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審決分類 審判 査定不服 5項独立特許用件 特許、登録しない。 H01L
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 H01L
管理番号 1374704
審判番号 不服2020-9113  
総通号数 259 
発行国 日本国特許庁(JP) 
公報種別 特許審決公報 
発行日 2021-07-30 
種別 拒絶査定不服の審決 
審判請求日 2020-06-30 
確定日 2021-06-10 
事件の表示 特願2016- 73092「基板搬送装置及び基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成29年10月 5日出願公開,特開2017-183665〕について,次のとおり審決する。 
結論 本件審判の請求は,成り立たない。 
理由 第1 手続の経緯
本件審判請求に係る出願(以下,「本願」という。)は,2016年(平成28年) 3月31日の出願であって,その手続の経緯は以下のとおりである。

令和 1年 1月23日付け:手続補正書の提出
令和 1年 9月18日付け:拒絶理由通知書
令和 1年11月25日 :意見書,手続補正書の提出
令和 2年 3月24日付け:拒絶査定(原査定)
令和 2年 6月30日 :審判請求書,手続補正書の提出
令和 2年 8月12日 :手続補正書の提出

第2 令和 2年 6月30日付けの手続補正についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
令和 2年 6月30日付けの手続補正(以下,「本件補正」という。)を却下する。

[理由]
1 本件補正について(補正の内容)
(1)本件補正後の特許請求の範囲の記載
本件補正後の特許請求の範囲の請求項1-4の記載は次のとおりである。(下線部は,補正箇所である。以下,それぞれ,「補正後の請求項1」-「補正後の請求項4」という。)
「 【請求項1】
第1の把持板と,
前記第1の把持板により支持され,基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第1の爪部と,
前記第1の把持板に重なるように設けられた第2の把持板と,
前記第2の把持板により支持され,前記基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第2の爪部と,
前記第1の爪部及び前記第2の爪部の両方が前記基板の外周面に交わる方向に接離して,前記第1の爪部と前記第2の爪部とで前記基板を把持または開放するように,前記第1の把持板及び前記第2の把持板の両方を移動させる単一の駆動源を有する把持部と,
前記把持部を昇降させる昇降部と,
前記把持部を水平方向に移動させるアーム部と,
制御部と,
を有し,
前記制御部は,
前記把持部を,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が前記基板を載置する前記第1の高さ位置に位置付けられる第1の位置まで,移動させるように前記アーム部を制御し,
前記第1の位置に移動した前記把持部に,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が離れる方向に前記第1の把持板及び前記第2の把持板を共に移動させ,
前記アーム部の水平位置を変えずに,前記把持部を,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が前記第1の高さ位置の上方に位置する前記第2の高さ位置に位置付けられる第2の位置まで,移動させるように前記昇降部を制御し,
前記第2の位置に移動した前記把持部に,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が近づく方向に前記第1の把持板及び前記第2の把持板を共に移動させることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項2】
前記第1の爪部は,
前記第1の把持板の上面に設けられ,前記当接面を有する上爪と,
前記第1の把持板の下面に設けられ,前記当接面を有する下爪と,
を有することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
【請求項3】
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部と,
請求項1または請求項2に記載の基板搬送装置と,
前記基板を処理する基板処理部と,
を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項4】
前記基板処理部は,
基板処理台と,
前記基板処理台に設けられて前記基板を下面から支持する複数の支持部材と,
前記複数の支持部材よりも外側から前記基板を支持して昇降させる基板昇降部と,
を有することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。」

