異議の決定｜2022-700684 - 特許審決データベース

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審決分類	審判全部申し立て 2項進歩性 C23C 審判全部申し立て特36条6項1、2号及び3号請求の範囲の記載不備 C23C 審判全部申し立て特36条4項詳細な説明の記載不備 C23C
管理番号	1392078
総通号数	12
発行国	JP
公報種別	特許決定公報
発行日	2022-12-28
種別	異議の決定
異議申立日	2022-07-20
確定日	2022-11-15
異議申立件数	1
事件の表示	特許第７００５６７２号発明「蒸着用マスク及びこれを用いたＯＬＥＤパネル」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
結論	特許第７００５６７２号の請求項１～９に係る特許を維持する。
理由	第１手続の経緯特許第７００５６７２号の請求項１～９に係る特許についての出願は、２０１７年（平成２９年）３月２３日（優先権主張外国庁受理２０１６年４月１日（以下、「本件特許出願の優先日」という。））を国際出願日とする出願の一部を令和２年３月２４日に新たな特許出願としたものであって、令和４年１月７日にその特許権の設定登録がされ、同年同月２１日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、同年７月２０日に特許異議申立人藤江桂子（以下、「申立人」という。）により特許異議の申立てがされたものである。第２本件発明特許第７００５６７２号の請求項１～９の特許に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１～９」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１～９に記載された事項により特定される次のとおりのものである。「【請求項１】ニッケル合金を含む金属板を含み、前記金属板は、複数個の貫通ホール及び前記複数個の貫通ホールの間のブリッジを含む有効領域と、前記有効領域の外周に配置される非有効領域とを含み、前記貫通ホールは、前記金属板の第１面上の第１面孔と、第２面上の第２面孔が連通する連結部によって形成され、前記第２面上における前記第２面孔の幅は、前記第１面上における前記第１面孔の幅より大きく、前記金属板は、前記非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する第１溝と、前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する第２溝とを含み、前記第１溝の深さと前記第２溝の深さは、前記第１面孔の深さよりは大きく、前記第２面孔の深さよりは小さく、前記第１面孔の深さは、前記第１面から前記連結部までの深さであり、前記第２面孔の深さは、前記第２面から前記連結部までの深さであり、前記第１溝と前記第２溝は、前記金属板の前記第１面に形成され、前記第１溝と前記第２溝は、直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み、前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し、前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成される、前記第１面の裏面である前記第２面は、有機物蒸着容器側であり、前記第１溝と前記第２溝は、前記金属板の前記第１面にのみ形成される、蒸着用マスク。【請求項２】前記曲線部は、前記直線部の長さをＣとするとき、１／２Ｃ長の地点に近づくにつれて曲率半径が増加する、請求項１に記載の蒸着用マスク。【請求項３】前記第１面孔は、前記第１面上のオープン領域の角部が曲率を有し、前記角部のラウンド状の部分の曲率と同一の曲率を有する仮想の円の直径は、５μｍ～２０μｍである、請求項１または２に記載の蒸着用マスク。【請求項４】前記金属板を０．７ｋｇｆの力で前記長さ方向に引っ張った際に、下記の式２によって計算されたねじれ指数αは、０．８５～１．１５である、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。＜式２＞ α＝２Ｂ／（ｄ１＋ｄ２）前記式２において、前記ｄ１は、前記第１溝と前記第１溝と隣接した有効領域との間の非有効領域で測定された金属板の幅であり、前記ｄ２は、前記第２溝と前記第２溝と隣接した有効領域との間の非有効領域で測定された金属板の幅であり、前記Ｂは、前記有効領域の中間地点で測定された金属板の幅である。【請求項５】前記金属板の厚さは、１０μｍ～３０μｍである、請求項１から４のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。【請求項６】前記第１面孔の幅は、２０μｍ～５０μｍであり、前記第２面孔の幅は、５０μｍ～９０μｍであり、前記第１面孔の深さは、０．１μｍ～７μｍであり、前記第２面孔の深さは、２０μｍ～２５μｍである、請求項１から５のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。【請求項７】前記ブリッジは、前記金属板の前記第１面上の前記第１面孔の間を支持する第１ブリッジ部と、前記金属板の前記第２面上の前記第２面孔の間を支持する第２ブリッジ部とを含み、前記第１面における前記第１ブリッジ部の幅は、前記第２面における前記第２ブリッジ部の幅より大きい、請求項１から６のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。【請求項８】前記第１ブリッジ部の幅は、２０μｍ～５０μｍであり、前記第２ブリッジ部の幅は、０．５μｍ～７μｍである、請求項７に記載の蒸着用マスク。【請求項９】前記第１面孔の深さと前記金属板の厚さの比率は、１：（３～３０）である、請求項１から８のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。」第３申立理由の概要申立人は、証拠として甲第１号証～甲第８号証を提出し、以下の理由により、請求項１～９に係る特許を取り消すべきものである旨主張している。１申立理由１（甲１に基づく進歩性欠如）本件発明１～９は、甲第１号証に記載された発明及び周知技術（甲第２号証～甲第８号証）に基いて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１～９に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。２申立理由２（明確性要件）本件発明１～９は、特許請求の範囲の記載が明確でないから、請求項１～９に係る特許は、特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。３申立理由３（サポート要件）本件発明１～９は、発明の詳細な説明に記載されたものではないから、請求項１～９に係る特許は、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。４申立理由４（実施可能要件）発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件発明１～９の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されたものではないから、請求項１～９に係る特許は、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。［証拠方法］甲第１号証：特開２０１４－１３３９３４号公報甲第２号証：特開２０１１－１９５９６０号公報甲第３号証：韓国特許公開１０－２０１３－０００７００５号公報及び訳文甲第４号証：特開２００４－２３５１３８号公報甲第５号証：韓国特許公開１０－２０１１－００８２４１４号公報及び訳文甲第６号証：特開２０１５－２１４７４１号公報甲第７号証：中国特許公開１０３２０５７１２号公報及び訳文甲第８号証：特開２０１５－１６８８８４号公報第４甲号証の記載事項、甲号証に記載された発明等１甲第１号証（特開２０１４－１３３９３４号公報）（１）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第１号証には、以下の記載がある（当審注：下線は当審が付与した。以下、同様である。）。「【発明を実施するための形態】【００１９】以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。【００２０】図１～図１１は本発明による一実施の形態を説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクの製造方法を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法に対し、本発明を適用することができる。・・・【００２７】図１および図３に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０は、金属板２１からなり、平面視において帯状の略四角形形状、さらに正確には平面視において帯状の略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０の金属板２１は、蒸着マスク２０の長手方向に配列され、各々に規則的な配列で複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、各有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいる。このうち周囲領域２３は、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機ＥＬディスプレイ装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク２０においては、有効領域２２は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板（ガラス基板９２）上の区域、すなわち、作製された有機ＥＬディスプレイ装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク２０内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域２３に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図１に示された例において、各有効領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。【００２８】図３に示すように、周囲領域２３は、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する応力緩和領域５０と、有効領域２２および応力緩和領域５０より剛性が高い高剛性領域５５と、を含んでいる。このうち、応力緩和領域５０は、互いに隣り合う有効領域２２の間に介在されおり、蒸着マスク２０に長手方向に張力が負荷された場合に、この張力により生じる応力を効果的に緩和するようになっている。・・・【００３２】図４は、蒸着マスク２０を第１面２０ａ側から示す部分平面図である。また、図５は、図４のＩ－Ｉ線に沿った断面図である。図４および図５に示すように、複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側となる第１面２０ａと、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側となる第２面２０ｂと、の間を延びて、蒸着マスク２０を貫通している。図示された例では、のちに詳述するように、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１有効凹部３０がエッチングによって形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２有効凹部３５が形成され、この第１有効凹部３０および第２有効凹部３５によって貫通孔２５が形成されている。【００３３】図５に示すように、蒸着マスク２０の法線方向における一方の側から他方の側へ向けて、すなわち、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側へ向けて、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第１有効凹部３０の断面積は、しだいに小さくなっていく。