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審決分類 審判 一部申し立て 2項進歩性  F16J
管理番号 1387529
総通号数 8 
発行国 JP 
公報種別 特許決定公報 
発行日 2022-08-26 
種別 異議の決定 
異議申立日 2022-03-22 
確定日 2022-07-08 
異議申立件数 1 
事件の表示 特許第６９４０１５５号発明「ダイヤフラム部材を用いるダイヤフラム弁」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 
結論 特許第６９４０１５５号の請求項１、２、４ないし６に係る特許を維持する。 
理由 １ 手続の経緯
特許第６９４０１５５号の請求項１〜６に係る特許についての出願は、平成３０年８月１０日に出願され、令和３年９月６日にその特許権の設定登録がされ、令和３年９月２２日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和４年３月２２日に特許異議申立人水野幸彦（以下、「特許異議申立人」という。）により、請求項１、２及び４〜６に係る特許に対して特許異議の申立てがされたものである。

２ 本件発明
特許第６９４０１５５号の請求項１〜６に係る発明は、願書に添付された特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される次のとおりのものである（なお、請求項１に係る発明における、「・・・連動して。前記ダイヤフラム・・・」は、「・・・連動して、前記ダイヤフラム・・・」の誤記であると認められるから、請求項１に係る発明を次のとおり認定した。）。

「 【請求項１】
開弁したとき高純度薬液や超純水の液体を流入側から流出側へ流動させ、また、閉弁したときに前記液体の前記流動を遮断するダイヤフラム弁において、
筒状周壁及び当該筒状周壁にその軸方向両端開口部を閉塞するように互いに対向して形成してなる両対向壁を有するハウジングと、
前記筒状周壁の軸方向中間部位に設けられて前記筒状周壁の中空部を前記両対向壁の一方の対向壁と他方の対向壁との間にて区画する隔壁と、
前記筒状周壁の前記中空部内にて前記一方の対向壁と前記隔壁との間に組み付けられる駆動手段と、
前記ハウジング内に設けられて前記他方の対向壁との間に液体室を形成するとともに前記隔壁との間に空気室を形成するように前記ハウジングの内部を区画するＰＦＡ製フィルム状ダイヤフラムと、当該ダイヤフラムの中央部に同軸的にレーザー溶接されて当該中央部から延出するフッ素樹脂製補助軸との双方により構成されて、当該補助軸にて前記隔壁にその軸方向に形成してなる貫通穴部内にて摺動可能なように嵌装されるダイヤフラム部材とを備えており、
前記駆動手段は、前記ダイヤフラム部材の前記補助軸と共に前記空気室に向け或いはその逆方向に向け軸動可能となるように前記補助軸の延出端部に同軸的に連結される駆動軸を一体的に設けてなり、
前記ハウジングは、前記液体室内にて前記ダイヤフラムの前記中央部に対向して当該中央部と共に弁部を構成する環状弁座部、前記液体を前記流入側から前記環状弁座部を介し前記液体室内に流入させる流入路及び前記液体室内の前記液体を前記流出側へ流出させる流出路を前記他方の対向壁に設けてなり、
前記ダイヤフラム部材が、前記補助軸にて、前記駆動軸の前記他方の対向壁側への軸動に伴い連動して、前記ダイヤフラムの前記中央部を前記環状弁座部に着座させたとき、前記弁部を閉弁し、また、前記ダイヤフラム部材が、前記補助軸にて、前記駆動軸の前記一方の対向壁側への軸動に伴い連動して、前記ダイヤフラムの前記中央部にて前記環状弁座部から離れたとき、前記弁部を開弁するようになっていることを特徴とするダイヤフラム弁。
【請求項２】
前記駆動手段は、
前記筒状周壁の前記中空部内に前記一方の対向壁と前記隔壁との間にてその軸方向に沿い摺動可能に嵌装されて一側室及び他側室を前記一方の対向壁側及び前記隔壁側にて形成するように前記筒状周壁の前記中空部を区画するピストンと、
当該ピストンを前記他側室及び前記一側室のいずれか一方の室に向けて付勢する付勢手段とを具備して、
前記駆動軸は、前記ピストンから前記他側室を通り一体的に延出されて前記ダイヤフラム部材の前記補助軸の延出端部に同軸的に連結されるピストン軸であることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム弁。
【請求項３】
省略
【請求項４】
前記ダイヤフラム部材は、前記ダイヤフラムの両面のうちの一側面にその外周部に沿うようにレーザー溶接されるフッ素樹脂製補強用環状体を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のダイヤフラム弁。
【請求項５】
前記ダイヤフラム部材は、そのダイヤフラムにて、ＰＦＡを押し出し成形或いは圧縮成形することにより、フィルム状に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のダイヤフラム弁。
【請求項６】
前記ダイヤフラム部材において、前記補助軸は、１（ｍｍ）以上で４（ｍｍ）以下の範囲以内の外径を有しており、前記ダイヤフラムは、０．１（ｍｍ）以上で０．５（ｍｍ）以下の範囲以内の厚さを有することを特徴とする請求項５に記載のダイヤフラム弁。」

３ 申立理由の概要
特許異議申立人は、主たる証拠として次の甲第１号証及び従たる証拠として次の甲第２号証〜甲第７号証を提出し、請求項１、２、５及び６に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証〜甲第６号証に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１、２、５及び６に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものであり取り消すべきものであり、また、請求項４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証〜甲第７号証に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項４に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものであり取り消すべきものである旨主張する。

甲第１号証：特開２０１７−２０７１２１号公報
甲第２号証：特開２００３−２５１６９８号公報
甲第３号証：特許第５２８６３３０号公報
甲第４号証：特開２０１６−６５５６０号公報
甲第５号証：特開２０１２−２３３７４４号公報
甲第６号証：特開２００７−４６７２５号公報
甲第７号証：特開２０１１−２２０４２２号公報