(2)本件補正前の特許請求の範囲
本件補正前の,特許請求の範囲の請求項1-7の記載は次のとおりである。(以下,それぞれ,「補正前の請求項1」-「補正前の請求項7」という。)
「 【請求項1】
第1の把持板と,
前記第1の把持板により支持され,基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第1の爪部と,
前記第1の把持板に重なるように設けられた第2の把持板と,
前記第2の把持板により支持され,前記基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第2の爪部と,
前記第1の爪部及び前記第2の爪部の両方が前記基板の外周面に交わる方向に接離して,前記第1の爪部と前記第2の爪部とで前記基板を把持または開放するように,前記第1の把持板及び前記第2の把持板の両方を移動させる単一の駆動源を有する把持部と,
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項2】
前記第1の爪部は,
前記第1の把持板の上面に設けられ,前記当接面を有する上爪と,
前記第1の把持板の下面に設けられ,前記当接面を有する下爪と,
を有することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
【請求項3】
前記把持部を昇降させる昇降部と,
第1の基板を載置する第1の高さ位置から,前記第1の基板の上又は下に位置する第2の基板を把持する第2の高さ位置に前記第1の爪部及び前記第2の爪部を位置付けるよう,前記昇降部に前記把持部の上昇又は下降を実行させ,前記把持部に前記第1の把持板及び前記第2の把持板の移動を実行させる制御部と,
をさらに備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置。
【請求項4】
前記把持部を水平方向に移動させるアーム部をさらに備え,
前記制御部は,
前記把持部を,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が前記基板を載置する前記第1の高さ位置に位置付けられる第1の位置まで,移動させるように前記アーム部を制御し,
前記第1の位置に移動した前記把持部に,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が離れる方向に前記第1の把持板及び前記第2の把持板を共に移動させ,
前記第1の把持板及び前記第2の把持板の水平位置を変えずに,前記把持部を,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が前記第1の高さ位置の下方に位置する前記第2の高さ位置に位置付けられる第2の位置まで,移動させるように前記昇降部を制御し,
前記第2の位置に移動した前記把持部に,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が近づく方向に前記第1の把持板及び前記第2の把持板を共に移動させることを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。
【請求項5】
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部と,
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板搬送装置と,
前記基板を処理する基板処理部と,
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項6】
前記基板処理部は,
基板処理台と,
前記基板処理台に設けられて前記基板を下面から支持する複数の支持部材と,
前記複数の支持部材よりも外側から前記基板を支持して昇降させる基板昇降部と,
を有することを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
【請求項7】
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部から,請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板搬送装置を用いて第1の基板を取り出す工程と,
前記収納部から取り出された前記第1の基板に処理を行う工程と,
前記処理が行われた前記第1の基板を,前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と,
前記収納部に収納された前記第1の基板の上又は下に位置する第2の基板を,前記基板搬送装置を用いて前記収納部から取り出す工程と,
前記収納部から取り出された前記第2の基板に処理を行う工程と,
前記処理が行われた前記第2の基板を,前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と,
を有することを特徴とする基板処理方法。」

2 補正の目的
(1)本件補正は,概略,補正前の請求項1を補正前の請求項3,4に記載された事項で特定するとともに,「第2の位置」を「第1の高さ位置の上方に位置する」と限定するものであるから,特許請求の範囲の減縮(限定的減縮)を目的とする補正を含むものである。
そして,補正前の請求項1-7に記載された発明と補正後の請求項1-4に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題は同一であることは明らかである。

3 独立特許要件
以上のように,本件補正は,特許法第17条の2第5項第2号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とする補正を含むものである。

そこで,補正後の請求項1に記載される発明(以下「本件補正発明」という。)が特許法第17条の2第6項において準用する同法第126条第7項の規定に適合するか(特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか)について,以下,検討する。

(1)本件補正発明
本件補正発明は,上記「1(1)」に,補正後の請求項1として記載したとおりのものである。

(2)引用文献1に記載されている技術的事項及び引用発明
ア 原査定の拒絶の理由で引用された,特開2003-289094号公報(以下,「引用文献1」という。)には,以下の事項が記載されている。(当審注:下線は,参考のために当審で付与したものである。以下同じ。)

「【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の基板搬送装置においては,基板の搬入および搬出を行うために,基板搬送アームの前進および後退動作を複数回繰り返す必要があることから,その搬送動作に時間を要し,処理のスループットが低下するというという問題が生ずる。
【0006】このような問題に対応するため,基板の搬入用の搬送アームと基板の搬出用の搬送アームを備えることも可能ではあるが,装置構成が複雑化し,また,製造コストが高額となる。
【0007】この発明は上記課題を解決するためになされたものであり,簡易な構成でありながら,基板を高速に搬入,搬出することが可能な基板搬送方法,基板搬送装置および基板搬送アームを提供することを目的とする。」

