば繊維の太さや目付など）が何ら特定されておらず，同様に内層部の形状等（厚みや密度など）が何ら特定されていないから，部材を特定できず不明確であると主張している。しかしながら，「内層部の熱の蓄積度」は当業者にとって一義的に把握できる特性値であり，当該特性値を基準に，それよりも「熱の蓄積度の大きい部材」を選択することは，当業者が何の困難もなく理解し実施できることであるから，訂正後の請求項１，６，７の記載は明確である。
したがって，申立人１の上記意見書における主張は採用できない。

エ 以上のとおり，訂正後の特許請求の範囲の請求項１〜８，１０〜１６の記載は明確であるから，申立理由１−Ｃ（明確性）によっては，本件発明１〜８，１０〜１６に係る特許を取り消すことはできない。

（４）申立理由２―Ｃ（サポート要件）について
ア 本件特許明細書段落０００５によれば，本件発明１の課題は，「ヒータにより加熱されるガス管の温度ムラを低減する構成を提供すること」であるといえる。また，本件発明１に特定される各構成は，本件特許明細書の以下に摘記する箇所に記載されている。（下線は当審による。）

「【００３３】
図４(ｂ)及び図４(ｃ) に示すように，ＳＵＳ等の金属部材で構成されるガス配管１０の表面を覆うように取り付けられた状態で，ガス配管１０を加熱する加熱部３１０は，包囲体としてのガス配管１０側の内層部５１０及び大気側の外層部５００に囲まれている。この包囲体は，加熱源である例えばヒータ素線等の発熱体５３０と，該発熱体５３０の外側に配置される断熱部５２０と，を少なくとも包囲するように構成されている。また，加熱部３１０は，包囲体（外層部５００）の外側に設けられ，包囲体（外層部５００）の一端側と他端側とが隣接した状態で一端側と他端側を留める留め部７００と，包囲体（内層部５１０）よりもガス配管１０側であって，ガス配管１０の表面と対向する位置に配置され，ガス配管１０側を主面として板状に形成された温度検知部５５５とを備えるように構成されている。好適には，図４に示すように，例えばヒータ素線等の発熱体５３０と，発熱体５３０と外層部５００の間に配置される断熱部５２０と，発熱体５３０および断熱部５２０を包囲する包囲体（内層部５１０と外層部５００）とを有する。また，加熱部３１０は，発熱体５３０と，該発熱体５３０を支持するための支持部としての断熱部材５４０を含む発熱部と，発熱体５３０の外側に配置される断熱部５２０とを積層したものを備えている。更に，図４(ｃ)に示すように，発熱部と内層部５１０との間には，金属薄板４００が介在されており，また，内層部５１０とガス配管１０との間に絶縁部材６００を介在するように構成されている。発熱体５３０は糸のような繊維状のもので断熱部材５４０に縫い付けられる等により，断熱部材５４０に支持されるように構成されている。そして，図４(ｂ)には，加熱部３１０をガス配管１０の外周に装着する際，包囲体の一端側と他端側を隣接させ，一端側と他端側との間の僅かな隙間を留め部７００により覆う様子が示されている。尚，留め部７００に関しては後述する。
【００３４】
この断熱部材５４０の材質は，ガラスクロス材にて構成されている。また，包囲体の材質は，内層部５１０及び外層部５００の両方共にフッ素樹脂材，好適にはフッ素樹脂材の一つであるポリテトラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ)材で構成されると良い。絶縁部材６００は，好適には包囲体と材質が異なる断熱部材で構成されると良い。絶縁部材６００には，包囲体よりも熱の蓄熱度の大きい材質を用いると，ガス配管１０の加熱具合を均一にしやすくなるため，好適である。例えば，絶縁部材６００は，ガラスクロス材よりも蓄熱度の大きいアルミナクロス材で構成すると良い。また，金属薄板４００も金属である必要はなく，例えば，グラファイトであってもよい。断熱部５２０の部材は，発熱体５３０からの熱逃げを抑制するための断熱部材であればよく，例えば，ガラスファイバーやセラミックファイバー，シリカファイバー等を集成し，ニードル加工を施した無機繊維マットを使用できる。また，コロイダルシリカやアルミナゾル，ケイ酸ソーダ等の無機質バインダーや，でんぷんなどの有機質バインダーでマット状に成形してもよい。あるいは，アラミドやポリアミド，ポリイミド等の耐熱性の有機樹脂製多孔質成形体とすることもできる。
【００３５】
また，加熱部３１０は，絶縁部材６００とガス配管１０の隙間に，例えば板状に形成された集熱板等の温度検知部５５５を備えている。例えば，温度検知部５５５に熱電対５５０が接続されるように構成されると良い。好適には，ガス配管１０の温度が所定温度以上になると通電を遮断するための温度スイッチとしてのサーモスタット５６０を設けると良い。尚，図では，サーモスタット５６０が包囲体の外側に設けられているが，加熱部３１０の内側に設置されていてもよい。これらにより，加熱部３１０では，ガス配管１０を所定の温度を保つようにサーモスタット５６０や熱電対５５０等を含む温度検知部を用いて発熱体への通電を制御している。」