４ 各甲号証の記載
（１）甲第１号証
甲第１号証には次の記載がある（下線は当審で付したものである。）。
「【０００１】
本発明は、薬液の供給等に用いられる流路ブロック、流体制御装置、及び流路ブロックの製造方法に関する。」
「【０００７】
第１の構成は、樹脂製の流路ブロックであって、所定面よりも凹んで形成された第１室と、前記第１室から離間した位置に、前記所定面よりも凹んで形成された第２室と、前記第１室と前記第２室とにそれぞれ開口し、前記第１室と前記第２室とを連通する、円弧形状の連通流路と、を備える。」
「【００１７】
第５の構成は、第１〜第４のいずれかの流路ブロックを備える流体制御装置であって、前記第１室には、前記連通流路の開口と異なる開口が設けられ、その開口に第１流路が接続されており、前記第２室には、前記連通流路の開口と異なる開口が設けられ、その開口に第２流路が接続されており、前記第１室と前記第１流路との連通状態を制御する第１弁機構と、前記第２室と前記第２流路との連通状態を制御する第２弁機構と、を備える。」
「【００３４】
＜第１実施形態＞
以下、半導体製造装置等において薬液等の流体の流路を開閉するバルブに具現化した一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００３５】
図１に示すように、バルブ１０（流体制御装置）は、流路ブロック１１、ダイアフラム２０、ニードル弁３１、第１ボディ４１、第２ボディ５１、第１ピストン６１、第２ピストン６２、カバー７１等を備えている。
【００３６】
流路ブロック１１は、耐薬品性の高い樹脂、例えば、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）により、直方体状に形成されている。流路ブロック１１の載置面１１ａ側には、第１室１２が形成されている。第１室１２は、流路ブロック１１の載置面１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として形成されている。第１室１２の深さは、外周縁側から中心側へ向かって連続的に深くなっている。第１室１２の中心軸線上の底面１２ａには、薬液の流路である第１流路１３の開口１３ａが設けられている。
【００３７】
第１流路１３は、開口１３ａから垂直方向へと延びる第１垂直流路１３ｂと、その第１垂直流路１３ｂの開口１３ａとは反対側の端部に接続され、第１垂直流路１３ｂに対して垂直な方向、すなわち、載置面１１ａに対して水平方向へと延びる第１水平流路１３ｃとを含んで構成されている。第１水平流路１３ｃにおいて、第１垂直流路１３ｂと接続される端部の反対側の端部は、開口１３ｄとなっており、この開口１３ｄを介して他の流路等が接続可能である。
【００３８】
流路ブロック１１において、第１流路１３の第１室１２での開口１３ａの周囲には、環状の弁座１４が設けられている。弁座１４は、第１ボディ４１及び第１ピストン６１の方向へ突出する環状の凸部となっている。この環状の凸部の内周側が第１流路１３の第１垂直流路１３ｂの一部を構成している。
【００３９】
弁座１４に対向するように、ダイアフラム２０が配置されている。ダイアフラム２０は、薄膜状（シート状）の膜部２１と、円筒状の連結部２３とを備えている。ダイアフラム２０（膜部２１）の径は、１４ｍｍとなっている。連結部２３は、膜部２１の中央に接合されている。なお、ダイアフラム２０の詳細については後述する。
【００４０】
ダイアフラム２０の膜部２１の周縁部２１ａは、第１ボディ４１に設けられた円筒状の押圧部４２と、流路ブロック１１に形成された、押圧部４２と対向する第１対向部１５とにより押圧されている。詳しくは、膜部２１の上面（第１面）が、押圧部４２により押圧されている。膜部２１の下面（第２面）が、第１対向部１５により押圧されている。このように膜部２１の周縁部２１ａが押圧部４２及び第１対向部１５により押圧された状態で、流路ブロック１１と第１ボディ４１とが接続されている。」
「【００４４】
ダイアフラム２０の連結部２３には、第１ピストン６１の下端が連結されている。第１ピストン６１（往復動部材）は、円柱状に形成されている。第１ピストン６１の下端には、ねじ溝が設けられている。ダイアフラム２０における連結部２３にもねじ溝が設けられている。第１ピストン６１のねじ溝とダイアフラム２０の連結部２３のねじ溝が締結されることで、ダイアフラム２０と第１ピストン６１とが連結されている。
【００４５】
第１ボディ４１には、第１ピストン６１を弁座１４の方向へ往復動させるアクチュエータが組み込まれている。アクチュエータは、電磁力等により第１ピストン６１を往復動させるものでもよいし、空圧等により第１ピストン６１を往復動させるものでもよい。
【００４６】
第１ピストン６１が往復動させられることにより、ダイアフラム２０が変形させられる。そして、ダイアフラム２０が弁座１４に当接することにより、第１室１２と第１流路１３とが遮断される。ダイアフラム２０が弁座１４から離間することにより、第１室１２と第１流路１３とが連通される。」
「【００５５】
連通流路８１の第１室１２側の開口８２は、第１室１２の内周面１２ｂに形成されている。連通流路８１の第２室１６側の開口８３は、第２室１６の側面１６ｂから底面１６ａにかけて、設けられている。」
「【００７１】
次に、本実施形態のダイアフラム２０について詳細に説明する。図７は、柱状部２２を備えるダイアフラム２０を示す写真である。
【００７２】
膜部２１は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料により形成されている。ＰＦＡは、耐薬品性を有しており、ＰＴＦＥと比べてパーティクルの発生しにくい分子構造である。膜部２１は、均一な所定の厚みのシート状（膜状）に形成されている。所定の厚みは、０．０５〜０．５ｍｍであり、望ましくは略０．２ｍｍである。膜部２１は、第１材料を圧延により加工して形成されている。
【００７３】
図８は、切削加工により形成された比較例のダイアフラムの表面を示す写真である。同図に示すように、比較例のダイアフラムの表面は、切削加工により荒れている。このため、ダイアフラムの使用により、パーティクルが発生したり、表面の一部がむしれたり（剥がれたり）するおそれがある。
【００７４】
図９は、圧延加工により形成された本実施形態ダイアフラム２０の表面を示す写真である。同図に示すように、ダイアフラム２０の表面、詳しくは膜部２１の表面は、切削加工が行われていないため、比較例のダイアフラムの表面と比べて荒れていない。しかも、膜部２１の表面は圧延加工により押圧されているため、平滑化されている。このため、ダイアフラム２０を使用したとしても、パーティクルが発生したり、表面の一部がむしれたりすることを抑制することができる。
【００７５】
図７に戻り、膜部２１の中央には、柱状部２２が直接に接合されている。柱状部２２は、ＰＦＡを主原料とする第２材料により、円柱状に形成されている。第１材料は第２材料よりも柔軟性が高い。膜部２１の四隅には、位置決め用の貫通孔２１ｃが形成されている。
【００７６】
そして、柱状部２２が切断及び切削されて、上記連結部２３が形成される。このため、膜部２１の中央には、連結部２３が直接に接合されている。連結部２３には、ねじ溝が形成される。こうして、上記ダイアフラム２０が製造される。
【００７７】
次に、ダイアフラム２０の製造方法について詳細に説明する。図１０は、ダイアフラム２０の膜部２１の製造方法を示す模式図である。図１１は、膜部２１に柱状部２２となる第２材料を射出する工程を示す模式図である。
【００７８】
まず、図１０に示すように、成形機Ｆ１に溶融状態の第１材料ｍ１を投入する。溶融状態の第１材料ｍ１は流動性が低く、射出成形を行うことができない。一方、第１材料ｍ１は柔軟性が高い。そこで、成形機Ｆ１のローラＲ１により、第１材料ｍ１を圧延しながら押し出す。このとき、ローラＲ１を加熱することで、第１材料ｍ１を加熱した状態で圧延する。加熱により第１材料ｍ１を軟化させつつ、第１材料ｍ１を次第に薄く延ばす。
【００７９】
次に、ある程度延ばされた第１材料ｍ１を成形機Ｆ２へ送る。成形機Ｆ２では、ローラＲ２により、第１材料ｍ１を更に圧延する。このとき、ローラＲ２を加熱することで、第１材料ｍ１を加熱した状態で圧延する。そして、０．２ｍｍの厚みまで延ばされた薄膜状（シート状）の膜部２１を、ローラＲ３により巻き取る。これにより、ロール状の膜部２１が製造される。
【００８０】
一般に、耐薬品性を有する第１材料ｍ１を圧延により加工する場合、０．０５ｍｍよりも薄くすることは困難である。そこで、第１材料ｍ１を圧延により加工して０．０５〜０．５ｍｍの厚みの膜部２１を形成する。本実施形態では、略０．２ｍｍの厚みの膜部２１を形成する。
【００８１】
次に、図１１に示すように、所定の大きさに切断した膜部２１を金型Ａ１に取り付ける。そして、柱状部２２の金型Ａ２を膜部２１の表面に配置する。金型Ａ２には、柱状部２２に対応する空間２２Ｓが形成されている。金型Ａ１と金型Ａ２とで膜部２１を挟み込むことで、空間２２Ｓを密閉する。空間２２Ｓは、原料の導入口２２Ｉに連通している。導入口２２Ｉは、射出成形機Ｆ３に接続されている。
【００８２】
射出成形機Ｆ３に溶融状態の第２材料ｍ２を投入する。溶融状態の第２材料ｍ２は流動性が高く、射出成形を行うことができる。すなわち、溶融状態の第２材料ｍ２の流動性は、溶融状態の第１材料ｍ１の流動性よりも高い。そして、第１材料ｍ１により形成された膜部２１の表面に、第２材料ｍ２を溶融状態で射出する。
【００８３】
ここで、膜部２１に溶融状態の第２材料ｍ２が接しても、第１材料ｍ１により形成された膜部２１は溶融しない。膜部２１は溶融しないが、射出された第２材料ｍ２により膜部２１が熱せられ、膜部２１の分子の移動が促進される。
【００８４】
その後、金型Ａ１，Ａ２を冷却することにより、射出された第２材料ｍ２を凝固させて柱状の柱状部２２を形成する。これにより、図７に示すように、膜部２１と柱状部２２とが直接に接合される。そして、柱状部２２を切削して、他部材との連結を可能とする連結部２３を形成する。以上により、ダイアフラム２０が製造される。」
「【０１０４】
・第１材料ｍ１の主原料と第２材料ｍ２の主原料とは同じである。このため、第１材料ｍ１により形成された膜部２１に、溶融状態の第２材料ｍ２を射出することにより、膜部２１に第２材料ｍ２を直接に接合することができる。そして、第２材料ｍ２を加工することにより、連結部２３を形成することができる。したがって、膜部２１の厚みが薄い場合であっても、連結部２３を備えるダイアフラム２０を製造することができる。
【０１０５】
・溶融状態の第２材料ｍ２の流動性は、溶融状態の第１材料ｍ１の流動性よりも高い。このため、第１材料ｍ１を溶融状態にして射出成形することができない場合であっても、第２材料ｍ２を溶融状態にして射出成形することにより、膜部２１に第２材料ｍ２を接合して連結部２３を形成することができる。
【０１０６】
・溶融状態の第２材料ｍ２は、射出成形可能な流動性を有している。このため、第２材料ｍ２を用いて膜部２１に接するように射出成形することにより、膜部２１に直接に接合された連結部２３を形成することができる。
【０１０７】
・第１材料ｍ１は第２材料ｍ２よりも柔軟性が高いため、第１材料ｍ１により形成された膜部２１の強度を高くすることができ、膜部２１からのパーティクル発生や膜部２１の損傷を抑制することができる。
【０１０８】
・第１材料ｍ１及び第２材料ｍ２の主原料は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）である。ＰＦＡはＰＴＦＥと比べてパーティクルの発生しにくい分子構造であり、ダイアフラム２０の使用によるパーティクルの発生を抑制することができる。近年、射出成形が可能な溶融状態での流動性が高いＰＦＡが開発されたため、この溶融状態での流動性が高いＰＦＡを第２材料ｍ２として射出成形により連結部２３を形成することができる。また近年、軟質のＰＦＡが開発されたため、この軟質ＰＦＡを第１材料ｍ１として圧延により膜部２１を形成することができる。」
「【図１】