「【0020】次に,この発明に係る基板搬送装置の構成について説明する。図3は上述した基板搬送アーム20の側面概要図であり,図4はその平面概要図である。なお,この発明に係る基板搬送装置は,上述した基板搬送アーム20と,この基板搬送アーム20を移動させるための後述するアーム移動機構40とにより構成される。
【0021】図3および図4に示すように,基板搬送アーム20は,ベース21の先端に固定された固定部材22と,ベース21に固定されたアクチュエータ24の駆動によりベース21上を往復移動する移動部材23とを備える。固定部材22および移動部材23の上部には,各々,この発明に係る支持部として機能するテーパー部25が形成されている。また,固定部材22および移動部材23の下部には,各々,この発明に係る保持部として機能するテーパー部26が形成されている。
【0022】図5は,この発明に係る基板搬送装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。
【0023】上述した基板搬送装置は,装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたROM31と,制御時にデータ等が一時的にストアされるRAM32と,論理演算を実行するCPU33とを有する制御部30を備える。この制御部30は,インターフェース34を介して,基板搬送アーム20を移動させるためのアーム移動機構40と接続されている。
【0024】次に,上述した基板搬送装置を使用して基板Wを図1および図2に示す基板処理装置に搬入,搬出する基板Wの搬送動作について説明する。図6は,基板Wの搬入,搬出動作を示すフローチャートである。
【0025】最初に,そのテーパー部25に基板Wを支持した状態で基板搬送アーム20を前進させることにより,テーパー部25に支持した基板Wを上昇位置に配置された支持ピン16の上方の位置に配置する(ステップS11)。
【0026】次に,基板搬送アーム20を下降させることにより,テーパー部25に支持した基板Wを上昇位置に配置された支持ピン16上に載置するとともに,テーパー部26によりにより上昇位置に配置された支持ピン13上に載置された基板Wを保持する(ステップS12)。
【0027】テーパー部23によりにより支持ピン13上に載置された基板Wを保持する際には,基板搬送アーム20の下降動作中にアクチュエータ24の駆動により移動部材23が往復移動し,基板Wをその両側から挟み込むことにより保持を実行する。なお,一対のテーパー部25,26を備えた移動部材23を往復移動させる代わりに,基板Wを保持するためのテーパー部26に相当する部分のみを往復移動させるようにしてもよい。
【0028】上述した下降・保持工程においては,図3に示すようにテーパー部25に支持される基板Wの高さ位置とテーパー部26に保持される基板Wの高さ位置の差をD1とし,テーパー部25に支持した基板Wを上昇位置にある支持ピン16に載置した後の基板搬送アーム20の下降距離をD2とし,図1に示すように上昇位置にある支持ピン16に載置される基板Wの高さ位置と上昇位置にある支持ピン13に載置される基板Wの高さ位置の差をD3としたとき,D1とD2との和はD3と実質的に等しくなるように,基板搬送アーム20の下降動作がアーム移動機構40により制御される。
【0029】再度,図6を参照して,次に,基板搬送アーム20を上昇させることにより,テーパー部26に保持した基板Wを上昇位置に配置された支持ピン13から離隔させる(ステップS13)。
【0030】しかる後,基板搬送アーム20を後退させることにより,一対のテーパー部26に保持した基板Wを支持ピン13の上方から搬出する(ステップS14)。
【0031】このように,この発明に係る基板搬送装置においては,基板Wの搬入,搬出動作を,図6に示す4ステップにより実行することが可能となる。このため,図10に示す従来技術に比べ,基板Wを高速に搬入,搬出することが可能となる。」





















イ ここで,引用文献1に記載されている事項を検討する。
(ア)上記段落0023-0029及び図6の記載を参照すると,引用文献1において「基板搬送アーム20」は,「アーム移動機構40」により,「前進」,「下降」,「上昇」,「後退」するように移動させられるものと認められる。

(イ)上記段落0023及び図3の記載を参照すると,「固定部材22」および「移動部材23」の上部にそれぞれ形成された「テーパー部25」は,「ベース21」の表面の上に形成され,「固定部材22」および「移動部材23」の下部にそれぞれ形成された「テーパー部26」は,「ベース21」の表面の下に形成されていると認められる。
また,それぞれの「テーパー部25」,「テーパー部26」が,「基板W」の外周面に当接する「当接面」を有することは明らかである。

(ウ)上記段落0023及び図3-4の記載を参照すると,「アクチュエータ24」と「移動部材23」との間には,「アクチュエータ24」の駆動を伝達する「伝達部材」が存在し,「移動部材23」が該「伝達部材」により支持されていることは明らかである。
ここで,図4の記載を参照すると,該「伝達部材」は,「ベース21」と,その一部が重なるように設けられていると認められる。