「【００４１】
以上，図４，図５に示されるように，加熱部３１０は，熱電対５５０に板状の温度検知部５５５が設けられ，この温度検知部５５５をガス配管１０と対向する位置に設けられる構成であるため，温度検知部５５５を用いない場合より，ガス配管１０の測定温度が安定するので，温度再現性及び温度均一性を確保することができ，ガス配管１０を均等に所定温度程度に加熱することができる。更に，温度検知部５５５の形状をガス配管１０の曲げ形状に合致させることにより，ガス配管１０の測定温度の安定性及び温度再現性がよりいっそう確保でき，ガス配管１０の温度制御の信頼性が向上する。」

「【００４３】
図６は，加熱部３１０でガス配管１０を覆ったときの概観図である。包囲体をガス配管１０に装着した際に，包囲体の一端側と他端側とが隣接した状態でガス配管１０の外周を覆うように一端側と他端側とを留める留め部７００が構成されている。」

「【００４７】
留め部７００は，カバー部７０１とカバー部７０１に設けられた接着部７０４と，包囲体の外層部５００に設けられた接着部７０３とで構成されている。例えば，接着部７０４および接着部７０３は，面ファスナーとして構成されており，接着部７０３と接着部７０４とを合せて押し付けると貼り付き，カバー部７０１の一部を掴み，外層部５００から引き離すように引っ張ると接着部７０３と接着部７０４とが剥がれるように，貼り付けたり剥がしたりすることが自在にできるように構成されている。カバー部７０１の材質は，ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂材で構成されている。好適にはカバー部７０１は，フッ素樹脂材７２０，７２１の複数枚（ここでは２枚）で構成し，接着部７０４をフッ素樹脂材の外層部５００側に縫い，取付け，外層部５００側と反対側となる加熱部３１０の外側には接着部７０４の縫い目が見えなくなるように構成されている。好適には，図７(ｂ)に断面図で示す通り，フッ素樹脂材７２０，７２１の中に例えばガラスクロス材等の補強材７２２を内包するように構成すると，カバー部７０１の強度が高まり，形状が安定し，接着しやすくなり，隣接した状態の一端側と他端側との間のわずかな間隙からの熱逃げを抑制しやすくなる等の効果を奏することができる。」

そして，本件発明１は「ガス管と対向する位置に配置された温度検知部」を備えるものであり，本件特許明細書段落００４１によれば，当該構成により，「温度検知部５５５を用いない場合より，ガス配管１０の測定温度が安定するので，温度再現性及び温度均一性を確保することができ，ガス配管１０を均等に所定温度程度に加熱することができる」ものである。そうすると，本件発明１は，少なくとも当該構成を備えることにより上記の課題を解決するものと認められる。また，本件発明２〜５，６，７，８，１０〜１６も，当該構成と同様な構成を備えており，それにより上記の課題を解決するものと認められる。
以上のとおり，本件発明１，２〜５，６，７，８，１０〜１６は発明の詳細な説明に記載された発明であるから，特許法36条6項1号の規定に適合するものである。

イ 申立理由２−Ｃの要旨は，（ア）訂正前の請求項１，２，６，７に係る発明は，屈曲部を覆う留め部に関してカバーを含まない実施形態を包含するが，そのような実施形態で「温度均一性を維持」との課題を解決できることは本件特許明細書には記載されていない，（イ）訂正前の請求項８〜１３，１５，１６に係る発明は「補助カバー」を含まない実施態様を包含するから，本件特許明細書に記載されていない発明である，（ウ）訂正前の請求項１，２，６〜１３，１５，１６に係る発明では，温度検知部が板状であることが特定されていない。一方，本件特許明細書には，任意の形状の温度検知部で課題解決できることは記載されていないから，訂正前の請求項１，２，６〜１３，１５，１６に係る発明は，本件特許明細書に記載されていない発明である，というものである。
しかしながら，上記アで検討したとおり，本件発明１は発明の詳細な説明に記載された発明であり，上記（ア）〜（ウ）の主張は上記アの検討を覆すものではない。
したがって，申立理由２−Ｃによっては本件発明１，２，６〜８，１０〜１３，１５，１６に係る特許を取り消すことはできない。