言い換えると、蒸着マスク２０の法線方向に沿った断面において、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った各第１有効凹部３０の幅は、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側に向けて、しだいに小さくなっていく。とりわけ図示された例では、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側に向け、各第１有効凹部３０の断面積は、小さくなるように変化し続けている。図５に示すように、第１有効凹部３０の壁面３１は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側に向けて露出している。【００３４】同様に、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第２有効凹部３５の断面積は、蒸着マスク２０の法線方向における他方の側から一方の側へ向けて、すなわち、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側へ向けて、しだいに小さくなっていく。言い換えると、蒸着マスク２０の法線方向に沿った断面において、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った各第２有効凹部３５の幅は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側に向けて、しだいに小さくなっていく。とりわけ図示された例では、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側に向け、各第２有効凹部３５の断面積は、小さくなるように変化し続けている。第２有効凹部３５の壁面３６は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側に向けて露出している。【００３５】図５に示すように、貫通孔２５は、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から形成された先細りする第１有効凹部３０と、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から形成された先細りする第２有効凹部３５とが接続することによって、画成されている。図５に示すように、図示された例では、一つの貫通孔２５に対して、第１有効凹部３０および第２有効凹部３５がそれぞれ一つずつ形成されている。したがって、一つの第１有効凹部３０と、当該第１有効凹部３０に対応して設けられた第２有効凹部３５とが接続することにより、各貫通孔２５が形成されている。・・・【００３９】図２に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図５に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面する。したがって、蒸着材料９８は、次第に断面積が小さくなっていく第１有効凹部３０を通過してガラス基板９２に付着する。図２に示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４からガラス基板９２に向けてガラス基板９２の法線方向に沿って移動するだけでなく、ガラス基板９２の法線方向に対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、第１有効凹部３０の断面形状が図５の点線で示す輪郭を有していたとすると、斜めに移動する蒸着材料９８は、蒸着マスク２０に付着してガラス基板９２まで到達しない。また、ガラス基板９２上の貫通孔２５に対面する領域内には、蒸着材料９８が到達しやすい領域と到達しにくい部分が生じてしまう。・・・【００４９】応力緩和領域５０は、図４および図５に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた（好適には複数の）第１応力緩和凹部５１を有している。これにより、第１応力緩和凹部５１の周囲における蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積を小さくすることができる。そして、第１応力緩和凹部５１を複数設けることにより、このような蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積が小さい領域を大きくすることができ、応力緩和領域５０の剛性を低減させることができる。【００５０】また、応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた（好適には複数の）第２応力緩和凹部５２と、を更に有している。これにより、第２応力緩和凹部５２の周囲における蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積を小さくすることができる。そして、第２応力緩和凹部５２を複数設けることにより、このような蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積が小さい領域を大きくすることができ、応力緩和領域５０の剛性をより一層低減させることができる。【００５１】第１応力緩和凹部５１は、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１にエッチングによって形成されている。同様に、第２応力緩和凹部５２は、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に形成されている。第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、金属板２１を部分的にエッチングすること、すなわち、金属板２１を貫通させないようにエッチング（例えばハーフエッチング）することにより形成することが好適である。また、図５に示す形態においては、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の断面は、半円状に形成されている。第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の断面形状は、エッチング液の浸食の進む方向に起因するものであるが、半円状に限られない。なお、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の断面が、半円状に形成されている場合、蒸着マスク２０の長手方向に負荷された張力によって、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の周囲に応力集中により亀裂などが生じることを防止できる。【００５２】第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、それぞれ、蒸着マスク２０の幅方向に延びている。すなわち、本実施の形態においては、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、応力緩和領域５０において蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びている。このようにして、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の周囲における蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向の断面積を小さくしている。・・・【００６１】図６には、蒸着マスク２０を作製するための製造装置６０が示されている。図６に示すように、まず、長尺金属板６４を供給コア６１に巻き取った巻き体６２が準備される。そして、この供給コア６１が回転して巻き体６２が巻き戻されることにより、図６に示すように帯状に延びる長尺金属板６４が供給される。なお、長尺金属板６４は、貫通孔２５を形成されて枚葉状の金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる。したがって、上述したように、長尺金属板６４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる。ただし、これに限られず、ステンレス、銅、鉄、アルミニウムからなるシートを長尺金属板６４として用いることも可能である。・・・【００６４】第２有効凹部３５を形成するためのエッチングを行う際、レジストパターン６５ｂの孔６６ｃの領域で、エッチング液による浸食が進み、長尺金属板６４の第２面６４ｂに、第２応力緩和凹部５２が形成される。なお、孔６６ｃの大きさを調整すること（例えば、大きくすること）により、第２応力緩和凹部５２を形成するエッチングの速度を調整することができる。これにより、所望の形状の第２応力緩和凹部５２、例えば、第２有効凹部３５よりエッチング深さが深い第２応力緩和凹部５２を、第２有効凹部３５を形成するためのエッチングを行う際に形成することができる。・・・【００８２】なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いており、重複する説明を省略する。【００８３】まず、第１の変形例を説明する。上述した実施の形態において、応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた第１応力緩和凹部５１と、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた第２応力緩和凹部５２と、を有する例を示したが、これに限られない。例えば、図１２および図１３に示すように、応力緩和領域５０が、単一の第１応力緩和凹部５１のみを有し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに第２応力緩和凹部５２が設けられていなくてもよい。この場合、図１３に示すように、第１応力緩和凹部５１は、蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びるとともに、蒸着マスク２０の長手方向に長く形成されている、すなわち、平面視で矩形状に形成されていることが好ましい。これにより、応力緩和領域５０における蒸着マスク２０の幅方向の断面積が小さい領域を大きくすることができ、応力緩和領域５０の剛性を低くすることができる。なお、応力緩和領域５０は、単一の第２応力緩和凹部５２のみを有して、蒸着マスク２０の第１面２０ａに第１緩和凹部５１が設けられていなくてもよい。・・・【００８５】また、上述した実施の形態として、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２が、蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びている例を示したが、これに限られない。応力緩和領域５０が、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和可能であれば、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の形状は任意である。」「【図３】【図４】【図５】」（２）甲第１号証に記載された発明ア上記（１）の【００６１】には、「長尺金属板６４は、貫通孔２５を形成されて枚葉状の金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる」こと、及び、「長尺金属板６４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる」ことが記載されているから、蒸着マスク２０は、３６％Ｎｉインバー材からなる金属板２１であるといえる。イ上記（１）の【００２７】には、「蒸着マスク２０の金属板２１は、蒸着マスク２０の長手方向に配列され、各々に規則的な配列で複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、各有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含」むことが記載されている。