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審決分類 審判 全部申し立て 2項進歩性  H01L
審判 全部申し立て 1項3号刊行物記載  H01L
管理番号 1409127
総通号数 28 
発行国 JP 
公報種別 特許決定公報 
発行日 2024-04-26 
種別 異議の決定 
異議申立日 2023-07-05 
確定日 2024-01-18 
異議申立件数 1 
訂正明細書 true 
事件の表示 特許第７２０３２６０号発明「静電チャック部材、静電チャック装置及び静電チャック部材の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 
結論 特許第７２０３２６０号の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜９〕について訂正することを認める。 特許第７２０３２６０号の請求項２〜９に係る特許を維持する。 特許第７２０３２６０号の請求項１に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。 
理由 第１ 手続の経緯
特許７２０３２６０号の請求項１〜９に係る特許（以下「本件特許」という。）についての出願は、令和４年３月３０日に出願され、令和４年１２月２８日にその特許権の設定登録がされ、令和５年１月１２日に特許掲載公報が発行され、その後、本件特許に対し令和５年７月５日に特許異議申立人 佐藤義光（以下「異議申立人」という。）により特許異議の申立てがされ、当審により令和５年９月１日付けで取消理由を通知したところ、特許権者は令和５年１１月２日に意見書を提出するとともに訂正の請求を行い、当審は令和５年１１月１５日付けで異議申立人に特許法第120条の5第5項の規定に基づく通知を行い、異議申立人は令和５年１２月５日に意見書を提出したものである。

第２ 訂正の請求について
１ 訂正の内容
特許権者が令和５年１１月２日に提出した訂正請求書による訂正（以下「本件訂正」という。）の請求は、「特許第７２０３２６０号の特許請求の範囲を、本件訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１〜９について訂正することを求める。」ことを請求の趣旨とし、その訂正の内容は以下のとおりである。（下線は、特許権者が付したものと同じ。）

（１）訂正事項１
特許請求の範囲の請求項１を削除する。

（２）訂正事項２
特許請求の範囲の請求項２を独立形式に改め、
「一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記第２曲面は凸曲面であり、
前記側周面において、前記第１曲面と前記第２曲面との間は、前記載置面の方向からの視野に露出する傾斜面である静電チャック部材。」
に訂正する。（請求項２を引用する請求項３、４、６〜９も同様に訂正する。）

（３）訂正事項３
特許請求の範囲の請求項５を独立形式に改め、
「一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記側周面は、前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分を有し、
前記第２曲面は、前記伸長する部分の上面に設けられた凹曲面である静電チャック部材。」
に訂正する。（請求項５を引用する請求項７〜９も同様に訂正する。）

（４）訂正事項４
特許請求の範囲の請求項８を、
「請求項２から７のいずれか１項に記載の静電チャック部材と、
前記静電チャック部材を冷却し前記静電チャック部材の温度を調整するベース部材と、を有する静電チャック装置。」
に訂正する。

（５）訂正事項５
特許請求の範囲の請求項９を、
「請求項２から７のいずれか１項に記載の静電チャック部材の製造方法であって、
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有する円板状の焼結体を得る工程と、
前記焼結体の側周面を、回転砥石を用いて研削する工程と、を有し、
前記回転砥石は、前記回転砥石の回転軸を含む断面において、前記基体の中心を通り前記基体の法線を含む断面の少なくとも前記第１曲面の形状又は前記第２曲面の形状の一部と相補的な形状を有する静電チャック部材の製造方法。」
に訂正する。

２ 訂正の適否
（１）訂正事項１について
ア 訂正の目的
訂正事項１は、請求項１を削除するものであるから、特許法第120条の5第2項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正であるか
訂正事項１は、請求項１を削除するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第6項に適合する。

ウ 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるか
訂正事項１は、請求項１を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件明細書等」という。）に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第5項に適合する。

（２）訂正事項２について
ア 訂正の目的
訂正事項２は、訂正前の請求項２の記載を訂正前の請求項１の記載を引用しないものに変更する訂正であるから、特許法第120条の5第2項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものに該当する。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正であるか
訂正事項２は、訂正前の請求項２の記載を訂正前の請求項１の記載を引用しないものに変更する訂正であるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第6項に適合する。

ウ 本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であるか
訂正事項２は、訂正前の請求項２の記載を訂正前の請求項１の記載を引用しないものに変更する訂正であるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第5項に適合する。

