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| 審決分類 |
審判 査定不服 2項進歩性 特許、登録しない。 A24F |
|---|---|
| 管理番号 | 1377669 |
| 審判番号 | 不服2020-14713 |
| 総通号数 | 262 |
| 発行国 | 日本国特許庁(JP) |
| 公報種別 | 特許審決公報 |
| 発行日 | 2021-10-29 |
| 種別 | 拒絶査定不服の審決 |
| 審判請求日 | 2020-10-22 |
| 確定日 | 2021-09-08 |
| 事件の表示 | 特願2017-525561「エアロゾル送達デバイス用MEMSベースセンサ」拒絶査定不服審判事件〔平成28年 5月19日国際公開、WO2016/077428、平成29年11月30日国内公表、特表2017-535265〕について、次のとおり審決する。 |
| 結論 | 本件審判の請求は、成り立たない。 |
| 理由 |
第1 手続の経緯 本願は、2015年11月11日(優先権主張 2014年11月12日 外国庁受理、米国(US))を国際出願日とする出願であって、その主な手続は以下のとおりである。 令和 1年10月 4日付け:拒絶理由通知書 令和 2年 4月14日 :手続補正書、意見書の提出 令和 2年 6月12日付け:拒絶査定(6月23日送達) 令和 2年10月22日 :審判請求書の提出 第2 本願発明について 1 本願発明 本願の請求項1?14に係る発明は、令和2年4月14日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項1?14に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項1に係る発明(以下「本願発明」という。)は、次のとおりのものである。 「【請求項1】 エアロゾル送達デバイスであって、 ハウジングと、 前記ハウジング内にある微小電気機械システムベース(MEMSベース)センサであって、前記ハウジングの少なくとも一部を通る空気流によって引き起こされる前記MEMSベースセンサ上の圧力を検出するように構成され、前記圧力を電気信号に変換し、前記電気信号を出力するように構成された、MEMSベースセンサと、 前記MEMSベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも1つの機能要素の動作を制御するように構成されたマイクロプロセッサと、を備え、 前記MEMSベースセンサが、可変キャパシタを形成する背面板と微細加工された圧力感知ダイヤフラムとを有するダイを含むMEMSマイクロホン、または、微細加工された圧力感知ダイヤフラムとダイヤフラム上に配設された1つ以上のピエゾ抵抗器とを有するダイを含むMEMS圧力センサ、であり、 入力電圧が、前記可変キャパシタまたは前記1つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が前記ダイヤフラムの動き及びそれによる前記可変キャパシタまたは前記1つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗または静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量または前記抵抗の前記変化が前記可変キャパシタまたは前記1つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧またはそのデジタル表現が、前記MEMSベースセンサによって前記電気信号として出力される、エアロゾル送達デバイス。」 2 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は、次のものを含む。 この出願の請求項1に係る発明は、その出願(優先日)前に日本国内又は外国において、頒布された引用文献1ないし6に記載された発明に基いて、その出願(優先日)前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者(以下「当業者」という。)が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 引用文献1.米国特許出願公開第2013/0298905号明細書 引用文献2.特開2005-274175号公報 引用文献3.特開2012-225925号公報 引用文献4.特表2007-523700号公報 引用文献5.特開2013-154465号公報 引用文献6.Stephen Beeby et al.,MEMS Mechanical Sensors,ARTECH HOUSE,INC,2004年4月30日,132ページ 3 引用文献 (1)引用文献1 米国特許出願公開第2013/0298905号明細書(以下「引用文献1」という。)には、以下の事項が記載されている、または、記載されているといえる(「・・・」は記載の省略を意味して、下線は当審にて付した。以下同様である。)。 (1-a) 「[0033] In an example embodiment, the invention provides a portable electronic vaporizing device having an outer shell housing internal components that facilitate heating and vaporizing of the selected substance disposed within for inhalation by a user. The device may be configured as a portable handheld device having an internal power source to allow for use over an extended period of time and/or use on multiple occasions without requiring recharging or replacement of the power source. The device is further configured to provide improved functionality, increased capabilities, and an enhanced smoking (more accurately inhalation of vapor) experience when compared to conventional electronic smoking and vaporizing devices. In certain aspects, the device allows for heating and vaporization of any of a variety of substances selected by a user for inhalation, preferably using various combinations of convection, radiation and conduction so as to more efficiently heat and vaporize the selected substance while providing a reduced lag time in vaporizing the material, thereby allowing for an enhanced smoking experience, similar