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| 審決分類 |
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 H01L |
|---|---|
| 管理番号 | 1386710 |
| 総通号数 | 8 |
| 発行国 | JP |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2022-08-26 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2021-01-22 |
| 確定日 | 2022-07-06 |
| 事件の表示 | 特願２０１９− ２３５２「側面数増強対応移送チャンバ，半導体デバイスの製造処理ツール及び処理方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 １年 ５月３０日出願公開，特開２０１９− ８３３２７〕について，次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は，成り立たない。 |
| 理由 |
第１ 手続の経緯 本件審判請求に係る出願（以下，「本願」という。）は，２０１４年（平成２６年）１１月 ３日（優先権主張 ２０１３年（平成２５年）１１月 ４日，米国）を国際出願日とする特願２０１６−５５２４３８号（以下，「原出願」という。）の一部を，２０１９年（平成３１年） １月１０日に新たな特許出願としたものであって，その手続の経緯は以下のとおりである。 平成３１年 ２月 ４日 ：翻訳文，手続補正書の提出 令和 １年１２月２６日付け：拒絶理由通知書 令和 ２年 ４月 ６日 ：意見書，手続補正書の提出 令和 ２年 ９月１６日付け：拒絶査定 令和 ３年 １月２２日 ：審判請求書，手続補正書の提出 令和 ３年 ６月２３日付け：拒絶理由通知（以下，「当審拒絶理由」という。） 令和 ３年 ９月２８日 ：意見書,手続補正書の提出 第２ 本願発明について 本願の請求項１−１５（以下，それぞれ「本願発明１」−「本願発明１５」という。）に係る発明は，令和 ３年 ９月２８日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１−１５に記載された事項により特定される発明であるところ，本願発明１は，以下のとおりの発明である。 「 【請求項１】 半導体デバイス製造ツールの移送チャンバであって， 上部のロードロック及び下部のロードロックを含む二段ロードロックに連結するようにそれぞれ構成された，隣接する３つの第１の側面と， １つの処理チャンバに連結するようにそれぞれ構成された，隣接する６つの第２の側面と， を備え， 前記移送チャンバは九角形の形状を有し，前記移送チャンバ内での移送は，前記移送チャンバ内に配置された，共通の位置から独立して延びる２本のアーム及び当該２本のアームに連結された２つのエンドエフェクタを有する単一のロボットによって提供可能であり， 前記６つの第２の側面のそれぞれは，前記単一のロボットの前記２本のアームのいずれかに取り付けられた手首を有する前記エンドエフェクタの一方を受容する大きさの開口部を備える， 移送チャンバ。」 第３ 当審における拒絶の理由 令和 ３年 ６月２３日付けの，当審が通知した拒絶理由は，概略，次のとおりのものである。 理由１（進歩性） この出願の請求項１−１５に係る発明は，下記の引用文献１−３に記載された発明に基づいて，その原出願の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 引用文献１ 特開２００３−１１５５１８号公報 引用文献２ 特開２０１０−３４５０５号公報 引用文献３ 特開２００８−２７２８６４号公報 第４ 引用文献，引用発明等 １ 引用文献１に記載されている事項及び引用発明 ア 当審拒絶理由に引用された上記引用文献１（特開２００３−１１５５１８号公報）には，図面とともに次の事項が記載されている。（当審注：下線は，参考のために当審で付与したものである。以下同様である。） 「【０００８】 【発明の実施の形態】以下，本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。 【０００９】本実施の形態において，図１および図２に示されているように，本発明に係る基板処理装置は，マルチチャンバ型ＣＶＤ装置（以下，ＣＶＤ装置という。）として構成されており，このＣＶＤ装置はＩＣの製造方法にあってウエハに酸化シリコンや窒化シリコン等の絶縁膜を成膜したり，ウエハに五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5 ）やルテニウム（Ｒｕ）等の金属膜を成膜する成膜工程に使用されるようになっている。 