ウ 以上から,引用文献1には,次の発明(以下,「引用発明」という。)が記載されているものと認められる。
「 基板搬送装置は,基板搬送アーム20と,この基板搬送アーム20を,前進,下降,上昇,後退するように移動させるためのアーム移動機構40とにより構成され,
基板搬送アーム20は,ベース21の先端に固定された固定部材22と,ベース21に固定されたアクチュエータ24の駆動によりベース21上を往復移動する移動部材23とを備え,
移動部材23は,ベース21と重なるように設けられている伝達部材に支持されており,
固定部材22および移動部材23の上部には,各々,この発明に係る支持部として機能するテーパー部25がベース21の表面の上に形成され,
固定部材22および移動部材23の下部には,各々,この発明に係る保持部として機能するテーパー部26がベース21の表面の下に形成され,
それぞれのテーパー部25,テーパー部26が,基板Wの外周面に当接する当接面を有し,固定部材22および移動部材23の上部のテーパー部25により基板Wを支持し,固定部材22および移動部材23の下部のテーパー部26により基板Wを保持し,
アクチュエータ24の駆動により移動部材23が往復移動し,基板Wをその両側から挟み込むことにより保持を実行し,
基板搬送装置は,装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたROM31と,制御時にデータ等が一時的にストアされるRAM32と,論理演算を実行するCPU33とを有する制御部30を備え,
この制御部30は,インターフェース34を介して,基板搬送アーム20を移動させるためのアーム移動機構40と接続されている,
基板搬送装置。」

(3)引用文献3-5に記載されている技術的事項
ア 原査定の拒絶の理由で引用された,特開2006-41423号公報(以下,「引用文献3」という。)の,段落0009-0016及び図1,2,5等には,「アクチュエータ3と,アクチュエータ3の駆動力を2方向に分けて伝達する動力変換機構4と,この動力変換機構4に連結された第1ハンドフレーム5及び第2ハンドフレーム6と,を備え,アクチュエータ3は,駆動軸8を一方向に進退するように突出しており,この駆動軸8には連結具9が設けられ,この連結具9を介して前記駆動軸8の進退動作を前記動力変換機構4に伝達しており,前記動力変換機構4は,前記駆動軸8の一方向の進退動作を2つの逆方向の進退動作に変換するものであり,これら2つの逆方向の進退動作を前記第1ハンドフレーム5及び前記第2ハンドフレーム6に伝達することで,前記第1ハンドフレーム5及び前記第2ハンドフレーム6を,後述するウェハ15の板面に沿ってかつ互いに逆向きに進退駆動することにより,第1ハンドフレーム5の先端に固定された把持爪10A,10B及び第2ハンドフレーム6の先端に固定された把持爪11A,11Bで,ウェハ15のエッジを把持・開放する,ウェハの搬送装置。」が記載されている。

イ 原査定の拒絶の理由で引用された,実願昭63-141233号(実開平2-63990号)のマイクロフィルム(以下,「引用文献4」という。)の,第2頁第19行-第3頁第10行,第7頁第13行-第9頁第12行,及び第2-3図には,「先端にピン13,13’を有するY字状のレバー14と,先端にピン15,15’を有するT字状のレバー16とを,駆動部22により,互いに反対方向に駆動させることにより,被搬送物10を4個のピン13,13’及び15,15’で把持・開放するクランプ機構Bを有する板状の搬送物を受け渡しする搬送装置。」が記載されている。

ウ 原査定の拒絶の理由で引用された,実願昭62-189179号(実開平1-93736号)のマイクロフィルム(以下,「引用文献5」という。)の第1頁第4-16行,第3頁第17行-第5頁第13行及び第1-2図には,「ウエハ1のオリエンテーションフラット端面を支持するクッション部材2Aをもつ第1アーム2と,前記オリエンテーションフラット部に対向する端面を1点で支持するクッション部材3Aをもつ第2アーム3と,前記ウエハ端面を両水平方向から支持するため前記第1,第2アームを対向移動させるモータ4とを有するアーム搬送機構。」が記載されている。

エ 以上,ア-ウから,引用文献3-5には,「基板の外周面に当接する当接面を有する2つの部材の両方が前記基板の外周面に交わる方向に接離して,前記当接面を有する2つの部材とで前記基板を把持または開放するように,当接面を有する2つの部材を支持する部材の両方を移動させる単一の駆動源を有する,基板の搬送機構。」(以下,「周知技術1」という。)が記載されている。