また、上記（１）の【図４】には、有効領域２２には、複数の貫通孔２５の間の領域があることが見て取れる。ウ上記（１）の【００２８】には、「周囲領域２３は、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する応力緩和領域５０」を含むこと、「応力緩和領域５０は、互いに隣り合う有効領域２２の間に介在され」ることが記載されている。エ上記（１）の【００３２】には、「蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１有効凹部３０がエッチングによって形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２有効凹部３５が形成され、この第１有効凹部３０および第２有効凹部３５によって貫通孔２５が形成されている」ことが記載され、同【００３５】には、「一つの第１有効凹部３０と、当該第１有効凹部３０に対応して設けられた第２有効凹部３５とが接続することにより、各貫通孔２５が形成されている」ことが記載されている。そうすると、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１有効凹部３０が形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２有効凹部３５が形成され、第１有効凹部３０と、当該第１有効凹部３０に対応して設けられた第２有効凹部３５とが接続することにより、各貫通孔２５が形成されているといえる。オ上記（１）の【００３９】には、「蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面する」ことが記載されている。カ上記（１）の【図５】には、第１面２１ａ上における第１有効凹部３０の幅は、第２面上２１ｂ上における第２有効凹部３５の幅より大きいことが見て取れる。キ上記（１）の【００４９】には、「応力緩和領域５０は、図４および図５に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた（好適には複数の）第１応力緩和凹部５１を有している」と記載され、同【００５０】には、「応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた（好適には複数の）第２応力緩和凹部５２と、を更に有している」と記載されているから、応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた、好適には複数の第１応力緩和凹部５１と、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた、好適には複数の第２応力緩和凹部５２とを有しているといえる。また、上記（１）の【００８３】には、「応力緩和領域５０は、単一の第２応力緩和凹部５２のみを有して、蒸着マスク２０の第１面２０ａに第１緩和凹部５１が設けられていなくてもよい」と記載されている。ク上記（１）の【００５２】には、「第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、応力緩和領域５０において蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びている」と記載されている。ケ上記（１）の【００６４】には、「第２有効凹部３５よりエッチング深さが深い第２応力緩和凹部５２を・・・形成することができる」と記載されており、上記（１）の【図５】には、第２応力緩和凹部５２の深さが、第２有効凹部３５の深さよりは大きく、第１有効凹部３０の深さよりは小さいことが見て取れる。コ以上から、甲第１号証には、以下の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されていると認められる。「３６％Ｎｉインバー材からなる金属板２１である蒸着マスク２０であって、蒸着マスク２０の金属板２１は、蒸着マスク２０の長手方向に配列され、各々に規則的な配列で複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、各有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含み、有効領域２２には、複数の貫通孔２５の間の領域があり、周囲領域２３は、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する応力緩和領域５０を含み、応力緩和領域５０は、互いに隣り合う有効領域２２の間に介在され、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１有効凹部３０が形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２有効凹部３５が形成され、第１有効凹部３０と、当該第１有効凹部３０に対応して設けられた第２有効凹部３５とが接続することにより、各貫通孔２５が形成され、蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面し、第１面２１ａ上における第１有効凹部３０の幅は、第２面上２１ｂ上における第２有効凹部３５の幅より大きく、応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた、好適には複数の第１応力緩和凹部５１と、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた、好適には複数の第２応力緩和凹部５２とを有し、応力緩和領域５０は、単一の第２応力緩和凹部５２のみを有して、蒸着マスク２０の第１面２０ａに第１緩和凹部５１が設けられていなくてもよく、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、応力緩和領域５０において蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びており、第２応力緩和凹部５２の深さが、第２有効凹部３５の深さよりは大きく、第１有効凹部３０の深さよりは小さい、蒸着マスク２０。」２甲第２号証（特開２０１１－１９５９６０号公報）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第２号証には、以下の記載がある。「【技術分野】【０００１】本発明はマスクに関し、より詳しくは複数の単位マスクを支持するフレームを含むマスク組立体に関する。」「【発明が解決しようとする課題】【０００７】本発明の実施形態は、前述した問題を解決するためのものであって、本発明の目的は、単位マスクに加えられる引張力によって、単位マスクに形成されたパターン開口部の形状が変形することを抑制したマスク、及びこれを含むマスク組立体を提供することである。」「【発明の効果】【００３０】前述した本発明の実施形態によれば、単位マスクに加えられる引張力によって、単位マスクに形成されたパターン開口部の形状が変形することを抑制できるマスク、及びこれを含むマスク組立体が提供される。」「【００４６】図２～図４に示すように、単位マスク２００は、単位マスク本体部２１０、パターン開口部２２０、第１グルーブ２３０、第２グルーブ２４０、第３グルーブ２５０及びダミーパターン２６０を含む。」「【００４９】第１グルーブ２３０は、パターン開口部２２０と単位マスク２００の枠２００ｂとの間に位置し、単位マスク２００の表面２００ｃで陥没形成されている。第１グルーブ２３０は、第２方向（ｙ）に沿って配置された複数の各々のパターン開口部２２０に対応して、第２方向（ｙ）に沿って複数が配置されており、第２方向（ｙ）の最外側に位置するパターン開口部２２０と単位マスク２００の枠２００ｂとの間で最外側に位置するパターン開口部２２０と隣接して配置されている。第１グルーブ２３０は、単位マスク２００の表面２００ｃ上で半円形状を有する。第１グルーブ２３０は半円形状を有することによって、単位マスク２００の表面２００ｃ上で変形する幅（Ｗ）を有する。第１グルーブ２３０が有する変形した幅（Ｗ）は、単位マスク２００に印加される引張力によって、第１グルーブ２３０と隣接するパターン開口部２２０に印加される引張力の強さに応じて変形しているが、図３に示すように、単位マスク２００の表面２００ｃ上でパターン開口部２２０が四角形状を有する場合、パターン開口部２２０の一辺２２１と対応する第１グルーブ２３０の幅（Ｗ）は、パターン開口部２２０の一辺２２１の中央の部分に対応する部分からパターン開口部２２０の一辺２２１の外郭の部分に対応する部分へ行くほど狭くなる。即ち、単位マスク２００に印加された引張力によって、パターン開口部２２０の一辺２２１の全体部分のうち、他の部分に比べて引張力がより強く印加される一部分に対応する第１グルーブ２３０の幅（Ｗ）は、前記パターン開口部２２０の他の部分に対応する第１グルーブ２３０の幅（Ｗ）より広く形成される。このように、第１グルーブ２３０がパターン開口部２２０に印加される引張力の強さに応じて単位マスク２００の表面２００ｃ上で変形した幅（Ｗ）を有することによって、パターン開口部２２０に印加される引張力が分散する。さらに、第１グルーブ２３０によってパターン開口部２２０に印加される引張力が分散することによって、単位マスク２００に印加される引張力によってパターン開口部２２０が変形することが抑制される。」「【００７１】図６は本発明の第３の実施形態にかかるプローブ組立体に含まれている単位マスクを示す平面図である。【００７２】図６に示すように、単位マスク２０３は単位マスク本体部２１０、パターン開口部２２０、第１グルーブ２３０及びダミーパターン２６０を含む。【００７３】即ち、本発明の第３の実施形態にかかるマスク組立体に含まれている単位マスク２０３は、前述した第１の実施形態にかかるマスク組立体に含まれている単位マスク２００、及び前述した第２の実施形態にかかるマスク組立体に含まれている単位マスク２０２に含まれている第１グルーブ２３０、第２グルーブ２４０及び第３グルーブ２５０のうち第１グルーブ２３０のみを含む。また、パターン開口部２２０及びダミーパターン２６０は、第１の実施形態にて用いた帯状のものと同様である。」「【００９０】図１０に示すように、単位マスク２０４は単位マスク本体部２１０、パターン開口部２２０、第１グルーブ２３０、第２グルーブ２４０、第３グルーブ２５０及びダミーパターン２６４を含む。【００９１】ダミーパターン２６４は、ダミーパターン２６４と隣接するパターン開口部２２０に印加される引張力の強さに応じて、単位マスク２０４の表面２００ｃ上で変形した幅（Ｗ）を有する。ダミーパターン２６４は、最外郭パターン開口部２２０と単位マスク２０４の端部２００ａとの間に位置し、単位マスク２０４を貫通して形成されている。ダミーパターン２６４は、単位マスク２０４の表面２００ｃ上で楕円形状を有している。ダミーパターン２６４は楕円形状を有することによって、単位マスク２０４の表面２００ｃ上で変形する幅（Ｗ）を有する。ダミーパターン２６４が有する変形した幅（Ｗ）は、単位マスク２０４に印加される引張力によってのダミーパターン２６４と隣接するパターン開口部２２０に印加される引張力の強さに応じて変形するが、図１０に示すように、単位マスク２０４の表面２００ｃ上でパターン開口部２２０が四角形状を有する場合、パターン開口部２２０の一辺２２１と対応するダミーパターン２６４の幅（Ｗ）は、パターン開口部２２０の一辺２２１の中央の部分に対応する部分からパターン開口部２２０の一辺２２１の外郭の部分に対応する部分へ行くほど狭く形成される。即ち、単位マスク２０４に印加された引張力によって、パターン開口部２２０の一辺２２１の全体部分のうち他の部分に比べて引張力がより強く印加される一部分に対応するダミーパターン２６４の幅（Ｗ）は、前記パターン開口部２２０の他の部分に対応するダミーパターン２６４の幅（Ｗ）より広く形成される。このように、ダミーパターン２６４がパターン開口部２２０に印加される引張力の強さに応じて単位マスク２０４の表面２００ｃ上で変形した幅（Ｗ）を有することによってパターン開口部２２０に印加される引張力が分散する。さらに、ダミーパターン２６４によってパターン開口部２２０に印加される引張力が分散することによって、単位マスク２０４に印加される引張力によってパターン開口部２２０が変形することが抑制される。」「【図３】【図４】」「【図６】」「【図１０】」３甲第３号証（韓国特許公開１０－２０１３－０００７００５号公報）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第３号証には、以下の記載がある。