（３）訂正事項３について
ア 訂正の目的
訂正事項３は、訂正前の請求項５の記載を訂正前の請求項１の記載を引用しないものに変更する訂正であるから、特許法第120条の5第2項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものに該当する。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正であるか
訂正事項３は、訂正前の請求項５の記載を訂正前の請求項１の記載を引用しないものに変更する訂正であるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第6項に適合する。

ウ 本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であるか
訂正事項３は、訂正前の請求項５の記載を訂正前の請求項１の記載を引用しないものに変更する訂正であるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第5項に適合する。

（４）訂正事項４について
ア 訂正の目的
訂正事項４は、訂正事項１により請求項１が削除されたことに整合させるため、請求項８が引用する請求項の記載を「請求項１から７のいずれか１項」から「請求項２から７のいずれか１項」に変更する訂正であるから、特許法第120条の5第2項ただし書第３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものに該当する。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正であるか
訂正事項４は、上記アのとおり「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正であるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第6項に適合する。

ウ 本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であるか
訂正事項４は、上記アのとおり「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正であるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第5項に適合する。

（５）訂正事項５について
ア 訂正の目的
訂正事項５は、訂正事項１により請求項１が削除されたことに整合させるため、請求項９が引用する請求項の記載を「請求項１から７のいずれか１項」から「請求項２から７のいずれか１項」に変更する訂正であるから、特許法第120条の5第2項ただし書第３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものに該当する。

イ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正であるか
訂正事項５は、上記アのとおり「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正であるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第6項に適合する。

ウ 本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であるか
訂正事項５は、上記アのとおり「明瞭でない記載の釈明」を目的とする訂正であるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第120条の5第9項で準用する同法第126条第5項に適合する。

（６）一群の請求項について
訂正前の請求項１〜９について、請求項２〜９は、直接的又は間接的に請求項１を引用するものであって、訂正事項１による請求項１の訂正に連動して訂正されるものである。
したがって、訂正前の請求項１〜９に対応する訂正後の請求項１〜９は、特許法第120条の5第4項に規定する一群の請求項である。

（７）独立特許要件について
特許異議の申立ては、訂正前の請求項１〜９に対してされているので、訂正事項１〜５についての特許法第120条の5第9項において読み替えて準用する同法第126条第7項に規定する独立特許要件は課されない。

３ 訂正の適否についてのまとめ
以上のとおり、本件訂正の請求は適法にされたものであるから、特許第７２０３２６０号の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜９〕について訂正することを認める。

第３ 本件発明
上記第２のとおり本件訂正の請求は認められるから、本件特許の請求項１〜９に係る発明（以下、「本件発明１」〜「本件発明９」という。）は、それぞれ、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された事項により特定される次のとおりのものである。

【請求項１】
（削 除）
【請求項２】
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記第２曲面は凸曲面であり、
前記側周面において、前記第１曲面と前記第２曲面との間は、前記載置面の方向からの視野に露出する傾斜面である静電チャック部材。
【請求項３】
前記側周面は、前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分を有し、
前記伸長する部分の上面は、凹曲面である請求項２に記載の静電チャック部材。
【請求項４】
下記式（１）又は（２）を満たす請求項３に記載の静電チャック部材。
［第１曲面の曲率半径］＜［凹曲面の曲率半径］ …（１）
［第２曲面の曲率半径］＜［凹曲面の曲率半径］ …（２）
【請求項５】
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記側周面は、前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分を有し、
前記第２曲面は、前記伸長する部分の上面に設けられた凹曲面である静電チャック部材。
【請求項６】
前記側周面において、前記第１曲面と前記第２曲面との間は、前記載置面の方向からの視野に露出する傾斜面である請求項４に記載の静電チャック部材。
【請求項７】
下記式（３）を満たす請求項３から６のいずれか１項に記載の静電チャック部材。
［静電吸着用電極の厚さ］＜［第１曲面の曲率半径］＜［凹曲面の曲率半径］
＜［静電吸着用電極の下面から基体の下面までの基体の厚さ］ …（３）
【請求項８】
請求項２から７のいずれか１項に記載の静電チャック部材と、
前記静電チャック部材を冷却し前記静電チャック部材の温度を調整するベース部材と、を有する静電チャック装置。
【請求項９】
請求項２から７のいずれか１項に記載の静電チャック部材の製造方法であって、
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有する円板状の焼結体を得る工程と、
前記焼結体の側周面を、回転砥石を用いて研削する工程と、を有し、
前記回転砥石は、前記回転砥石の回転軸を含む断面において、前記基体の中心を通り前記基体の法線を含む断面の少なくとも前記第１曲面の形状又は前記第２曲面の形状の一部と相補的な形状を有する静電チャック部材の製造方法。

