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審決分類 審判 査定不服 特36条6項1、2号及び3号 請求の範囲の記載不備 取り消して特許、登録(定型) H01L
審判 査定不服 特36条4項詳細な説明の記載不備 取り消して特許、登録(定型) H01L
管理番号 1392803
総通号数 13 
発行国 JP 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2023-01-27 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2021-12-23 
確定日 2022-12-19 
事件の表示 特願2019−525776「基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成30年 6月21日国際公開、WO2018/108527、令和 2年 5月21日国内公表、特表2020−515028、請求項の数(13)〕について、次のとおり審決する。 
結論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 
理由 本願は、平成29年11月29日(パリ条約による優先権主張 2016年12月16日 (EP)欧州特許庁)を国際出願日とする出願であって、その請求項1−13に係る発明は、令和4年11月1日の手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項1−13に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由および令和4年8月1日付け拒絶理由通知書で指摘した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
 
審決日 2022-12-07 
出願番号 P2019-525776
審決分類 P 1 8・ 536- WYF (H01L)
P 1 8・ 537- WYF (H01L)
最終処分 01   成立
特許庁審判長 恩田 春香
特許庁審判官 棚田 一也
佐藤 智康
発明の名称 基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法  
代理人 内藤 和彦  
代理人 大貫 敏史  
代理人 稲葉 良幸  
代理人 江口 昭彦  

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