(4)その他の文献に記載されている技術的事項
ア 本願の出願前に頒布又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった,特開2009-160711号公報(以下,「周知文献」という。)には,以下の技術的事項が記載されている。

「【0007】
図1は,本発明のエンドエフェクタを備えたウェハ搬送用のロボットの正面図(a),側面図(b),上面図(c)である。図1において,ロボット1は,胴体の上面に回転自在に設けられたアーム2と,アーム2の先端に設けられ,ウェハを把持するエンドエフェクタ3と,から構成されている。胴体はその内部に設けられた昇降機構によって上下に昇降可能である。アーム2は本実施例の場合,第1アーム2aと第2アーム2bとから構成されている。第1アーム2aの基端は胴体上に連結され,その先端に第2アーム2bの基端が連結されている。第2アーム2bの先端にエンドエフェクタ3が回転可能に支持されている。本実施例のほか,第2アーム2bの先端にさらに第3アームが連結され,その先端にエンドエフェクタ3が連結される場合もある。また,本実施例の場合,エンドエフェクタ3は第2アーム2bに対して1枚設けられているが,第2アーム2bに対して同軸で2枚設けられ,その2枚が回転自在に設けられる場合もある。 以上の構成によりロボット1は昇降機構により昇降し,アーム2は第1アーム2aの回転と第2アーム2bの回転とによってエンドエフェクタ3を動かし,エンドエフェクタ3で把持したウェハを所望の位置へと搬送する。
【0008】
本発明のエンドエフェクタ3の構成について詳細に説明する。エンドエフェクタ3は図1(c)のように薄板状に形成されていて,後述するように上面と上面に対する裏面の両方でウェハWを把持可能な把持機構を有している。 まず,エンドエフェクタ3上面の把持機構について説明する。エンドエフェクタ3のプレート3pの基端側には,プッシャ4が設けられている。プッシャ4の近傍には複数のパッド5が設けられている。また,エンドエフェクタ3の先端側にも同様なパッド5が複数設けられている。プッシャ4はエンドエフェクタ3の基端側に設けられている図示しないプッシャ機構によりエンドエフェクタ3の先端側へ微小に移動可能である。エンドエフェクタ3はこのパッド5にウェハWを載置し,その後プッシャ4を動作させてプッシャ4及びプレート3p先端側のパッド5とによって,少なくともウェハWの周囲3点を把持する。
エンドエフェクタ3裏面の把持機構について説明する。図2はエンドエフェクタ3の側面図であって,エンドエフェクタ3の基端側と先端側とを示す要部拡大図である。同図のように,本発明のエンドエフェクタ3は,プレート3pの裏面にも上記上面のプッシャ4及びパッド5が同様な配置で設けられている。裏面のプッシャ4を駆動するプッシャ機構も設けられている。裏面のプッシャ4及びパッド5は,上面のそれに対し,後述する凹部がさらに形成されている。
【0009】
エンドエフェクタ3の上面においては,図1(c)のようにウェハWを複数のパッド5に載置したのち,プッシャ4がエンドエフェクタ3の先端側に移動し,図2のようにプッシャ4に設けられている側壁4aがウェハWの側面と当接する。一方,プッシャ4に押されたウェハWは,図2のようにプレート3pの先端側のパッド5に設けられている側壁5aとも当接してエンドエフェクタ3に対して把持される。
一方,エンドエフェクタ3の裏面においても,アーム2の回転によって把持したいウェハの上部にエンドエフェクタ3を位置決めしたのち,プッシャ機構によってプッシャ4がエンドエフェクタ3の先端側に移動(スライド)し,図2のようにプッシャ4に設けられている凹部4bの窪みがウェハWの側面と当接する。一方,プッシャ4に押されたウェハWは,図2のようにプレート3pの先端側のパッド5に設けられている凹部5bの窪みとも当接してエンドエフェクタ3に対して把持される。このように,裏面ではプッシャ4の凹部4bとパッド5の凹部5bの窪みにウェハWが入り込むようにして把持されるため,把持後はウェハWが落下しない。ウェハWはプッシャ4によりウェハWの重力よりも強い力でウェハを押し付けている為,ウェハは落下しない。」