第４ 取消理由
１ 取消理由の概要
当審において訂正前の請求項１、８、９に係る発明について令和５年９月１日付けで通知した取消理由の概要は、以下のとおり。
（１）訂正前の請求項１に係る発明は、引用文献１に記載された発明であって特許法第29条第1項第3号に該当するから、請求項１に係る特許は、同法第29条第1項の規定に違反してされたものである。
（２）訂正前の請求項１に係る発明は、引用文献１に記載された発明と周知事項に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。
（３）訂正前の請求項８に係る発明は、引用文献１に記載された発明と引用文献２に記載された事項に基づいて、その出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項８に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。
（４）訂正前の請求項９に係る発明は、引用文献１に記載された発明と周知事項に基づいて、その出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項９に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。

引用文献１：特開２００４−２９６５５３号公報
引用文献２：特開２０１８−２２８７１号公報

２ 取消理由についての当審の判断
本件訂正により、取消理由の対象である訂正前の請求項１は削除された。
また、訂正前の請求項８及び請求項９は、引用形式の請求項であるところ、本件訂正により、請求項８及び請求項９は、引用する請求項から請求項１が削除され、取消理由を通知されていない請求項２〜７のみを引用するものに訂正された。
したがって、本件訂正により上記１の取消理由（１）〜（４）は、いずれも解消された。

第５ 特許異議申立書に記載した申立ての理由の概要
１ 申立理由の概要
令和５年７月５日に異議申立人が提出した特許異議申立書（以下「特許異議申立書」という。）に記載した申立ての理由の概要は次のとおりである。
（１）申立理由１（甲第１号証を引例とした場合の新規性欠如）
本件特許発明１、２、３、５、６は、いずれも甲第１号証に記載されたものであるから、特許法第29条第1項第3号の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第113条第2号に該当し取り消されるべきものである。（特許異議申立書１９頁「（４−１−４）まとめ」の項）
（２）申立理由２（甲第１号証を主引例とした場合の進歩性欠如）
本件特許発明１−９は、いずれも、甲第１号証に記載の発明に基づいて、当業者が容易になし得たものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第113条第2号により取り消されるべきものである。（同２４頁「（４−２−４）まとめ」の項）
（３）申立理由３（甲第１号証を主引例とし、甲第２号証を副引例とした場合の進歩性欠如）
本件特許発明１−９は、いずれも、甲第１号証に記載の発明と、甲第２号証に記載の発明とに基づいて、当業者が容易になし得たものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第113条第2号に該当し取り消されるべきものである。（同３６頁「（４−３−４）まとめ」の項）

２ 証拠方法
異議申立人が特許異議申立書とともに提出した甲第１号証及び甲第２号証（以下、それぞれ「甲１」及び「甲２」という。）は次のとおりである。
甲第１号証（甲１）：特開２００４−２９６５５３号公報
甲第２号証（甲２）：特開２０１８−２２８７１号公報