」
「【図２】

」
「【図３】

」
「【図１１】

」

（２）甲第２号証
甲第２号証には次の記載がある。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱可塑性樹脂成形体に変形、ひずみ、皺を発生させずにフイルムを接合する方法に関するものである。」
「【０００２】
【従来の技術】熱可塑性樹脂成形体にフイルムを接合する方法としては、・・・（略）・・・シート（フイルム）の表面にホットメルト接着剤を塗布した転写シート（フイルム）を金型キャビティー内にセットし型締め後、射出成形で一体化する方法がある（例えば、特開平５−８２９４３号）。しかし、この方法ではホットメルト接着剤の塗布や金型内へのフイルムの位置決めが煩雑であり作業性に劣るばかりか、射出成形の溶融樹脂の流動によりフイルムに皺が発生しやすい。」
「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、熱可塑性樹脂成形体とフイルムの接合において、上述した従来の問題点を解消し、フイルムの皺、変形、ひずみを発生させることなく優れた表面外観を維持すると共に、高い位置精度で容易に樹脂成形体とフイルムを接合する方法、および熱可塑性樹脂成形体とフイルムを接合した複合成形体を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発明は、
（１）熱可塑性樹脂成形体とフイルムの接合方法において、熱可塑性樹脂成形体とフイルムを重ね合わせ、前記フィルムを介して前記熱可塑性樹脂成形体と反対側からレーザーを照射することにより、重ね合わせた面を接合することを特徴とする熱可塑性樹脂成形体とフイルムの接合方法。」
「【００１２】本発明において熱可塑性樹脂成形体に用いる熱可塑性樹脂は特に制限は無く、具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、エチレン／α−オレフィン共重合体などのオレフィン系樹脂、シンジオタクチックポリスチレン、ＡＳ樹脂（アクリロ二トリル／スチレン共重合体）、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル／スチレン／ブタジエン）、ＨＩＰＳ（ハイインパクトポリスチレン）などのスチレン系樹脂、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン６１０、ナイロン６１２、ナイロン１１、ナイロン１２などの脂肪族系ポリアミドおよびこれらの共重合体、６Ｔ／６６、６Ｔ／６、６Ｔ／１２、６Ｔ／６１０、６Ｉ／６６、６Ｔ／６Ｉ、６Ｔ／６Ｉ／６６などの６Ｔ系あるいは６Ｉ系共重合体（６Ｔはヘキサメチレンテレフタレート単位を、６Ｉはヘキサメチレンイソフタレート単位を表す）等のナイロン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン２,６−ナフタレート、ポリブチレン２，６−ナフタレート、ポリエイレンイソフタレート、ポリブチレンイソフタレートなどの非液晶ポリエステル系樹脂およびこれらの共重合体、液晶ポリエステル、ポリフェニレンスルフィドに代表されるポリアリーレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール（ホモポリマー、コポリマー）などが挙げられる。」
「【００１５】本発明の熱可塑性樹脂成形体を作成する方法としては、一般的な方法を採用することが可能であり、例えば射出成形、押出成形、ブロー成形、真空成形等が挙げられる。
【００１６】本発明の成形体の形状は、特に制限はなくレーザー溶着の特徴を生かし自由な形状のものを採用することが可能である。しかしながら、フイルムを接合した時にフイルムの皺や変形等を防止する目的で、溶融しろとしてリブやピン等を成形品の接合面に形成することが推奨される。溶融しろの形状としては三角形や四角形のリブや円や四角形のピン等特に限定するものは無いが、大きさとしてはレーザー光を照射した時に、完全に溶融する量が最適である。但し、該溶融しろの大きさは、接合面積、熱可塑性樹脂やフイルムの種類、さらにそれらのレーザー光透過度、レーザー光の照射条件等により溶融量が変わるが、目安としてリブ形状で有れば高さ０．１〜３ｍｍ、幅０．１〜３ｍｍが、接合面の表面外観を損なわずに、十分な接合強度を得る点で好ましいと言える。
【００１７】本発明のフイルムとしては、特に制限はなく厚み１０〜５００μｍ程度の各種フイルムを使用することが可能である。フイルムの材質としても特に制限はなくポリエステル系樹脂（ＰＥＴ、ＰＢＴ、ＰＣ、ＰＣＴ等）、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド、スチレン系樹脂（ＡＢＳ等）、オレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリ塩化ビニル等の公知のフイルムの中から、意匠性、耐熱性、加工性、成形温度などを考慮して使用目的に適したフイルムを選択することが可能である。」
「【００２１】本発明の熱可塑性樹脂成形体とフイルムを重ねた後、フイルム側からレーザー光を照射して接合する際には、フイルムの上にガラス板を置きその上からレーザーを照射することが、フイルムの過剰な溶融を抑える目的から推奨される。ガラス板の厚みとしては、０．５〜２ｍｍが適当でありレーザーの透過率や作業性等を考慮して最適なものを選択することが可能である。」
「【００３９】レーザー溶着方法は図４，５に示すように、フイルム４を熱可塑性樹脂成形体１，２の上部に重ねて置き、上部よりレーザー光線を照射する。レーザー照射はレーザー溶着軌道６に沿って１５ｍｍ行い、熱可塑性樹脂成形体２の場合には、溶着しろに沿ってレーザーを照射した。レーザ溶着条件は、出力５〜２０Ｗ範囲および、レーザ走査速度２０〜７０ｍｍ／ｓｅｃの範囲で最も良好な溶着強度が得られる条件で行った。尚、焦点距離は３８ｍｍ、焦点径は０．６ｍｍ固定で実施した。熱可塑性樹脂成形体とフイルムの溶着しろは、熱可塑性樹脂成形体１を使用した場合は、幅が１．０〜１．４ｍｍであり、熱可塑性樹脂成形体２を使用した場合は、断面が三角形の溶着しろが完全に溶融する量（溶着幅で約１．４ｍｍ）にて接合した。各種熱可塑性樹脂成形体とフイルムを用いて接合強度を測定した結果を表１に示す。」
「【００４２】
【発明の効果】上述したように、本発明の熱可塑性樹脂成形体とフイルムの接合方法によれば、接合するフイルムの皺や変形を防いで高い接合強度で接合することができ、しかもレーザーを使用することで任意の場所に任意の溶着しろで接合が可能である。」
「【図４】

」
「【図５】

」

（３）甲第３号証
甲第３号証には次の記載がある。
「【請求項１】
非溶融性フッ素樹脂から成るハウジングのフランジ部と同様に非溶融性フッ素樹脂から成るダイアフラムのフランジ部とを溶着する樹脂ダイヤフラムのシール方法において、前記２つのフランジ部間に熱可塑性フッ素樹脂から成る溶融樹脂シートを介在し、前記ダイアフラムの非溶着面側に熱伝導性が良好でレーザー光により加熱されずレーザー光を透過する吸熱材を配置し、前記吸熱材側から加熱用レーザー光を照射して前記溶融樹脂シートを溶融して前記フランジ部同士を溶着することを特徴とする樹脂ダイヤフラムのシール方法。」
「【請求項３】
前記非溶融性フッ素樹脂はＰＴＦＥ又は変性ＰＴＦＥとしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の樹脂ダイヤフラムのシール方法。
【請求項４】
前記熱可塑性フッ素樹脂はＰＦＡとしたことを特徴とする請求項２に記載の樹脂ダイヤフラムのシール方法。」
「【０００１】
本発明は、バルブ等に用いる樹脂ダイヤフラムのシール方法に関するものである。」
「【００１４】
図１はフッ素樹脂製のダイアフラムを使用したバルブの断面図である。例えば、ＰＦＡ（Tetrafluoroethylene Perflouroalkoxy vimyl ether copolymer）などの熱可塑性フッ素樹脂から成り、射出成型により成型された上下のハウジング１１、１２の間に、例えばＰＴＦＥ（Polytetrafluoroethylene）、変性ＰＴＦＥなどの非溶融性フッ素樹脂から成るダイアフラム１３が介在されている。ダイアフラム１３の上部には駆動棒１４、下部には弁部１５が一体に形成され、弁部１５は下ハウジング１２の孔部１６内に挿入自在とされている。なお、この場合に溶着を必要としない上ハウジング１１は非溶融性フッ素樹脂から成っていても支障はない。」
「【００１９】
そして、吸熱材１９の上方から図３に示すように例えば炭酸ガスレーザー光源から発生した加熱用レーザー光Ｌを円環状に、必要であれば複数回走査して照射し、ダイアフラム１３のフランジ部１３ｂと下ハウジング１２のフランジ部１２ａを加熱する。なお、レーザー光はフランジ部１３ｂ、フランジ部１２ａの境界部まで達するようにその強度を調整しておく。レーザー光Ｌの走査はレーザー光源を回転させても、或いはダイアフラム１３等を固定した治具を回転させてもよく、相対的な走査が可能であればよい。
【００２０】
この加熱用レーザー光Ｌの照射により、熱可塑性フッ素樹脂から成るフランジ部１２ａは３２０℃程度以上になると溶融が始まる。図２のドット部２０で示すように、溶融されたフランジ部１２ａの一部は、ダイアフラム１３のフランジ部１３ｂ内にも入り込み、両者の間は円環状に溶着される。」