【００１０】なお，本実施の形態に係るＣＶＤ装置においてはウエハ搬送用のキャリアとしては，ＦＯＵＰ（front opening unified pod 。以下，ポッドという。）が使用されている。また，以下の説明において，前後左右は図１を基準とする。すなわち，ウエハ移載室５０側が前側，その反対側すなわちウエハ移載室１０側が後側，搬入用予備室２０側が左側，搬出用予備室３０側が右側とする。 【００１１】図１および図２に示されているように，ＣＶＤ装置は大気圧未満の圧力（負圧）に耐えるロードロックチャンバ構造に構成された第一のウエハ移載室（以下，負圧移載室という。）１０を備えており，負圧移載室１０の筐体（以下，負圧移載室筐体という。）１１は平面視が九角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。負圧移載室１０の中央部には負圧下でウエハＷを移載するウエハ移載装置（以下，負圧移載装置という。）１２が設置されており，負圧移載装置１２はスカラ形ロボット（selective compliance assembly robot arm ＳＣＡＲＡ）によって構成されており，負圧移載室筐体１１の底壁に設置されたエレベータ１３によって気密シールを維持しつつ昇降するように構成されている。 【００１２】負圧移載室筐体１１の九枚の側壁のうち正面側に位置する三枚の側壁には，搬入用予備室（以下，搬入室という。）２０，搬出用予備室（以下，搬出室という。）３０およびバッファ用予備室（以下，バッファ室という。）４０がそれぞれ隣接して連結されている。搬入室２０の筐体（以下，搬入室筐体という。）２１，搬出室３０の筐体（以下，搬出室筐体という。）３１およびバッファ室４０の筐体（以下，バッファ室筐体という。）４１はそれぞれ平面視が大略四角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに，負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。 【００１３】互いに隣接した搬入室筐体２１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入口２２，２３がそれぞれ開設されており，負圧移載室１０側の搬入口２３には搬入口２２，２３を開閉するゲートバルブ２４が設置されている。互いに隣接した搬出室筐体３１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬出口３２，３３がそれぞれ開設されており，負圧移載室１０側の搬出口３３には搬出口３２，３３を開閉するゲートバルブ３４が設置されている。互いに隣接したバッファ室筐体４１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入搬出口４２，４３がそれぞれ開設されており，負圧移載室１０側の搬入搬出口４３には搬入搬出口４２，４３を開閉するゲートバルブ４４が設置されている。 【００１４】搬入室２０には搬入室用仮置き台２５が設置され，搬出室３０には搬出室用仮置き台３５が設置され，バッファ室４０にはバッファ室用仮置き台４５が設置されている。これら仮置き台２５，３５，４５は略同様に構成されているので，その構成はバッファ室用仮置き台４５について代表的に説明する。図１および図２に示されているように，仮置き台４５は上下で一対の端板８１，８２と，上下の端板８１と８２との間に周方向に間隔を置いて垂直に架設された複数本の保持部材８３と，各保持部材８３に長手方向に等間隔に配置されて水平に刻設された保持溝８４とを備えている。ウエハＷの外周辺部が各保持部材８３の同一平面内に位置する各保持溝８４に挿入されることにより，ウエハＷは仮置き台４５に水平に保持された状態になる。そして，複数枚のウエハＷは仮置き台４５に中心を揃えられて整列された状態で保持される。仮置き台４５はエレベータ８５によって昇降されるように構成されている。 【００１５】搬入室２０，搬出室３０およびバッファ室４０の前側には，大気圧以上の圧力（以下，正圧という。）を維持可能な構造に構成された第二のウエハ移載室（以下，正圧移載室という。）５０が隣接して連結されており，正圧移載室５０の筐体（以下，正圧移載室筐体という。）５１は平面視が横長の長方形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。正圧移載室５０には正圧下でウエハＷを移載するウエハ移載装置（以下，正圧移載装置という。）５２が設置されており，正圧移載装置５２はスカラ形ロボットによって構成されている。正圧移載装置５２は正圧移載室５０に設置されたエレベータ５３によって昇降されるように構成されているとともに，リニアアクチュエータ５４によって左右方向に往復移動されるように構成されている。」 