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審決分類 審判 全部申し立て 特36条6項1、2号及び3号 請求の範囲の記載不備  H01L
審判 全部申し立て 2項進歩性  H01L
審判 全部申し立て 特36条4項詳細な説明の記載不備  H01L
管理番号 1402733
総通号数 22 
発行国 JP 
公報種別 特許決定公報 
発行日 2023-10-27 
種別 異議の決定 
異議申立日 2022-04-22 
確定日 2023-07-13 
異議申立件数 1 
訂正明細書 true 
事件の表示 特許第６９６０４７７号発明「薬液、薬液の製造方法、基板の処理方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 
結論 特許第６９６０４７７号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−３５〕について訂正することを認める。 特許第６９６０４７７号の請求項１〜３５に係る特許を維持する。 
理由 第１ 手続の経緯
特許第６９６０４７７号の請求項１〜３５に係る特許についての出願は、２０１９年（平成３１年）１月１８日（優先権主張 平成３０年２月５日、平成３０年８月２９日）を国際出願日として出願され、令和３年１０月１３日にその特許権の設定登録がされ、同年１１月５日に特許掲載公報が発行された。その特許についての本件特許異議の申立ての経緯は、次のとおりである。
令和 ４年 ４月２２日 ：特許異議申立人河井清悦（以下、「申立人河井」という。）による特許異議の申立て
令和 ４年 ７月２７日付け ：取消理由通知書
令和 ４年１０月 ３日 ：特許権者による意見書及び訂正請求書の提出
令和 ４年１１月２８日 ：申立人河井による意見書の提出
令和 ５年 ２月 １日付け ：取消理由通知書（決定の予告）
令和 ５年 ４月 ６日 ：特許権者による意見書及び訂正請求書の提出

令和５年４月１９日付け（４月２４日発送）で、同年４月６日付け訂正請求書による訂正の請求（以下、「本件訂正請求」という。また、本件訂正請求による訂正を「本件訂正」という。）に対して、申立人河井に、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、申立人河井は応答しなかった。
なお、令和４年１０月３日にされた訂正請求は、本件訂正請求がされたため、特許法第120条の5第7項の規定により、取り下げられたものとみなす。

第２ 訂正の適否についての判断
１ 訂正の内容
特許権者は、特許請求の範囲の請求項１〜３５を、以下の事項により特定されるとおりに訂正することを請求する（下線は訂正箇所を示すため当審が付した。）。

（１） 訂正事項１
特許請求の範囲の請求項１に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、薬液。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。」
に訂正する。
（請求項１の記載を直接又は間接的に引用する請求項３、５、６、８、１０、１２、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（２）訂正事項２
特許請求の範囲の請求項２に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ〜１００質量ｐｐｂであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｂ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ以上である、薬液。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ〜１００質量ｐｐｂであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｂ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。」
に訂正する。
（請求項２の記載を直接又は間接的に引用する請求項３、５、６、８、１０、１２、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（３）訂正事項３
特許請求の範囲の請求項４に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
ｐＨが４．０〜９．０である、薬液。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが４．０〜９．０である、薬液。」
に訂正する。
（請求項４の記載を直接又は間接的に引用する請求項８、１０、１２、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（４）訂正事項４
特許請求の範囲の請求項６に
「 ｐＨが７．５〜１０．０である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の薬液。」
とあるうち、請求項１〜３のいずれか１項を引用するものについて、
「 ｐＨが７．５〜１０．０である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の薬液。」
に訂正する。
（請求項６の記載を直接又は間接的に引用する請求項８、１０、１２、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（５）訂正事項５
特許請求の範囲の請求項７に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０００１〜５０質量％である、薬液。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが１．０〜１０．０である、薬液。」
に訂正する。
（請求項７の記載を直接又は間接的に引用する請求項１０、１２、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（６）訂正事項６
特許請求の範囲の請求項８に
「 前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０００１〜５０質量％である、請求項２〜６のいずれか１項に記載の薬液。」
と記載されているのを、
「 前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜４５質量％である、請求項２〜６のいずれか１項に記載の薬液。」
に訂正する。
（請求項８の記載を直接又は間接的に引用する請求項１０、１２、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（７）訂正事項７
特許請求の範囲の請求項９に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ａｌ、Ａｇ、Ｂ、Ｂａ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｒｕ、Ｓｎ、及び、Ｚｎからなる群から選択される１種以上の第２金属成分を含み、
前記薬液が１種の第２金属成分を含む場合、前記１種の第２金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種以上の第２金属成分を含む場合、前記２種以上の第２金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上の第２金属成分の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、薬液。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ａｌ、Ａｇ、Ｂ、Ｂａ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｒｕ、Ｓｎ、及び、Ｚｎからなる群から選択される１種以上の第２金属成分を含み、
前記薬液が１種の第２金属成分を含む場合、前記１種の第２金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種以上の第２金属成分を含む場合、前記２種以上の第２金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上の第２金属成分の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。」
に訂正する。
（請求項９の記載を直接又は間接的に引用する請求項１２、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（８）訂正事項８
特許請求の範囲の請求項１１に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、アンモニウムイオンを含み、
前記アンモニウムイオンの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍである、薬液。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、アンモニウムイオンを含み、
前記アンモニウムイオンの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。」
に訂正する。
（請求項１１の記載を直接又は間接的に引用する請求項１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（９）訂正事項９
特許請求の範囲の請求項１３に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ｉ−、Ｉ３−、ＩＯ３−、Ｂｒ−、Ｃｌ−、ＮＯ３−、硫酸イオン、亜硫酸イオン、リン酸イオン、及び、亜リン酸イオンからなる群から選択される１種以上のアニオン種を含み、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち１種のアニオン種を含む場合、前記１種のアニオン種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち２種以上のアニオン種を含む場合、前記２種以上のアニオン種のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上のアニオン種の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、請求項１〜８のいずれか１項に記載の薬液。」
とあるうち、請求項１を引用するものについて、独立形式に改め、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ｉ−、Ｉ３−、ＩＯ３−、Ｂｒ−、Ｃｌ−、ＮＯ３−、硫酸イオン、亜硫酸イオン、リン酸イオン、及び、亜リン酸イオンからなる群から選択される１種以上のアニオン種を含み、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち１種のアニオン種を含む場合、前記１種のアニオン種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち２種以上のアニオン種を含む場合、前記２種以上のアニオン種のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上のアニオン種の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。」
に訂正する。
（請求項１３の記載を直接又は間接的に引用する請求項１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８、３０、３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（１０）訂正事項１０
特許請求の範囲の請求項１６に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、薬液の製造方法。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、薬液の製造方法。」
に訂正する。
（請求項１６の記載を直接又は間接的に引用する請求項１８、２２、２３、２４、２５、２７、２８も同様に訂正する。）

（１１）訂正事項１１
特許請求の範囲の請求項１９に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを含む混合樹脂が充填された第１充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ１を含む、薬液の製造方法。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを含む混合樹脂が充填された第１充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ１を含む、薬液の製造方法。」
に訂正する。
（請求項１９の記載を直接又は間接的に引用する請求項２２、２７、２８も同様に訂正する。）

（１２）訂正事項１２
特許請求の範囲の請求項２０に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂が充填された第２充填部、アニオン交換樹脂が充填された第３充填部、及び、キレート樹脂が充填された第４充填部のうちの少なくとも１種の充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ２を含む、薬液の製造方法。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂が充填された第２充填部、アニオン交換樹脂が充填された第３充填部、及び、キレート樹脂が充填された第４充填部のうちの少なくとも１種の充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ２を含む、薬液の製造方法。」
に訂正する。
（請求項２０の記載を直接又は間接的に引用する請求項２３、２７、２８も同様に訂正する。）

（１３）訂正事項１３
特許請求の範囲の請求項２１に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記イオン交換法が、膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法Ａ３を含む、薬液の製造方法。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法Ａ３を含む、薬液の製造方法。」
に訂正する。
（請求項２１の記載を直接又は間接的に引用する請求項２４、２７、２８も同様に訂正する。）

（１４）訂正事項１４
特許請求の範囲の請求項２６に
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａと、
前記工程Ａの後、フィルタを用いて前記工程Ａに供された前記被精製物をろ過する工程Ｂと、を有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、薬液の製造方法。」
と記載されているのを、
「 過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａと、
前記工程Ａの後、フィルタを用いて前記工程Ａに供された前記被精製物をろ過する工程Ｂと、を有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、薬液の製造方法。」
に訂正する。
（請求項２６の記載を直接引用する請求項２８も同様に訂正する。）

（１５）訂正事項１５
特許請求の範囲の請求項２９に
「 薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄを有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、
基板の処理方法。」
と記載されているのを、
「 薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄを有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、
基板の処理方法。」
に訂正する。
（請求項２９の記載を直接又は間接的に引用する請求項３１、３２、３４、３５も同様に訂正する。）