「【0012】
次に,上記で説明した本発明のエンドエフェクタの動作を説明する。
図6は本発明のエンドエフェクタ3を用い,ウェハを多段に収納するカセットに対してウェハを搬送する場合を示す側面図である。同図のウェハW1はカセットの上段側に載置されるウェハ,ウェハW2はウェハW1の直下段に載置されるウェハを示している。
【0013】
同図(a)のように,ロボットはウェハW1とウェハW2が載置するべき段との隙間に対してエンドエフェクタ3を侵入させ(このとき,エンドエフェクタ3裏面でのみウェハW2を把持している状態とする),エンドエフェクタ3裏面のウェハW2を載置するべき段に位置決めし,裏面のプッシャ4を基端側に引くことによりエンドエフェクタ3の裏面からウェハW2が外れ,カセット上にウェハW2を載置させる。その後,エンドエフェクタ3を若干量上昇させ,今度はエンドエフェクタ3の上面にて直上のウェハW1を把持し,ウェハW1をカセットから抜き取り,所望の位置まで搬送する。このように本発明のエンドエフェクタは,エンドエフェクタ3の上面と裏面とでウェハを把持できる構成をしているので,エンドエフェクタ3の裏面で把持したウェハW2をカセットに載置した後,ウェハW2の直上にあるウェハW1をすぐに把持して搬送することができ,従来のようにエンドエフェクタ3がウェハを1枚しか把持できない場合と比較すると,搬送スピードが向上し,スループットが向上する。
【0014】
なお,上記では裏面でウェハW2を把持した状態から微量上昇してすぐに上面でウェハW1を把持することを説明したが,上面でウェハW1を把持した状態でカセットに侵入し,ウェハW1を載置してから微量下降してすぐに裏面でウェハW2を把持する搬送も考えられる。また,上面,裏面ともにウェハを把持しない状態からカセットに侵入し,上面でウェハW1を把持したのち微量下降してすぐに裏面にてウェハW2を把持し,上面,裏面の両方でウェハを把持して搬送することも考えられる。また,半導体製造装置における清浄なダウンフロー下において粉塵が付着しにくい上面では処理前のウェハを把持し,裏面では処理後のウェハを把持するようにしてもよい。」













イ 以上から,周知文献には,次の事項(以下,「周知技術2」という。)が記載されているものと認められる。
「 ウェハW1の側面が,プッシャ4に設けられている側壁4aと,プレート3pの先端側のパッド5に設けられている側壁5aとに当接してエンドエフェクタ3に対して把持される,エンドエフェクタ3上面の把持機構と,
ウェハW2の側面が,プッシャ4に設けられている凹部4bの窪みと,プレート3pの先端側のパッド5に設けられている凹部5bの窪みとに当接してエンドエフェクタ3に対して把持される,エンドエフェクタ3裏面の把持機構と,
を有するエンドエフェクタ3の動作として,
エンドエフェクタ3裏面でのみウェハW2を把持している状態で,ウェハW1とウェハW2が載置するべき段との隙間に対してエンドエフェクタ3を侵入させ,エンドエフェクタ3裏面のウェハW2を載置するべき段に位置決めし,裏面のプッシャ4を基端側に引くことによりエンドエフェクタ3の裏面からウェハW2が外れ,カセット上にウェハW2を載置させ,
その後,エンドエフェクタ3を若干量上昇させ,今度はエンドエフェクタ3の上面にて直上のウェハW1を把持し,ウェハW1をカセットから抜き取り,所望の位置まで搬送すること。」

(5)対比
ア 本件補正発明と引用発明とを対比する。
(ア)引用発明の「ベース21」は,「固定部材22」を支持し,「固定部材22」の「テーパー部25,26」は,基板Wの外周面に当接するから,本件補正発明の「第1の把持板」に相当する。
また,引用発明の「固定部材22」は,当接面を有する「テーパー部25」が「ベース21」の表面の上に,当接面を有する「テーパー部26」が「ベース21」の表面の下に形成されているから,本件補正発明の「基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第1の爪部」である点で一致する。

(イ)引用発明の「伝達部材」は,「移動部材23」を支持するとともに,「ベース21」と重なり,「移動部材23」の「テーパー部25,26」は,基板Wの外周面に当接するから,本件補正発明の「第2の把持板」に相当する。
また,引用発明の「移動部材23」は,当接面を有する「テーパー部25」が「ベース21」の表面の上に,当接面を有する「テーパー部26」が「ベース21」の表面の下に形成されているから,本件補正発明の「第2の爪部」と,「基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第2の爪部」である点で一致する。