「【００１９】図１に示されているように，負圧移載室筐体１１の九枚の側壁のうち背面側に位置する四枚の側壁には第一処理部としての第一ＣＶＤユニット７１，第二処理部としての第二ＣＶＤユニット７２，第三処理部としての第三ＣＶＤユニット７３および第四処理部としての第四ＣＶＤユニット７４がそれぞれ隣接して連結されている。第一ＣＶＤユニット７１，第二ＣＶＤユニット７２，第三ＣＶＤユニット７３および第四ＣＶＤユニット７４は，いずれも二枚葉式ホットウオール形減圧ＣＶＤ装置によってそれぞれ構成されている。」 「【００２３】搬入室２０が予め設定された圧力値に減圧されると，負圧移載室１０側の搬入口２２，２３がゲートバルブ２４によって開かれるとともに，第一ＣＶＤユニット７１のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって開かれる。続いて，負圧移載室１０の負圧移載装置１２は搬入口２２，２３を通して搬入室２０の仮置き台２５からウエハＷを二枚ずつピックアップして負圧移載室１０に搬入し，第一ＣＶＤユニット７１の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入（ウエハローディング）するとともに，処理室のボートに移載（セッティング）する。ウエハＷのボートへの移載が終了すると，第一ＣＶＤユニット７１のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって閉じられる。」 「【００２６】第一ＣＶＤユニット７１において予め設定された成膜処理時間が経過すると，第一膜を成膜済みの二枚のウエハＷは負圧移載装置１２によって第一ＣＶＤユニット７１からピックアップされ，負圧に維持されている負圧移載室１０に搬出（ウエハアンローディング）される。処理済みのウエハＷが第一ＣＶＤユニット７１から負圧移載室１０に搬出されると，第二ＣＶＤユニット７２のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって開かれる。続いて，負圧移載装置１２は第一ＣＶＤユニット７１から搬出した二枚のウエハＷを第二ＣＶＤユニット７２の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入するとともに，処理室のボートに移載する。二枚のウエハＷの第一ＣＶＤユニット７１から第二ＣＶＤユニット７２への移替え作業が完了すると，第二ＣＶＤユニット７２の処理室のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって閉じられる。」 「【００３０】第二ＣＶＤユニット７２において第二膜の成膜について予め設定された処理時間が経過すると，前述した第一ＣＶＤユニット７１の場合と同様にして，第二膜を成膜済みの二枚のウエハＷは負圧移載装置１２によって第二ＣＶＤユニット７２からピックアップされ，負圧に維持されている負圧移載室１０に搬出される。処理済みのウエハＷが第二ＣＶＤユニット７２から負圧移載室１０に搬出されると，第三ＣＶＤユニット７３のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって開かれる。続いて，負圧移載装置１２は第二ＣＶＤユニット７２から搬出した二枚のウエハＷを第三ＣＶＤユニット７３の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入するとともに，処理室のボートに移載する。二枚のウエハＷの第二ＣＶＤユニット７２から第三ＣＶＤユニット７３への移替え作業が完了すると，第三ＣＶＤユニット７３の処理室のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって閉じられる。」 「【００３４】第三ＣＶＤユニット７３において第三膜の成膜について予め設定された処理時間が経過すると，前述した第一ＣＶＤユニット７１および第二ＣＶＤユニット７２の場合と同様にして，第三膜を成膜済みの二枚のウエハＷは負圧移載装置１２によって第三ＣＶＤユニット７３からピックアップされ，負圧に維持されている負圧移載室１０に搬出される。処理済みのウエハＷが第三ＣＶＤユニット７３から負圧移載室１０に搬出されると，第四ＣＶＤユニット７４のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって開かれる。続いて，負圧移載装置１２は第三ＣＶＤユニット７３から搬出した二枚のウエハＷを第四ＣＶＤユニット７４の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入するとともに，処理室のボートに移載する。二枚のウエハＷの第三ＣＶＤユニット７３から第四ＣＶＤユニット７４への移替え作業が完了すると，第四ＣＶＤユニット７４の処理室のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって閉じられる。」 