（４）甲第４号証
甲第４号証には次の記載がある。
「【０００１】
本発明は、半導体ウェハーや当該半導体ウェハーを利用して製造する半導体素子の製造にあたり、用いられる薬液等の液体の流れを制御するに適したダイヤフラム弁並びにその環状弁座形成方法及び弁体形成方法に関する。」
「【０１０９】
まず、図５にて示すハウジング部材の母体の切削加工工程Ｓ１において、当該ハウジング部材の母体の切削加工がなされる。この切削加工に伴い、上記母体がハウジング部材の半完成体（以下、ハウジング部材半完成体ともいう）として形成される。なお、上記ハウジング部材の母体とは、円筒状ハウジング１００のハウジング部材１００ａを形成するに要する材料であるＰＴＦＥからなる固体をいう。
【０１１０】
本第１実施形態において、上記ハウジング部材半完成体は、図６から分かるように、ハウジング部材１００ａのうち、環状弁座１３０の主環状部１３０ａ、流入筒部１１２及び流入側連通路部１１４を有する底壁１１０、並びに小径内孔部１２１ａ、大径内孔部１２１ｂ、流出筒部１２１、流出側連通路部１２３を有する周壁１２０でもって、一体的に構成されている。」
「【０１２６】
然る後、次の副環状部の載置工程Ｓ３において、上述のように射出成形された副環状部１３０ｂ（付加環状部１３０ｂ）が、その環状底面部１３１にて、図７にて示すごとく、上記ハウジング部材半完成体の主環状部１３０ａ（一体環状部１３０ａ）の上面上に同軸的に載置される。
【０１２７】
このように副環状部１３０ｂが、主環状部１３０ａの上面に載置された後、次の円板状押え付け部材の載置工程Ｓ４において、円板状押え付け部材１７０が、その底面にて、図８にて示すごとく、副環状部１３０ｂの環状上面部１３２上に同軸的に載置される。
【０１２８】
本第１実施形態において、円板状押え付け部材１７０は、透明ガラスでもって、所定の厚さ及び所定の直径を有するように円板状に形成されている。ここで、円板状押え付け部材１７０を形成する透明ガラスは、高熱伝導性及び電気絶縁性を有する。」
「【０１３２】
しかして、上述のように円板状押え付け部材１７０が副環状部１３０ｂ上に載置された後、次の円板状押さえ付け部材の押さえ付け工程Ｓ５において、円板状押え付け部材１７０が、その上方から、適宜なプレス機（図示しない）により、図８にて矢印Ｙにより示すごとく、副環状部１３０ｂに向けて押し付けられる。このとき、円板状押え付け部材１７０は、その下面にて、副環状部１３０ｂの環状上面部１３２の全面に亘り、一様な押圧力でもって、押し付けられる。
【０１３３】
このような円板状押え付け部材１７０の副環状部１３０ｂに対する押え付け状態のまま、次のレーザ光照射工程Ｓ６において、レーザ光が、半導体レーザ装置ＳＬ（図９参照）により、次のようにして、押え付け部材１７０に向けて照射される。」
「【０１３８】
しかして、当該半導体レーザ装置ＳＬが、その作動に伴い、レーザ光を出射すると、当該レーザ光は、図９及び図１０にて示すごとく、ハウジング部材１００ａの大径内孔部１２１ｂ及び小径内孔部１２１ａを通り、押え付け部材１７０及び副環状部１３０ｂを各厚さ方向に透過して当該副環状部１３０ｂと主環状部１３０ａとの幅方向境界面中央部Ｑに収束する。
【０１３９】
従って、副環状部１３０ｂ及び主環状部１３０ａが、幅方向境界面中央部Ｑを中心としてレーザ光により加熱される。これに伴い、副環状部１３０ｂ及び主環状部１３０ａが、幅方向境界面中央部Ｑを中心として溶融されていく。
【０１４０】
本第１実施形態では、副環状部１３０ｂの形成材料であるＰＦＡは、主環状部１３０ａの形成材料であるＰＴＦＥの融点（約３３０（℃））よりも幾分低い融点（約３１０（℃））を有する。
【０１４１】
このため、半導体レーザ装置ＳＬにおいては、そのレーザ光の幅方向境界面中央部Ｑに対する加熱温度が、ＰＴＦＥの融点よりも幾分高くなるように、上述したレーザ光の出射強度が調整されている。
【０１４２】
但し、押え付け部材１７０が、その高熱伝導性のもとに副環状部１３０ｂの発熱を吸熱することを考慮して、幅方向境界面中央部Ｑに対する加熱温度がＰＦＡの融点を超えて上昇するものの、主環状部１３０ａ及び副環状部１３０ｂにおいて幅方向境界面中央部Ｑを中心とする溶融領域が所定領域内に収まるように、幅方向境界面中央部Ｑに対するレーザ光の出射強度が所定の出射強度として設定されている。
【０１４３】
換言すれば、副環状部１３０ｂと主環状部１３０ａとの幅方向境界面中央部Ｑを含む円周上に沿いレーザ光の照射強度が一様に上記所定の照射強度となるように、半導体レーザ装置ＳＬの回転速度が低回転速度に選定されている。なお、上述の所定領域は、例えば、副環状部１３０ｂの主環状部１３０ａに対する載置状態において、少なくとも副環状部１３０ｂの上面部及び主環状部１３０ａの下面部を含まない領域をいう。
【０１４４】
ここで、副環状部１３０ｂの形成材料であるＰＦＡは、主環状部１３０ａの形成材料であるＰＴＦＥに比べて流動性が高く、かつ、上述したごとく、当該ＰＴＦＥの融点よりも低い融点を有する。しかも、副環状部１３０ｂは主環状部１３０ａ上に重畳的に載置されている。
【０１４５】
このため、副環状部１３０ｂは、主環状部１３０ａよりも早いタイミングにて、上記レーザ光により、幅方向境界面中央部Ｑを中心として局所的に加熱されて溶融し始めて、溶融状態となって当該主環状部１３０ａ内に浸透していく。また、上記レーザ光による加熱温度の上昇に伴い、主環状部１３０ａが幅方向境界面中央部Ｑを中心として局所的に加熱されて溶融し始める。このため、副環状部１３０ｂを形成するＰＦＡは、溶融状態にて、主環状部１３０ａを形成するＰＴＦＥの溶融領域により一層容易に浸透していく。
【０１４６】
本第１実施形態において、上述のような局所的な加熱では、副環状部１３０ｂに対する加熱温度は、押え付け部材１７０による吸熱作用のもと、副環状部１３０ｂにおいてその底面部１３１から上面１３２側に向けて順次低下するとともに、主環状部１３０ａにおいては、副環状部１３０ｂの底面部１３１側から副環状部１３０ｂの上面１３２とは反対方向に向けて順次低下する。従って、上記所定領域内において主環状部１３０ａ及び副環状部１３０ｂが相互に溶融することとなる。
【０１４７】
このようなレーザ光による照射を維持しながら、半導体レーザ装置ＳＬが、レーザ光を、副環状部１３０ｂと主環状部１３０ａとの幅方向境界面中央部Ｑを含む円周上に沿い順次収束させるように、上記低回転速度にて、回転していく。
【０１４８】
これにより、主環状部１３０ａ及び副環状部１３０ｂが、その境界面の幅方向中央部に沿う円周部を中心とする上記所定の領域に亘り、レーザ光により加熱されて一様に溶融して相互に溶着していく。その後、半導体レーザ装置ＳＬからのレーザ光の出射を停止することで、主環状部１３０ａ及び副環状部１３０ｂは、自然冷却を経て硬化していく。
【０１４９】
ここで、上述のごとく、所定領域は、副環状部１３０ｂの主環状部１３０ａに対する載置状態において、少なくとも副環状部１３０ｂの上面部及び主環状部１３０ａの下面部を含まない領域であることから、副環状部１３０ｂの主環状部１３０ａに対する載置状態において、副環状部１３０ｂがその押え付け部材１７０との接合面まで溶融することはなく、また、主環状部１３０ａは、その副環状部１３０ｂとは反対側面まで溶融することはない。従って、主環状部１３０ａ及び副環状部１３０ｂは、その原形状を維持したまま、相互に溶着される。
【０１５０】
然る後、図５の押え付け部材除去工程Ｓ７において、押え付け部材１７０が、副環状部１３０ｂから除去される。これにより、主環状部１３０ａ及び副環状部１３０ｂが、相互に溶着硬化した状態にて、ハウジング部材１００ａの環状弁座１３０として形成される。
【０１５１】
以上により、互いに溶着後冷却硬化してなる主環状部１３０ａ及び副環状部１３０ｂからなる環状弁座１３０を備えたハウジング部材１００ａの形成が完了する。」
「【０１８３】
また、本第２実施形態における弁体１５０ａは、上記第１実施形態にて述べた弁体１５０を弁体本体とし、この弁体本体に弁体環状部１５５を付加した構成を有する。なお、弁体環状部１５５は、弁体１５０である弁体本体に付加されていることから、当該弁体環状部１５５は、付加環状部１５５であるともいえる。
【０１８４】
当該弁体環状部１５５は、上記第１実施形態にて述べた環状弁座１３０のうちの副環状部１３０ｂと同様に、ＰＦＡを用いて、当該副環状部１３０ｂと類似の構成を有するように、射出成形機でもって、射出成形されている。」
「【０１９０】
然る後、押さえ付け部材の押さえ付け工程Ｓ５において、押え付け部材１７０が、その上方から、上記プレス機により、副環状部１３０ｂに代えて、当該副環状部１３０ｂと同様に、弁体環状部１５５に押し付けられる。
【０１９１】
ついで、レーザ光照射工程Ｓ６において、半導体レーザ装置ＳＬが、その回転に伴い、レーザ光を、上記第１実施形態にて述べた副環状部１３０ｂと主環状部１３０ａとの幅方向境界面中央部Ｑを含む円周部に代えて、上記第１実施形態と同様に、弁体環状部１５５の環状底面部１５５ａと弁体１５０ａの弁体本体の先端面環状外周部１５１との幅方向境界面中央部を含む円周部に沿い収束するように照射する。
【０１９２】
これにより、弁体１５０ａの弁体本体の先端面環状外周部１５１及び弁体環状部１５５が、その境界面の幅方向中央部に沿う円周部を中心とする上記所定の領域と同様の領域に亘り、レーザ光により加熱されて溶融して相互に溶着していく。その後、半導体レーザ装置ＳＬからのレーザ光の出射を停止することで、弁体１５０ａ及び弁体環状部１５５は、自然冷却を経て硬化していく。」