なお、甲第３号証の記載は、当審の訳文で示す。「[0026] 図２を参照すると、表示基板上に有機層パターンを形成するためのマスク（５０）は第１領域（Ｉ）に配置される第１スリット（ｓｌｉｔ）（５５）と第１領域（Ｉ）に隣接する第２領域（ＩＩ）に位置する第２スリット（６０，６１，７０，７１）を含む。・・・ [0028] また図２を参照すると、マスク（５０）の第１領域（Ｉ）に位置する第１スリット（５５）は実質的に等しいとか実質的に類似の長さ、幅などの寸法（ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）を有することができる。例示的な実施例において、第１スリット（５５）は実質的に等しい間隔に離隔されることができるし、このような第１スリット（５５）の間の間隔は前記発光領域に配置される画素（ｐｉｘｅｌｓ）の間の間隔に実質的に対応されうる。また、第１スリット（５５）はそれぞれ実質的に半円の形状、実質的に半楕円の形状、実質的にトラックの形状などのように丸みのある（ｒｏｕｎｄｅｄ）形状の端部を具備することができる。しかし各第１スリット（５５）の端部の形状は前記有機発光表示装置の第１有機層パターンの形状によって変化されうる。」「図２」４甲第４号証（特開２００４－２３５１３８号公報）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第４号証には、以下の記載がある。「【０００１】本発明は、表示装置に係り、特に高精細かつ生産性に優れた有機ＥＬパネルの製造方法と、この製造方法で製造した有機ＥＬパネルに関する。」「【００３５】したがって、エッチングによる２３マイクロメートルのようなマスク孔となる微細開口部の形成は極めて難しい。しかし、本実施例では、基材となる４２アロイ板２１０を利用しているため、以下に続く工程を経ることで強度的に不都合のない高精細の多層メタルマスクを形成することができる。また、電着層で微細開口部（第１のマスク孔）を形成する際に、優れた矩形レジストパターン精度によって、その開口部のコーナー部の曲率半径（Ｒ寸法）が５マイクロメートル以下となる。」「【００４３】図６は本発明による有機ＥＬパネルの緑色発光層等の蒸着に用いる多層メタルマスクと有機ＥＬパネルを構成する透明基板の絶縁膜の開口部分すなわち画素開口の概念図、図７は本発明の有機ＥＬパネルの青色発光層等の蒸着に用いる多層メタルマスクと有機ＥＬパネルを構成する透明基板の絶縁膜の開口部分すなわち画素開口の概念図、図８は本発明の有機ＥＬ素子の赤色発光層等の蒸着に用いる多層メタルマスクと有機ＥＬパネルを構成する透明基板の絶縁膜の開口部分すなわち画素開口の概念図、図９は本発明による多層メタルマスクの角部Ｒ寸法の大小による画素開口への蒸着欠陥の状態を説明する平面図であり、図９（ａ）は多層メタルマスクの角部の曲率半径が５マイクロメートル以下の場合、図９（ｂ）は多層メタルマスクの角部に５マイクロメートルを越える大きな曲率半径を有した状態を示す。【００４４】なお、図６乃至図８において、各図の（ａ）は小さい開口部即ち第１のマスク孔２４Ａと大きい開口部すなわち第２のマスク孔５５を有する多層メタルマスクの平面図、各図（ｂ）は有機ＥＬパネルを構成する透明基板の絶縁膜の開口部分の平面図である。ここで、多層メタルマスクの第１のマスク孔２４Ａの角部の曲率半径（以下、Ｒ寸法）は、有機ＥＬパネルを構成する透明基板の絶縁膜の開口部分の角部のＲ寸法にできるだけ近い値であることが好ましい。以下その理由を説明する。【００４５】前記絶縁膜の開口部分の角部のＲ寸法は、小さい方が開口面積が大きくなり、発光素子の発光面積を大きくでき、有機ＥＬパネルの輝度を高くすることにつながる。そこで、図６乃至図８の各図（ａ）で示した第１のマスク孔２４Ａの角部のＲ寸法は画素開口のＲ寸法と同程度または５マイクローメートル以下とした。これにより、図９（ａ）に示すように、画素開口１１０に対して多層メタルマスクの第１のマスク孔２４ａによる蒸着パターンにずれが生じた場合でも、角部のＲ寸法が前記絶縁膜の開口部分の角部と同等で小さくできるために、画素開口部分への蒸着欠落や他の色との混ざり合いを有効に防ぐことが出来る。」「【図９】」５甲第５号証（韓国特許公開１０－２０１１－００８２４１４号公報）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第５号証には、以下の記載がある。「請求項９第１項において、前記単位マスキングパターン部は、前記単位マスクストリップの長さ方向で両端部が前記フレームに引張されて固定された後には、前記長さ方向に垂直した方向に同一行に位置した最両端の開口部パターンの間の距離が実質的に同じくなることを特徴とする薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。」「請求項１９基板上にお互いに対向された第１電極及び第２電極間に具備された有機膜を含む有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、前記有機膜は、開口部を有するフレームにその長さ方向の両端部が溶接固定された複数の単位マスクストリップを含む薄膜蒸着用マスクフレーム組立体（１０）によって蒸着形成されて、前記各単位マスクストリップは、複数の開口部パターンを含む複数の単位マスキングパターン部を具備して、前記単位マスキングパターン部は、前記単位マスクストリップの長さ方向で両端部が前記フレームに引張されて固定される前には、前記長さ方向に垂直した方向に同一行に位置した最両端の開口部パターンの間の距離が前記単位マスキングパターン部の中央部に行くほど増加するように設計されて、前記単位マスクストリップの長さ方向で両端部が前記フレームに引張されて固定された後には、前記長さ方向に垂直した方向に同一行に位置した最両端の開口部パターンの間の距離が実質的に同じくなることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置の製造方法。」「[0047] 図３は本実施例による薄膜蒸着用マスクフレーム組立体において、単位マスクストリップがフレームに固定された後の単位マスキングパターン部の形状を概略的に図示した図面である。 [0048] 図３を参照すると、単位マスキングパターン部（１２０ｂ）は単位マスクストリップ（１１０）の長さ方向（±ｙ方向）で両端部が引張されてフレーム（３０）に固定された後には、長さ方向（±ｙ方向）に垂直した方向（±ｘ方向）の幅（ｌ）は実質的に同じくなる（ｌ１’＝ｌ２’）。すなわち、単位マスキングパターン部（１２０ｂ）の各開口部（１１１ｂ）たちはトータルピッチだけではなく、単位ピッチも一定するように整列される。よって、これら整列された開口部パターン（１１１ｂ）を通過して蒸着される有機物も所望の位置に誤差なしに蒸着される。」「図２図３」「図７」６甲第６号証（特開２０１５－２１４７４１号公報）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第６号証には、以下の記載がある。「【００５０】第１凹部３０は、後に詳述するように、金属板２１の第１面２１ａをエッチングすることにより形成される。エッチングによって形成される凹部の壁面は、一般的に、浸食方向に向けて凸となる曲面状となる。したがって、エッチングによって形成された凹部の壁面３１は、エッチングの開始側となる領域において切り立ち、エッチングの開始側とは反対側となる領域、すなわち凹部の最も深い側においては、金属板２１の法線方向に対して比較的に大きく傾斜するようになる。一方、図示された蒸着マスク２０では、隣り合う二つの第１凹部３０の壁面３１が、エッチングの開始側において合流しているので、二つの第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２が合流する部分４３の外輪郭が、切り立った形状ではなく、面取された形状となっている。このため、貫通孔２５の大部分をなす第１凹部３０の壁面３１の高さを小さくし、かつ壁面３１を、蒸着マスクの法線方向に対して効果的に傾斜させることができる。これによって、角度θ１を大きくすることができる。このことにより、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善しながら、所望のパターンでの蒸着を高精度に安定して実施することができる。」「【００５４】上述のように、蒸着材料のうち貫通孔の壁面に付着するものの比率を低くし、これによって蒸着の精度を向上させるためには、蒸着マスク２０の厚みｔを小さくすることが有効である。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク２０の厚み（すなわち金属板２１の板厚）ｔは、８０μｍ以下に、例えば１０～８０μｍの範囲内や２０～８０μｍの範囲内に設定される。蒸着の精度をさらに向上させるため、蒸着マスク２０の厚みｔを、４０μｍ以下に、例えば１０～４０μｍの範囲内や２０～４０μｍの範囲内に設定してもよい。また上述のように、本実施の形態における第２凹部３５の寸法ｒ２は従来よりも小さい。このため、蒸着マスク２０の第２面２０ｂから接続部４１までの距離ｒ１が寸法ｒ２に比べて比較的に大きいものであると、第２凹部３５の壁面３６に付着してしまう蒸着材料の比率が高くなってしまうと考えられる。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク２０の第２面２０ｂから接続部４１までの距離ｒ１は、０～６μｍの範囲内すなわち６μｍ以下に設定される。なお距離ｒ１が０μｍであることは、第２凹部３５の壁面３６が存在しないこと、すなわち第１凹部３０の壁面３１が金属板２１の第２面２１ｂにまで達していることを意味している。」「【００５８】以下、接続部４１と第１凹部３０の壁面３１の先端縁３２とを通過する直線Ｌ１が蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対してなす角度α（以下、「壁面３１の傾斜角度α」とも称する）と、トップ部の幅βとの関係について説明する。図８Ａから明らかなように、トップ部の幅βが大きくなるほど、壁面３１の傾斜角度αは大きくなる。この結果、壁面３１の傾斜角度αよりも大きく傾斜した方向に沿って飛来する蒸着材料の多くが、トップ部の近傍において壁面３１に遮られてしまうことになる。すなわちシャドーが生じやすくなる。例えば、画素密度が４４１ｐｐｉである表示装置用の蒸着マスク２０において、図３のＶＩ－ＶＩ線に沿った方向において隣接する２つの貫通孔２５間の、第２面２０ｂ上における間隔が３９．１μｍであり、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った方向において隣接する２つの貫通孔２５間の、第２面２０ｂ上における間隔が２７．６μｍであり、図３のＶＩ－ＶＩ線に沿った方向での、第２面２０ｂ上における貫通孔２５の寸法が３０．０μｍであり、第２面２０ｂから接続部４１までの距離ｒ１が３μｍである場合、トップ部の幅βが２．２μｍになり、壁面３１の傾斜角度αが４０°になり、蒸着物の飛ぶ最小角度が４０°以下の場合、シャドーが生じやすくなる。そして、この場合、シャドーを抑制することができるトップ部の幅βの値としては、例えば２μｍ以下という値を挙げることができる。」「【０１０８】実施例１（第１１巻き体および第１１マスク）上述の条件（１）が有効であることを確認するための評価を実施した。具体的には、はじめに、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材を準備した。次に、母材に対して上述の圧延工程、スリット工程、アニール工程および切断工程を実施することにより、長尺金属板が巻き取られた巻き体（第１１巻き体）を製造した。なお、長尺金属板の板厚の目標仕様値は２０μｍとした。」「【０１１９】実施例２長尺金属板の板厚の目標仕様値を２５μｍとしたこと以外は、上述の実施例１の場合と同様にして、第２１～第２７巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を４０μｍ×４０μｍとしたこと以外は、上述の実施例１の場合と同様にして、第２１～第２７巻き体の長尺金属板を用いて第２１～第２７マスクを製造した。