to actual traditional smoking using combustion without the associated drawbacks. ・・・ [0064] In the above equations, the power required to obtain heating of air to the target temperature of about 188 ℃. is about 27 Watts for air flow 0.125 L/s at 20 ℃. (room temperature) and 17.2 Watts for air flow of 0.125 L/s at 200 ℃.; thus, the power required upon initial inhalation is often higher than the power required once the heating unit has reached operating temperature. Therefore, many devices include a thermistor within the heating chamber or adjacent the heating unit so that the power supplied can be controlled and varied as needed to heat the air to the desired temperature. In certain embodiments, the device is configured to energize the heating unit with power of about 10 to 30 Watts, preferably about 15-25 Watts, even more preferably between 17 and 27 Watts. In some embodiments, the power supply is configured (such as with a microprocessor or microcontroller) so as to vary the power supply according to a characteristic of usage, such as temperature, air flow speed and/or elapsed time after inhalation is detected. For example, higher powers may be required to sufficiently heat the air flow for volumetric flow rates higher than 0.125 L/s, or if an initial temperature of air flow is substantially lower than room temperature. In certain aspects, the above factors are approximated and one or more duty cycles or pre-determined power profiles may be used with each inhalation to provide sufficient power. For example, a typical duty cycle in terms of a ratio between heating time (e.g. the duration for which the heating unit is energized and heated) versus non-heating time (e.g. duration for which the heating unit is de-energized between heating times) may be within a range of about 10% to 50%, about 20% to 40%, or about 33%. In terms of duration, the duty cycle heating time versus non-heating time may be about 2-8 seconds on versus 5-15 seconds off, about 3-6 seconds on versus 7-14 seconds off, or about 5 seconds on versus 10 seconds off In some embodiments, the duty cycle may be set by a user, for example by changing the duration and frequency of inhalations during use. Some embodiments may further utilize the thermistor or an elapsed time to alter the cycle or power profile, for example to prevent the device from overheating or to limit the time which the heating element is continuously heated. Often, the device includes a cut-off time after which the heater will turn off when continuously heated, the cut-off time being a duration of about 10 seconds or less, 7 seconds or less, or, in some cases, 5 seconds or less, so as to allow for sufficient heating to vaporize the substance, while conserving power usage during use. ・・・ [0066] In an example embodiment, such as in FIGS. 5A-5B and FIGS. 6A-6B, the device includes various electronics and sensors for use in activating and controlling operation of the device, such as described above in regard to the power source 30 in the preceding section. The device includes printed circuit board components 32 having a memory module with firmware recorded thereon, for use in activating and/or controlling the heating unit and distal light source described above in response to various inputs from a user or various sensors or components of the device. In various