（５）甲第５号証
甲第５号証には次の記載がある。
「【０００１】
本発明は、例えば生産ラインの製造装置やその製造装置に液体を供給する配管等からの漏液を検出する漏液検出装置に関するものである。」
「【００２０】
センサ本体部１１は、略有底円筒状のケース１４と、ケース１４の上部を水密に閉塞するカバー１５と、ケース１４から導出されたケーブル１６とを有する。ケース１４は、円筒形の外周部２１と、外周部２１の一端を塞ぐ底部２２とを有する。外周部２１の開口１４ａ（底部２２とは反対側の端部）は、略円盤状のカバー１５（図８参照）にて閉塞されている。尚、ケース１４、カバー１５及び前記基台１２は、透光性、耐熱性及び耐薬品性を有するＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）等のフッ素樹脂からなる。また、カバー１５とケース１４の開口１４ａとはレーザ溶着されている。」

（６）甲第６号証
甲第６号証には次の記載がある。
「【０００１】
本発明は、化学工場、または半導体製造分野、液晶製造分野、食品分野などの各種産業に使用される弁に関するものであり、さらに詳しくは、弁本体に螺合されるブッシュの緩みを防止でき、急激な流体圧力がかかってもブッシュが飛び出るのを防ぐことのできる流路付開閉弁に関するものである。」
「【００５４】
９６は主弁室５５に連通する入口流路５８と出口流路５９の開閉を行うダイヤフラム弁である。ダイヤフラム弁９６は弁本体５２と、ダイヤフラム部９７、シリンダ本体１０２、ピストン１０８および隔膜押さえ１１３から形成されている。ダイヤフラム弁の構成を以下に説明する。
【００５５】
９７は主弁室５５の上部に位置するＰＴＦＥ製のダイヤフラム部である。ダイヤフラム部９７の中央上部は後記隔膜押さえ１１３の挿嵌部１１４に受容され、且つ下面は弁座部６０に圧接離間される主弁体９８が形成されている。主弁体９８の上部には雌ネジ部９９が設けられており、後記ピストン１０８の軸部１１２下端部の雄ネジ部１１１に螺着されている。すなわち主弁体９８はピストン１０８の上下動に伴って、上下に移動可能であり弁本体５２の弁座部６０に圧接離間され、入口流路５８から出口流路５９への流路の閉止あるいは開放が行なわれる。また、主弁体９８の外周には径方向へ延設された隔膜部１００が設けられている。さらに隔膜部１００外周縁には断面矩形状の環状嵌合部１０１が設けられ、弁本体５２の環状溝５４に嵌合された状態で弁本体５２と後記隔膜押さえ１１３の下面とで挟持固定されている。」

（７）甲第７号証
甲第７号証には次の記載がある。
「【００２５】
弁体収容孔１３は、図４〜図６に示されるように、その底部側を頂点とする円錐面形状部３４と、この最大内径部分に連なる円筒面形状部３５とを有しており、弁体収容孔１３により第１のポート１１と第２のポート１２とを連通させる連通室３６が形成されている。弁体収容孔１３の開口端部には径方向を向いてスペーサ１７に対向する段部３７が形成されている。弁体１６には、段部３７に配置されてスペーサ１７と弁体収容ブロック１０との間で挟み付けられる環状部３８がダイヤフラム３９を介して一体に設けられている。このダイヤフラム３９は弁体１６と弁体収容ブロック１０との間に装着されて、弁体１６と連通室３６の開口端との間をシールするためのシール部材を構成している。ダイヤフラム３９は、弁体１６が軸方向に移動すると、それに追従して弾性変形する。シリンダブロック１８には隔壁２２とダイヤフラム３９との間に形成される空間４０を外部に連通させる息付き孔４１が形成されており、弁体１６が軸方向に移動して空間４０の容積が変化したときには、空間４０内の空気は息付き孔４１を介して給排される。」

５ 当審の判断
（１）甲第１号証に記載された発明
上記４（１）の摘記事項より、甲第１号証には、次の技術的事項が記載されているといえる。

・薬液等の流体の流路を開閉するバルブ１０の第１弁機構（段落【０００１】、【０００７】、【００１７】、【００３５】）。
・第１弁機構は、流路ブロック１１、ダイアフラム２０、第１ボディ４１、第１ピストン６１、カバー７１を備えている（段落【００３５】）。
・第１弁機構の第１ボディ４１は、その上端部をカバー７１によって閉塞され、下端部を流路ブロック１１によって閉塞されている（【図１】）。
・第１ボディ４１の上下方向中間部には、内側に張り出す部分（肉厚部）が形成されている（【図１】）。
・第１ピストン６１は、ピストン部（大径部）とロッド部（小径部）からなり、ピストン部（大径部）はカバー７１と第１ボディ４１の肉厚部との間に配置され、ロッド部（小径部）は第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されている（【図１】）。
・第１ボディ４１に設けられた押圧部４２は、円筒状であり、また、第１ボディ４１内には円柱状に形成されている第１ピストン６１が納められていることから、第１ボディ４１内側は筒状内周壁であるといえる（段落【００４０】、【００４４】、【図１】）。
・第１ボディ４１には、第１ピストン６１を往復動させるアクチュエータが組み込まれている（段落【００４５】）。
・第１弁機構のダイアフラム２０は、薄膜状の膜部２１と膜部の中央に接合された円筒状の連結部２３とを備えている（段落【００３９】）。
・ダイアフラム２０の膜部２１は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料ｍ１で圧延加工により形成されている（段落【００７２】、【００７７】〜【００８０】）。
・ダイアフラム２０の連結部２３は、ＰＦＡを主原料とする第１材料ｍ２で、膜部２１の表面に射出成形することにより形成されている（段落【００７５】、【００７６】、【００８１】〜【００８４】、【図１１】）。
・ダイアフラム２０の連結部２３は、第１ピストン６１のロッド部（小径部）に同軸的に連結され第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されている（段落【００４４】、【図１】）。
・ダイアフラム２０は、流路ブロック１１と第１ボディ４１との間に設けられている（段落【００４０】、【図１】、【図２】）。
・第１弁機構の流路ブロック１１には、第１室１２、第１流路１３、連通流路８１が設けられている（段落【００３６】、【００３７】、【００５５】、【図１】、【図２】）。
・流路ブロック１１の載置面１１ａ側には、載置面１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として第１室１２が形成される（段落【００３６】、【００３７】、【図１】、【図２】）。
・第１室１２の中心軸線上の底面１２ａには、第１流路１３の開口１３ａが設けられている（段落【００３７】）。
・開口１３ａの周囲には、環状の弁座１４が設けられている（段落【００３８】）。
・第１室１２の内周面１２ｂには、連通流路８１の開口８２が設けられている（段落【００５５】）。
・第１ピストン６１が往復動させられることにより、ダイアフラム２０が変形させられ、ダイアフラム２０が弁座１４に当接することにより、第１室１２と第１流路１３が遮断され、ダイアフラム２０が弁座１４から離間することにより、第１室１２と第１流路１３とが連通される（段落【００４６】）。

上記認定事項より、甲第１号証には、次の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されているといえる。