また実施例１の場合と同様にして、幅方向の中央部における第２１～第２７巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例１の場合と同様にして、第２１～第２７マスクの貫通孔の寸法を測定した。第２１～第２７巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値ＡおよびばらつきＢを図２４（ｂ）に示す。また、第２１～第２７マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図２５（ｂ）に示す。」７甲第７号証（中国特許公開１０３２０５７１２号公報）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第７号証には、以下の記載がある。なお、甲第７号証の記載事項は、当審の訳文で示す。「[0019] 上記の技術的解決手段中に、前記蒸着面上のスロット状開口部横方向は若干の実橋によって、オープン接続を起きる；前記マスク板は矩形とし、厚さは５～２００μｍとする。前記ＩＴＯ面は横方向と縦の実橋によってＩＴＯ面等距離間隔に開口して走って来る；貫通したグリッド状は溝状開口中心の重なり合いと開口する。スロット状開口部はマスク板の厚み方向に垂直断面図はヒョウタン状のために、溝ＩＴＯ面と蒸着面のスロット状開口部はテーパ角を有して、ＩＴＯ面が開口する逆テーパの角角度は蒸着面のスロット状開口部のテーパ角の角度より小さい；蒸着面トレンチ開口のテーパ角は３０～５０゜にある。ＩＴＯ面小寸グリッド状開口側壁は滑らかな逆テーパの壁とし、テーパは０－８゜とする。前記のＩＴＯ面の横寸法精度制御は±５μｍにある；ＩＴＯ面の逆テーパの角が開口した垂直な深さは５～２５μｍにある。 [0020] ＩＴＯ面の逆テーパの角が開口した垂直厚みは蒸着面テーパ角開口の垂直厚み以下である。マスク板材料はステンレス、純ニッケル、ニッケルコバルト合金、ニッケル鉄合金、アンバ中のいずれか一つの金属板とする；マスクプレート厚みは１０～５０μｍとする。蒸着面大寸法溝状開口側壁は滑らかなドリル壁とする。蒸着面にそれは狭長形として、無実橋は長手方向上間隔にある；ＩＴＯ面に開口してメッシュの形とし、実橋が長手方向上に狭長形開口間隔が既存である。」「[0038] 【実施例２】蒸着用トレンチマスクの板は、横置断面図の図２に示すように、厚く５０μｍのために、形状は四角形金属板とし、含んでインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）が面接触したＩＴＯ面と蒸着面５と、前記マスク板上にＩＴＯ面と蒸着面を貫通する開口を有して、開口貫通孔のＩＴＯ面にあるグリッド状開口１の寸法が蒸着面に小さい溝状開口２の寸法。アンバを選択してマスク板材料とし、両面エッチング技術を用いて、図３はマスク板とＩＴＯ面のために概略図を配合する。 [0039] マスク板のＩＴＯ面４のエッチングから形成する図２中マスク板のＩＴＯ面開口１のように、開口は１の深さはｌ５μｍのために、横寸法は７０μｍとして、マスク板の蒸着面５のエッチング形成から図２中蒸着面のように上がる開口２は、且つ蒸着面上の開口２とテンプレートのＩＴＯ面開口１の中心を保証して重なり合って、且つ蒸着面上で開口する２の中央対称は、深さは３５μｍとし、横寸法は１４０μｍとして、且つ蒸着面上の開口２の開口孔の壁は一定の凹円弧の度を有して、形成した図３中の蒸着角度のような５０°。ＩＴＯ面と蒸着の面エッチング時間の分離に対することによってコントロールし、推奨摂取量のＩＴＯ面開口１と蒸着面上の開口２の開口深度を得る。図４に示すように、実橋３がオープン接続を一緒にいる；上記のエッチングプロセスによって得る開口断面図の図３に示すように、１５μｍの深さ７０μｍの広いＩＴＯ面小寸開口１と３５μｍの深さ１４０μｍの広い蒸着面大寸法開口２は互いにヒョウタン状トレンチ開口を貫通形成し、開口は５０゜の蒸着したテーパ角を有し、開口１のサイズ精度は±５μｍに制御する；上記の両面エッチングは同じく片面を用いて２回のエッチングを分けることができる。ＩＴＯ面小寸グリッド状開口側壁は滑らかな逆テーパの壁とし、テーパーは２°とする。」８甲第８号証（特開２０１５－１６８８８４号公報）本件特許出願の優先日前に公知となった甲第８号証には、以下の記載がある。「【００９９】なお、冷間圧延工程は、圧延油を用いてクーリングしながら行った。冷間圧延工程の後には、長尺金属板を洗浄する洗浄工程を行った。洗浄工程の後には、上述のスリット工程を実施した。なお、長尺金属板の厚みは２５μｍとした。」「【０１１１】〔群状介在物に関する評価〕上述の第１巻き体の長尺金属板を用いて、多数の貫通孔２５が形成された蒸着マスク２０（以下、第１マスクと称する）を製造した。第１マスクの貫通孔２５の寸法（平面視の場合の寸法。具体的には、平面視において接続部４１によって囲まれた領域の寸法）は、４０μｍ×４０μｍとした。また、第１マスクの第２面２０ｂから接続部４１までの距離は４μｍ以下であった。」「【図７】」第５申立理由１（進歩性）について１本件発明１について（１）対比本件発明１と甲１発明とを対比する。ア甲１発明の「３６％Ｎｉインバー材からなる金属板２１」は、ニッケル合金を含んでいるといえるから、本件発明の「ニッケル合金を含む金属板」に相当する。また、甲１発明の「３６％Ｎｉインバー材からなる金属板２１である蒸着マスク２０」は、「金属板２１」を含んでいるといえるから、本件発明１の「ニッケル合金を含む金属板を含」む「蒸着用マスク」に相当する。イ甲１発明の「蒸着マスク２０の長手方向に配列され、各々に規則的な配列で複数の貫通孔２５」、「複数の貫通孔２５の間の領域」は、それぞれ、本件発明１の「複数個の貫通ホール」、「前記複数個の貫通ホールの間のブリッジ」に相当する。また、甲１発明の「複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２」は、「複数の貫通孔２５」の間の領域も含んでいるといえるから、本件発明１の「複数個の貫通ホール及び前記複数個の貫通ホールの間のブリッジを含む有効領域」に相当する。さらに、甲１発明の「周囲領域２３」は、「各有効領域２２を取り囲む」ものであり、「有効領域２２」の外周にも配置されるといえるから、本件発明１の「前記有効領域の外周に配置される非有効領域」に相当する。以上によれば、甲１発明の「蒸着マスク２０の金属板２１は、蒸着マスク２０の長手方向に配列され、各々に規則的な配列で複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、各有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含み、有効領域２２には、複数の貫通孔２５の間の領域があ」ることは、本件発明１の「前記金属板は、複数個の貫通ホール及び前記複数個の貫通ホールの間のブリッジを含む有効領域と、前記有効領域の外周に配置される非有効領域とを含」むことに相当する。ウ甲１発明においては、「蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１有効凹部３０が形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２有効凹部３５が形成され、第１有効凹部３０と、当該第１有効凹部３０に対応して設けられた第２有効凹部３５とが接続することにより、各貫通孔２５が形成され」ているから、「貫通孔２５」は、「金属板２１の第１面２１ａ」上の「第１有効凹部３０」と、「第２面２１ｂ」上の「第２有効凹部３５」とが「接続する」部分（以下、「接続部」ともいう。）によって形成されているといえる。そうすると、甲１発明の「金属板２１の第１面２１ａ」、「第１有効凹部３０」、「第２面２１ｂ」、「第２有効凹部３５」は、それぞれ、本件発明１の「第１面」、「第１面孔」、「第２面」、「第２面孔」に相当し、甲１発明の金属板２１の第１面２１ａ」上の「第１有効凹部３０」と、「第２面２１ｂ」上の「第２有効凹部３５」とが「接続する」部分は、本件発明１の「前記金属板の第１面上の第１面孔と、第２面上の第２面孔が連通する連結部」に相当するから、上記ア及びイの検討を参酌すると、甲１発明と、本件発明１とは、「前記貫通ホールは、前記金属板の第１面上の第１面孔と、第２面上の第２面孔が連通する連結部によって形成され」ている点で一致する。エ上記ウの検討を参酌すると、甲１発明の「第１面２１ａ上における第１有効凹部３０の幅は、第２面上２１ｂ上における第２有効凹部３５の幅より大き」いことは、本件発明１の「前記第２面上における前記第２面孔の幅は、前記第１面上における前記第１面孔の幅より大き」いことに相当する。オ甲１発明において、「応力緩和領域５０」は、「蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する」ものであって、「蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた、好適には複数の第１応力緩和凹部５１と、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた、好適には複数の第２応力緩和凹部５２とを有し」、「単一の第２応力緩和凹部５２のみを有して、蒸着マスク２０の第１面２０ａに第１緩和凹部５１が設けられていなくてもよ」いものであるから、「蒸着マスク２０」の「第２面２０ｂ」のみに、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する「複数の第２応力緩和凹部５２」が設けられているといえる。一方、本件明細書の【０１０９】には、「前記第１境界領域ＢＡ１に隣接した非有効領域ＵＡには一つのハーフエッチング部Ｅである第１ハーフエッチング部を配置することができる。前記第２境界領域ＢＡ２に隣接した非有効領域ＵＡには、他のハーフエッチング部Ｅである第２ハーフエッチング部を配置することができる。このとき、ハーフエッチング部Ｅの曲線部は、それぞれ引っ張られる水平方向に突出した形状であってよい。これによって、前記ハーフエッチング部Ｅは、引張時に加えられる応力を分散させることができる。」と記載されており、上記ハーフエッチング部Ｅの配置、形状の記載からすると、当該ハーフエッチング部は、本件発明１の「第１溝」及び「第２溝」であるといえる。また、本件明細書の【０１０３】に「蒸着用マスクを長さ方向、すなわち、水平方向に引っ張った時、前記蒸着用マスクが捩れる程度を、下記式２による捩れ指数αで表現することができる。」と記載されていることからすると、上記【０１０９】の「ハーフエッチング部Ｅは、引張時に加えられる応力を分散させることができる」との記載の「引張時」とは、蒸着用マスクの長さ方向の引張時であるといえる。そうすると、本件発明１は、「金属板」が、「非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する第１溝と、前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する第２溝を含み」、「前記第１溝と前記第２溝は、直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み」、「前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し」、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成され」ることによって、蒸着用マスクの長さ方向の引張時に加えられる応力を分散させることができるものである。また、本件発明１の「第１溝」と「第２溝」は、「前記金属板の前記第１面にのみ形成される」ものである。以上によれば、甲１発明の「蒸着マスク２０」の「第２面２０ｂ」のみに設けられている「複数の第２応力緩和凹部５２」は、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和するものであるのに対し、本件発明１の「前記金属板の前記第１面にのみ形成される」「第１溝」と「第２溝」とは、蒸着用マスクの長さ方向の引張時に加えられる応力を分散させることができるものであり、両者の機能は共通しているといえるから、甲１発明の「複数の第２応力緩和凹部５２」は、本件発明１の「第１溝」と「第２溝」に対応する。そして、上記ウの検討を参酌すると、甲１発明と本件発明１とは、「第１溝」と「第２溝」とが、「前記金属板の前記第１面に形成され」、「前記金属板の前記第１面にのみ形成される」点で共通する。