「【００５１】本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく，その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。 【００５２】例えば，負圧移載室の周囲に配設するＣＶＤユニットの数は，四に限らず，二または三または五以上であってもよい。」 「  」 「  」 イ 上記記載について検討する。 （ア）引用文献１の段落００１０−００１２，００１５，００１９及び図１には，平面視が九角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている負圧移載室筐体１１である負圧移載室１０，負圧移載室１０の中央部に設置されている負圧下でウエハＷを移載する，スカラ形ロボットによって構成されている負圧移載装置１２，負圧移載室筐体１１の九枚の側壁のうち正面側に位置する三枚の側壁に隣接して連結された，搬入室２０，搬出室３０およびバッファ室４０，負圧移載室筐体１１の九枚の側壁のうち背面側に位置する四枚の側壁にそれぞれ隣接して連結された，第一ＣＶＤユニット７１，第二ＣＶＤユニット７２，第三ＣＶＤユニット７３および第四ＣＶＤユニット７４，とを備えるＣＶＤ装置が記載されている。 （イ）引用文献１の段落００１２の「搬入室２０の筐体（以下，搬入室筐体という。）２１，搬出室３０の筐体（以下，搬出室筐体という。）３１およびバッファ室４０の筐体（以下，バッファ室筐体という。）４１はそれぞれ平面視が大略四角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに，負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。」旨の記載を参照すると，搬入室２０，搬出室３０およびバッファ室４０は一種のロードロックであると認められる。 （ウ）引用文献１の図２の記載や，段落００２３の「第一ＣＶＤユニット７１のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって開かれる。続いて，負圧移載室１０の負圧移載装置１２は搬入口２２，２３を通して搬入室２０の仮置き台２５からウエハＷを二枚ずつピックアップして負圧移載室１０に搬入し，第一ＣＶＤユニット７１の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入（ウエハローディング）する」，段落００２６の「処理済みのウエハＷが第一ＣＶＤユニット７１から負圧移載室１０に搬出されると，第二ＣＶＤユニット７２のウエハ搬入搬出口がゲートバルブによって開かれる。続いて，負圧移載装置１２は第一ＣＶＤユニット７１から搬出した二枚のウエハＷを第二ＣＶＤユニット７２の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入する」，段落００３０の「負圧移載装置１２は第二ＣＶＤユニット７２から搬出した二枚のウエハＷを第三ＣＶＤユニット７３の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入する」，段落００３４の「負圧移載装置１２は第三ＣＶＤユニット７３から搬出した二枚のウエハＷを第四ＣＶＤユニット７４の処理室へウエハ搬入搬出口を通して搬入する」等の記載を参照すると，負圧移載室筐体１１の第一ＣＶＤユニット７１，第二ＣＶＤユニット７２，第三ＣＶＤユニット７３および第四ＣＶＤユニット７４が連結された側面に，ウエハＷを搬入・搬出するための何らかの開口部を有することは明らかである。 （エ）引用文献１の図１を参照すると，引用文献１の負圧移載装置１２は，略Ｙ字状のウエハＷを載せる部分を含むエンドエフェクタと，該エンドエフェクタが連結されるアームを有することは明らかである。 ここで，エンドエフェクタとアームとが連結される部分が一種の手首であると認められる。 また，図１において，エンドエフェクタは第二ＣＶＤユニット７２の中に入っているから，負圧移載室筐体１１の側面が有する開口部は，エンドエフェクタを受容する大きさであると認められる。 