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審決分類 審判 査定不服 2項進歩性 取り消して特許、登録(定型) G03F
審判 査定不服 特174条1項 取り消して特許、登録(定型) G03F
管理番号 1407608
総通号数 27 
発行国 JP 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2024-03-29 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2023-04-07 
確定日 2024-02-28 
事件の表示 特願2021−131175号「リソグラフィ装置およびデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔令和3年11月4日出願公開、特開2021−176021号、請求項の数(9)〕について、次のとおり審決する。 
結論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。 
理由 本願は、令和3年8月11日(遡及出願平成18年12月22日パリ条約による優先権主張 2005年12月30日 (US)アメリカ合衆国)の出願であって、その請求項1〜9に係る発明は、令和4年10月11日になされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項1〜9に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
 
審決日 2024-02-15 
出願番号 P2021-131175
審決分類 P 1 8・ 55- WYF (G03F)
P 1 8・ 121- WYF (G03F)
最終処分 01   成立
特許庁審判長 山村 浩
特許庁審判官 松川 直樹
秋田 将行
発明の名称 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法  
代理人 稲葉 良幸  
代理人 江口 昭彦  
代理人 内藤 和彦  
代理人 大貫 敏史  

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