カ上記ウの検討を参酌すると、甲１発明の「第１有効凹部３０」の深さは、「第１面２１ａ」から接続部までの深さであり、「第２有効凹部３５」の深さは、「第２面２１ｂ」から接続部までの深さであるといえるから、上記イ及びウの検討を参酌すると、甲１発明と本件発明１とは、「前記第１面孔の深さは、前記第１面から前記連結部までの深さであり、前記第２面孔の深さは、前記第２面から前記連結部までの深さであ」る点で一致する。キ甲１発明は、「第２応力緩和凹部５２の深さが、第２有効凹部３５の深さよりは大きく、第１有効凹部３０の深さよりは小さい」ものであるから、上記オの検討を参酌すると、甲１発明と本件発明１とは、「前記第１溝の深さと前記第２溝の深さは、前記第１面孔の深さよりは大きく、前記第２面孔の深さよりは小さ」い点で共通する。ク甲１発明の「第２応力緩和凹部５２」は、「応力緩和領域５０において蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びて」いるから、直線部を含んでいるといえる。また、甲第１号証の【図３】及び【図４】には、「第２応力緩和凹部５２」の直線部が、「有効領域２２」と「周囲領域２３」との境界に位置した「第２有効凹部３５」の終端をつなぐ垂直方向の仮想線と平行であることが見て取れる。そして、上記イ、ウ及びオの検討を参酌すると、甲１発明と本件発明１とは、「前記第１溝と前記第２溝」が、「直線部」を含み、「前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し」ている点で共通する。しかし、本件発明１は、「前記第１溝と前記第２溝」が、「前記直線部と連結される曲線部を含」み、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成される」のに対し、甲１発明は、そのような構成を備えていない点で相違する。ケ甲１発明の「周囲領域２３」は、上記イで検討したように、「有効領域２２」の外周にも配置されるといえるしかし、甲１発明において、「応力緩和領域５０」は、「周囲領域２３」に含まれ、「互いに隣り合う有効領域２２の間に介在され」るものであるから、甲１発明の「応力緩和領域５０」と「金属板２１」の「長手方向」の一端及び他端との間には、いずれも、「有効領域２２」が存在するといえる。なお、このことは、甲第１号証の【図３】の記載とも整合する。一方、本件発明１の「金属板」に含まれる「第１溝」と「第２溝」とは、いずれも「前記非有効領域に配置され」、「第１溝」は、「前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する」ものであり、「第２溝」は、「前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する」ものであるところ、「非有効領域」は、「有効領域の外側に配置される」ものであるから、本件発明１の「第１溝」と「前記金属板の長さ方向の一端」との間、及び、「第２溝」と「前記金属板の前記長さ方向の他端」との間には、いずれも、「有効領域」は存在していないといえる。なお、このことは、本件図面の【図８】の記載とも整合する。そうすると、本件発明１の「前記非有効領域に配置され」、「前記金属板の長さ方向の一端の近く」及び「前記金属板の前記長さ方向の他端の近く」とは、いずれも、「有効領域の外側」であって「有効領域」が存在していない領域である。以上から、上記イ及びオの検討を参酌すると、「第１溝」と「第２溝」について、甲１発明と本件発明１とは、「前記非有効領域に配置され」る点で共通するものの、甲１発明の「応力緩和領域５０」と「金属板２１」の「長手方向」の一端及び他端との間には、いずれも、「有効領域２２」が存在しており、「応力緩和領域５０」は、「金属板２１」の「長手方向」の一端の近く、及び、他端の近くに位置するとはいえないから、本件発明１は、「第１溝」が「前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置」し、「第２溝」が「前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する」のに対し、甲１発明は、そのような構成を有していない点で相違する。コ甲１発明は、「蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面し」ているから、「第２面２０ｂ」は「第１面２０ａ」の裏面であり、「蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し」ているといえる。そうすると、甲１発明の「蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側」は、「有機物蒸着容器側」に相当し、上記ウの検討を参酌すると、甲１発明と本件発明１とは、「前記第１面の裏面である前記第２面は、有機物蒸着容器側である」点で一致する。サ以上から、本件発明１と甲１発明との一致点と相違点は以下のとおりとなる。＜一致点＞「ニッケル合金を含む金属板を含み、前記金属板は、複数個の貫通ホール及び前記複数個の貫通ホールの間のブリッジを含む有効領域と、前記有効領域の外周に配置される非有効領域とを含み、前記貫通ホールは、前記金属板の第１面上の第１面孔と、第２面上の第２面孔が連通する連結部によって形成され、前記第２面上における前記第２面孔の幅は、前記第１面上における前記第１面孔の幅より大きく、前記金属板は、前記非有効領域に配置される第１溝と、第２溝とを含み、前記第１溝の深さと前記第２溝の深さは、前記第１面孔の深さよりは大きく、前記第２面孔の深さよりは小さく、前記第１面孔の深さは、前記第１面から前記連結部までの深さであり、前記第２面孔の深さは、前記第２面から前記連結部までの深さであり、前記第１溝と前記第２溝は、前記金属板の前記第１面に形成され、前記第１溝と前記第２溝は、直線部を含み、前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し、前記第１面の裏面である前記第２面は、有機物蒸着容器側であり、前記第１溝と前記第２溝は、前記金属板の前記第１面にのみ形成される、蒸着用マスク。」＜相違点＞相違点１：本件発明１は、「第１溝」が「前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置」し、「第２溝」が「前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する」のに対し、甲１発明は、そのような構成を有していない点。相違点２：本件発明１は、「前記第１溝と前記第２溝」は、「前記直線部と連結される曲線部を含み」、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成される」のに対し、甲１発明は、そのような構成を有していない点。シ申立人の主張について（ア）申立人は、特許異議申立書１９ページ１行～下から７行において、以下の主張をしている。「甲１には、金属板２１が、周囲領域２３に配置され、金属板２１の長さ方向の一端の近くに位置する第２応力緩和凹部５２と、金属板２１の長さ方向の他端の近くに位置する第２応力緩和凹部５２とを含み、当該一端及び他端の近くに位置する第２応力緩和凹部５２の深さは、第２有効凹部３５の深さよりは大きく、第１有効凹部３０の深さよりは小さいことが記載されている（段落５１、６４、図５、８）。甲１における「長さ方向の一端の近くに位置する第２応力緩和凹部５２」、「長さ方向の他端の近くに位置する第２応力緩和凹部５２」は、構成要件Ａにおける「第１溝」、「第２溝」にそれぞれ相当する。」（イ）検討上記クで検討したとおり甲１発明の「応力緩和領域５０」と「金属板２１」の「長手方向」の一端及び他端との間には、いずれも、「有効領域２２」が存在しており、「応力緩和領域５０」は、「金属板２１」の「長手方向」の一端の近く、及び、他端の近くに位置するとはいえないから、申立人の上記主張は採用できない。（２）相違点についての判断まず、相違点１について検討する。上記（１）オで検討したとおり、甲１発明の「蒸着マスク２０」の「第２面２０ｂ」のみに設けられている「複数の第２応力緩和凹部５２」は、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和するものであるのに対し、本件発明１の「前記金属板の前記第１面にのみ形成される」「第１溝」と「第２溝」とは、蒸着用マスクの長さ方向の引張時に加えられる応力を分散させることができるものであり、両者の機能は共通している。ここで、本件発明１の「第１溝」は、「前記非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する」ものであり、「第２溝」は、「前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する」ものであり、この構成は、相違点１に係る本件発明１の構成であり、当該構成によって、蒸着用マスクの長さ方向の引張時に加えられる応力を分散できるといえる。そうすると、甲１発明は、「複数の第２応力緩和凹部５２」によって、すでに、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和するとの機能を有しているから、甲１発明に、更に、共通する機能を有する相違点１に係る本件発明１の構成を適用しようとする動機付けはない。したがって、仮に、甲第２号証～甲第８号証に、相違点１に係る本件発明１の構成が記載されているとしても、甲１発明に甲第２号証～甲第８号証に記載された事項を適用して、相違点１に係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たこととはいえない。（３）小括以上のとおりであるから、相違点２について判断するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び周知技術（甲第２号証～甲第８号証）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。２本件発明２～９について本件発明２～９は、いずれも本件発明１の全ての構成を有するものであるから、上記１（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明２～９は、甲１発明及び周知技術（甲第２号証～甲第８号証）に基づいて、当業者が容易に発明できたものではない。３まとめ以上のとおりであるから、請求項１～９に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものではない。したがって、申立理由１は、理由がない。第６申立理由２（明確性要件）１本件発明１について（１）まず、申立人の主張から検討する。申立人は、本件発明１について、以下の主張をしている。ア特許異議申立書の３３ページ３～８行の主張本件発明１は「金属板の長さ方向の一端の近くに」及び「金属板の前記長さ方向の他端の近くに」と記載しているが、何に対してどの程度「近く」であることをいうのか（どの程度離れていれば「近く」ではないのか）が不明確であり、技術的範囲を不明にするものであり、また、金属板の形状が規定されていないため、「金属板の長さ方向」がどのような方向なのか特定することができず、不明確である。イ特許異議申立書の３３ページ９～１３行の主張本件発明１は、「前記第１溝と前記第２溝は、直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み、」「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、」と記載されているが、「第１溝」や「第２溝」は、立体的な構造を有するところ、その構造のうち、「直線部」や「曲線部」は、どの部分に存在しなければならないものか、不明確であり、技術的範囲を不明にしている。ウ特許異議申立書の３３ページ１４～１７行の主張本件発明１は、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成される、」と記載されているが、「水平方向」とは重力が働く方向に垂直な方向をいうところ、「水平方向の外側」では技術的意味をなさず、「外側」も何に対して「外側」なのかも不明確である。