ウ 以上ア，イで示した事項を参酌すると，上記引用文献１には次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「 平面視が九角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている負圧移載室筐体１１である負圧移載室１０，負圧移載室１０の中央部に設置されている負圧下でウエハＷを移載する，スカラ形ロボットによって構成されている負圧移載装置１２，負圧移載室筐体１１の九枚の側壁のうち正面側に位置する三枚の側壁に隣接して連結された，搬入室２０，搬出室３０およびバッファ室４０，負圧移載室筐体１１の九枚の側壁のうち背面側に位置する四枚の側壁にそれぞれ隣接して連結された，第一ＣＶＤユニット７１，第二ＣＶＤユニット７２，第三ＣＶＤユニット７３および第四ＣＶＤユニット７４，とを備えるＣＶＤ装置であって， 搬入室２０，搬出室３０およびバッファ室４０はロードロックであり， 負圧移載室筐体１１の第一ＣＶＤユニット７１，第二ＣＶＤユニット７２，第三ＣＶＤユニット７３および第四ＣＶＤユニット７４が連結された側面には，ウエハＷを搬入・搬出するための開口部を有し， 負圧移載装置１２は，手首を有するエンドエフェクタと，該エンドエフェクタが連結されるアームを有し， 負圧移載室筐体１１の側面が有する開口部は，エンドエフェクタを受容する大きさである ＣＶＤ装置。」 ２ 引用文献２に記載されている事項 ア 当審拒絶理由に引用された上記引用文献２（特開２０１０−３４５０５号公報）には，図面とともに次の事項が記載されている。 「【００１５】 図１に示すように，本実施形態の基板処理装置は，中央に設けられた排気可能なトランスファーチャンバ３と，トランスファーチャンバ３の周囲に設けられた複数の処理チャンバ２０１〜２０６及び複数の積層ロードロックチャンバ２とを有している。本実施形態では，トランスファーチャンバ３は略八角形柱の形状に構成されており，その８つの各側面に処理チャンバ２０１，２０２，２０３，２０４，２０５，２０６及び積層ロードロックチャンバ２が接続されている。トランスファーチャンバ３と処理チャンバ２０１〜２０６及び積層ロードロックチャンバ２の各々とは，ゲートバルブ５を介して気密状態を維持できるように接続されている。処理チャンバ２０１〜２０６には，例えば，スパッタリング成膜装置，化学蒸着（ＣＶＤ）装置及びドライエッチング装置から選択される処理装置のチャンバとして構成されうる。各積層ロードロックチャンバ２は，上下方向に積層して配置された複数のロードロックチャンバ１００，１５０を含む。本明細書において，「積層」とは，２つの部材が上下に重なって配置されていることをいうが，完全に重なっている必要はなく，平面視において半分以上が重なっているものをいうものとする。 【００１６】 本実施形態ではトランスファーチャンバ３が略八角形柱の形状に構成されている場合を例に挙げたが，トランスファーチャンバ３の構成はこれに限られない。トランスファーチャンバ３は，例えば，底面及び上面が任意の多角形である柱状形状を有するように構成されていてもよい。複数の処理チャンバは，そのような多角形柱状のトランスファーチャンバ３の複数の側面に連結される。」 「【００１８】 また，トランスファーチャンバ３内には，チャンバ２０１〜２０６及び２の間において基板９を搬送する搬送機構４２が設けられている。この搬送機構４２は，例えば，基板９を載せるアームを備えた多関節ロボットで構成され，稼働範囲内で水平面上の任意の位置と垂直方向の任意の位置とに基板９を搬送することが可能となっている。」 「【００２０】 図２Ａ〜図２Ｃは，図１のＡ−Ｂ線に沿った積層ロードロックチャンバ２の模式的な断面図である。図２Ａ〜図２Ｃにおける右側には真空側のトランスファーチャンバ３が配置され，左側には大気側のオートローダ４１が配置される。積層ロードロックチャンバ２は，上下方向に積層して配置された複数のロードロックチャンバ１００，１５０を含む。図２Ａは，上側及び下側のロードロックチャンバ１００，１５０の大気側の開口部がそれぞれ上側及び下側のスリットバルブ可動部１０１，１５１で閉じられた状態を示している。図２Ｂは，上側及び下側のロードロックチャンバ１００，１５０の大気側の開口部に対して，上側及び下側のスリットバルブ可動部１０１，１５１がそれぞれ開かれた状態を示している。図２Ｃは，上側及び下側のロードロックチャンバ１００，１５０の大気側の開口部からスリットバルブ可動部１０１，１５１を離間させ，ロードロックチャンバ１００，１５０のメンテナンスや清掃時に邪魔にならない位置にスリットバルブ可動部１０１，１５１を退避させた状態を示している。なお，バルブ可動部は，例えば，弁体或いはバルブドアとも呼ばれうる。」 「  」 「  」 ３ 引用文献３に記載されている事項 ア 当審拒絶理由に引用された上記引用文献３（特開２００８−２７２８６４号公報）には，図面とともに次の事項が記載されている。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は，産業用ロボット及び集合処理装置に関し，更に詳しくは，例えば半導体製造装置等の集合処理装置内でのワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボット及びその産業用ロボットを備えた集合処理装置に関する。」 「【００２６】 図１は，本発明の産業用ロボットの一例を示す透視正面図である。