［甲１発明］
「薬液等の流体の流路を開閉するバルブ１０の第１弁機構であって、
第１弁機構は、流路ブロック１１、ダイアフラム２０、第１ボディ４１、第１ピストン６１、カバー７１を備えており、
円筒状内壁を持つ第１ボディ４１は、その軸方向上端部をカバー７１によって閉塞され、下端部を流路ブロック１１によって閉塞されており、
第１ブロック４１の軸方向中間部は、内側に張り出す部分（肉厚部）が形成されており、
第１ピストン６１は、ピストン部（大径部）とロッド部（小径部）からなり、ピストン部（大径部）はカバー７１と第１ボディ４１の肉厚部との間に配置され、ロッド部（小径部）は第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されており、
第１ボディ４１には、第１ピストン６１を往復動させるアクチュエータが組み込まれており、
ダイアフラム２０は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料ｍ１で圧延加工により形成されている薄膜状の膜部２１と、膜部２１の中央に、ＰＦＡを主原料とする第１材料ｍ２で膜部２１の表面に射出成形することにより接合された円筒状の連結部２３とを備えており、
ダイアフラム２０の連結部２３は、第１ピストン６１のロッド部（小径部）に同軸的に連結され第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されており、
ダイアフラム２０は、流路ブロック１１と第１ボディ４１との間に設けられており、
流路ブロック１１には、第１室１２、第１流路１３、連通流路８１が設けられており、
流路ブロック１１の載置面１１ａ側には、載置面１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として第１室１２が形成されており、
流路ブロック１１の第１室１２の中心軸線上の底面１２ａには、第１流路１３の開口１３ａが設けられており、開口１３ａの周囲には、環状の弁座１４が設けられており、第１室１２の内周面１２ｂには、連通流路８１の開口８２が設けられており、
第１ピストン６１が往復動させられることにより、ダイアフラム２０が変形させられ、ダイアフラム２０が弁座１４に当接することにより、第１室１２と第１流路１３が遮断され、ダイアフラム２０が弁座１４から離間することにより、第１室１２と第１流路１３とが連通されるものである
バルブ１０の第１弁機構。」

（２）請求項１に係る発明（以下、「本件発明１」という。）について
ア 対比
本件発明１と甲１発明とを対比する。
（ア）甲１発明の「薬液」は、本件発明１の「高純度薬液」に相当する。甲１発明の「第１弁機構」は、「第１ピストン６１が往復動させられることにより、ダイアフラム２０が変形させられ、ダイアフラム２０が弁座１４に当接することにより、第１室１２と第１流路１３が遮断され、ダイアフラム２０が弁座１４から離間することにより、第１室１２と第１流路１３とが連通される」ことにより「薬液等の流体の流路を開閉する」ものであるから、開弁したときに薬液を流入側から流出側へ流動させ、また、閉弁したときに薬液の流動を遮断するダイアフラム弁であるといえる。
したがって、甲１発明の「薬液等の流体の流路を開閉するバルブ１０の第１弁機構」は、本件発明１の「開弁したとき高純度薬液や超純水の液体を流入側から流出側へ流動させ、また、閉弁したときに前記液体の流動を遮断するダイヤフラム弁」に相当する。

（イ）甲１発明の「第１弁機構」は、「流路ブロック１１、ダイアフラム２０、第１ボディ４１、第１ピストン６１、カバー７１」を備えているところ、「第１ボディ４１は、その上端部をカバー７１によって閉塞され、下端部を流路ブロック１１によって閉塞されて」いることから、甲１発明の「第１ボディ４１」と「カバー７１」と「流路ブロック１１」とで、第１弁機構のハウジングを構成し、「カバー７１」と「流路ブロック１１」が「第１ボディ４１」の上下両端開口を対向する形で閉塞しているといえるから、「第１ボディ４１」と「カバー７１」と「流路ブロック１１」の三者で本件発明１の「ハウジング」に相当する構成をなし、また「カバー７１」及び「流路ブロック１１」が本件発明１の「対向壁」に相当するといえる。
そして、甲１発明の「第１ボディ４１」の「円筒状内壁」は本件発明１の「ハウジング」の「筒状周壁」に相当する。
したがって、甲１発明の「円筒状内壁を持つ第１ボディ４１は、その軸方向上端部をカバー７１によって閉塞され、下端部を流路ブロック１１によって閉塞されて」いることは、本件発明１の「ハウジング」が「筒状周壁及び当該筒状周壁にその軸方向両端開口部を閉塞するように互いに対向して形成してなる両対向壁を有する」ことに相当する。

（ウ）上記（イ）を踏まえると、甲１発明の「第１ブロック４１の軸方向中間部」の「内側」は、本件発明１の「前記筒状周壁の軸方向中間部位」に相当する。
そして、甲１発明の「内側に張り出す部分（肉厚部）」は、第１ブロック４１の軸方向中間部に形成されて（設けられて）、第１ブロック４１の円筒状内壁の中空部をカバー７１側と流路ブロック１１側との間にて区画する隔壁を構成しているといえる。
したがって、甲１発明の「第１ブロック４１の軸方向中間部は、内側に張り出す部分（肉厚部）が形成されて」いることは、本件発明１の「前記筒状周壁の軸方向中間部位に設けられて前記筒状周壁の中空部を前記両対向壁の一方の対向壁と他方の対向壁との間にて区画する隔壁」「を備える」ことに相当する。
そして、甲１発明の「内側に張り出す部分（肉厚部）」により、第１ブロック４１の円筒状内壁に狭小な軸方向の貫通穴部を形成している、すなわち、甲１発明の「内側に張り出す部分（肉厚部）」の内周は、軸方向に形成された貫通穴部を構成しているといえる。

（エ）甲１発明の「第１ピストン６１を往復動させるアクチュエータ」は、「第１ボディ４１」の円筒状内壁に「組み込まれて」、第１ピストン６１とアクチュエータとでダイヤフラム２０を駆動する手段を構成しているといえる。
したがって、甲１発明の「円筒状内壁を持つ第１ボディ４１は、その軸方向上端部をカバー７１によって閉塞され、下端部を流路ブロック１１によって閉塞されており、第１ブロック４１の軸方向中間部は、内側に張り出す部分（肉厚部）が形成されており、第１ピストン６１は、ピストン部（大径部）とロッド部（小径部）からなり、ピストン部（大径部）はカバー７１と第１ボディ４１の肉厚部との間に配置され、ロッド部（小径部）は第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されており、第１ボディ４１には、第１ピストン６１を往復動させるアクチュエータが組み込まれて」いることは、上記（イ）及び（ウ）を踏まえると、本件発明１の「前記筒状周壁の前記中空部内にて前記一方の対向壁と前記隔壁との間に組み付けられる駆動手段」を「備えて」いることに相当する。

（オ）甲１発明の「ダイアフラム２０」は、「薄膜状の膜部２１」と「円筒状の連結部２３」の双方から構成されているから、「薄膜状の膜部２１」は、本件発明１の「ダイヤフラム」に相当し、「円筒状の連結部２３」は、本件発明１の「補助軸」に相当する。
また、甲１発明の「ダイアフラム２０」は、「流路ブロック１１と第１ボディ４１との間に設けられて」いるから、上記（イ）を踏まえると第１弁機構のハウジング内に設けられているといえる。
さらに、甲１発明の「ダイアフラム２０」は、流路ブロック１１の載置面１１ａ側に形成された、「載置面１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として第１室１２」の上面を覆って流路ブロック１１との間に液体室を形成し第１弁機構のハウジング内部を区画している（甲第１号証の【図１】及び【図２】を参照。）といえる。
そして、甲１発明の「薄膜状の膜部２１」は、「テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料ｍ１で圧延加工により形成されている」から、ＰＦＡ製のフィルム状物質であるといえ、また、甲１発明の「円筒状の連結部２３」は、「膜部２１の中央に、ＰＦＡを主原料とする第１材料ｍ２で膜部２１の表面に射出成形することにより接合された」ものであるから、薄膜状の膜部２１の中央部に同軸的に接着されて当該中央部から延出するフッ素樹脂製軸であるといえる。さらに、甲１発明の「円筒状の連結部２３」は、「第１ピストン６１のロッド部（小径部）に同軸的に連結され第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されて」いるから、上記（ウ）を踏まえると、甲１発明の「内側に張り出す部分（肉厚部）」の内周に構成された、軸方向に形成された貫通穴部に移動可能に嵌装されているといえる。
したがって、甲１発明の「第１ボディ４１には、第１ピストン６１を往復動させるアクチュエータが組み込まれており、ダイアフラム２０は、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料ｍ１で圧延加工により形成されている薄膜状の膜部２１と、膜部２１の中央に、ＰＦＡを主原料とする第１材料ｍ２で膜部２１の表面に射出成形することにより接合された円筒状の連結部２３とを備えており、ダイアフラム２０の連結部２３は、第１ピストン６１のロッド部（小径部）に同軸的に連結され第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されており、ダイアフラム２０は、流路ブロック１１と第１ボディ４１との間に設けられて」いることは、本件発明１の「前記ハウジング内に設けられて前記他方の対向壁との間に液体室を形成するとともに前記隔壁との間に空気室を形成するように前記ハウジングの内部を区画するＰＦＡ製フィルム状ダイヤフラムと、当該ダイヤフラムの中央部に同軸的にレーザー溶接されて当該中央部から延出するフッ素樹脂製補助軸との双方により構成されて、当該補助軸にて前記隔壁にその軸方向に形成してなる貫通穴部内にて摺動可能なように嵌装されるダイヤフラム部材とを備えて」いることとの対比において、「前記ハウジング内に設けられて前記他方の対向壁との間に液体室を形成するように前記ハウジングの内部を区画するＰＦＡ製フィルム状ダイヤフラムと、当該ダイヤフラムの中央部に同軸的に接着されて当該中央部から延出するフッ素樹脂製補助軸との双方により構成されて、当該補助軸にて前記隔壁にその軸方向に形成してなる貫通穴部内にて移動可能なように嵌装されるダイヤフラム部材とを備えて」いるとの限度で一致する。