エ特許異議申立書の３３ページ１８行～最下行の主張本件発明１は、「前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し、」と記載するが、まず「前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線」をどのように設定するのか不明であるし、「前記第２面孔の終端」が一つあってもつなぐ線が設定できないし、「つなぐ」こと（「つなぐ」（線））と「垂直方向」と「仮想の線」との関係も不明であり、仮に、「前記第２面孔の終端」が複数がってつなぐ線が描けるとしても、その線が金属板の「長さ方向」に対して「垂直方向」となるとは限らず、技術的意義も不明である。オ特許異議申立書３４ページ１～３行の主張本件発明１は、「前記第１面の裏面である前記第２面は、有機物蒸着容器側であり」と記載しているが、蒸着用マスクとして何を特定しているのか不明確である。（２）検討ア上記（１）アについて本件発明１は、「前記金属板は、複数個の貫通ホール及び前記複数個の貫通ホールの間のブリッジを含む有効領域と、前記有効領域の外周に配置される非有効領域とを含み」及び「前記金属板は、前記非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する第１溝と、前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する第２溝とを含み」と特定されているから、「第１溝」は、「有効領域の外周に配置される非有効領域」に「配置され」、かつ、「金属板の長さ方向の一端の近くに位置する」ものであり、また、「第２溝」は、「有効領域の外周に配置される非有効領域」に「配置され」、かつ、「金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する」ものであり、以下に示す本件図面の【図８】に図示されているとおりのものである。「【図８】」また、蒸着用マスクの金属板は、本件図面の【図８】に記載されているように、通常、平面視長方形であって（必要であれば、甲第１号証の【図３】、甲第２号証の【図３】等参照）、本件明細書の【００８９】には、「図８を参照すると、前記非有効領域ＵＡに配置される蒸着用マスク１００は、両端が水平方向に引っ張られ、マスクフレーム上に固定され得る。より詳しくは、前記非有効領域ＵＡに配置される蒸着用マスクの一端及び他端は、ｙ軸方向と平行に配置され、前記一端及び他端は、ｙ軸方向と垂直なｘ軸方向、すなわち水平方向に引っ張られ得る。」と記載されているから、本件発明１の「金属板の長さ方向」とは、平面視長方形である金属板の長手方向であり、本件図面の【図８】のｘ軸方向であることが理解できる。したがって、本件発明１の「前記金属板は、前記非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する第１溝と、前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する第２溝とを含み」との記載は、明確である。イ上記（１）イ、ウについて本件発明１は、「前記第１溝と前記第２溝は、直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み」、及び、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成される」との特定に加えて、「前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し」、及び、「前記第１溝と前記第２溝は、前記金属板の前記第１面にのみ形成される」と特定されている。そして、上記アで摘記した本件明細書の【００８９】及び本件図面の【図８】の記載を参酌すると、本件発明１の「水平方向」とは、「金属板の長さ方向」と同様に、平面視長方形である金属板の長手方向であり、本件図面の【図８】のｘ軸方向であることが理解でき、また、平面視長方形である金属板の「第１面のみに形成され」ている「第１溝」及び「第２溝」は、金属板の平面視において、各形状が、「直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み」、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され」、「前記直線部より水平方向」、すなわち、平面視長方形である金属板の長手方向（【図８】のｘ軸方向）の「外側に形成される」ことが理解できる。したがって、本件発明１の「前記第１溝と前記第２溝は、直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み」、及び、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成される」との記載は明確である。ウ上記（１）エについて蒸着マスクの金属板に形成される貫通ホールは、本件図面の【図８】に記載されているように、通常、平面視長方形である金属板の長手方向（ｘ軸方向）に対して垂直の方向であるｙ軸方向に沿って複数個形成される（必要であれば、甲第１号証の【図４】、甲第２号証の【図３】等参照）ものであるところ、本件発明１において、「第２面孔」によって形成される「貫通孔」は、「複数個」あるから、「第２面孔」も、上記ｙ軸方向に複数個あるといえ、各「第２面孔」の「終端」をつなげば、本件図面の【図８】に境界領域として示されているＢＡ１及びＢＡ２の線が、それぞれ「仮想の線」として設定できるものである。また、上記ｙ軸方向は、上記イで検討した「水平方向」に対して「垂直方向」であると理解できる。したがって、本件発明１の「前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し」との記載は明確である。エ上記（１）オについて本件明細書の【００２５】の「有機物蒸着装置は、蒸着用マスク１００、マスクフレーム２００、基板３００、有機物蒸着容器４００及び真空チャンバー５００を含むことができる。」との記載、及び、以下に示す本件図面の【図１】の記載によれば、本件発明１の「蒸着マスク」は、有機物蒸着装置内に設置されて用いられるものであり、有機物蒸着容器も、有機物蒸着装置内に設置されるものである。「【図１】」そうすると、本件発明１の「前記第１面の裏面である前記第２面は、有機物蒸着容器側であり」との特定事項は、「蒸着マスク」に含まれる「金属板」の「第２面」が、「有機物蒸着容器側」になるように、有機物蒸着装置内に設置して用いることを特定するものであることが理解できる。したがって、本件発明１は、「前記第１面の裏面である前記第２面は、有機物蒸着容器側であり」との記載は明確である。（３）そして、上記（２）ア～オで検討した本件発明１の記載以外の記載について、不明確な記載は見当たらない。したがって、本件発明１の記載は明確である。２本件発明３について（１）まず、申立人の主張から検討する。申立人は、本件発明３について、特許異議申立書の３４ページ５～１２行において以下の主張をしている。本件発明３は、「前記第１面孔は、前記第１面上のオープン領域の角部が曲率を有し、前記角部のラウンド状の部分の曲率と同一の曲率を有する仮想の円の直径は、５μｍ～２０μｍである」と規定するが、「前記第１面上のオープン領域の角部」がどのような部分を指すのか、「前記角部のラウンド状の部分」がどのような部分を指すのか、不明である。なお、後述のように、本件発明３の記載事項は、本件明細書に記載がない。（２）検討本件発明３の「前記第１面孔は、前記第１面上のオープン領域の角部が曲率を有し」は、「第１面上」における「第１面孔」の形状を特定するものであるから、金属板の平面視における「第１面上のオープン領域の角部が曲率を有し」ているといえる。なお、以下に示す本件図面の【図４】は、「第２面孔Ｖ２を示したもの」（本件明細書の【００４１】参照）であり、第２面孔Ｖ２上のオープン領域の角部が曲率を有していることが見て取れる。そうすると、本件発明３の「第１面孔」も、【図４】に示されている第２面孔Ｖ２の形状と同様の形状を有していると理解できる。「【図４】」また、本件明細書の【００７４】には、「前記第１面孔Ｖ１は、前記第１面１０１上のオープン領域の縁部、すなわち、オープン領域の外周部が曲率を有することができる。または、前記第２面孔Ｖ２は、前記第２面１０２上のオープン領域の縁部、すなわち、オープン領域の外周部が曲率を有することができる。」と記載され、上記で検討したことと同旨の内容が記載されているといえる。したがって、本件発明３の「前記第１面孔は、前記第１面上のオープン領域の角部が曲率を有し」との記載は明確である。（３）そして、上記（２）で検討した本件発明３の記載以外の記載について、不明確な記載は見当たらない。したがって、本件発明３の記載は明確である。３本件発明４について（１）申立人は、本件発明４について、特許異議申立書の３４ページ１５行～３５ページ１１行において以下の主張をしている。本件発明４は、「前記金属板を０．７ｋｇｆの力で前記長さ方向に引っ張った際に、下記の式２によって計算されたねじれ指数ａは、０．８５～１５である、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。＜式２＞ α：＝２Ｂ／（ｄ１＋ｄ２）前記式２において、前記ｄ１は、前記第１溝と前記第１溝と隣接した有効領域との間の非有効領域で測定された金属板の幅であり、前記ｄ２は、前記第２溝と前記第２溝と隣接した有効領域との間の非有効領域で測定された金属板の幅であり、前記Ｂは、前記有効領域の中間地点で測定された金属板の幅である。」（以下、「本件発明４特定事項」という。）と規定するが、第１面孔や第２面孔を形成する前後の金属板の厚さが、長さ方向の一端から他端まで、同じ厚さであることは保証されておらず、「金属板を０．７ｋｇｆの力で前記長さ方向に引っ張」る前から、金属板の厚さが、長さ方向の一端から他端まで１割～２割程度バラツキのあるものも、本件発明４には含まれ、実際、金属板の厚さは完全に均質なものではなく、バラツキがある。したがって、そのような金属板に対して、「０．７ｋｇｆの力で前記長さ方向に引っ張」り、「ねじれ指数ａ」を評価すること自体、技術的意義がない。（２）検討上記本件発明４特定事項は、その記載自体は明確である。そして、特許を受けようとする発明が明確であるか否かは、特許請求の範囲の記載が明確であることで足りるものであり、当該記載に技術的意義かあるかどうかは、明確性要件の判断に影響を及ぼすものではない。したがって、本件発明４の記載は明確である。４本件発明６について（１）申立人は、本件発明６について、以下の主張をしている。ア特許異議申立書の３５ページ１４～１８行本件発明６は、「第１面孔の幅」「第２面孔の幅」の数値範囲を規定する。しかしながら、「第１面孔」「第２面孔」は、様々な形状（円、楕円、丸みを帯びた長方形状・正方形状のもの、多角形の角部が突出しているものなど）のものがある中で、どのように幅を測定するのか（どの長さを「幅」とするのか）、本件明細書にも規定されておらず、不明確である。イ特許異議申立書の３５ページ１９～２４行本件発明６は、「第１面孔の深さ」「第２面孔の深さ」の数値範囲を規定する。しかしながら、「第１面孔の深さ」「第２面孔の深さ」の深さが位置によって異なる場合にどのように評価するのか、「第１面孔」が複数ある中で「第１面孔」によって深さが異なる場合にどのように評価するのか、同様に「第２面孔」が複数ある中で「第２面孔」によって深さが異なる場合にどのように評価するのか、本件明細書にも規定されておらず、不明確である。（２）検討ア上記（１）アについて本件発明６の「第１面孔の幅」及び「第２面孔の幅」について、本件明細書の【００３７】には、「前記第２面孔Ｖ２の幅は、前記第１面孔Ｖ１の幅より大きくすることができる。このとき、前記第１面孔Ｖ１の幅は前記第１面１０１で測定し、前記第２面孔Ｖ２の幅は前記第２面１０２で測定することができる。」と記載されており、以下に示す本件図面の【図６】も参酌すると、本件発明６の「第１面孔の幅」は、第１面における金属板の長さ方向の最大値であり、「第２面孔の幅」は、第２面における金属板の長さ方向の最大値であると解するのが相当である。「【図６】」したがって、本件発明６の「第１面孔の幅」及び「第２面孔の幅」の数値範囲は明確である。イ上記（１）イについて本件発明６の「第１面孔の深さ」及び「第２面孔の深さ」について、本件発明６には、「前記第１面孔の深さは、前記第１面から前記連結部までの深さであり、前記第２面孔の深さは、前記第２面から前記連結部までの深さであり」と特定されており、各孔の深さは、上記アで示した【図６】にも図示されているとおりのものである。そして、「第１面孔」及び「第２面孔」は、それぞれ複数あるものであるところ、各孔の深さが異なったとしても、本件発明６は、各孔の深さが異なるものを排除するものではない。