本発明の産業用ロボット（以下，「ロボット１」という。）は，図１に示すように，基台部１００側からアーム部１１及びハンド部１２の順で連結され，そのハンド部１２を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有する産業用ロボットである。 【００２７】 図１には２つのアーム１０Ａ，１０Ｂを有するロボット１が例示されており，アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは，アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと，アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと，ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材と，を備えている。そして，２つのアーム１０Ａ，１０Ｂのうちの１つのアーム１０Ａを動作させるアーム伸縮軸２Ａが中実軸であり，それ以外の軸であるアーム旋回軸３Ａ，３Ｂ及び他のアーム１０Ｂのアーム伸縮軸２Ｂが前記の中実軸と同心になるように設けられた中空軸であるように構成されている。 【００２８】 なお，本願の説明及び図中の符号において，数字符号に続く「Ａ」「Ｂ」の符号は，そうした２つのアーム１０Ａ，１０Ｂに対応した構成要素であることを表している。本願発明の各構成要素について，それぞれのアーム１０Ａ，１０Ｂに対応して説明するときは数字の後に「Ａ」「Ｂ」を付すが，それぞれのアーム１０Ａ，１０Ｂに対応しないで説明するときは数字の後に「Ａ」「Ｂ」を付さないこととする。以下，本発明の産業用ロボット１を，構成要素ごとに詳しく説明する。 【００２９】 （アーム） 先ず，アーム１０（１０Ａ，１０Ｂ）について説明する。図２は，図１に示す２つのアームのうちの１つのアームを構成する第１アーム部材の内部構造を示す透視平面図（Ａ）及びＢ−Ｂ断面図（Ｂ）であり，図３は，図１に示す２つのアームのうちの１つのアームを構成する第２アーム部材の内部構造を示す透視平面図（Ａ）及びＣ−Ｃ断面図（Ｃ）である。本発明に係るロボット１は，２以上のアーム１０を有している。それぞれのアーム１０は，基台部１００側からアーム部１１及びハンド部１２の順で連結され，ハンド部１２を所定方向に向けながら伸縮自在に動作する。アーム部１１とハンド部１２は，基台部１００側から，第１アーム部材２０，第２アーム部材３０及びハンド部材４０の順で連結されて構成されている。 【００３０】 アーム部１１を構成する第１アーム部材２０は，基台部１００側にあってアーム伸縮軸２に連結する第１プーリ２１と，第２アーム部材３０側にあって第２アーム部材３０に連結する第２プーリ２２と，第１プーリ２１及び第２プーリ２２間に掛かる第１ベルト２３とを有している。また，アーム部１１を構成する第２アーム部材３０は，第２プーリ２２と同心となるように設けられた第３プーリ３１と，ハンド部材４０側にあってハンド部材４０に連結する第４プーリ３２と，第３プーリ３１及び第４プーリ３２間に掛かる第２ベルト３３とを有している。また，ハンド部１２を構成するハンド部材４０は，図１中に平面図として示したが，ウエハ等のワークを搭載して搬送するための搭載部４１を有する部材である。アーム部１１とハンド部１２のこうした構成により，２つのアーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは，アーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂとアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂとを備えて独立に動作することができるので，後述するように，トランスファチャンバの周囲に配置されたプロセスチャンバに対するワークの搬入／搬出等の時間を短縮することができる。」 「  」 「  」 第５ 当審の判断 １ 本願発明１について （１）本願発明１と引用発明とを対比すると，次のことがいえる。 ア 引用発明の「ＣＶＤ装置」の「負圧移載室１０」は，本願発明１の「半導体デバイス製造ツールの移送チャンバ」に対応することは明らかである。 イ 引用発明の「搬入室２０，搬出室３０およびバッファ室４０」は「ロードロック」であるから，本願発明１の「二段ロードロック」と，「ロードロック」である点で一致する。 そして，引用発明の「負圧移載室１０」の「負圧移載室筐体１１」における「正面側に位置する三枚の側壁」は，引用文献１の【図１】を参照すると，それぞれ隣接し，「搬入室２０，搬出室３０およびバッファ室４０」が連結されるから，本願発明１の「第１の側面」と，「ロードロックに連結するようにそれぞれ構成された，隣接する３つの第１の側面」である点で一致するといえる。 