(ウ)引用発明の「アクチュエータ24」は「移動部材23」を往復移動させ,基板Wをその両側から挟み込むことにより,基板Wを保持するものであるから,その往復移動の方向が,「移動部材23」を基板Wの外周面に交わる方向に離接させるものであることは明らかである。
すると,引用発明の「アクチュエータ24」は,本件補正発明の「駆動源」と,「前記第2の爪部が前記基板の外周面に交わる方向に接離して,前記第1の爪部と前記第2の爪部とで前記基板を把持または開放するように,前記第2の把持板を移動させる単一の駆動源」である点で一致する。

(エ)上記(ア)-(ウ)から,引用発明の「基板搬送アーム20」は,本件補正発明の「把持部」に対応する。

(オ)引用発明の「アーム移動機構40」は,「基板搬送アーム20を,前進,下降,上昇,後退するように移動させる」ものであるから,「基板搬送アーム20」を「昇降させる昇降部」及び「水平方向に移動させるアーム部」を有することは明らかである。
すると,引用発明の「アーム移動機構40」は,本件補正発明の「前記把持部を昇降させる昇降部」及び「前記把持部を水平方向に移動させるアーム部」に相当する。
そして,引用発明の「制御部30」が,本件補正発明の「制御部」に対応する。

イ 以上から,本件補正発明と引用発明とは,以下の点で一致し,また,以下の点で相違する。
<一致点>
「 第1の把持板と,
前記第1の把持板により支持され,基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第1の爪部と,
前記第1の把持板に重なるように設けられた第2の把持板と,
前記第2の把持板により支持され,前記基板の外周面に当接する当接面を前記第1の把持板の表面に対して上下に有する第2の爪部と,
前記第2の爪部が前記基板の外周面に交わる方向に接離して,前記第1の爪部と前記第2の爪部とで前記基板を把持または開放するように,前記第2の把持板を移動させる単一の駆動源を有する把持部と,
前記把持部を昇降させる昇降部と,
前記把持部を水平方向に移動させるアーム部と,
制御部と,
を有する基板搬送装置。」

<相違点1>
「把持部」に関して,本件補正発明は「単一の駆動源」が,「前記第1の爪部及び前記第2の爪部の両方が前記基板の外周面に交わる方向に接離して,前記第1の爪部と前記第2の爪部とで前記基板を把持または開放するように,前記第1の把持板及び前記第2の把持板の両方を移動させる」のに対して,引用発明は,そのように特定されていない点。

<相違点2>
「制御部」に関して,本件補正発明は,「前記把持部を,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が前記基板を載置する前記第1の高さ位置に位置付けられる第1の位置まで,移動させるように前記アーム部を制御し,前記第1の位置に移動した前記把持部に,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が離れる方向に前記第1の把持板及び前記第2の把持板を共に移動させ,前記アーム部の水平位置を変えずに,前記把持部を,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が前記第1の高さ位置の上方に位置する前記第2の高さ位置に位置付けられる第2の位置まで,移動させるように前記昇降部を制御し,前記第2の位置に移動した前記把持部に,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が近づく方向に前記第1の把持板及び前記第2の把持板を共に移動させる」と特定されているのに対し,引用発明は,そのように特定されていない点。

(6)当審の判断
上記相違点1-2について検討する。

ア 相違点1について
基板搬送装置において,基板の外周面に当接する当接面を有する2つの部材の両方が前記基板の外周面に交わる方向に接離して,前記当接面を有する2つの部材とで前記基板を把持または開放するように,当接面を有する2つの部材を支持する部材の両方を移動させる単一の駆動源を有することは,周知技術1として開示されているように周知の事項である。
すると,引用発明に,当該周知の事項を採用し,相違点1に係る構成とすることは,当業者が容易になし得たものである。