（カ）甲１発明の「第１ピストン６１は、ピストン部（大径部）とロッド部（小径部）からなり、ピストン部（大径部）はカバー７１と第１ボディ４１の肉厚部との間に配置され、ロッド部（小径部）は第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されており」、「ダイアフラム２０の連結部２３は、第１ピストン６１のロッド部（小径部）に同軸的に連結され第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されて」いることは、上記（エ）を踏まえると、本件発明１の「前記駆動手段は、前記ダイヤフラム部材の前記補助軸と共に前記空気室に向け或いはその逆方向に向け軸動可能となるように前記補助軸の延出端部に同軸的に連結される駆動軸を一体的に設けて」いることとの対比において、「前記駆動手段は、前記ダイヤフラム部材の前記補助軸と共に軸動可能となるように前記補助軸の延出端部に同軸的に連結される駆動軸を一体的に設けて」いるとの限度で一致する。

（キ）甲１発明の「環状の弁座１４」、「第１流路１３」及び「連通流路８１」は、それぞれ、対向壁たる流路ブロック１１に設けられているものであり、本件発明１の「環状弁座部」、「流入路」及び「流出路」に相当する。
甲１発明の「第１室１２」と「ダイアフラム２０」とから形成される室（液体室）は、本件発明１の「液体室」に相当し、甲１発明の「環状の弁座１４」は、この液体室にてダイアフラム２０の中央部に対向して中央部と共に弁部を構成するものであるといえる。
また、甲１発明の「第１流路１３」の「開口１３ａ」は、「第１室１２の中心軸線上の底面１２ａに」設けられ、「開口１３ａの周囲には、環状の弁座１４が設けられて」いるから、第１流路１３は、薬液等の流体を流入側から環状の弁座１４を介して液体室内に流入させものであるといえる。さらに、甲１発明の「連通流路８１」は、液体室内の薬液等の流体を流出側へ流出させるものであるといえる。
したがって、甲１発明の「流路ブロック１１には、第１室１２、第１流路１３、連通流路８１が設けられており、流路ブロック１１の載置面１１ａ側には、載置面１１ａに垂直な方向に延びる円柱状の空間として第１室１２が形成されており、流路ブロック１１の第１室１２の中心軸線上の底面１２ａには、第１流路１３の開口１３ａが設けられており、開口１３ａの周囲には、環状の弁座１４が設けられており、第１室１２の内周面１２ｂには、連通流路８１の開口８２が設けられて」いることは、本件発明１の「前記ハウジングは、前記液体室内にて前記ダイヤフラムの前記中央部に対向して当該中央部と共に弁部を構成する環状弁座部、前記液体を前記流入側から前記環状弁座部を介し前記液体室内に流入させる流入路及び前記液体室内の前記液体を前記流出側へ流出させる流出路を前記他方の対向壁に設けて」いることに相当する。

（ク）甲１発明の「ダイアフラム２０が弁座に当接」することは、本件発明１の「前記ダイヤフラムの前記中央部を前記環状弁座部に着座させたとき、前記弁部を閉弁」することに相当し、また、甲１発明の「ダイアフラム２０が弁座１４から離間する」ことは、本件発明１の「前記ダイヤフラムの前記中央部にて前記環状弁座部から離れたとき、前記弁部を開弁する」ことに相当する。
したがって、上記（エ）〜（カ）を踏まえると、甲１発明の「第１ピストン６１が往復動させられることにより、ダイアフラム２０が変形させられ、ダイアフラム２０が弁座１４に当接することにより、第１室１２と第１流路１３が遮断され、ダイアフラム２０が弁座１４から離間することにより、第１室１２と第１流路１３とが連通されるものである」ことは、本件発明１の「前記ダイヤフラム部材が、前記補助軸にて、前記駆動軸の前記他方の対向壁側への軸動に伴い連動して。前記ダイヤフラムの前記中央部を前記環状弁座部に着座させたとき、前記弁部を閉弁し、また、前記ダイヤフラム部材が、前記補助軸にて、前記駆動軸の前記一方の対向壁側への軸動に伴い連動して、前記ダイヤフラムの前記中央部にて前記環状弁座部から離れたとき、前記弁部を開弁するようになっている」ことに相当する。

（ケ）以上のとおりであるから、本件発明１と甲１発明との一致点及び相違点は次のとおりとなる。

［一致点］
「開弁したとき高純度薬液や超純水の液体を流入側から流出側へ流動させ、また、閉弁したときに前記液体の前記流動を遮断するダイヤフラム弁において、
筒状周壁及び当該筒状周壁にその軸方向両端開口部を閉塞するように互いに対向して形成してなる両対向壁を有するハウジングと、
前記筒状周壁の軸方向中間部位に設けられて前記筒状周壁の中空部を前記両対向壁の一方の対向壁と他方の対向壁との間にて区画する隔壁と、
前記筒状周壁の前記中空部内にて前記一方の対向壁と前記隔壁との間に組み付けられる駆動手段と、
前記ハウジング内に設けられて前記他方の対向壁との間に液体室を形成するように前記ハウジングの内部を区画するＰＦＡ製フィルム状ダイヤフラムと、当該ダイヤフラムの中央部に同軸的に接着されて当該中央部から延出するフッ素樹脂製補助軸との双方により構成されて、当該補助軸にて前記隔壁にその軸方向に形成してなる貫通穴部内にて移動可能なように嵌装されるダイヤフラム部材とを備えており、
前記駆動手段は、前記ダイヤフラム部材の前記補助軸と共に軸動可能となるように前記補助軸の延出端部に同軸的に連結される駆動軸を一体的に設けてなり、
前記ハウジングは、前記液体室内にて前記ダイヤフラムの前記中央部に対向して当該中央部と共に弁部を構成する環状弁座部、前記液体を前記流入側から前記環状弁座部を介し前記液体室内に流入させる流入路及び前記液体室内の前記液体を前記流出側へ流出させる流出路を前記他方の対向壁に設けてなり、
前記ダイヤフラム部材が、前記補助軸にて、前記駆動軸の前記他方の対向壁側への軸動に伴い連動して、前記ダイヤフラムの前記中央部を前記環状弁座部に着座させたとき、前記弁部を閉弁し、また、前記ダイヤフラム部材が、前記補助軸にて、前記駆動軸の前記一方の対向壁側への軸動に伴い連動して、前記ダイヤフラムの前記中央部にて前記環状弁座部から離れたとき、前記弁部を開弁するようになっているダイヤフラム弁。」

［相違点１］
本件発明１は、「ＰＦＡ製フィルム状ダイヤフラム」が「液体室を形成するとともに前記隔壁との間に空気室を形成」し、「駆動手段」が「前記空気室に向け或いはその逆方向に向け軸動」するものであるのに対し、甲１発明の「テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料ｍ１で圧延加工により形成されている薄膜状の膜部２１」は、第１室１２と相俟って液体室に相当する構成を形成するものであるものの、「内側に張り出す部分（肉厚部）」との間に空気室を形成するものであるとの特定がなされておらず、「第１ピストン６１」の「ロッド部（小径部）は第１ボディ４１の肉厚部に嵌装されて」いるものの、その往復動（軸動）方向が空気室に向け或いはその逆方向との特定もされていない点。

［相違点２］
ダイヤフラム部のダイヤフラムと補助軸との接着に関し、本件発明１は、「レーザー溶接」されているものであるのに対し、甲１発明は、「膜部２１の表面に射出成形することにより接合」するものである点。

［相違点３］
ダイヤフラム部の補助軸の隔壁の貫通穴部内への嵌装に関し、本件発明１は、「摺動可能」とされているのに対し、甲１発明は摺動可能との特定はされていない点。