第６ 甲各号証
１ 甲１の記載と甲１発明
（１）甲１の記載
甲１には以下の記載がある。（下線は当審において付した。）
「【００２１】
図１は、プラズマエッチング装置の反応容器内に配置される、本実施の形態に係る各種半導体製造装置用部材を例示する模式的な断面図である。ここでは、半導体製造装置としてプラズマエッチング装置を例示しているが、以下に説明する本実施の形態に係る半導体製造装置用部材は、プラズマ処理装置に限らず、例えばウエハの着脱時に高電圧を印加する必要がある静電チャックを備えた装置等、反応容器内で、アーキングの発生要因となる１００〜１２００Ｖ程度の高電圧の発生が生じうる半導体製造装置の反応容器内で使用される半導体製造装置用部材であれば適用できる。
【００２２】
例えば、図１に示すプラズマエッチング装置では、反応容器内の下側中央に、静電チャック３０が配置され、その上にウエハ２０が固定されており、ウエハ２０と対向する上方に、反応ガスをウエハ面に均一に供給する、微細なガス供給孔を多数備えたシャワーヘッド４０が設けられている。ここでは、静電チャック３０内に埋設された電極および導電性部材で形成されたシャワーヘッド４０の双方がプラズマを発生させる対向電極として使用され、同図に示すように、ウエハ２０とシャワーヘッド４０との間にプラズマが形成される。
【００２３】
静電チャック３０およびシャワーヘッド４０は、いずれもウエハ２０の大きさと形状に対応した円形形状に沿った外周部を有しており、その外周囲に絶縁性リング状部材が配置されている。絶縁性リング状部材には種々の形態があるが、代表的には、静電チャック３０およびウエハ２０に近接して配置されるフォーカスリング１０、さらにそのフォーカスリング２０の外周囲に配置されるカバーリング１２、およびシャワーヘッド４０の外周囲に配置されるシールドリング１４等を挙げることができる。なお、ここで使用する各リング状部材の呼称は便宜的なものである。
【００２４】
フォーカスリング１０およびカバーリング１２は、主にウエハ２０の外周縁までプラズマ状態を安定に発生させる役割とともに、ウエハ２０および静電チャック３０の側面を保護する役割を有する。シールドリング１４は、プラズマ外周部付近で発生するシリコンウエハー方向のみでなく、シャワーヘッド方向へのイオンボンバードメントからシャワーヘッドを保護する役割を有する。なお、これらのリング状部材は、一体でリング形状を構成するものに限らず、複数の部品に分割され、それらを組み合わせてリング形状を構成するものであってもよい。
【００２５】
本実施の形態に係る半導体製造装置用部材は、少なくともいずれかの角部のＲ面取り加工の精度と、表面粗さＲａとを調整することで、隣接配置される複数の部材間でのアーキングの発生を防止するものである。
【００２６】
以下、図２（ａ）、図２（ｂ）および図３を参照して、本実施の形態に係る半導体製造装置用部材の構造について説明する。
【００２７】
図２（ａ）に示すように、ウエハ２０が、静電チャック３０上にオーバハングするように固定されている場合、これらの外周囲に隣接配置されるフォーカスリング１０は、ウエハ２０と静電チャック３０の側面形状に沿うように、段差のある内周壁面を有し、複数の円周状の角部を有する。
【００２８】
図３は、図２（ａ）の破線Ａで囲む角部１０１の部分拡大図である。同図に示すように、角部１０１は、半径０．１ｍｍ〜１ｍｍのＲ面取り加工されており、さらに表面粗さがＲａ１．６μｍ以下になるよう調整されている。図２（ａ）に示すフォーカスリング１０では、角部１０１のみならず、凸状のコーナ部である全ての角部１０１〜１０５において、同様なＲ面取り加工と、表面粗さの調整がなされている。
【００２９】
また、フォーカスリング１０の内周囲に配置される静電チャック３０の側面部の角部３０１および３０２においても、フォーカスリング１０の角部１０１と同様なＲ面取り加工と表面粗さの調整がなされている。
【００３０】
さらに、フォーカスリング１０の外周囲に配置されるカバーリング１２の内周部の角部１０６と１０７にもフォーカスリング１０の角部１０１と同様なＲ面取り加工と表面粗さの調整処理がなされている。
【００３１】
図１に示すような平行平板型のプラズマエッチング装置では、エッチング対象となる材料の種類によっても異なるが、例えばメタル配線をエッチングする場合は、約１００Ｖ〜４００Ｖ、ＳｉＯ２等の酸化膜をエッチングする場合には約１０００Ｖもの高い電圧が対向電極間に印加される。また、静電チャック３０に埋設された電極３５には、ウエハのチャッキング時に、例えばジョンソン・ラーベックタイプの静電チャックでは約３００Ｖ〜１０００Ｖの高電圧が印加される。
【００３２】
一般に、アーキングは、絶縁空間に高い電界がかかることによる絶縁破壊現象であり、高電圧が印加される環境下において、しかも、反応容器内が低真空条件に調整されている場合に、アーキングが発生しやすい状態となる。特に、部材の角部には電荷が集中し、蓄積されやすいので、隣接する部材間の対向する角部同士の間で最も高い電界が生じ、角部と角部との間がアーキングを最も発生させやすい場所となる。
【００３３】
しかし、本実施の形態に係る半導体製造装置用部材では、隣接しあう各部材の角部に上述するように、半径０．１ｍｍ〜１ｍｍのＲ面取り加工処理を行っているので、角部における電荷の集中が緩和され、アーキングの発生を抑制することができる。アーキングの発生を抑えるためには少なくとも半径０．１ｍｍ以上でＲ面取り加工がなされている必要があり、その半径を大きくする程、アーキング発生率を低く抑えることができる。しかし、加工半径が１．０ｍｍ以上になると、Ｒ面取り加工によるアーキングの防止効果が飽和してしまうので、それ以上の加工は必要ない。」