（１６）訂正事項１６
特許請求の範囲の請求項３３に
「 薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄと、
前記工程Ｄの後、リンス液を用いて、前記工程Ｄで得られた前記基板に対してリンス処理を行うリンス工程と、を有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、
基板の処理方法。」
と記載されているのを、
「 薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄと、
前記工程Ｄの後、リンス液を用いて、前記工程Ｄで得られた前記基板に対してリンス処理を行うリンス工程と、を有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、
基板の処理方法。」
に訂正する。
（請求項３３の記載を直接引用する請求項３５も同様に訂正する。）

なお、本件訂正は、一群の請求項〔１〜３５〕について請求されている。

２ 訂正の目的の適否、特許請求の範囲の拡張・変更の存否、新規事項の有無、独立特許要件について
（１）訂正事項１
ア 訂正の目的について
訂正事項１のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項１に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項１に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項１の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（２）訂正事項２
ア 訂正の目的について
訂正事項２のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項２に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項２のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項２に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項２は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項２の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項２は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項２に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（３）訂正事項３
ア 訂正の目的について
訂正事項３は、訂正前の請求項４に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を、「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項３は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項４の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項３は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
よって、訂正事項３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項３に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（４）訂正事項４
ア 訂正の目的について
訂正事項４は、訂正前の請求項６が請求項１〜５の記載を引用する記載であるところ、請求項４〜５を引用しないものとする訂正である。そのため、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。
なお、請求項１及び２に関する訂正事項１及び２により、訂正後の請求項６も、薬液中の過ヨウ素酸類の含有量について「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」へと訂正される。この訂正は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
訂正事項４は、引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。したがって、訂正事項４は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。
また、訂正事項１又は２により、訂正後の請求項６も過ヨウ素酸類の含有量について「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」へと訂正される。この訂正は、上記（１）イ及び（２）イに記載のように、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
訂正事項４は、引用する請求項の数を減少させるものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。
また、訂正事項１又は２により、訂正後の請求項６も過ヨウ素酸類の含有量について「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」へと訂正される。この訂正は、上記（１）ウ及び（２）ウに記載のように、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項４に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（５）訂正事項５
ア 訂正の目的について
訂正事項５のうち、渦ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項７に係る発明において「薬液の全質量に対して０．０００１〜５０質量％である」と特定されていた渦ヨウ素酸類の含有量を更に限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項５のうち、薬液を「ｐＨが１．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項７に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項５は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項７の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項５は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
また、願書に添付した明細書段落［００５０］には、薬液のｐＨについて、「本発明の薬液のｐＨは特に制限されない。中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」と記載されている。また、同段落［０１５１］〜［０１８５］には、発明に係る薬液を調製し、調製された薬液について各種性能評価を行った実施例Ｙが記載されており、当該実施例Ｙには、ｐＨが１．０である薬液を調製し、各種性能評価を行ったことも記載されている（実施例Ｙ１〜Ｙ１５及びＹ２８〜Ｙ３０）。ここで、本件明細書の段落［０００５］における「そこで、本発明は、遷移金属含有物に対する優れたエッチング性能を有し、優れた欠陥抑制性能を有する薬液を提供することを課題とする。」との記載から理解されるように、本件発明の課題は、「遷移金属含有物に対する優れたエッチング性能を有し、優れた欠陥抑制性能を有する薬液を提供すること」にある。そして、実施例Ｙでは、遷移金属含有物に対するエッチング性能については、Ｒｕ、Ｃｏ及びＷのエッチング速度を指標として評価され、欠陥抑制性能は、「残留メタル抑制性」を指標として評価されているところ（同段落［０１７５］参照）、ｐＨが１．０である実施例Ｙ１〜Ｙ１５及びＹ２８〜Ｙ３０の薬液はいずれも、Ｒｕ、Ｃｏ及びＷのエッチング性能、並びに、残留メタル抑制性が優れた効果を有することが実証されている（同段落［０１８３］及び［０１８４］の表３参照）。また、当該実施例Ｙには、ｐＨが４．０、６．０又は９．０である薬液を調製し、これらの薬液が、Ｒｕ、Ｃｏ及びＷのエッチング性能、並びに、残留メタル抑制性が優れた効果を有することが示されている（同表３参照）。これらの実施例Ｙの結果に基づけば、上記の優れた効果を有することが実証されている実施例Ｙ１〜Ｙ１５及びＹ２８〜Ｙ３０の薬液のｐＨである「１．０」は、「遷移金属含有物に対する優れたエッチング性能を有し、優れた欠陥抑制性能を有する薬液の提供」という本件発明の課題を解決し得る薬液の連続的なｐＨの範囲の下限値となり得るものであり、また、当業者にとって容易に認識できるものであるといえる。
以上より、薬液のｐＨが「１．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、段落［００５０］及び［０１５１］〜［０１８５］を含む願書に添付した明細書に当初から記載されていたに等しい事項であって、新たな技術的事項を導入するものではない。
よって、訂正事項５は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項５に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（６）訂正事項６
ア 訂正の目的について
訂正事項６は、薬液中の過ヨウ素酸類の含有量を、訂正前の請求項８の「薬液の全質量に対して０．０００１〜５０質量％」から「薬液の全質量に対して１〜４５質量％」へと限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項６は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項８の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項６は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜４５質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５質量％がより好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
よって、訂正事項６は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項６に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（７）訂正事項７
ア 訂正の目的について
訂正事項７のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項９に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項７のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項９に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項７は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項９の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項７は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項７は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項７に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（８）訂正事項８
ア 訂正の目的について
訂正事項８のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項１１に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項８のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項１１に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項８は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項１１の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項８は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項８は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項８に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（９）訂正事項９
ア 訂正の目的について
訂正事項９のうち、訂正前の請求項１３が請求項１〜８の記載を引用する記載であるところ、請求項２〜８を引用しないものとした上で、請求項１を引用するものについて請求項間の引用関係を解消して独立形式請求項へ改める訂正は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とする訂正であるとともに、同第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
訂正事項９のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項１３に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。
訂正事項９のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項１３に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、引用する請求項の数を減少させ、独立形式請求項へ改める訂正は、実質的な内容の変更を伴うものではない。また、訂正前の請求項１３の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項９は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
引用する請求項の数を減少させ、独立形式請求項へ改める訂正は、実質的な内容の変更を伴うものではないから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正である。
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項９は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項９に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（１０）訂正事項１０
ア 訂正の目的について
訂正事項１０のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項１６に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１０のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項１６に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１０は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項１６の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１０は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１０は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１０に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（１１）訂正事項１１
ア 訂正の目的について
訂正事項１１のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項１９に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１１のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項１９に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１１は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項１９の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１１は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１１に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（１２）訂正事項１２
ア 訂正の目的について
訂正事項１２のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項２０に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１２のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項２０に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１２は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項２０の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１２は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１２に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（１３）訂正事項１３
ア 訂正の目的について
訂正事項１３のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項２１に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１３のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項２１に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１３は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項２１の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１３は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１３に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（１４）訂正事項１４
ア 訂正の目的について
訂正事項１４のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項２６に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１４のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項２６に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１４は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項２６の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１４は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１４に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（１５）訂正事項１５
ア 訂正の目的について
訂正事項１５のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項２９に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１５のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項２９に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１５は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項２９の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１５は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１５は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１５に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

（１６）訂正事項１６
ア 訂正の目的について
訂正事項１６のうち、過ヨウ素酸類の含有量を「薬液の全質量に対して１〜５０質量％」に限定する訂正は、訂正前の請求項３３に係る発明では特定されていない「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類」の含有量を限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
訂正事項１６のうち、薬液を「ｐＨが３．０〜１０．０である」薬液に限定する訂正は、訂正前の請求項３３に係る発明では特定されていない薬液のｐＨを限定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
よって、訂正事項１６は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
上記アから明らかなように、訂正前の請求項３３の発明特定事項を概念的により下位の内容とする訂正は、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１６は、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第6項に適合するものである。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
薬液中の過ヨウ素酸類の含有量が「薬液の全質量に対して１〜５０質量」の範囲内であり得ることは、願書に添付した明細書段落［００１７］における「過ヨウ素酸類の含有量（合計含有量）は、薬液全質量に対して、０．０００１〜５０質量％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、」との記載から明らかである。
薬液のｐＨが「３．０〜１０．０」の範囲内であり得ることは、同段落［００５０］における「中でも、薬液のｐＨは３．０〜１０．０が好ましい。」との記載から明らかである。
よって、訂正事項１６は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する特許法第126条第5項に適合するものである。

エ 特許出願の際に独立して特許を受けることができること
本件においては、訂正前の全ての請求項１〜３５について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１６に関して、特許法第120条の5第9項で読み替えて準用する特許法第126条第7項の独立特許要件は課されない。

３ 小括
上記のとおり、訂正事項１〜訂正事項１６に係る訂正は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号又は第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第126条第5項及び第６項の規定に適合する。
したがって、特許請求の範囲を、令和５年４月６日に提出された訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲（以下、単に「訂正特許請求の範囲」という。）のとおり、訂正後の請求項１〜３５について訂正することを認める。

第３ 訂正後の本件発明
本件訂正請求により訂正された請求項１〜３５に係る発明（以下、順にそれぞれ「本件発明１」〜「本件発明３５」という。また、訂正後の請求項１〜３５に係る発明をまとめて「本件発明」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１〜３５に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。