ウ 引用発明の「第一ＣＶＤユニット７１，第二ＣＶＤユニット７２，第三 ＶＤユニット７３および第四ＣＶＤユニット７４」が，それぞれ，本願発明１の「１つの処理チャンバ」に相当する。 そして，引用発明の「背面側に位置する四枚の側壁」は，引用文献１の【図１】を参照すると，それぞれ隣接し，「第一ＣＶＤユニット７１，第二ＣＶＤユニット７２，第三ＣＶＤユニット７３および第四ＣＶＤユニット７４」が連結されるから，本願発明１の「第２の側面」と，「１つの処理チャンバに連結するようにそれぞれ構成された，隣接する第２の側面」である点で一致するといえる。 エ 引用発明の「負圧移載室１０」の「負圧移載室筐体１１」は「平面視が九角形」であるから，本願発明１の「移送チャンバ」と，「九角形の形状を有」する点で一致する。 オ 引用発明の「負圧移載装置１２」は，「スカラ形ロボットによって構成され」ており，「負圧移載室１０の中央部に設置されている負圧下でウエハＷを移載する」ものであり，「手首を有するエンドエフェクタと，該エンドエフェクタが連結されるアームを有」するから，本願発明１の「ロボット」と，「前記移送チャンバ内での移送は，前記移送チャンバ内に配置された，アーム及び当該アームに連結されたエンドエフェクタを有する単一のロボットによって提供可能」なものである点で一致する。 カ 引用発明の「開口部」は，「エンドエフェクタを受容する大きさである」から，本願発明１の「開口部」と，「第２の側面のそれぞれは，前記単一のロボットの前記アームのいずれかに取り付けられた手首を有する前記エンドエフェクタの一方を受容する大きさ」である点で一致するといえる。 （２）したがって，本願発明１と引用発明との間には，次の一致点，相違点があるといえる。 （一致点） 「 半導体デバイス製造ツールの移送チャンバであって， ロードロックに連結するようにそれぞれ構成された，隣接する３つの第１の側面と， １つの処理チャンバに連結するようにそれぞれ構成された，隣接する第２の側面と， を備え， 前記移送チャンバは九角形の形状を有し，前記移送チャンバ内での移送は，前記移送チャンバ内に配置された，アーム及び当該アームに連結されたエンドエフェクタを有する単一のロボットによって提供可能であり， 前記第２の側面のそれぞれは，前記単一のロボットの前記アームのいずれかに取り付けられた手首を有する前記エンドエフェクタの一方を受容する大きさの開口部を備える， 移送チャンバ。」 （相違点） （相違点１）「ロードロック」に関して，本願発明１は「上部のロードロック及び下部のロードロックを含む二段ロードロック」と特定されているのに対し，引用発明は，そのように特定されていない点。 （相違点２）「第２の側面」に関して，本願発明１は「隣接する６つの」側面と特定されているのに対し，引用発明は，そのように特定されていない点。 （相違点３）「単一のロボット」に関して，本願発明１は，「共通の位置から独立して延びる２本のアーム及び当該２本のアームに連結された２つのエンドエフェクタを有する」と特定されているのに対し，引用発明は，そのように特定されていない点。 （３）相違点についての判断 ア 相違点１について ロードロックとして，どのような構造のものを用いるのかは，当業者が実施に当たり適宜なし得る設計的事項である。 そして，半導体デバイス製造ツールにおいて，上部のロードロック及び下部のロードロックを含む二段ロードロックは，例えば，引用文献２の段落００１５−００１６，００２０及び図１，２Ａ等に，上下方向に積層して配置された，上側及び下側のロードロックチャンバ１００，１５０を含む積層ロードロックチャンバ２として開示されているように，原出願の優先日前に周知の技術にすぎない。 すると，引用発明に周知の上部のロードロック及び下部のロードロックを含む二段ロードロックを採用し，相違点１に係る本願発明１の構成とすることは，当業者が容易になし得たものである。 イ 相違点２について 引用文献１の段落００５２には，「例えば，負圧移載室の周囲に配設するＣＶＤユニットの数は，四に限らず，二または三または五以上であってもよい。」と，ＣＶＤユニットの数を五以上にすることも記載されており，引用発明において，負圧移載室の周囲に配設するＣＶＤユニットの数は，必要に応じて選択し得た設計的事項である。 すると，引用発明においても，ＣＶＤユニットの数を６として，背面側に位置する隣接する６つの側面にＣＶＤユニットと連結するように構成することにより，相違点２に係る本願発明１の構成とすることは，当業者が容易になし得たものである。 ウ 相違点３について 移送チャンバに設けられる移送を提供するロボットとして，どのようなものを提供するのかは，当業者が実施に当たり適宜なし得る設計的事項である。 