「【図１】

」

「【図２】

」
「【図３】

」

（２）甲１発明
上記（１）の【００２３】によれば、「静電チャック３０」は、「円形形状に沿った外周部を有し」ており、図２（ａ）より、前記「外周部」には、段差が設けられていることが看取でき、さらに、【００２７】〜【００２９】の記載から、上段にある角部３０１と下段にある角部３０２は、いずれも円周状の角部であり、図３の角部１０１と同様のＲ面取り加工がされているから、角部３０１及び角部３０２には円周状の凸曲面が形成されているといえる。
以上から、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。
（引用発明）
「ウエハ２０の大きさと形状に対応した円形形状に沿った外周部を有し（【００２３】）、該外周部に段差が設けられた静電チャック３０であって、（図１、図２（ａ））
静電チャック３０の上にウエハ２０が固定され、（【００２２】）
静電チャック３０には電極３５が埋設され、電極３５には、ウエハのチャッキング時に、例えばジョンソン・ラーベックタイプの静電チャックでは約３００Ｖ〜１０００Ｖの高電圧が印加され（【００３１】）、
静電チャック３０の側面部は、上段に角部３０１、下段に角部３０２があり、角部３０１及び角部３０２には、いずれも円周状の凸曲面が形成されている（【００２７】〜【００２９】、図２（ａ）、図３）
静電チャック３０。」

２ 甲２の記載
甲２には以下の記載がある。
「【００７２】
本実施形態にかかる静電チャック１０は、セラミック誘電体基板１００と、ヒータプレート２００と、べースプレート３００と、を備える。（以下省略）」

「【００７４】
セラミック誘電体基板１００は、例えば多結晶セラミック焼結体による平板状の基材であり、半導体ウェーハ等の処理対象物Ｗを載置する第１主面１０１と、第１主面１０１とは反対側の第２主面１０２と、を有する。」

「【００８７】
ベースプレート３００は、セラミック誘電体基板１００の温度調整を行う役目を果たす。例えば、セラミック誘電体基板１００を冷却する場合には、連通路３０１へ冷却媒体を流入し、連通路３０１を通過させ、連通路３０１から冷却媒体を流出させる。これにより、冷却媒体によってベースプレート３００の熱を吸収し、その上に取り付けられたセラミック誘電体基板１００を冷却することができる。」

「【図２】

」

第７ 申立理由についての当審の判断
申立理由１〜申立理由３について、まとめて検討する。
１ 本件発明２について
本件発明１は、本件訂正により削除されたので、本件発明２について検討する。
（１）対比
本件発明２と甲１発明を対比する。
ア 甲１発明の「静電チャック３０」は、「電極３５」と、電極３５が埋設される「部材」を備えているといえる。また、該「部材」においてウエハ２０が固定される面を「載置面」ということができる。また、「ウエハ２０」は、「板状」であることが明らかである。そうすると、甲１発明が備える「ウエハ２０が固定される載置面を有する部材」は、本件発明２の「一主面が板状試料を載置する載置面である基体」に相当する。

イ 甲１発明の「ウエハのチャッキング時に、例えばジョンソン・ラーベックタイプの静電チャックでは約３００Ｖ〜１０００Ｖの高電圧が印加され」る「電極３５」は、本件発明２の「静電吸着用電極」に相当する。
そして、甲１発明の「電極３５」が「部材」に「埋設される」ことは、本件発明２の「静電吸着用電極」が「前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた」と択一的に特定された選択肢の「前記基体の内部に設けられた」ことに相当する。
そうすると、甲１発明が備える「部材に埋設された電極３５」は、本件発明２の「前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極」に相当する。