「【請求項１】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項２】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ〜１００質量ｐｐｂであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｂ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項３】
更に、ｐＨ調製剤を含む、請求項１又は２に記載の薬液。
【請求項４】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが４．０〜９．０である、薬液。
【請求項５】
ｐＨが４．０〜９．０である、請求項２又は３に記載の薬液。
【請求項６】
ｐＨが７．５〜１０．０である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項７】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが１．０〜１０．０である、薬液。
【請求項８】
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜４５質量％である、請求項２〜６のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項９】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ａｌ、Ａｇ、Ｂ、Ｂａ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｒｕ、Ｓｎ、及び、Ｚｎからなる群から選択される１種以上の第２金属成分を含み、
前記薬液が１種の第２金属成分を含む場合、前記１種の第２金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種以上の第２金属成分を含む場合、前記２種以上の第２金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上の第２金属成分の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項１０】
更に、Ａｌ、Ａｇ、Ｂ、Ｂａ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｒｕ、Ｓｎ、及び、Ｚｎからなる群から選択される１種以上の第２金属成分を含み、
前記薬液が１種の第２金属成分を含む場合、前記１種の第２金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種以上の第２金属成分を含む場合、前記２種以上の第２金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上の第２金属成分の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、請求項２〜８のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項１１】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、アンモニウムイオンを含み、
前記アンモニウムイオンの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項１２】
更に、アンモニウムイオンを含み、
前記アンモニウムイオンの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍである、請求項２〜１０のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項１３】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ｉ−、Ｉ３−、ＩＯ３−、Ｂｒ−、Ｃｌ−、ＮＯ３−、硫酸イオン、亜硫酸イオン、リン酸イオン、及び、亜リン酸イオンからなる群から選択される１種以上のアニオン種を含み、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち１種のアニオン種を含む場合、前記１種のアニオン種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち２種以上のアニオン種を含む場合、前記２種以上のアニオン種のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上のアニオン種の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項１４】
更に、Ｉ−、Ｉ３−、ＩＯ３−、Ｂｒ−、Ｃｌ−、ＮＯ３−、硫酸イオン、亜硫酸イオン、リン酸イオン、及び、亜リン酸イオンからなる群から選択される１種以上のアニオン種を含み、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち１種のアニオン種を含む場合、前記１種のアニオン種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち２種以上のアニオン種を含む場合、前記２種以上のアニオン種のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上のアニオン種の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、請求項２〜１２のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項１５】
前記アニオン種が、ＩＯ３−である、請求項１３又は１４に記載の薬液。
【請求項１６】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、薬液の製造方法。
【請求項１７】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、請求項２〜１５のいずれか１項に記載の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法。
【請求項１８】
前記イオン交換法が、
カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを含む混合樹脂が充填された第１充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ１、
カチオン交換樹脂が充填された第２充填部、アニオン交換樹脂が充填された第３充填部、及び、キレート樹脂が充填された第４充填部のうちの少なくとも１種の充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ２、及び、
膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法Ａ３、からなる群から選択される１種以上を含む、請求項１６又は１７に記載の薬液の製造方法。
【請求項１９】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを含む混合樹脂が充填された第１充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ１を含む、薬液の製造方法。
【請求項２０】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂が充填された第２充填部、アニオン交換樹脂が充填された第３充填部、及び、キレート樹脂が充填された第４充填部のうちの少なくとも１種の充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ２を含む、薬液の製造方法。
【請求項２１】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法Ａ３を含む、薬液の製造方法。
【請求項２２】
前記方法Ａ１が、２つ以上の前記第１充填部に前記被精製物を通液する方法である、請求項１８又は１９に記載の薬液の製造方法。
【請求項２３】
前記方法Ａ２が、２つ以上の前記第２充填部と、２つ以上の前記第３充填部とに、前記被精製物を通液する方法、又は、
１つ以上の前記第２充填部と、１つ以上の前記第４充填部とに、前記被精製物を通液する方法である、請求項１８又は２０に記載の薬液の製造方法。
【請求項２４】
前記方法Ａ３が、２つ以上の膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法である、請求項１８又は２１に記載の薬液の製造方法。
【請求項２５】
前記イオン交換法が、前記方法Ａ１、前記方法Ａ２、及び、前記方法Ａ３からなる群から選択される、２種以上の方法を含む、請求項１８に記載の薬液の製造方法。
【請求項２６】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａと、
前記工程Ａの後、フィルタを用いて前記工程Ａに供された前記被精製物をろ過する工程Ｂと、を有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、薬液の製造方法。
【請求項２７】
前記工程Ａの後に、フィルタを用いて前記工程Ａに供された前記被精製物をろ過する工程Ｂを有する、請求項１７〜２５のいずれか１項に記載の薬液の製造方法。
【請求項２８】
前記工程Ａの前に、前記被精製物とｐＨ調整剤とを混合する工程Ｃを有する、請求項１６〜２７のいずれか１項に記載の薬液の製造方法。
【請求項２９】
薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄを有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、
基板の処理方法。
【請求項３０】
請求項２〜１５のいずれか１項に記載の薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄを有する、基板の処理方法。
【請求項３１】
前記工程Ｄで、基板上の２種以上の遷移金属含有物を同時に除去する、請求項２９又は３０に記載の基板の処理方法。
【請求項３２】
前記２種以上の遷移金属含有物が、少なくともＲｕ含有物とＣｕ含有物とを含む、請求項３１に記載の基板の処理方法。
【請求項３３】
薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄと、
前記工程Ｄの後、リンス液を用いて、前記工程Ｄで得られた前記基板に対してリンス処理を行うリンス工程と、を有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、
基板の処理方法。
【請求項３４】
前記工程Ｄの後、更に、リンス液を用いて、前記工程Ｄで得られた前記基板に対してリンス処理を行う、請求項３０〜３２のいずれか１項に記載の基板の処理方法。
【請求項３５】
前記リンス液が酸性リンス液である、請求項３３又は３４に記載の基板の処理方法。」

第４ 取消理由通知書（決定の予告）に記載した取消理由について
１ 取消理由通知書（決定の予告）に記載した取消理由の概要
当審が令和５年２月１日付けで特許権者に通知した取消理由（以下、「取消理由（予告）」という。）の要旨は、次のとおりである。

令和４年１０月３日付け訂正請求により訂正された請求項１〜７、９〜３５に係る発明（請求項８の記載を直接又は間接的に引用する本件訂正前の発明を除く。）に係る特許は、特許請求の範囲の記載が不備のため、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであり、特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。

２ 当審の判断
●取消理由（予告）（特許法第36条第6項第1号）について
（１）令和４年１０月３日付け訂正請求により訂正された請求項１に係る発明（以下、「本件訂正発明１」という。）は、以下のとおりのものである。

「【請求項１】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０００１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。」

（２）取消理由（予告）における具体的な判断は、以下のとおりのものである。
「ア 本件訂正発明１について
（ア）本件訂正発明１の課題について
本件特許明細書には、以下のように記載されている。
「【０００５】
そこで、本発明は、遷移金属含有物に対する優れたエッチング性能を有し、優れた欠陥抑制性能を有する薬液を提供することを課題とする。
また、本発明は、上記薬液の製造方法、及び、基板の処理方法を提供することも課題とする。」
したがって、本件訂正発明１の課題は、「遷移金属含有物に対する優れたエッチング性能を有し、優れた欠陥抑制性能を有する薬液を提供すること」にあると理解される。
（イ）本件訂正発明１及び発明の詳細な説明について
ａ 本件訂正発明１は、「薬液」に関する発明であり、請求項１には、「薬液」が含む「過ヨウ素酸類」の「含有量」について、「前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０００１〜５０質量％であり」と特定されている。

ｂ 一方、本件訂正発明１における「エッチング性能」に関連して、本件の特許明細書の発明の詳細な説明には、段落［０１３９］〜［０１４４］に記載の表１、及び段落［０１４５］〜［０１４９］に記載の表２において、過ヨウ素酸類の含有量は、実施例Ｘ１〜Ｘ１１４が３７質量％、実施例Ｘ１１５〜Ｘ１２４が５質量％であり、段落［０１８３］〜［０１８４］に記載の表３において、過ヨウ素酸類の含有量は、実施例Ｙ１〜Ｙ１２、Ｙ２８〜Ｙ３０が３７質量％、Ｙ１３〜Ｙ２７が５質量％であり、段落［０２０２］に記載の表４において、過ヨウ素酸類の含有量は、実施例Ｚ１〜Ｚ２９で１．０〜６．０質量％の範囲である。
これらの本件特許明細書に記載の実施例Ｘ、Ｙ、Ｚにおいて示されている過ヨウ素酸類の最小値は、実施例Ｚ５、Ｚ１６、Ｚ１７、Ｚ１８の１．０質量％である。
ここで、令和４年７月２７日付け取消理由通知書で指摘したとおり、薬液のｐＨや過ヨウ素酸類の含有量が変わればエッチング速度などのエッチング性能が大きく変わることは、技術常識である。
してみると、本件特許明細書に記載された実施例における過ヨウ素酸類の最小値である１．０質量％に対して１／１００００である「０．０００１質量％」の場合にまで、遷移金属含有物に対する優れたエッチング性能を有する薬液を提供することはできないから、過ヨウ素酸類の含有量が０．０００１質量％の場合は、上記（ア）の本件訂正発明１の課題を解決することはできない。
すなわち、請求項１において、「過ヨウ素酸類」の含有量の下限値が１．０質量％に特定されていないので、本件訂正発明１は、発明の詳細な説明において、発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲を超えている。
したがって、請求項１において、発明の詳細な説明に記載された、発明の課題を解決するための手段が反映されていないため、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することとなっている。」