したがって、本件発明６の「第１面孔の深さ」及び「第２面孔の深さ」の数値範囲は明確である。（３）以上から、本件発明６の記載は明確である。５本件発明７、８について（１）まず、申立人の主張から検討する。申立人は、本件発明７、８について、特許異議申立書の３６ページ２～７行において以下の主張をしている。本件発明７、８には、「前記第１ブリッジの幅」「前記第２ブリッジの幅」が記載されているが、金属板に対して、様々な形状の大きさの第１面孔や、様々な形状の大きさの第２面孔が、様々な位置、間隔で形成されうる中で、「前記第１ブリッジの幅」「前記第２ブリッジの幅」をどのように測定するのか（どの長さを「幅と」するのか）、本件明細書にも規定されておらず、不明確である。（２）検討本件発明７、８の「前記第１ブリッジの幅」及び「前記第２ブリッジの幅」について、本件明細書の【０１２１】には、「前記第１ブリッジＢＲ１と前記第２ブリッジＢＲ２は、互いに異なる幅を有することができる。前記第１面における前記第１ブリッジ部ＢＲ１の幅は、前記第２面における前記第２ブリッジ部ＢＲ２の幅より大きくてよい。ここで、前記第１ブリッジ部ＢＲ１の幅は前記第１面で測定されたものであり、前記第２ブリッジ部ＢＲ２の幅は前記第２面で測定されたものでよい。詳しくは、前記第１ブリッジ部ＢＲ１の幅は、隣接した貫通ホールの間を支持するそれぞれの前記第１ブリッジ部ＢＲ１の平均幅を意味することができる。前記第２ブリッジ部ＢＲ２の幅は、隣接した貫通ホールの間を支持するそれぞれの前記第２ブリッジ部ＢＲ２の平均幅を意味することができる。」と記載されているから、本件発明７、８の「前記第１ブリッジの幅」及び「前記第２ブリッジの幅」は明確である。（３）そして、上記（２）で検討した本件発明７、８の記載以外の記載について、不明確な記載は見当たらない。したがって、本件発明７、８の記載は明確である。６本件発明２、５、９について本件発明２、５、９には不明確な記載は見当たらないから、請求項２、５、９の記載は明確である。７まとめ以上のとおりであるから、請求項１～９に係る特許は、特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとではない。したがって、申立理由２は、理由がない。第７申立理由３（サポート要件）１当審の判断本件明細書の【００１１】には、発明が解決しようとする課題として、「均一な貫通ホールを有する蒸着用マスクを提供する」ことが記載されており、同【００１２】には、課題を解決するための手段として、「蒸着用マスクは金属板を含み、前記金属板は、複数個の貫通ホール及び該複数個の貫通ホールの間におけるブリッジを有する有効領域と、前記有効領域の外周に配置される非有効領域と、を含み、前記貫通ホールは、第１面上の第１面孔と該第１面に対向する第２面上の第２面孔とが出会う連結部に形成され、前記第１面孔の幅は、前記第２面孔の幅より小さく、前記第１面孔の深さは前記第２面孔の深さより小さく、下記式１＜式１＞ｋ＝Ｈ２（Ｔ－Ｈ１）（前記式において、前記Ｔは、前記非有効領域で測定された蒸着用マスクの厚さであり、前記Ｈ１は、前記複数個の貫通ホールのうち、隣接した２つの貫通ホールの間におけるブリッジの厚さが最大である地点において、前記連結部を基準に前記第１面方向への厚さであり、前記Ｈ２は、前記隣接した２つの貫通ホールの間におけるブリッジの厚さが最大である地点において、前記連結部を基準に前記第２面方向への厚さである。）によって計算されたｋ値は、０．６５～１未満である。」と記載されている。しかし、本件発明１には、上記ｋ値について特定されていないから、上記課題は、本件発明１が解決しようとする課題であるとはいえない。そして、上記第５１（１）オで検討したとおり、本件明細書の【０１０３】及び【０１０９】の記載から、本件発明１は、「金属板」が、「非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する第１溝と、前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する第２溝を含み」、「前記第１溝と前記第２溝は、直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み」、「前記直線部は、前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置した前記第２面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行し」、「前記曲線部は、前記直線部の両端に連結され、前記直線部より水平方向の外側に形成され」ること（以下、「本件第１、第２溝構造」という。）によって、蒸着用マスクの長さ方向の引張時に加えられる応力を分散させることができるものである。そうすると、本件発明が解決しようとする課題は、長さ方向の引張時に加えられる応力を分散させる蒸着用マスクを提供すること（以下、「本件課題」という。）であり、本件発明１は、上記本件第１、第２溝構造によって、本件課題を解決し得るものであるといえる。したがって、本件発明１は、発明の詳細な説明に記載されたものである。また、本件発明２～９は、いずれも本件発明１の全ての構成を有するものであるから、本件発明１と同様に、本件課題を解決し得るものであるといえる。したがって、本件発明２～９も、発明の詳細な説明に記載されたものである。２申立人の主張について（１）本件発明１～９についてア申立人は、特許異議申立書３６ページ１１行～３７ページ１２行において以下の主張をしている。（ア）本件発明１は、「第１溝」や「第２溝」の形状が線対称の形状であるとは限らず、「第１溝」や「第２溝」の「直線部」が、金属板の長さ方向に対して垂直方向に延在するとも限らないから、本件明細書【００８９】【図８】に記載のように蒸着用マスクの両端を引っ張り、マスクフレームに溶接により固定しようとしても、「第１溝」や「第２溝」の形状や蒸着用マスクに対する向きによって、引っ張り力が、蒸着用マスクの幅方向において均等にかからず偏り、蒸着用マスクが波打ったり、シワが生じたりして、捩れが生じ得るものである。（イ）また、第１面孔や第２面孔を形成する前後の金属板の厚さが、長さ方向の一端から他端まで、同じ厚さであることは保証されておらず、「金属板を０．７ｋｇｆの力で前記長さ方向に引っ張」る前から、金属板の厚さが、長さ方向の一端から他端まで１割～２割程度バラツキのあるものも、本件発明には含まれる。そのため、蒸着用マスクを両端から引っ張ったときに、蒸着用マスクが捩れない保証はない。（ウ）したがって、本件発明１は、課題が解決できるとは、当業者は認識できないし、本件発明２～９についても同様である。イ検討まず、上記ア（イ）の「第１面孔や第２面孔を形成する前後の金属板の厚さが、長さ方向の一端から他端まで、同じ厚さであることは保証されておらず、「金属板を０．７ｋｇｆの力で前記長さ方向に引っ張」る前から、金属板の厚さが、長さ方向の一端から他端まで１割～２割程度バラツキのあるもの」との主張は、証拠に基づくものではない。また、上記ア（ア）、（ウ）の主張については、上記１で検討したとおり、本件明細書の【０１０３】及び【０１０９】の記載から、本件発明１は、上記本件第１、第２溝構造によって、上記本件課題を解決し得るものであるといえる。（２）本件発明３についてア申立人は、特許異議申立書の３７ページ１３～１７行において以下の主張をしている。本件発明３は、「前記第１面孔は、前記第１面上のオープン領域の角部が曲率を有し、前記角部のラウンド状の部分の曲率と同一の曲率を有する仮想の円の直径は、５μｍ～２０μｍである」と規定するが、そのような記載は、本件明細書には見当たらない。イ検討上記第６２（２）で検討したとおり、本件明細書の【００７４】には、本件発明３の記載と同旨の内容が記載されているといえるから、本件発明３は、発明の詳細な説明に記載されたものである。（３）したがって、申立人の上記主張は、いずれも採用できない。３まとめ以上のとおりであるから、請求項１～９に係る特許は、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものではない。したがって、申立理由３は、理由がない。第８申立理由４（実施可能要件）１当審の判断本件発明１～９は、いずれも物の発明であるところ、その構造からして、当業者が本件明細書の発明の詳細な説明の記載及び本件特許出願当時の技術常識に基づいて、その物を製造し、使用することができるものである。したがって、本件明細書の発明の詳細な説明は、当業者が本件発明１～９の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されたものである。２申立人の主張について（１）申立人は、以下の主張をしている。ア特許異議申立書の３７ページ１９～２３行本件発明１は、「前記金属板は、前記非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する第１溝と、前記金属板の前記長さ方向の他端の近くに位置する第２溝とを含み」と特定しているが、当該特定事項にいかなる技術的意味があるのか、発明の詳細な説明に当業者が実施できる程度に記載されていない。イ特許異議申立書の３７ページ２４行～３８ページ１行本件発明１は、「前記第１溝の深さと前記第２溝の深さは、前記第１面孔の深さよりは大きく、前記第２面孔の深さよりは小さく」と特定しているが、当該特定事項にいかなる技術的意味があるのか、発明の詳細な説明に当業者が実施できる程度に記載されていない。ウ特許異議申立書の３８ページ２～６行本件発明１は、「前記第１溝と前記第２溝は、前記金属板の前記第１面にのみ形成される」、「前記第１溝と前記第２溝は、直線部及び前記直線部と連結される曲線部を含み」と特定しているが、当該特定事項にいかなる技術的意味があるのか、発明の詳細な説明に当業者が実施できる程度に記載されていない。エ特許異議申立書の３８ページ８～１１行本件発明２は、「前記曲線部は、前記直線部の長さをＣとするとき、１／２Ｃ長の地点に近づくにつれて曲率半径が増加する」と特定しているが、当該特定事項にいかなる意味があるのか、発明の詳細な説明に当業者が実施できる程度に記載されていない。オ特許異議申立書の３８ページ１３～１５行本件発明５～９は、金属板の厚さ、孔寸法等を特定しているが、当該寸法にどのような臨界的意義があり、当該寸法範囲以外の場合にどのような相違があるのか、発明の詳細な説明には説明されていない。（２）検討申立人の上記（１）ア～オの主張について、まとめて検討する。本件明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件発明１～９の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されたものであることは、上記１で検討したとおりであり、本件発明の特定事項に技術的意味があるかどうか、本件発明の特定事項にいかなる意味があるかどうか、金属板の厚さ、孔寸法にどのような臨界的意義があるかどうか、及び、当該寸法範囲以外の場合にどのような相違があるかどうかは、いずれも、実施可能要件の判断に影響を及ぼすものではない。したがって、申立人の上記主張は、いずれも採用できない。３まとめ以上のとおりであるから、請求項１～９に係る特許は、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとではない。したがって、申立理由４は、理由がない。第９むすび以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１～９に係る特許を取り消すことはできない。また、他に請求項１～９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。よって、結論のとおり決定する。
異議決定日	2022-11-01
出願番号	P2020-053087
審決分類	P 1 651・ 536- Y (C23C) P 1 651・ 121- Y (C23C) P 1 651・ 537- Y (C23C)
最終処分	07 維持
特許庁審判長	宮澤尚之
特許庁審判官	河本充雄正知晃
登録日	2022-01-07
登録番号	7005672
権利者	エルジーイノテックカンパニーリミテッド
発明の名称	蒸着用マスク及びこれを用いたＯＬＥＤパネル
代理人	重森一輝
代理人	金山賢教
代理人	市川祐輔
代理人	岩瀬吉和
代理人	小野誠

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