ウ 甲１発明の「静電チャック３０」（上記アの「部材」）の「側面部」の「側面」は、「円形形状に沿った外周部」の周面でもあるから「側周面」ということができ、また、上記アの「載置面」と連続する面であることが明らかであるから、本件発明２の「前記基体において前記載置面と連続する周側面」に相当する。
また、甲１発明の「角部３０１」は、前記「周側面」において、前記「載置面」の周縁部に形成されたものといえるから、前記「角部３０１」に形成された「円周状の凸曲面」は、本件発明２の「前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面」に相当する。
また、甲１発明の、「静電チャック３０（部材）」の上段にある「角部３０１」と下段にある「角部３０２」は異なる高さ位置に形成されたものであるから、甲１発明の「角部３０２」に形成された「円周状の凸曲面」は、本件発明２の「前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面」に相当する。

エ 甲１発明の「角部３０２」に形成された「円周状の凸曲面」と、本件発明２の「第２曲面」とは、「凸曲面」である点で共通する。

オ 甲１発明の「静電チャック３０」は、上記ア〜ウの事項を備える点で、本件発明２の「静電チャック部材」に相当する。

カ 以上から、本件発明２と甲１発明は、以下の点で一致し、また相違する。

［一致点］
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記第２曲面は凸曲面である
静電チャック部材。」

［相違点１］
「側周面」における「前記第１曲面と前記第２曲面との間」について、本件発明２は、「前記載置面の方向からの視野に露出する傾斜面である」のに対し、甲１発明では、そのような傾斜面ではない点。

（２）判断
ア 本件発明２と甲１発明とは、相違点１を有するから、本件発明２は甲１発明ではない。
イ 相違点１における「傾斜面」は、本件明細書等（【００７４】）に「「傾斜面」とは、側周面のうち、断面視において傾き一定の面を指す。」と記載されているとおり、「傾き一定の面」のことである。
一方、甲１発明において、上段にある角部３０１と下段にある角部３０２とを傾き一定の面で接続すると、甲１発明の静電チャック３０の下段の上面に近接して配置される「フォーカスリング１０」と干渉することとなるから、甲１発明において、上段にある角部３０１と下段にある角部３０２とを傾き一定の面で接続すること、すなわち、相違点１に係る本件発明２の構成とすることは、想定していない事項である。
したがって、本件発明２は、甲１発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
ウ また、甲２には、相違点１に係る本件発明２の構成は記載されていないから、本件発明２は、甲１発明と甲２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。

（３）本件発明２についての小括
よって、申立理由１、２及び３により、請求項２に係る特許を取り消すことはできない。

２ 本件発明５について
事案に鑑み、次に本件発明５について検討する。
（１）対比
本件発明５と甲１発明とを対比する。
ア 上記１（１）の本件発明２と甲１発明との対比のうちア〜ウは、本件発明５と甲１発明との対比にも当てはまる。

イ 甲１発明の「静電チャック３０（部材）」の外周部に設けられた段差の「下段」は、該「静電チャック３０（部材）」の側面部の下部全体が外側に伸張する部分といえるから、本件発明５の「前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分」に相当し、甲１発明と本件発明５は、当該部分を「側周面」に有する点で共通する。

ウ 甲１発明には、本件発明５の「前記第２曲面は、前記伸長する部分の上面に設けられた凹曲面である」ことは特定されていない。

エ 以上から、本件発明５と甲１発明とは以下の点で一致し、また、相違する。

［一致点］
「一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記側周面は、前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分を有する
静電チャック部材。」

［相違点２］
第２曲面について、本件発明５は、「前記伸長する部分の上面に設けられた凹曲面である」のに対し、甲１発明では、「角部３０２」に形成された「凸曲面」である点。

（２）判断
ア 本件発明５と甲１発明とは、相違点２を有するから、本件発明５は甲１発明ではない。
イ 甲１に記載された発明は、「部材の角部には電荷が集中し、蓄積されやすいので、隣接する部材間の対向する角部同士の間で最も高い電界が生じ、角部と角部との間がアーキングを最も発生させやすい場所となる。」（甲１の【００３２】）という認識の下で、「各部材の角部に上述するように、半径０．１ｍｍ〜１ｍｍのＲ面取り加工処理を行っているので、角部における電荷の集中が緩和され、アーキングの発生を抑制することができる。」（同【００３３】）ものといえる。
そうすると、甲１発明における「角部」を含まない「下段」の上面に「凹曲面」を設けることの動機付けはないから、甲１発明において相違点２に係る本件発明５の構成を採用することは、当業者であっても容易に想到することができたものではない。
したがって、本件発明５は、甲１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
ウ また、甲２には、相違点２に係る本件発明５の構成は記載されていないから、本件発明５は、甲１発明と甲２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。