（３）この点について、本件訂正の訂正事項１により、請求項１の薬液が含む「過ヨウ素酸類」の含有量は、「薬液全質量に対して１〜５０質量％」に限定された。これにより、本件発明１は、発明の課題を解決することができる。
よって、本件発明１は、発明の詳細な説明に記載されたものであり、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たす。

（４）本件発明２〜７、９〜３５（請求項８の記載を直接又は間接的に引用する本件訂正前の発明を除く。）について、そのうち、独立形式で記載された請求項に係る発明は、本件発明２、４、７、９、１１、１３、１６、１９〜２１、２６、２９、３３であるところ、これらの発明は、それぞれ、本件訂正の訂正事項２、３、５、７〜１６により、請求項２〜７、９〜３５の薬液が含む「過ヨウ素酸類」の含有量は、「薬液全質量に対して１〜５０質量％」に限定された。
したがって、本件発明２、４、７、９、１１、１３、１６、１９〜２１、２６、２９、３３（請求項８の記載を直接又は間接的に引用する本件訂正前の発明を除く。）は、本件発明１と同様な理由で、発明の詳細な説明に記載されたものであり、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たす。

（５）また、本件発明２〜７、９〜３５（請求項８の記載を直接又は間接的に引用する本件訂正前の発明を除く。）のうち、引用形式で記載された本件発明３、５、６、８、１０、１２、１４、１５、１７、１８、２２〜２５、２７、２８、３０〜３２、３４、３５は、いずれも、本件発明のうち独立形式で記載された発明と同じ構成を含むから、本件発明１と同様な理由で、発明の詳細な説明に記載されたものであり、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たす。

第５ 取消理由通知書（決定の予告）において採用しなかった特許異議申立理由について
１ 特許法第29条第2項（進歩性）について
（１）申立人河井は、特許異議申立書において、登録時の特許請求の範囲の請求項１〜３５に係る発明（以下、「本件特許発明１〜３５」という。）に関し、本件特許発明１〜１０、２９は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７）に基づいて、本件特許発明１１、１２は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７）及び甲第３号証に記載された技術的事項に基づいて、本件特許発明１３〜１５は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７）及び甲第４号証に記載された技術的事項に基づいて、本件特許発明１６〜２５は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７、甲第３号証ないし甲第８号証）に基づいて、本件特許発明２６〜２８は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７、甲第３号証ないし甲第９号証）に基づいて、本件特許発明３０は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７）、甲第３号証及び甲第４号証に記載された技術的事項に基づいて、本件特許発明３１、３２は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７）、甲第３号証、甲第４号証及び甲第１０号証に記載された技術的事項に基づいて、本件特許発明３３は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７）、甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基づいて、本件特許発明３４、３５は、甲第１号証に記載された発明並びに周知技術（甲第２号証の１ないし甲第２号証の７）、甲第３号証、甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない旨を主張する。

＜甲号証一覧＞
１． 甲第１号証 ：特開２００１−２４０９８５号公報
２． 甲第２号証の１：行嶋史郎、他１名、”ウェーハ表面の金属およびイオン性不純物の超微量定量”、ｐ．１１〜１４、［ｏｎｌｉｎｅ］、ＳＣＡＳ ＮＥＷＳ、株式会社住友化学分析センター、２００４年２月２０日、Ｖｏｌ．１９、２００４−Ｉ号、［令和４年３月３１日検索］、インターネット
＜URL:https://www.scas.co.jp/development/scas-news/sn-back-issues/sn-2004-1.html＞
３． 甲第２号証の２：赤羽勤子、”無機超微量分析用試薬”、ｐ．３７２〜３７７、［ｏｎｌｉｎｅ］、ぶんせき、公益社団法人日本分析化学会、２００４年７月、７号、［令和４年４月７日検索］、インターネット
＜URL:https://www.jsac.or.jp/bunseki/bunseki.php?year=2004&month=07＞
４．:甲第２号証の３：今岡孝之 他、”液体・固体界面の金属不純物偏析”、第１１回超ＬＳＩウルトラクリーンテクノロジーワークショップ予稿集、ＵＣＳ半導体基盤技術研究会、１９９１年６月６日、ｐ．４１〜４７、７８、７９
５． 甲第２号証の４：国際公開第０３／０７５３３２号
６． 甲第２号証の５：特表２００２−５１７７５３号公報
７． 甲第２号証の６：特開２００２−１６０５３号公報
８． 甲第２号証の７：特開平８−１４８４５６号公報
９． 甲第３号証 ：特開２０１６−９２１０１号公報
１０．甲第４号証 ：特開平１１−２９３４７８号公報
１１．甲第５号証 ：特開平５−３９５８６号公報
１２．甲第６号証 ：特開２０１５−１９５３７６号公報
１３．甲第７号証 ：特開２００８−１６０１３４号公報
１４．甲第８号証 ：特開２００４−３３００５６号公報
１５．甲第９号証 ：国際公開第２０１８／０２１０３８号
１６．甲第１０号証 ：特表２００７−５０８６９２号公報
１７．甲第１１号証 ：特開２０１２−４４１１８号公報

（２）甲号証の記載と甲１物発明等
ア 甲第１号証の記載と甲１物発明等
（ア）甲第１号証の記載
甲第１号証には、以下の事項が記載されている（下線は合議体が付加した。以下同じ。）。

「【請求項１３】固体表面に供給され、該固体表面のエッチング処理を行なわせる処理液であって、少なくとも前記固体表面に酸素原子を供与する酸化剤を含んでなり、該酸化剤の酸化還元電位が前記固体表面の酸化還元電位よりも高いことを特徴とする処理液。
・・・
【請求項１５】前記処理液が、過ヨウ素酸を含んでなることを特徴とする請求項１３記載の処理液。
・・・
【請求項１７】前記過ヨウ素酸を含む処理液のｐＨが４以上８以下であることを特徴とする請求項１５記載の処理液。
【請求項１８】前記過ヨウ素酸を含む処理液であって、前記過ヨウ素酸の濃度範囲が０．０１ｍｏｌ/Ｌ以上であることを特徴とする請求項１５記載の処理液。
・・・
【請求項２０】前記過ヨウ素酸を含む処理液であって、該処理液に含まれるアルカリ金属イオンの濃度が５０ｐｐｍ以下であり、かつアルカリ土類金属イオンの濃度が５ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１５記載の処理液。」

「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体表面のエッチング処理及びその処理液に係わり、更にはこれらを用いた電子デバイスの製造方法に関する。」

「【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、酸化剤の満たすべき条件は、処理すべき固体の酸化還元電位に比較して、使用する酸化剤の酸化還元電位が高いことである。即ち、従来例である銅のエッチングの場合を例に取れば、化学便覧改訂４版基礎編II（以下文献１と呼ぶ）に記載されているように、Ｃｕ2+／Ｃｕの酸化還元電位が０．３４０Ｖ（標準水素電極基準：以下電位はすべて標準水素電極基準）であるので、ヘキサシアノ鉄（III）イオン（酸化還元電位：０．３６１Ｖ）やペルオキソ二硫酸イオン（酸化還元電位：１．９６Ｖ）によって銅の酸化が促進されるが、ヘキサシアノクロム（III）イオン（酸化還元電位：-１．１４Ｖ）では銅の酸化反応は起きないことになる。
【０００７】従って、最近の半導体デバイスの高集積化や高速化等の進展に伴って使用される金属、例えばルテニウムなどの貴金属のエッチング処理についても上記の電気化学的反応を考慮しなければならない。
【０００８】しかしながら、従来一般的に使用されてきた過酸化水素水は、ルテニウム等の貴金属の溶解に対して用いることは不可能である。即ち、過酸化水素はルテニウムの酸化還元電位より十分に高い酸化還元電位（Ｈ2Ｏ2／Ｈ2ＯのｐＨ＝０での酸化還元電位：１．７６３Ｖ；文献１による）を有するにもかかわらず、過酸化水素水を用いた処理液ではルテニウムに対して十分なエッチング速度を得ることができない。
【０００９】更にまた、従来、銅や鉄等のエッチングに良く用いられてきた、ペルオキソ二硫酸塩や硝酸を含む薬液を用いても、ルテニウム等の貴金属に対して十分なエッチング速度を確保することが困難である。
【００１０】かかる背景に鑑み、半導体デバイスの製造プロセスにおいては、上記した貴金属に対して十分なエッチング速度を有する処理液の開発が広く望まれており、この実現によって、優れた性能を発揮する半導体デバイスの出現が通信、情報、画像表示等の産業分野の発展に大きく貢献する。」