そして，半導体デバイス製造ツールにおいて，共通の位置から独立して延びる２本のアーム及び当該２本のアームに連結された２つのエンドエフェクタを有する単一のロボットは，例えば，引用文献３の段落００２６−００３０及び図１等に，アーム部１１及びハンド部１２の順で連結され，そのハンド部１２を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有するロボット１として開示されているように，原出願の優先日前に周知の技術にすぎない。 なお，引用文献３の図１０に照らせば，ハンド部１２の手首がプロセスチャンバ２１０に入っているから，トランスファチャンバ２０９の開口部は，ハンド部１２の手首を受容できる大きさであるものと認められる。 すると，引用発明に周知のロボットを採用し，相違点３に係る本願発明１の構成とすることは，当業者が容易になし得たものである。 ２ 請求人の主張について （１）請求人は，令和 ３年 ９月２８日の意見書において，「すなわち，引用文献３の発明は，ワークの搬送時間を短縮するために，ロボットのエンドエフェクタの上下方向の座標位置を同じにしています（引用文献３の請求項１，段落００１３等を参照）。この構成は，引用文献３の請求項１に記載されていることからも理解できるように，引用文献３のロボットにおいて必須の構成であり，欠かすことができません。一方，引用文献２に示される二段ロードロックは，上下方向の位置が異なる２つのロードロックを含みます。よって，２つのエンドエフェクタの上下方向の位置が同じ引用文献３のロボットは，上下方向の位置が異なる引用文献２の二段ロードロックとともに，引用文献１の装置に同時に組み込むことができません。引用文献３のロボットの２つのエンドエフェクタは，引用文献２の上下方向に異なる位置にある２つのロードロックの中に同時に到達することができないからです。したがって，本技術分野の当業者は，引用文献１の装置に引用文献２のロードロック及び引用文献３のロボットを同時に組み込むことができず，本願請求項１，９，１５に係る発明に想到することができません。」と主張している。 （２）しかしながら，請求項１には「前記移送チャンバは九角形の形状を有し，前記移送チャンバ内での移送は，前記移送チャンバ内に配置された，共通の位置から独立して延びる２本のアーム及び当該２本のアームに連結された２つのエンドエフェクタを有する単一のロボットによって提供可能であり」，「前記６つの第２の側面のそれぞれは，前記単一のロボットの前記２本のアームのいずれかに取り付けられた手首を有する前記エンドエフェクタの一方を受容する大きさの開口部を備える」と，移送チャンバ内での移送が単一のロボットにより提供可能であること，及び，第２の側面のそれぞれは，単一のロボットのエンドエフェクタの一方を受容する大きさの開口部を備えることは特定されているが，単一のロボットとしてどの様な構成を有するのか何ら記載されておらず，また，二段ロードロックからの移送に単一のロボットを用いることも記載されていない。 すると，上記主張は請求項の記載に基づくものではなく，採用できない。 （３）加えて，引用文献２の段落００１８に「この搬送機構４２は，例えば，基板９を載せるアームを備えた多関節ロボットで構成され，稼働範囲内で水平面上の任意の位置と垂直方向の任意の位置とに基板９を搬送することが可能となっている。」と記載されているように，半導体デバイス製造ツールにおいて，二段ロードロックから搬送するロボットとして，垂直方向，すなわち，上下方向にも搬送可能なロボットも当該技術分野において周知のものであるから，引用発明に周知技術を採用する際に，上下方向にも搬送可能なロボットとすることは，当業者が実施に当たり適宜なし得る設計的事項にすぎない。 第６ むすび 以上のとおり，本願の請求項１に係る発明は，特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであるから，その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は拒絶すべきものである。 よって，結論のとおり審決する。 |
| 別掲 |
（行政事件訴訟法第４６条に基づく教示） この審決に対する訴えは，この審決の謄本の送達があった日から３０日（附加期間がある場合は，その日数を附加します。）以内に，特許庁長官を被告として，提起することができます。 審判長 辻本 泰隆 出訴期間として在外者に対し９０日を附加する。 |
| 審理終結日 | 2022-01-28 |
| 結審通知日 | 2022-02-01 |
| 審決日 | 2022-02-21 |
| 出願番号 | P2019-002352 |
| 審決分類 |
P
1
8・
121-
Z
(H01L)
|
| 最終処分 | 02 不成立 |
| 特許庁審判長 |
辻本 泰隆 |
| 特許庁審判官 |
▲吉▼澤 雅博 小田 浩 |
| 発明の名称 | 側面数増強対応移送チャンバ、半導体デバイスの製造処理ツール及び処理方法 |
| 代理人 | 園田・小林特許業務法人 |