（３）本件発明５についての小括
よって、申立理由１、２及び３により、請求項５に係る特許を取り消すことはできない。

３ 本件発明３、４、６〜９について
（１）本件発明２を引用する本件発明３、４、６〜９について
本件発明３、４、６〜９は、上記１で検討した相違点１に係る「前記側周面において、前記第１曲面と前記第２曲面との間は、前記載置面の方向からの視野に露出する傾斜面である」という構成を含む発明である。
したがって、申立理由１の対象である本件発明３、４、６は、甲１発明ではない。
また、申立理由２、３の対象である本件発明３、４、６〜９は、上記１（２）イで検討した理由と同じ理由により、甲１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではなく、同ウで検討した理由と同じ理由により、甲１発明と甲２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。

（２）本件発明５を引用する本件発明７〜９について
本件発明７〜９は、上記２で検討した相違点２に係る「前記第２曲面は、前記伸長する部分の上面に設けられた凹曲面である」という構成を含む発明である。
したがって、申立理由２、３の対象である本件発明７〜９は、上記２（２）イで検討した理由と同じ理由により、甲１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではなく、同ウで検討した理由と同じ理由により、甲１発明と甲２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。

４ 異議申立人の主張について
（１）異議申立人の主張概要
異議申立人は、特許異議申立書及び令和５年１２月５日提出の意見書（以下「意見書」という。）において、以下の点を主張する。
ア 異議申立人は、甲１の図３に対応する以下の図Ａを示し、角部３０１に形成された曲面において、「第１曲面」及び「第２曲面」が、それぞれ訂正前の請求項１に係る発明の「第１曲面」及び「第２曲面」に相当し、「第１曲面」と「第２曲面」の間の曲面が、訂正前の請求項２に係る発明の「傾斜面」に相当する旨主張する。（特許異議申立書１４頁７行〜１６頁１２行）


イ 異議申立人は、甲１の図２に対応する以下の図を示し、丸で囲まれた部分は、載置面に対し垂直な側周面と、フォーカスリング１０を下方から支持する面と、の境界部分であり、当該部分には、加工精度等を鑑みれば、凹曲面が必ず存在するから、訂正前の請求項３及び請求項５の「凹曲面」の構成が記載されている旨主張する。（特許異議申立書１６頁下から４行目〜１７頁下から６行目）



ウ 異議申立人は、甲２の図２（ｂ）の静電チャックの一部に対応する以下の図Ｂを示し、甲２に記載の静電チャックに対し、アーキングを抑制するために甲１発明を適用し、角部１及び角部２のそれぞれにＲ面取り加工を施すことについて、容易想到である旨、及び、加工精度等に鑑みれば、角部１及び角部２には微小な曲面が必ず存在する旨主張する。（特許異議申立書２５頁下から２行目〜２８頁９行、意見書の「３」の項）


（２）検討
ア 上記（１）アについての検討
甲１において、「角部３０１」に形成された１つの曲面を、「第１曲面」、「第２曲面」及び両曲面間の曲面の３つの部分に分けることに技術的な理由はないから、角部３０１に形成された１つの曲面を３つの曲面に分けることを前提とした異議申立人の同アの主張は採用できない。

イ 同イについての検討
「凹曲面」について、訂正後の請求項３には「前記側周面は、前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分を有し、前記伸長する部分の上面は、凹曲面である」と記載されており、側周面の下端部の上面が凹曲面、すなわち、側周面は凹曲面で終端するから、甲１の図２（ａ）のように、単に丸で囲まれた部分に加工精度による凹曲面が形成されているものではないことは明らかである。また、訂正後の請求項５も同様である。
したがって、異議申立人の同イの主張は採用できない。

ウ 同ウについての検討
甲２に記載された静電チャックは、その形状からみて載置面の周縁部を直線状に面取り加工処理して、傾斜面を形成したものといる。
一方、甲１に記載された静電チャックは、アーキングの発生を防止するため、載置面の周縁部である角部３０１をＲ面取り加工処理したものである。
そうすると、アーキングの発生を防止するため、甲２における静電チャックに甲１に記載された事項を適用すると、甲２の傾斜面を残す理由はないから載置面の周縁部をＲ面取り加工処理することとなり、請求人が主張する角部１、角部２のそれぞれをＲ面取り加工処理したものにはならない。
また、本件発明２の「第１曲面」及び「第２曲面」の凸曲面と、加工精度に基づく微小な凸曲面は、曲面のサイズ等に基づき区別可能であることは明らかであるとともに、加工精度に基づく微小な曲面によってアーキングの発生を防止できるのであれば、そもそも、Ｒ面取り加工処理をする必要がないのであるから、本件発明２の「第１曲面」及び「第２曲面」に、そのような加工精度に基づく微小な曲面が含まれないことも明らかである。
したがって、異議申立人の同ウの主張は採用できない。