「【００１１】
【課題を解決するための手段】例えば、白金属の貴金属元素であるルテニウムは極めて酸化されにくいとされ、その酸化処理には酸化力の強い、即ち酸化還元電位の高い酸化剤を用いる必要がある。
・・・
【００２２】溶解すべき金属はルテニウムに限定されるものではなく、例えばオスミウムなどの貴金属においても全く同様に考えることが出来る。そして、これらの貴金属の溶解に適した酸化剤は酸素原子供与性の酸化剤を含むものであって、これらに該当するものとして、次亜塩素酸イオン、亜塩素酸イオン、塩素酸イオン、過塩素酸イオン、次亜臭素酸イオン、亜臭素酸イオン、臭素酸イオン、過臭素酸イオン、次亜ヨウ素酸イオン、亜ヨウ素酸イオン、ヨウ素酸イオン、過マンガン酸イオン、クロム酸イオン、二クロム酸イオン、硝酸イオン、亜硝酸イオン等のイオンおよび過ヨウ素酸の何れかを含有するものであれば良い。
【００２３】ところで、過ヨウ素酸を含む処理液とは、少なくとも＋７価のヨウ素からなるイオン（Ｉ（ＯＨ）6+、ＩＯ4-、Ｈ4ＩＯ6-、Ｈ3ＩＯ62-など）またはオルト過ヨウ素酸（Ｈ5ＩＯ6）のうち何れかを含む処理液を指す。そして、上記した過ヨウ素酸の濃度とは、処理液に含まれる＋７価のヨウ素からなるイオン及びオルト過ヨウ素酸の濃度の総和を指す。
【００２４】上記の酸化剤の中で、ひとつの例として過ヨウ素酸を含む処理液をある条件下で用いると更に効率良くルテニウムまたはオスミウムを溶解させることが可能である。即ち、過ヨウ素酸を含む処理液のｐＨが２以上１０以下、更に望ましくは４以上８以下で、かつ処理液に含まれる過ヨウ素酸の濃度が０．０１ｍｏｌ/Ｌ以上であるとき、工業的規模で電子デバイス等の製造を行う上で十分なスループットを確保することが可能である。
【００２５】そして一般には、オルト過ヨウ素酸としてアルカリ金属イオンまたはアルカリ土類金属イオンが十分に低濃度である、若しくはアルカリ金属塩またはアルカリ土類金属塩を含まないものを用いることができるので、これらを利用した処理液を半導体製造工程に適用することが可能である。」

「【００２６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、図面を用いて詳細に説明する。
【００２７】本実施例が適用される対象物質は、特に限定されるものではないが、例えばルテニウムまたはオスミウムを含有する物質を挙げることができる。また、その対象物質の形状については、膜状、粒子状、その他複雑な構造を有するものであって、特に制限されない。
【００２８】また、酸化剤の濃度や処理条件（加熱温度、攪拌方法等）についてはその詳細を以下の実施例の中で詳細に例示するが、その要旨を越えない限りこれらの実施例に限定されるものではない。
【００２９】（第１の実施例）貴金属の代表例としてルテニウム金属を用い、種々のイオンを含む酸化剤に対するエッチング効果を検討し、その結果を表１に纏めた。
【００３０】エッチングは良く知られた方法を用いて実施した。即ち、シリコンウエーハ（３０×４０ｍｍ）上にルテニウム薄膜（膜厚２００ｎｍ）を通常のスパッタリング法を用いて形成し、そのルテニウム薄膜の一部にホトレジスト膜を良く知られた方法で塗布・ベークした後、このウエーハを室温にて酸化剤を含む溶液に約１分〜３０分間浸漬させる。その後、十分に水洗洗浄してからホトレジスト膜を良く知られた方法で除去した後、ルテニウム薄膜の表面に形成されたエッチング段差を一般に使用される触針式段差計を用いて計測した。尚、膜厚計測は上記の方法に限らず、例えば蛍光Ｘ線を用いた方法であっても何ら差し支えない。
【００３１】
【表１】


【００３２】この結果からも明らかのように、過酸化水素水、ペルオキソ二硫酸イオン、硝酸、ヨウ素を含む酸化剤を用いた場合にはルテニウム薄膜の溶解は殆ど認められないが、次亜塩素酸、臭素酸、及び過ヨウ素酸を用いた場合にはルテニウム薄膜の著しいエッチングが認められた。これらの酸化剤はいずれも下記の反応において、酸素原子を放出する。
【００３３】
ＣｌＯ- → Ｃｌ- + （Ｏ） （数２）
ＢｒＯ3- → Ｂｒ- ＋３（Ｏ） (数３）
ＩＯ4- → ＩＯ3- ＋（Ｏ） （数４）
Ｈ4ＩＯ6- → ＩＯ3- ＋ ２Ｈ2Ｏ＋（Ｏ） （数５）
一方、ルテニウム金属の酸化に十分な酸化還元電位を有する酸化剤であってもルテニウム金属のエッチングが殆ど確認できないものがある。例えば、前記したペルオキソ二硫酸の反応は（数１）に示すように、また、ヨウ素は下記の反応式からもわかるように、酸素原子を放出しない。
【００３４】
Ｉ2 ＋ ２ｅ- → ２Ｉ- （数６）
従って、ルテニウム金属と結合すべき酸素原子が上記した酸化剤から供給されないので、ルテニウム金属のエッチング反応が進行しない、または通常の方法では確認されないほどエッチング反応が遅いと結論される。」

「【００４５】ルテニウムを含む半導体素子の製造において、そこで使用される処理液には、一般的に半導体素子の性能に重大な影響を及ぼすとされているアルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンを含まない、若しくはそれらの濃度が十分に低いことが要求されている。
【００４６】そこで、アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンの濃度が十分に低い過ヨウ素酸含有処理液の調製法の１例として、例えば、オルト過ヨウ素酸を用いることにした。
【００４７】この理由は、通常よく使用されているオルト過ヨウ素酸であっても、容易にアルカリ金属イオンの濃度を５０ｐｐｍ以下に、アルカリ土類金属イオンの濃度を５ｐｐｍ以下にすることが可能であって、これらを用いてルテニウム金属のエッチング処理に適した処理液を調製することが出来る。
【００４８】そして、その処理液のｐＨ調整には、アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンが十分に低濃度の酸または塩基を添加して行う。
【００４９】本実施例においては、例えば、酸として硝酸を添加し、そして、塩基として水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）を添加した。尚、酸及び塩基は、それらに含まれるアルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンが十分に低濃度ならば、上記の薬液に制限されるものではない。
【００５０】このようにして調合された過ヨウ素酸を含む処理液を用いて、そのｐＨとルテニウム金属の溶解速度との関係を、次の方法で検討した。
【００５１】攪拌子、温度計を備えた２００ｍＬビーカに、所定のｐＨに調整した０．２ｍｏｌ/Ｌのオルト過ヨウ素酸処理液を１４８ｍＬ入れ、ビーカを恒温槽に入れて処理液温度を６０℃一定とした。そして、処理液のｐＨは上記の硝酸及び水酸化テトラメチルアンモニウムの添加量を変えて、０から１２まで調合した。また、各ｐＨに対して過ヨウ素酸の濃度が一定（０．０１ｍｏｌ／Ｌ）となるように調整した。
【００５２】尚、この濃度について何ら規定されるものではないが、後述するように、過ヨウ素酸を含む処理液を用いてルテニウム等の金属をエッチング処理する場合、生産ラインのスループットを考慮すれば、例えば７０ｎｍ/ｍｉｎ以上の溶解速度を得ることが出来る０．０１ｍｏｌ/Ｌ以上であることが望ましい。
【００５３】エッチング検討用のルテニウム金属は１．５ｃｍ×２．０ｃｍの板状シリコン（Ｓｉ）上に通常の方法を用いて、１００ｎｍの厚さを有する平滑な膜として成膜されたものを使用した。このルテニウム板は固定治具を用いて調製済みの処理液の液面に対して垂直の方向にビーカ底面の中央部に固定され、溶解させるべきルテニウム板の表面が全て処理液に接しているようにした。また、ルテニウムの溶解反応が行われている間は、ビーカ底面中央部に配した攪拌子を常に１８０ｒｐｍで回転し、ルテニウム板の表面に対して常に一定量の処理液の反応分子が供給されるようにした。また、処理液のｐＨはルテニウムの溶解前後において、それぞれ室温（約２３℃）にて測定した。
【００５４】表２に、得られた結果をまとめて示す。
【００５５】
表２ 処理液のｐＨとルテニウムの溶解速度との関係
￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
処理液のｐＨ 溶解速度
￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
０ 〜 ２未満 ×
２ 〜 ４未満 △
４ 〜 ８未満 ○
８ 〜 １０未満 △
１０ 〜 １２未満 ××
￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
上記の表２において、ルテニウムの溶解速度を次のように評価した。
【００５６】即ち、ルテニウムを用いた半導体素子を生産する場合を想定し、その生産ラインのスループットを考慮すれば、溶解速度が大きいほど工業的に利用価値が高いと判断した。ここでは一例として溶解速度が７０ｎｍ/ｍｉｎ以上得られる場合を△の記号で、更に望ましい溶解速度の得られる場合を○の記号で評価した。
【００５７】その結果、処理液のｐＨが大きくなるに従ってルテニウムの溶解速度が増加し、ｐＨが２から１０の範囲で工業的に利用可能な溶解速度を確保することが出来る。そして、最も望ましい範囲はｐＨが４から８であることが明らかになった。ところで、上記した表２に示されるルテニウムの溶解速度の挙動は、過ヨウ素酸を含む処理液中のｐＨ変化に伴うイオン種の活量分布の変化として説明することが出来る。即ち、オルト過ヨウ素酸の解離定数はすでに求められているので、その値を用いて各ｐＨにおける各イオン種の活量を求めることが出来る。
【００５８】そして、ＩＯ４−が主成分となるｐＨ２以上１０以下の範囲でルテニウムの溶解が効率よく進行することから、ＩＯ4-またはそれと常に一定の比率で存在するＨ4ＩＯ6-がルテニウムの溶解を支配していることは明らかである。また、ｐＨが２以下でのルテニウムの溶解を支配する因子は、過ヨウ素酸の解離定数からＩ(ＯＨ)6+と考えられる。
【００５９】ルテニウムの溶解速度は処理液の過ヨウ素酸の濃度やｐＨの他に、処理液の温度や処理液の量、処理液の攪拌方法やその速度等の溶解条件によって変化する。」