イ 相違点2について
周知文献には,上下面に2枚の基板を把持することができる把持部を有する基板搬送装置の動作として,下面に基板を把持した把持部を,基板を載置する第1の高さ位置に位置付けられる第1の位置まで,移動させ(周知技術2の「エンドエフェクタ3裏面でのみウェハW2を把持している状態,ウェハW1とウェハW2が載置するべき段との隙間に対してエンドエフェクタ3を侵入させ,エンドエフェクタ3裏面のウェハW2を載置するべき段に位置決め」する点に対応する。),第1の位置に移動した把持部から下面の基板の把持を開放し(周知技術2の「裏面のプッシャ4を基端側に引くことによりエンドエフェクタ3の裏面からウェハW2が外れ,カセット上にウェハW2を載置させ」る点に対応する。),水平位置を変えずに,把持部を,第2の高さ位置に位置付けられる第2の位置まで,移動させ(周知技術2の「その後,エンドエフェクタ3を若干量上昇させ」る点に対応する。),第2の位置に移動した把持部の上面に基板を把持する(周知技術2の「今度はエンドエフェクタ3の上面にて直上のウェハW1を把持」する点に対応する。)こと,が記載されている。

ここで,把持部による基板の開放/把持の動作を特定することは,把持部の構成に併せて当業者が適宜なし得る設計的事項にすぎず,その動作を,前記第1の爪部及び前記第2の爪部が離れる/近づく方向に前記第1の把持板及び前記第2の把持板を共に移動させると具体化することに,格別の困難性は認められない。

すると,引用発明に,当該周知文献に記載された事項を採用し,相違点2に係る構成とすることは,当業者が容易になし得たものである。

(7)小括
上記で検討したごとく,相違点1-2に係る構成は当業者が容易に想到し得たものであり,そして,これらの相違点を総合的に勘案しても,本件補正発明の奏する作用効果は,上記引用発明及び当該技術分野の周知技術の奏する作用効果から予測される範囲のものにすぎず,格別顕著なものということはできない。
したがって,本件補正発明は,上記引用発明及び当該技術分野の周知技術に基づいて,当業者が容易に発明をすることができたものであり,特許法第29条第2項の規定により,特許出願の際独立して特許を受けることができない。

4 補正却下の決定のむすび
以上から,本件補正は,特許法第17条の2第6項において準用する同法第126条第7項の規定に違反するので,同法第159条第1項の規定において読み替えて準用する同法第53条第1項の規定により却下すべきものである。

よって,上記補正却下の決定の結論のとおり決定する。

第3 本願発明について
1 本願発明
令和 2年 6月30日にされた手続補正は,上記のとおり却下されたので,本願の請求項に係る発明は,本件補正前の特許請求の範囲の請求項1-7に記載された事項により特定されるものであるところ,その請求項1に係る発明(以下「本願発明」という。)は,上記「第2」の「1(2)」に,補正前の請求項1として記載されたとおりのものである。

2 原査定の拒絶の理由
原査定の拒絶の理由は,以下のとおりである。
理由2 この出願の請求項1-7に係る発明は,下記の引用文献1-5に記載された発明に基づいて,その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。

引用文献1 特開2003-289094号公報
引用文献2 米国特許出願公開第2002/71756号明細書
引用文献3 特開2006-41423号公報
引用文献4 実願昭63-141233号(実開平2-63990号)のマイクロフィルム
引用文献5 実願昭62-189179号(実開平1-93736号)のマイクロフィルム

3 引用例に記載されている技術的事項及び引用発明
原査定の拒絶の理由に引用された引用文献1,3-5は,前記「第2」の「3(2)」-「3(3)」に記載したとおりである。

4 対比・判断
本願発明は,前記「第2」の「3」で検討した本件補正発明に関する限定事項を削除したものである。
そうすると,本願発明の発明特定事項を全て含む本件補正発明が,前記「第2」の「3」に記載したとおり,引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから,上記限定事項を省いた本願発明も同様の理由により,引用発明及び周知技術に基づいて,当業者が容易に発明をすることができたものである。

第4 むすび
以上のとおり,本願の請求項1に係る発明は,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであるから,その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく,本願は拒絶すべきものである。

よって,結論のとおり審決する。

 
審理終結日 2021-03-31 
結審通知日 2021-04-06 
審決日 2021-04-21 
出願番号 特願2016-73092(P2016-73092)
審決分類 P 1 8・ 121- Z (H01L)
P 1 8・ 575- Z (H01L)
最終処分 不成立  
前審関与審査官 井上 和俊三浦 みちる  
特許庁審判長 辻本 泰隆
特許庁審判官 ▲吉▼澤 雅博
小田 浩
発明の名称 基板搬送装置及び基板処理装置  

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