第８ むすび
以上のとおりであるから、特許７２０３２６０号の特許請求の範囲を、本件訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜９〕について訂正することを認める。
そして、当審において通知した取消理由、特許異議の申立ての理由及びその証拠によっては、特許７２０３２６０号の請求項２〜９に係る特許を取り消すことはできない。
また、他に特許７２０３２６０号の請求項２〜９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
さらに、訂正前の請求項１は訂正により削除されたから、特許法第120条の8第1項で準用する特許法第135条の規定により異議申立人による請求項１に係る特許異議の申立て却下する。

よって、結論のとおり決定する。
 
発明の名称 （５７）【特許請求の範囲】
【請求項１】
（削 除）
【請求項２】
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記第２曲面は凸曲面であり、
前記側周面において、前記第１曲面と前記第２曲面との間は、前記載置面の方向からの視野に露出する傾斜面である静電チャック部材。
【請求項３】
前記側周面は、前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分を有し、
前記伸長する部分の上面は、凹曲面である請求項２に記載の静電チャック部材。
【請求項４】
下記式（１）又は（２）を満たす請求項３に記載の静電チャック部材。
［第１曲面の曲率半径］＜［凹曲面の曲率半径］ …（１）
［第２曲面の曲率半径］＜［凹曲面の曲率半径］ …（２）
【請求項５】
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、
前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有し、
前記基体において前記載置面と連続する側周面には、前記載置面の周縁部において周方向に設けられた凸曲面である第１曲面と、
前記第１曲面とは異なる高さ位置において前記周方向に設けられた第２曲面と、を少なくとも有する静電チャック部材であって、
前記側周面は、前記側周面の下端部において周方向に設けられ且つ外側に伸長する部分を有し、
前記第２曲面は、前記伸長する部分の上面に設けられた凹曲面である静電チャック部材。
【請求項６】
前記側周面において、前記第１曲面と前記第２曲面との間は、前記載置面の方向からの視野に露出する傾斜面である請求項４に記載の静電チャック部材。
【請求項７】
下記式（３）を満たす請求項３から６のいずれか１項に記載の静電チャック部材。
［静電吸着用電極の厚さ］＜［第１曲面の曲率半径］＜［凹曲面の曲率半径］
＜［静電吸着用電極の下面から基体の下面までの基体の厚さ］ …（３）
【請求項８】
請求項２から７のいずれか１項に記載の静電チャック部材と、
前記静電チャック部材を冷却し前記静電チャック部材の温度を調整するベース部材と、を有する静電チャック装置。
【請求項９】
請求項２から７のいずれか１項に記載の静電チャック部材の製造方法であって、
一主面が板状試料を載置する載置面である基体と、前記載置面とは反対側又は前記基体の内部に設けられた静電吸着用電極と、を有する円板状の焼結体を得る工程と、
前記焼結体の側周面を、回転砥石を用いて研削する工程と、を有し、
前記回転砥石は、前記回転砥石の回転軸を含む断面において、前記基体の中心を通り前記基体の法線を含む断面の少なくとも前記第１曲面の形状又は前記第２曲面の形状の一部と相補的な形状を有する静電チャック部材の製造方法。
 
訂正の要旨 審決（決定）の【理由】欄参照。
異議決定日 2024-01-10 
出願番号 P2022-055540
審決分類 P 1 651・ 113- YAA (H01L)
P 1 651・ 121- YAA (H01L)
最終処分 07   維持
特許庁審判長 瀧内 健夫
特許庁審判官 中野 浩昌
松永 稔
登録日 2022-12-28 
登録番号 7203260
権利者 住友大阪セメント株式会社
発明の名称 静電チャック部材、静電チャック装置及び静電チャック部材の製造方法  
代理人 佐藤 彰雄  
代理人 萩原 綾夏  
代理人 佐藤 彰雄  
代理人 萩原 綾夏  
代理人 西澤 和純  
代理人 西澤 和純  

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