（イ）甲１物発明、甲１製造方法発明、甲１処理方法発明
ａ 上記（ア）の記載事項から、甲第１号証には、次の技術的事項が記載されているといえる。

（ａ）甲第１号証には、ルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属をエッチングするための酸化剤を含む処理液に関して記載されていること（【請求項１３】、【０００１】、【００２２】、【００２６】）。

（ｂ）酸化剤は、過ヨウ素酸を含有し、過ヨウ素酸を含む処理液を、ｐＨが４以上８以下で、かつ処理液に含まれる過ヨウ素酸の濃度が０．０１ｍｏｌ/Ｌ以上である条件で用いること（【請求項１５】、【請求項１７】、【請求項１８】、【００２２】、【００２４】、【００３２】）。

（ｃ）処理液は、アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンを含み、処理液に含まれるアルカリ金属イオンの濃度が５０ｐｐｍ以下であり、かつアルカリ土類金属イオンの濃度が５ｐｐｍ以下であること（【請求項２０】、【００４６】、【００４７】）。

（ｄ）シリコンウエーハ上に、ルテニウム薄膜を形成し、このウェーハを室温にて当該酸化剤を含む溶液に浸漬させて、ルテニウム薄膜をエッチングすること（【００３０】）。

（ｅ）過ヨウ素酸を含む処理液とは、オルト過ヨウ素酸（Ｈ5ＩＯ6）を含む処理液を指し、オルト過ヨウ素酸を用いて、アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンの濃度が十分に低い過ヨウ素酸含有処理液を調製すること（【００２３】、【００４６】）。

ｂ 上記ａによれば、甲第１号証には、以下の発明(以下、「甲１物発明」という。)が記載されていると認められる。

「酸化剤と、
アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンと、を含む、シリコンウェーハ上のルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属エッチング用の処理液であって、
酸化剤として、過ヨウ素酸を含有し、
処理液に含まれるアルカリ金属イオンの濃度が５０ｐｐｍ以下であり、かつアルカリ土類金属イオンの濃度が５ｐｐｍ以下であり、
ｐＨが４以上８以下で、かつ過ヨウ素酸の濃度が０．０１ｍｏｌ/Ｌ以上である条件で用いられる、処理液。」

ｃ 上記ａによれば、甲第１号証には、以下の発明(以下、「甲１製造方法発明」という。)が記載されていると認められる。

「オルト過ヨウ素酸を用いて、酸化剤としてのオルト過ヨウ素酸と、アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンと、を含む、シリコンウェーハ上のルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属エッチング用の処理液を得る工程を有する、処理液の調製方法であって、
処理液に含まれるアルカリ金属イオンの濃度が５０ｐｐｍ以下であり、かつアルカリ土類金属イオンの濃度が５ｐｐｍ以下であり、
ｐＨが４以上８以下で、かつ過ヨウ素酸の濃度が０．０１ｍｏｌ/Ｌ以上である条件で用いられる、処理液の調製方法。」

ｄ 上記ａによれば、甲第１号証には、以下の発明(以下、「甲１処理方法発明」という。)が記載されていると認められる。

「処理液を用いて、シリコンウエーハ上のルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属をエッチングする工程を有する、シリコンウェーハのエッチング方法であって、
処理液が、酸化剤と、アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンと、を含み、
酸化剤として、過ヨウ素酸類を含有し、
処理液に含まれるアルカリ金属イオンの濃度が５０ｐｐｍ以下であり、かつアルカリ土類金属イオンの濃度が５ｐｐｍ以下であり、
ｐＨが４以上８以下で、かつ過ヨウ素酸の濃度が０．０１ｍｏｌ/Ｌ以上である条件で用いられる、シリコンウェーハのエッチング方法。」

（３）本件発明１と甲１物発明との対比・判断
ア 本件発明１と甲１物発明とを対比する。
甲１物発明の「処理液」、「シリコンウェーハ」、「ルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属」、「エッチング」、「過ヨウ素酸」は、それぞれ本件発明１の「薬液」、「基板」、「遷移金属含有物」、「除去」、「過ヨウ素酸」から「選択される１種以上の過ヨウ素酸類」に相当するところ、両者は、少なくとも以下の点で相違する。

＜相違点１＞
「処理液」について、本件発明１は、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分」を含むのに対し、甲１物発明は、「アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオン」を含むものである点。

＜相違点２＞
「第１金属成分」の含有量について、本件発明１は、「前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上」であるのに対し、甲１物発明では、「処理液に含まれるアルカリ金属イオンの濃度が５０ｐｐｍ以下であり、かつアルカリ土類金属イオンの濃度が５ｐｐｍ以下」であるものの、本件発明１の上記のような特定はなされていない点。

イ 上記相違点１について、検討する。
甲第１号証には、処理液が、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」を含有することについて、記載も示唆もされていない。
また、酸化剤としての過ヨウ素酸を含有する、ルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属エッチング用の処理液において、該過ヨウ素酸に加え、更に、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」を含むものとすることは、技術常識でもない。
更に、甲第２号証の１〜甲第２号証の７のいずれにも、過ヨウ素酸類と、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」と、を含む薬液は、記載されていない。
したがって、甲１物発明において、技術常識並びに周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）に基づき、処理液を、「過ヨウ素酸」に加え、更に、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１の金属成分」を含むものとする動機付けは当業者にはないから、甲１物発明において、技術常識並びに周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）に基づき、上記相違点１に係る本件発明１の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得たとはいえない。
次に、相違点２について、検討する。
相違点２は「第１の金属成分」の含有量の数値範囲の限定事項に係る相違点であるところ、「第１の金属成分」は、相違点１に係る「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１の金属成分」であるから、相違点２は、相違点１に係る第１の金属成分を前提とするものである。
そうすると、上記のとおり、甲１物発明において、技術常識並びに周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）に基づき、上記相違点１に係る本件発明１の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得たとはいえないのであるから、甲１物発明において、技術常識並びに周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）に基づき、上記相違点１に係る本件発明１の構成を採用し、更に、「第１の金属成分」の含有量を上記相違点２に係る本件発明１の構成とすることも、当業者が容易に想到し得たことではない。

ウ 以上のとおりであるから、本件発明１は、甲１物発明並びに技術常識及び周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（４）本件発明２〜３５と甲第１号証に記載された発明との対比・判断
本件発明２〜３５のうち、独立形式で記載された請求項に係る発明は、本件発明２、４、７、９、１１、１３、１６、１９〜２１、２６、２９、３３であり、まず、独立形式で記載された請求項に係る発明について検討する。

ア 本件発明２、４、７、９、１１、１３と甲１物発明との対比・判断
（ア）本件発明２、４、７、９、１１、１３と甲１物発明とをそれぞれ対比すると、本件発明２、４、７、９、１１、１３は、いずれも「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と」、「を含む」との特定事項を有するから、本件発明２、４、７、９、１１、１３それぞれと甲１物発明とは、いずれも少なくとも以下の点で相違する。

＜相違点３＞
本件発明２、４、７、９、１１、１３それぞれは、いずれも「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分」を含むのに対し、甲１物発明は、「アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオン」を含むものである点。

（イ）上記相違点３について、検討する。
相違点３は、上記（３）アに記載の、本件発明１と甲１物発明との＜相違点１＞と同じである。
また、甲第２号証の１〜甲第２号証の７及び甲第３号証のいずれにも、過ヨウ素酸類と、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」と、を含む薬液は、記載されていないから、上記（３）イで、相違点１について判断したのと同様な理由で、甲１物発明において、技術常識並びに周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）及び甲第３号証に記載された技術的事項に基づき、「過ヨウ素酸」に加え、更に、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１の金属成分」を含むものとする動機付けは当業者にはないから、甲１物発明において、技術常識並びに周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）及び甲第３号証に記載された技術的事項に基づき、上記相違点３に係る本件発明２、４、７、９、１１、１３それぞれの構成を採用することは、当業者が容易に想到し得たとはいえない。