イ 判断
事案に鑑み、相違点２について検討する。
甲１発明の「ダイアフラム２０」は、「テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体（ＰＦＡ）を主原料とする第１材料ｍ１で圧延加工により形成されている薄膜状の膜部２１」と、「膜部２１の中央に、ＰＦＡを主原料とする第１材料ｍ２で膜部２１の表面に射出成形することにより接合された円筒状の連結部２３と」を備えるものである。
そして、甲第１号証の段落【００８１】〜【００８３】の記載からすれば、第１材料ｍ１からなる膜部２１の表面に第２材料ｍ２からなる連結部２３を射出成形により形成することで、膜部２１に溶融状態の第２材料ｍ２が接しても、第１材料ｍ１により形成された膜部２１は溶融せず、射出された第２材料ｍ２により膜部２１が熱せられ、膜部２１の分子の移動が促進され、冷却後、両者が直接に接合するものであり、膜部２１と連結部２３とを両者の溶融、すなわち溶接により接着するものとはされていない。
しかも、甲第１号証の段落【０１０８】の「また近年、軟質のＰＦＡが開発されたため、この軟質のＰＦＡを第１材料ｍ１として圧延により膜部２１を形成することができる。」及び「近年、射出成形が可能な溶融状態での流動性が高いＰＦＡが開発されたため、この溶融状態での流動性が高いＰＦＡを第２材料ｍ２として射出成形により連結部２３を形成することができる。」との記載からすれば、甲１発明においては、射出成形が可能な溶融状態での流動性が高いＰＦＡが開発されたという技術的背景のもとで、連結部２３を膜部２１に射出成形することにより形成することを特徴としているものと解される。
してみると、甲１発明において、連結部２３を膜部２１に射出成形することにより形成することで連結部２３と膜部２１を接着することに代えて、連結部２３を膜部２１にレーザー溶接により接着するものとする動機付けはなく、甲第２号証に、熱可塑性樹脂成形体とフィルムとの接合をレーザー溶接にてすることが記載され、甲第３号証に、溶融性の熱可塑性樹脂であるＰＦＡと非溶融性フッ素樹脂との接合をレーザー溶接より接着することが記載され、さらに、甲第４号証に、ＰＴＦＥ（で形成されるハウジング）とＰＦＡ（で形成される副環状部）との接合をレーザ溶接により接着することが記載され、加えて、甲第５号証に、ＰＦＡ等のフッ素樹脂からなるカバー１５とＰＦＡ等のフッ素樹脂からなるケース１４とをレーザ溶接により接着することが記載されているとしても（上記４（２）〜（５）を参照。）、当業者が容易に想到し得ることであるということはできない。
なお、甲第６号証には、ダイヤフラム部のダイヤフラムと補助軸との接着をレーザー溶接することについては記載も示唆もされていない。
そして、本件発明１は、ダイヤフラム部のダイヤフラムと補助軸との接着をレーザー溶接することにより、「補助軸とダイヤフラム中央部とを良好に接合連結し得る」（本件特許明細書段落【００４８】）という格別な作用効果を奏するものといえる。
したがって、その余の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び甲第２号証〜甲第６号証に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明することができたものであるとはいえない。

（３）請求項２及び４〜６に係る発明について
請求項２及び４〜６に係る発明は、本件発明１の発明特定事項を全て含みさらに限定事項を付加したものである。
したがって、請求項２及び４〜６に係る発明と甲１発明との間には、少なくとも上記（２）アの相違点２が存在し、かかる相違点２は、甲第２号証〜甲第６号証に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に想到し得たものでないことは、上記（２）イで述べたとおりである。
また、甲第７号証には、ダイヤフラム部のダイヤフラムと補助軸との接着をレーザー溶接することについては記載も示唆もされていない。
よって、請求項２及び４〜６に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証〜甲第７号証に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明することができたものであるとはいえない。

（４）特許異議申立人の主張について
ア 特許異議申立人は特許異議申立書において、上記相違点２について、概略、次のように主張する（なお、特許異議申立人は、上記相違点２に対応するものを自身の主張の中では相違点１としている。）。
甲第２号証には、「熱可塑性樹脂成形体とフィルムを重ね合わせ、前記フィルムを介して前記熱可塑性樹脂成形体と反対側からレーザーを照射することにより、重ね合わせた面を接合することを特徴とする熱可塑性樹脂成形体とフィルムの接合方法。」という甲２技術が記載されており、また、甲第２号証の記載から甲２技術の課題は、「シート（フィルム）の表面にホットメルト接着剤を塗布した転写シート（フィルム）を金型キャビティー内にセットし型締め後、射出成形で一体化する方法は、ホットメルト接着剤の塗布や金型内へのフィルムの位置決めが煩雑であり作業性に劣るばかりか、射出成形の溶融樹脂の流動によりフィルムに皺が発生しやすい。」というものである。
そして、甲第１号証に記載の発明の、連結部２３を膜部２１に射出成形する場合でも、甲第２号証が示した課題である金型内への膜部２１の位置決めが煩雑であり作業性が劣ること、膜部２１の表面に第２材料ｍ２（連結部２３の材料）を溶融状態で射出するため膜部２１に皺が発生しやすいという問題がある。
このため、甲第２号証に提示の課題に基づき、甲第１号証に記載の発明の連結部２３と膜部２１との溶接を「射出成形」に代えて甲２技術の「レーザー溶接」とする動機付けが存在する。
甲２技術は、熱可塑性樹脂成形体とフィルムの結合に関する技術であるが、甲第１号証に記載の発明の連結部２３はＰＦＡ樹脂であるから熱可塑性樹脂であり、甲２技術のフィルムとしては特に制限がされていないことから、甲第１号証に記載の発明の膜部２１を使用することができ、使用材料が共通する。
そして、甲２技術を甲第１号証に記載の発明に適用した結果、連結部２３と膜部２１とはレーザーにより溶接されて一体化されるため、射出成形と同じ作用、機能を奏する。
このため、使用材料が共通し、作用、機能が共通することからも、甲２技術を甲第１号証に記載の発明に適用する動機付けが存在する。
したがって、相違点１（当審の判断での「相違点２」に対応する。）に係る甲第１号証に記載の発明の構成を、甲２技術を適用して相違点１に係る本件発明１の構成とすることには動機付けが存在し、当業者には容易である（特許異議申立書第４１頁第２行〜第４２頁第２８行）。

上記特許異議申立人の主張に対する当審の判断は次のとおりである。
特許異議申立人が甲２技術の課題と主張する上記課題は、甲第２号証が従来技術として掲げる特開平５−８２９４３号公報をも参酌すれば、転写シートの一面に熱可塑性樹脂を射出成形しフィルムと熱可塑性樹脂とを接合し、転写シートの転写体（導電回路）を樹脂成形体（プリント基板）の一面に転写する技術に関し発生する課題、すなわち、熱可塑性樹脂からなる樹脂成形体が転写シートの面に射出成形されることから発生する課題であり、甲１発明とは技術的前提が異なるものである。
したがって、甲１発明に接した当業者が、特許異議申立人の主張する甲２技術の課題を認識し、かかる課題を解決するために甲１発明に甲２技術を適用しようとする動機付けがあるとはいえない。
しかも、上記（２）イで述べたとおり、甲１発明の膜部２１と連結部２３とは溶接により接着するとはされていないこと、及び、射出成形が可能な溶融状態での流動性が高いＰＦＡが開発されたという技術的背景のもとで、膜部２１に射出成形により連結部２３を接着するという甲１発明が発明されたものであるということからすれば、甲１発明において、連結部２３を膜部２１に射出成形することにより形成することで連結部２３と膜部２１を接着することに代えて、甲２技術を適用し、連結部２３を膜部２１にレーザー溶接により接着することが当業者にとって容易に想到し得たことであるということはできない。
したがって、特許異議申立人の上記主張は採用できない。

イ また、特許異議申立人は、特許異議申立書において、上記相違点２について、概略、次のようにも主張する。
甲第３号証から甲第５号証には、「レーザー溶接」が、ダイヤフラム弁の接合、またＰＦＡ等のフッ素樹脂を用いた材料の接合に用いることが開示されており、ＰＦＡ材料を用いたダイヤフラムの接合には周知技術ともいえる。このため、甲第１号証に記載の発明の（ＰＦＡ製の）連結部２３と（ＰＦＡ製の）膜部２１との接合に「レーザー溶接」を用いることは当業者において周知技術の転用にほかならず容易である（特許異議申立書第４２頁第２９行〜第４３頁第８行）。

しかしながら、上記（２）イで述べたとおり、甲１発明の膜部２１と連結部２３とは溶接により接着するとはされていないこと、及び、射出成形が可能な溶融状態での流動性が高いＰＦＡが開発されたという技術的背景のもとで、膜部２１に射出成形により連結部２３を接着するという甲１発明が発明されたものであるということからすれば、甲１発明において、連結部２３を膜部２１に射出成形することにより形成することで連結部２３と膜部２１を接着することに代えて、連結部２３を膜部２１にレーザー溶接により接着することは、周知技術の転用とはいえず、当業者にとって容易に想到し得たことであるということはできない。
したがって、特許異議申立人の上記主張は採用できない。

６ むすび
上記５のとおり、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１、２、４〜６に係る特許を取り消すことはできない。
また、他に請求項１、２、４〜６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。

 
異議決定日 2022-06-29 
出願番号 P2018-151832
審決分類 P 1 652・ 121- Y (F16J)
最終処分 07   維持
特許庁審判長 平瀬 知明
特許庁審判官 尾崎 和寛
内田 博之
登録日 2021-09-06 
登録番号 6940155
権利者 アドバンス電気工業株式会社
発明の名称 ダイヤフラム部材を用いるダイヤフラム弁  
代理人 間瀬 ▲けい▼一郎  

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