（５）申立理由２−Ｄ（明確性）について
ア 申立理由２−Ｄは，訂正前の請求項１，６，７の「直管部それぞれの前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有する」との記載は，「直管部それぞれ」が「一端側及び他端側」を有すると解釈できる記載であり，その意味が不明確であり，訂正前の請求項１を引用する訂正前の請求項２も，同様に不明確であるというものである。
これに対し，訂正後の請求項１には「前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し」と記載されており，上記の不明確な点は解消されている。訂正後の請求項２，６，７についても同様である。
したがって，申立理由２−Ｄによっては本件発明１，２，６，７に係る特許を取り消すことはできない。

イ 申立人２は，令和３年５月１２日提出の意見書において，訂正後の請求項１，６，７に記載の「前記屈曲部を覆う留め部」がいかなる構成であるのか不明確である旨主張しているが，当該構成は，本件特許明細書の図６，７から明らかであるから，上記の主張は採用できない。
さらに，申立人２は同意見書において，訂正後の請求項８，１５，１６の記載について，（ア）「前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され」との発明特定事項は，温度検知部が有する構成，及び，温度検知部が有するいずれの構成が「発熱体と同様に発熱部に設置される」のか不明確である，（イ）「前記温度検知部は，・・・前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるように配置されている」との発明特定事項の意味が不明確である，（ウ）「前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し，前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部」及び「前記温度検知部は，前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるように構成され」との発明特定事項について，「温度検知部」がどこに取り付けられるのかが一義的に特定できず不明確である，旨を主張している。
しかしながら，上記（ア）は「温度検知部」の全体が「発熱部」に設置されることを意味し，上記（イ）は「フレキシブル管」と「発熱体」の中間位置よりも発熱体側に配置することを意味し，上記（ウ）は「温度検知部」が「断熱部材」に取り付けられることを意味することは，本件特許明細書及び図面等の記載に照らし明らかであるから，上記の主張は採用できない。


第７ 結言
したがって，本件請求項８，１０〜１６に係る特許は，いずれも，特許法29条2項の規定に違反してされたものであるから，特許法113条2号に該当し，取り消されるべきものである。
また，本件請求項１〜７に係る特許は，申立人１又は申立人２による特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては，取り消すことはできない。さらに，他に本件請求項１〜７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
そして，本件請求項９は訂正により削除されたため，申立人１又は申立人２による同請求項に係る特許に対する特許異議の申立てについては，対象となる請求項が存在しないものとなったため，特許法120条の8第1項で準用する同法135条の規定により却下する。
よって，結論のとおり決定する。


 
別掲 （行政事件訴訟法第４６条に基づく教示） この決定に対する訴えは、この決定の謄本の送達があった日から３０日（附加期間がある場合は、その日数を附加します。）以内に、特許庁長官を被告として、提起することができます。
 