（ウ）したがって、本件発明２、４、７、９、１１、１３は、甲１物発明並びに技術常識、周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）及び甲第３号証に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

イ 本件発明１６、１９〜２１、２６と甲１製造方法発明との対比・判断
（ア）本件発明１６、１９〜２１、２６と甲１製造方法発明とをそれぞれ対比すると、本件発明１６、１９〜２１、２６は、いずれも「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する」との特定事項を有するから、本件発明１６、１９〜２１、２６それぞれと甲１製造方法発明とは、いずれも少なくとも以下の点で相違する。

＜相違点４＞
本件発明１６、１９〜２１、２６それぞれは、いずれも「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して」、「薬液を得る工程Ａを有する」のに対し、甲１製造方法発明は、「オルト過ヨウ素酸を用いて、酸化剤としてのオルト過ヨウ素酸と、アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオンと、を含む、シリコンウェーハ上のルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属エッチング用の処理液を得る工程を有する」ものである点。

（イ）上記相違点４について、検討する。
甲第１号証には、処理液を得る工程で、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」を含む被精製物を用いることについても、当該被精製物にイオン交換法を施すことについても、記載も示唆もされていない。
また、酸化剤としてのオルト過ヨウ素酸を含み、ルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属エッチング用の処理液を得る工程において、該過ヨウ素酸に加え、更に、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」を含む被精製物を用いること、当該被精製物にイオン交換を施すことは、技術常識でもない。
更に、甲第２号証の１〜甲第２号証の７及び甲第３号証〜甲第９号証のいずれにも、酸化剤としてのオルト過ヨウ素酸類と、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」と、を含む精製物にイオン交換を施して、薬液を得る工程は、記載されていない。
したがって、甲１製造方法発明において、技術常識及び周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７、甲第３号証〜甲第９号証）に基づき、処理液を得る工程を、「酸化剤としてのオルト過ヨウ素酸」に加え、更に、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１の金属成分」を含む被精製物にイオン交換を施して、得る工程とする動機付けは当業者にはないから、甲１製造方法発明において、技術常識及び周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７、甲第３号証〜甲第９号証）に基づいて、上記相違点４に係る本件発明１６、１９〜２１、２６の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得たとはいえない。

（ウ）したがって、本件発明１６、１９〜２１、２６は、甲１製造方法発明並びに技術常識及び周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７、甲第３号証〜甲第９号証）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

ウ 本件発明２９、３３と甲１処理方法発明との対比・判断
（ア）本件発明２９、３３と甲１処理方法発明とをそれぞれ対比すると、本件発明２９、３３では、いずれも、工程Ｄで用いる「前記薬液が」、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と」、「を含み」との特定事項を有するから、本件発明２９、３３それぞれと甲１処理方法発明とは、いずれも少なくとも以下の点で相違する。

＜相違点５＞
本件発明２９、３３それぞれは、いずれも、除去する工程Ｄで用いる「前記薬液」が、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分」を含むのに対し、甲１処理方法発明は、エッチングする工程（除去する工程）で用いる「処理液」（薬液）が、「アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオン」を含むものである点。

（イ）上記相違点５について、検討する。
甲第１号証には、エッチングする工程で用いる処理液が、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」を含むことについて、記載も示唆もされていない。
また、酸化剤としての過ヨウ素酸を含有し、ルテニウムまたはオスミウムなどの貴金属をエッチングする工程で用いる処理液において、該過ヨウ素酸に加え、更に、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」を含むものとすることは、技術常識でもない。
更に、甲第２号証の１〜甲第２号証の７並びに甲第１０号証及び甲第１１号証のいずれにも、過ヨウ素酸類と、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の金属成分」と、を含む薬液を、エッチングする工程で用いることは、記載されていない。
したがって、甲１処理方法発明において、技術常識、周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）並びに甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基づき、エッチングする工程で用いる処理液を、「過ヨウ素酸」に加え、更に、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１の金属成分」を含むものとする動機付けは当業者にはないから、甲１処理方法発明において、技術常識、周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）並びに甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基づき、上記相違点５に係る本件発明２９、３３の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得たとはいえない。

（ウ）したがって、本件発明２９、３３は、甲１処理方法発明並びに技術常識、周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）、甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

次に、本件発明２〜３５のうち、引用形式で記載された請求項に係る発明について検討する。

エ 本件発明３、５、６、８、１０、１２、１４、１５と甲１物発明との対比、本件発明１７、１８、２２〜２５、２７、２８と甲１製造方法発明との対比、本件発明３０〜３２、３４、３５と甲１処理方法発明との対比
（ア）本件発明３、５、６、８、１０、１２、１４、１５は、いずれも、上記（３）アに記載の、処理液が、「アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオン」を含むという相違点１に係る本件発明１の構成と同じ構成を含むから、上記（３）イで、相違点１について判断したのと同様な理由で、本件発明３、５、６、８、１０、１２、１４、１５は、甲１物発明並びに技術常識、周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）、甲第３号証及び甲第４号証に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（イ）本件発明１７、１８、２２〜２５、２７、２８は、いずれも、上記イ（ア）に記載の、「過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して」、「薬液を得る工程Ａを有する」という相違点４に係る本件発明１６、１９〜２１、２６の構成と同じ構成を含むから、上記イ（イ）で、相違点４について判断したのと同様な理由で、本件発明１７、１８、２２〜２５、２７、２８は、甲１製造方法発明並びに技術常識及び周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７、甲第３号証〜甲第９号証）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（ウ）本件発明３０〜３２、３４、３５は、いずれも、上記ウ（ア）に記載の、除去する工程Ｄで用いる「前記薬液」が、「Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分」を含むのに対し、甲１処理方法発明は、エッチングする工程（除去する工程）で用いる「処理液」（薬液）が、「アルカリ金属イオン及びアルカリ土類金属イオン」を含むという相違点５に係る本件発明２９、３３の構成と同じ構成を含むから、上記ウ（イ）で、相違点５について判断したのと同様な理由で、本件発明３０〜３２、３４、３５は、甲１処理方法発明並びに技術常識、周知技術（甲第２号証の１〜甲第２号証の７）、甲第３号証、甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

２ 特許法第36条第4項第1号（実施可能要件）について
（１）申立人河井は、特許異議申立書１４１〜１４３ページにおいて、登録時の特許請求の範囲に関し、「本件特許発明の請求項１では、薬液の「ｐＨ」が特定されていない。
・・・
しかし、本件特許明細書の実施例では、薬液について、ｐＨが９以上の例として（実施例Ｙ１８、Ｙ２１、Ｙ２４、Ｙ２７、Ｚ１２−Ｚ１５）、ＴｉやＺｒの含有量が３ｐｐｂ（実施例Ｙ１８、Ｙ２１、Ｙ２４、Ｙ２７）であるか、１０ｐｐｂ以上１００ｐｐｂ未満（実施例Ｚ１２、Ｚ１５）の場合のみが記載されているに過ぎない。
・・・
してみると、請求項１の薬液として、ｐＨが９以上の場合に、如何なる第１金属成分の含有量とすればよいのか、合理的に推測することは困難であり、当業者に期待し得る程度を超える試行錯誤を要するものと思料する。
具体的には、ｐＨが９以上の場合に、・・・、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものとはいえない。」（１４３ページ）と主張する。

（２）しかしながら、本件発明１に関し、明細書の発明の詳細な説明の段落【０１１７】〜【０２０９】には、実施例について説明されており、例えば、段落【０１４５】〜【０１４９】の表２、段落【０１８３】〜【０１８４】の表３、段落【０２０２】の表４には、薬液がＴｉとＺｒを含み、それぞれの含有量が、１００質量ｐｐｍ以下（表２では評価Ａ〜Ｅ（段落【０１３４】〜【０１３５】参照））であり、ＴｉかＺｒの少なくとも一方の含有量が、１質量ｐｐｔ以上（表２では評価Ａ〜Ｆ（段落【０１３５】参照））であり、過ヨウ素酸類の含有量が、薬液の全質量に対して１〜５０％であり、ｐＨが３．０〜１０．０である実施例（実施例Ｘ１１６〜Ｘ１２４、Ｙ１６〜Ｙ２７、Ｚ１２〜Ｚ１５）が示され、当業者であればその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されているから、明細書の発明の詳細な説明の記載は、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たす。
したがって、申立人河井のかかる主張は、採用することができない。

３ 特許法第36条第6項第2号（明確性要件）について
（１）申立人河井は、特許異議申立書１４３〜１４４ページにおいて、登録時の特許請求の範囲に関し、「本件特許発明の請求項１３は、「（１３Ｅ）更に、Ｉ−、Ｉ３−、ＩＯ３−、Ｂｒ−、Ｃｌ−、ＮＯ３−、硫酸イオン、亜硫酸イオン、リン酸イオン、及び、亜リン酸イオンからなる群から選択される１種以上のアニオン種を含み、」との発明特定事項を有している。
・・・
つまり、構成（１３Ｅ）のアニオン種であるＩＯ３−について、構成（１３Ａ）の過ヨウ素酸類とは別に添加されたものであるのか、過ヨウ素酸類から生じたものを含むのか、不明確であり、第三者に不足の不利益を及ぼすことにあるものと思料する。
よって、請求項１３に係る発明は、・・・明確ではない。」と主張する。

（２）しかしながら、本件発明１３は、薬液に係る発明であり、「過ヨウ素酸類」と、「第１金属成分」と、「水」とを含む、「薬液」であって、「更に、・・・１種類以上のアニオン種」を含むものであるから、構成（１３Ｅ）のアニオン種であるＩＯ３−は、上記「過ヨウ素酸類」が酸素を放出して生じた「ＩＯ３−」ではなく、上記「過ヨウ素酸類」とは別に添加されたものであることは明確である。
したがって、本件発明１３における構成（１３Ｅ）は明確であり、訂正特許請求の範囲の記載は、特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たす。
よって、申立人河井のかかる主張は、採用することができない。

第６ むすび
以上のとおりであるから、取消理由（予告）及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては、本件請求項１〜３５に係る特許を取り消すことはできない。
また、他に本件請求項１〜３５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
 
発明の名称 （５７）【特許請求の範囲】
【請求項１】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項２】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ〜１００質量ｐｐｂであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｂ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｂ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項３】
更に、ｐＨ調製剤を含む、請求項１又は２に記載の薬液。
【請求項４】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが４．０〜９．０である、薬液。
【請求項５】
ｐＨが４．０〜９．０である、請求項２又は３に記載の薬液。
【請求項６】
ｐＨが７．５〜１０．０である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項７】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが１．０〜１０．０である、薬液。
【請求項８】
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜４５質量％である、請求項２〜６のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項９】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ａｌ、Ａｇ、Ｂ、Ｂａ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｒｕ、Ｓｎ、及び、Ｚｎからなる群から選択される１種以上の第２金属成分を含み、
前記薬液が１種の第２金属成分を含む場合、前記１種の第２金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種以上の第２金属成分を含む場合、前記２種以上の第２金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上の第２金属成分の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項１０】
更に、Ａｌ、Ａｇ、Ｂ、Ｂａ、Ｃａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｋ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｒｕ、Ｓｎ、及び、Ｚｎからなる群から選択される１種以上の第２金属成分を含み、
前記薬液が１種の第２金属成分を含む場合、前記１種の第２金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種以上の第２金属成分を含む場合、前記２種以上の第２金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上の第２金属成分の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、請求項２〜８のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項１１】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、アンモニウムイオンを含み、
前記アンモニウムイオンの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項１２】
更に、アンモニウムイオンを含み、
前記アンモニウムイオンの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍである、請求項２〜１０のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項１３】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
更に、Ｉ−、Ｉ３−、ＩＯ３−、Ｂｒ−、Ｃｌ−、ＮＯ３−、硫酸イオン、亜硫酸イオン、リン酸イオン、及び、亜リン酸イオンからなる群から選択される１種以上のアニオン種を含み、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち１種のアニオン種を含む場合、前記１種のアニオン種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち２種以上のアニオン種を含む場合、前記２種以上のアニオン種のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上のアニオン種の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
ｐＨが３．０〜１０．０である、薬液。
【請求項１４】
更に、Ｉ−、Ｉ３−、ＩＯ３−、Ｂｒ−、Ｃｌ−、ＮＯ３−、硫酸イオン、亜硫酸イオン、リン酸イオン、及び、亜リン酸イオンからなる群から選択される１種以上のアニオン種を含み、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち１種のアニオン種を含む場合、前記１種のアニオン種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が前記１種以上のアニオン種のうち２種以上のアニオン種を含む場合、前記２種以上のアニオン種のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種以上のアニオン種の内の少なくとも１種の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である、請求項２〜１２のいずれか１項に記載の薬液。
【請求項１５】
前記アニオン種が、ＩＯ３−である、請求項１３又は１４に記載の薬液。
【請求項１６】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、薬液の製造方法。
【請求項１７】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、請求項２〜１５のいずれか１項に記載の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法。
【請求項１８】
前記イオン交換法が、
カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを含む混合樹脂が充填された第１充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ１、
カチオン交換樹脂が充填された第２充填部、アニオン交換樹脂が充填された第３充填部、及び、キレート樹脂が充填された第４充填部のうちの少なくとも１種の充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ２、及び、
膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法Ａ３、からなる群から選択される１種以上を含む、請求項１６又は１７に記載の薬液の製造方法。
【請求項１９】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを含む混合樹脂が充填された第１充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ１を含む、薬液の製造方法。
【請求項２０】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、カチオン交換樹脂が充填された第２充填部、アニオン交換樹脂が充填された第３充填部、及び、キレート樹脂が充填された第４充填部のうちの少なくとも１種の充填部に前記被精製物を通液する方法Ａ２を含む、薬液の製造方法。
【請求項２１】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａを有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０であり、
前記イオン交換法が、膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法Ａ３を含む、薬液の製造方法。
【請求項２２】
前記方法Ａ１が、２つ以上の前記第１充填部に前記被精製物を通液する方法である、請求項１８又は１９に記載の薬液の製造方法。
【請求項２３】
前記方法Ａ２が、２つ以上の前記第２充填部と、２つ以上の前記第３充填部とに、前記被精製物を通液する方法、又は、
１つ以上の前記第２充填部と、１つ以上の前記第４充填部とに、前記被精製物を通液する方法である、請求項１８又は２０に記載の薬液の製造方法。
【請求項２４】
前記方法Ａ３が、２つ以上の膜状イオン交換体に前記被精製物を通液する方法である、請求項１８又は２１に記載の薬液の製造方法。
【請求項２５】
前記イオン交換法が、前記方法Ａ１、前記方法Ａ２、及び、前記方法Ａ３からなる群から選択される、２種以上の方法を含む、請求項１８に記載の薬液の製造方法。
【請求項２６】
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む被精製物にイオン交換法を施して、前記１種以上の過ヨウ素酸類と、前記１種以上の第１金属成分と、水と、を含む、基板上の遷移金属含有物の除去用の薬液を得る工程Ａと、
前記工程Ａの後、フィルタを用いて前記工程Ａに供された前記被精製物をろ過する工程Ｂと、を有する、薬液の製造方法であって、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、薬液の製造方法。
【請求項２７】
前記工程Ａの後に、フィルタを用いて前記工程Ａに供された前記被精製物をろ過する工程Ｂを有する、請求項１７〜２５のいずれか１項に記載の薬液の製造方法。
【請求項２８】
前記工程Ａの前に、前記被精製物とｐＨ調整剤とを混合する工程Ｃを有する、請求項１６〜２７のいずれか１項に記載の薬液の製造方法。
【請求項２９】
薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄを有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、
基板の処理方法。
【請求項３０】
請求項２〜１５のいずれか１項に記載の薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄを有する、基板の処理方法。
【請求項３１】
前記工程Ｄで、基板上の２種以上の遷移金属含有物を同時に除去する、請求項２９又は３０に記載の基板の処理方法。
【請求項３２】
前記２種以上の遷移金属含有物が、少なくともＲｕ含有物とＣｕ含有物とを含む、請求項３１に記載の基板の処理方法。
【請求項３３】
薬液を用いて、基板上の遷移金属含有物を除去する工程Ｄと、
前記工程Ｄの後、リンス液を用いて、前記工程Ｄで得られた前記基板に対してリンス処理を行うリンス工程と、を有する、基板の処理方法であって、
前記薬液が、
過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、
Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、
水と、を含み、
前記薬液が１種の第１金属成分を含む場合、前記１種の第１金属成分の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ〜１００質量ｐｐｍであり、
前記薬液が２種の第１金属成分を含む場合、前記２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、前記２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、前記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上であり、
前記過ヨウ素酸類の含有量が、前記薬液の全質量に対して１〜５０質量％であり、
前記薬液のｐＨが３．０〜１０．０である、
基板の処理方法。
【請求項３４】
前記工程Ｄの後、更に、リンス液を用いて、前記工程Ｄで得られた前記基板に対してリンス処理を行う、請求項３０〜３２のいずれか１項に記載の基板の処理方法。
【請求項３５】
前記リンス液が酸性リンス液である、請求項３３又は３４に記載の基板の処理方法。
 
訂正の要旨 審決（決定）の【理由】欄参照。
異議決定日 2023-07-04 
出願番号 P2019-568998
審決分類 P 1 651・ 121- YAA (H01L)
P 1 651・ 536- YAA (H01L)
P 1 651・ 537- YAA (H01L)
最終処分 07   維持
特許庁審判長 河本 充雄
特許庁審判官 恩田 春香
市川 武宜
登録日 2021-10-13 
登録番号 6960477
権利者 富士フイルム株式会社
発明の名称 薬液、薬液の製造方法、基板の処理方法  
代理人 三橋 史生  
代理人 伊東 秀明  
代理人 伊東 秀明  
代理人 三橋 史生  

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