発明の名称 （５７）【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部とを有するガス管の表面を覆い、加熱する加熱部であって、
発熱体の外側に配置される断熱部と、
前記断熱部および前記発熱体を包囲する、外層部と内層部を含む包囲体と、
前記外層部の外側に設けられ、前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と、
前記ガス管と対向する位置に配置された温度検知部と、を備え、
前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は、前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し、
前記ガス管と前記内層部との間に、前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ、
前記温度検知部が、前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている
加熱部。
【請求項２】
前記温度検知部は、前記ガス管の表面に沿って前記ガス管側の主面が湾曲するよう構成されている請求項１記載の加熱部。
【請求項３】
前記屈曲部には、前記カバーに巻き込んで、前記屈曲部を覆う補助カバーが設けられる請求項１記載の加熱部。
【請求項４】
前記カバーには、その内部に該カバーの強度を高めるシートが設けられている請求項１記載の加熱部。
【請求項５】
前記補助カバーは、その内部に該補助カバーの強度を高めるシートを設けない構成である請求項３記載の加熱部。
【請求項６】
基板を処理する処理室と、前記処理室内に原料ガスを供給するガス管を有するガス供給系と、前記ガス管の表面を覆い、加熱する加熱部と、を備え、
前記ガス管は、直線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部を有し、
前記加熱部は、
前記ガス管を加熱する発熱体の外側に配置される断熱部と、
前記断熱部および前記発熱体を包囲する、外層部と内層部を含む包囲体と、
前記外層部の外側に設けられ、前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と、
前記ガス管と対向する位置に配置された温度検知部と、を備え、
前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は、前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し、
前記ガス管と前記内層部との間に、前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ、
前記温度検知部が、前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている
基板処理装置。
【請求項７】
発熱体の外側に配置される断熱部と、前記断熱部および前記発熱体を包囲する、外層部と内層部を含む包囲体と、前記外層部の外側に設けられ、前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と、直線状に形成された複数の直管部と該直管部間を連接する屈曲された屈曲部とを有するガス管と対向する位置に配置された温度検知部と、を備え、前記直管部と前記屈曲部とを覆う前記留め部は、前記直管部それぞれを覆う前記包囲体の前記一端側及び前記他端側を覆うカバーを有し、前記ガス管と前記内層部との間に、前記内層部よりも熱の蓄積度の大きい部材が設けられ、前記温度検知部が、前記部材と前記ガス管との隙間に配置されている、前記ガス管の表面を覆う加熱部により、前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら、前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程を有する半導体装置の製造方法。
【請求項８】
蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の表面を覆い、加熱する加熱部であって、
発熱体の外側に配置される断熱部と、
前記断熱部および前記発熱体を包囲する、外層部と内層部を含む包囲体と、
前記外層部の外側に設けられ、前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と、
前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部と、
前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し、前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と、を備え、
前記発熱体は、前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り、
前記温度検知部は、前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され、前記間隙、前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり、前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている加熱部。
【請求項９】
（削除）
【請求項１０】
前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記発熱体は、前記フレキシブル管を基軸として前記フレキシブル管の蛇腹部の山折部と谷折部とに一部が平行となるように形成されている請求項８記載の加熱部。
【請求項１１】
前記フレキシブル管を覆う前記加熱部の前記断熱部は複数の断熱層で構成され、
前記断熱層それぞれは、前記フレキシブル管内のガスの流れ方向に対して垂直方向に切り込まれ、複数に分割されている請求項８記載の加熱部。
【請求項１２】
前記断熱層それぞれは、前記フレキシブル管内のガスの流れ方向に対して垂直方向に延在するスリットが設けられている請求項１１記載の加熱部。
【請求項１３】
隣接する前記断熱層それぞれのスリットの位置がずらされて配置されている請求項１２記載の加熱部。
【請求項１４】
前記包囲体には、前記フレキシブル管内のガス流れ方向に対して垂直方向に延在する折り目が設けられている請求項８記載の加熱部。
【請求項１５】
基板を処理する処理室と、前記処理室内に原料ガスを供給するガス管を有するガス供給系と、前記ガス管の表面を覆い、加熱する加熱部と、を備え、
前記ガス管は、蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含み、
前記加熱部は、
発熱体の外側に配置される断熱部と、
前記断熱部および前記発熱体を包囲する、外層部と内層部を含む包囲体と、
前記外層部の外側に設けられ、前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と、
前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部と、
前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し、前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と、を有し、
前記発熱体は、前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り、
前記温度検知部は、前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され、前記間隙、前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり、前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている
基板処理装置。
【請求項１６】
発熱体の外側に配置される断熱部と、前記断熱部および前記発熱体を包囲する、外層部と内層部を含む包囲体と、前記外層部の外側に設けられ、前記包囲体の長手方向の一端側と他端側とが隣接した状態で前記一端側と前記他端側とを留める留め部と、蛇腹状に形成されたフレキシブル管を含むガス管の前記フレキシブル管と対向する位置に配置された温度検知部と、前記発熱体と前記発熱体が取り付けられる断熱部材とを有し、前記内層部と前記外層部との間に配置された発熱部と、を有し、前記発熱体は、前記内層部と前記フレキシブル管との間に形成される間隙を加熱することで温度安定性を図り、前記温度検知部は、前記発熱体と同様に前記発熱部に設置されるよう構成され、前記間隙、前記内層部および前記断熱部材が形成されていることにより前記フレキシブル管と非接触となり前記フレキシブル管側よりも前記発熱体側になるよう配置されている、加熱部により前記ガス管を加熱しつつ前記温度検知部で温度検知しながら、前記ガス管を介して処理室内に原料ガスを供給して基板を処理する工程を有する半導体装置の製造方法。
 
訂正の要旨 審決（決定）の【理由】欄参照。
異議決定日 2021-11-25 
出願番号 P2016-175856
審決分類 P 1 651・ 121- ZDA (H01L)
P 1 651・ 537- ZDA (H01L)
最終処分 08   一部取消
特許庁審判長 恩田 春香
特許庁審判官 小田 浩
小川 将之
登録日 2019-11-15 
登録番号 6616265
権利者 株式会社東京技術研究所 株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ ＥＬＥＣＴＲＩＣ
発明の名称 加熱部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法  
代理人 特許業務法人太陽国際特許事務所  
代理人 特許業務法人太陽国際特許事務所  
代理人 特許業務法人太陽国際特許事務所  

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