embodiments, the device includes a thermistor (not shown) disposed adjacent the heating unit or within the airflow of the device for measuring temperature in real-time so as to allow dynamic adjustment of the heating unit temperature, and a sensor 34 for detecting air flow and velocity from user inhalation. The inhalation sensor 34 may be an air pressure sensor, such as capacitive type pressure sensor or a piezo resistive element, for example a MEMS gauge pressure sensor having low power consumption. In some embodiments, the device may use a combined temperature and pressure sensor such as a miniature digital barometer having both temperature and pressure outputs. [0067] In an example embodiment, the outputs of the pressure sensor 34 and/or thermistor are used to activate or control the heating unit and/or the distal light source, such as described above. Generally, when a user inhales, air velocity increases and the pressure sensor 34 detects a sufficient pressure change sending an output signal to a PCB component, processor or microcontroller. In response to the signal, the heating unit is energized by the power source to provide sufficient heating; the power supply to the heating unit may be controlled or halted in response to an output from a thermistor or in response to various other variables, as described previously. In some embodiments, the heating unit temperature is adjusted in real-time with air velocity to maintain optimal vaporization, and the unit may be configured to turn itself off when inhalation ceases or after a specified time, such as 10 seconds or less. Air velocity data from the sensor can also be used as an input to the distal light source so as to allow for dynamic adjustment of the brightness of the LEDs at the distal tip of the device.」 (当審訳:[0033]一実施形態において、本発明は、ユーザによる吸入のために内部に配置された選択された物質の加熱および気化を容易にする内部構成要素を収容する外側ハウジングを有する携帯型電子気化装置を提供する。装置は、電源の再充電又は交換を必要とすることなく、複数回使用時間及び/又は使用の長期間にわたる使用を可能にするために、内部電源を有する携帯型手持ち器具として構成されてもよい。装置は、従来の電子喫煙気化装置と比べたときに、さらに改善された機能は、増大した能力、および増強された“喫煙” (より正確には蒸気の吸入)の経験を提供するように構成されている。特定の態様では、装置は、吸入のためにユーザによって選択された様々な物質のいずれかの加熱および気化を可能にし、好ましくは、対流、放射および伝導の様々な組み合わせを使用して、選択された物質をより効率的に加熱および気化すると同時に、材料を気化させる際の遅延時間を低減して、関連する欠点のない燃焼を使用する実際の従来の喫煙と同様に、“喫煙”体験を向上させることができます。 ・・・ [0064]上記の式において、約188℃の目標温度までの加熱を得るために必要とされるパワーは、20℃(室温)で0.125L/sのエアフローで約27ワット、200℃で0.125L/秒のエアフローで訳17.2ワットであるため、この加熱ユニットが動作温度に達してからの吸入に必要な電力が必要な電力よりも高いことが多い。したがって、多くの装置は、サーミスタを加熱室内や発熱部近傍に備え、電源は、空気を所望の温度まで加熱するために必要に応じて変化させて制御できるようになっている。特定の実施形態では、この装置は加熱ユニットを約10?30ワットの電力で加熱、好ましくは15-25ワット程度、より好ましくは17ワットと27ワットとの間で加熱するよう構成されている。いくつかの実施形態では、吸入が検出された後に、使用法の特性、温度、空気流の速度及び/又は経過時間などに応じて電力供給を変化させるように電源が構成される(マイクロプロセッサまたはマイクロコントローラを用いて)。例えば、0.125リットルよりも大きい体積流量の場合、あるいは、空気流の初期温度は室温より実質的に低い場合には、空気流を十分に加熱するために、より高い出力が必要とされることがある。特定の態様では、上記要素を接近させ、1つまたは複数のデューティサイクルまたは所定の電力プロファイルは、十分な電力を提供するために各吸入で使用することができる。例えば、加熱時間(例えば、加熱ユニットは、通電されて加熱される時間)対非加熱時間(例えば、加熱ユニットは、加熱時間の間遮断される期間)との比の典型的なデューティサイクルは、約10%?50%、約20%?40%の範囲、または約33%の範囲内にすることができる。持続時間の点では、デューティサイクルは、加熱時と非加熱時間は約2-8秒“オン”に対して5-15秒“オフ”、約3-6秒“オン”に対して7-14秒“オフ”、または約5秒“オン”に対して10秒間“オフ”でよい。いくつかの実施形態では、デューティサイクルは、使用中の吸入の持続時間及び周波数を変化させることにより、例えば、ユーザーによって設定されてもよい。いくつかの実施形態は、サーミスタまたは経過時間がサイクルまたは電力プロファイルを変更するための装置が過熱するのを防止するために、又は加熱エレメントが連続的に加熱される時間を制限するために利用することができる。多くの場合、装置は、カットオフ時間を含み、カットオフ時間の後、ヒーターは、加熱を継続するとオフし、カットオフ時間は、約10秒以下、7秒以下の期間、又は、ある場合には、5秒以下であることを特徴とするカットオフ時間を含み、十分な加熱を可能にする物質を蒸発させるように、使用中の電力使用量を節約する。 ・・・ [0066]一実施形態では、図5A?5Bおよび図6A?6Bのように、装置は、上で電源30に関して述べたように、装置の作動および制御に使用するための様々な電子コンポーネントおよびセンサーを含む。装置は、ファームウエアが記録されたメモリモジュールを有するプリント回路基板部品32を有し、ユーザ又は装置の種々のセンサ又は構成要素からの様々な入力に応答して上記加熱部および遠位の光源を作動し及び/又は制御するのに使用する。様々な実施形態において、装置は、加熱ユニットの温度を動的に調整できるように温度をリアルタイムで測定するために、加熱ユニットに隣接して、またはデバイスの気流内に配置されたサーミスタ(図示せず)と、ユーザの吸入による空気の流れおよび速度を検出するためのセンサ34とを含む。吸入センサ34は、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子、例えば、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサであってもよい。いくつかの実施形態では、装置は、温度および圧力の両方の出力を有する小型デジタル気圧計に結合された温度及び圧力センサを使用することができる。 [0067]一実施形態では、圧力センサ34および/またはサーミスタの出力は、上記のように、加熱ユニットおよび/または遠位光源を作動または制御するために使用される。一般的に、使用者が吸入すると、空気の速度が増大し、圧力センサ34は、プリント回路基板、プロセッサまたはマイクロコントローラへの出力信号を送信するのに十分な圧力変化を検出する。この信号に応答して、加熱ユニットは、十分な加熱を提供するように電源により通電され、加熱部への電力供給は、サーミスタからの出力に応答して、又は種々の他の変数に応答して制御されるか、または停止させることができる。いくつかの実施形態では、加熱ユニットの温度は、最適な蒸発を維持するため空気速度に応じてリアルタイムに調整することができ、吸入がなくなったとき、または指定された時間の後、例えば、10秒以下のような後、ユニットは、それ自体をオフにするように構成することができる。センサーからのデータは、デバイスの遠位先端にLEDの輝度の動的調整を可能にするように、遠位の光源への入力として使用することができる。) (1-b) 「  」 (1-c) 上記(1-a)に記載された「本発明は、ユーザによる吸入のために内部に配置された選択された物質の加熱および気化を容易にする内部構成要素を収容する外側ハウジングを有する携帯型電子気化装置を提供する。」及び「装置は、従来の電子喫煙気化装置と比べたときに、さらに改善された機能は、増大した能力、および増強された“喫煙” (より正確には蒸気の吸入)の経験を提供するように構成されている。」という事項から、「携帯型電子気化装置」は、喫煙体験を提供するものであることが明らかであり、電子喫煙気化装置であるといえる。 (1-d) 上記(1-a)に記載された「本発明は、ユーザによる吸入のために内部に配置された選択された物質の加熱および気化を容易にする内部構成要素を収容する外側ハウジングを有する携帯型電子気化装置を提供する。」及び「吸入センサ34は、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子、例えば、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサであってもよい。」という事項と(1-b)に示された図面(特に、FIG.6A、FIG.6B)とから、吸入センサ34が外側ハウジング内にあることは明らかである。 (1-e) 上記(1-a)の記載事項及び当該記載事項からいえる(1-b)ないし(1-d)の事項を総合すると、引用文献1には、次の発明が記載されていると認められる(以下「引用発明」という。)。 「電子喫煙気化装置であって、 外側ハウジングと、 前記外側ハウジング内にあり、使用者が吸入すると、圧力変化を検出して出力信号を送信する、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子のような吸入センサ34であって、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサと、 前記圧力センサ34からの出力信号に応答して、加熱ユニットを制御するマイクロプロセッサと、を備える電子喫煙気化装置。」 (2)引用文献2 特開2005-274175号公報(以下「引用文献2」という。)には、以下の事項が記載されている。 (2-a) 「【0002】 静電容量型の圧力センサは、高精度の測定が可能でかつマイクロマシン(MEMS)技術を用いて大量生産が可能であることから真空装置等の圧力センサとして広く用いられている。このような静電容量型圧力センサの一例を図5及び図7に示す。 図5の圧力センサは、容量電極11及び参照電極12を備えた第1ガラス層1、ダイヤフラム21を備えたシリコン層2、及び通気口31を備えた第2ガラス層3の三層構造を有し、シリコン層2には溝が形成され、第1ガラス層1と接合されて圧力基準室5が形成される。この圧力基準室5内には、例えば、ガスを吸着除去する非蒸発型ゲッタ4が配置され、内部は高真空に維持されている。 【0003】 図5に示した圧力センサは、例えば図6に示す製造方法により作製される。 通常、厚さ350μm程度のシリコン基板に酸化膜22形成し、パターニングした後、シリコン層2を例えばEPW(エチレンジアミンピロカテコール水溶液)を用いて、例えば10μm程度エッチングして圧力基準室用の溝23を形成する(A)。続いて、酸化膜22を除去してシリコン層2の表面にボロンの熱拡散を行い、例えば7μmの高濃度ボロン拡散層27を形成する(B)。 【0004】 その後、容量電極11及び参照電極12,さらにはこれら電極の端子用の溝16を形成した、厚さ1mm程度のガラス基板1と上記シリコン層2を陽極接合法により接合する(C)。酸化膜22をパタニングした後、EPWを用いてシリコンのエッチングを行い、ダイヤフラム21を形成する(D)。エッチングは高濃度ボロン拡散層27で停止し、この高濃度ボロン拡散層27がダイヤフラムの厚さとなる。 最後に、電極端子用の溝16の底部を除去して第1ガラス層1を貫通させるとともに、酸化膜22を除去する。続いて、シリコン層2と通気口が形成されたガラス層基板3とを陽極接合し、さらに電極端子13?15を形成してセンサを完成する。 【0005】 通気口31を通して気体圧力がダイヤフラム21に加わると、気体圧力と圧力基準室5の圧力差に応じてダイヤフラム21は容量電極11側に変位する。これにより容量電極端子13とダイヤフラムの電極端子15間の静電容量は増加し、その増加量を電圧に変換・増幅する回路(不図示)で信号処理することによって圧力が出力される。なお、参照電極12及びその端子14は、環境温度の変動によって圧力センサが機械的に歪み、その結果、静電容量が変化して発生する測定誤差を補正するために用いる。このような圧力センサは、圧力が所定値以上になると、ダイヤフラムが容量電極と接触してしまうため、比較的狭い圧力範囲の測定に用いられる。」 (2-b) 「【図3】  」 「【図5】  」 (2-c) 上記(2-a)及び(2-b)の記載事項を総合すると、引用文献2には、次の技術が記載されていると認められる(以下「引用文献2技術」という。)。 「容量電極11を備えた第1ガラス層1とMEMS技術を用いて形成されたダイヤフラム21を備えたシリコン層2とを有する第2ガラス層3を含む静電容量型気体圧力センサーであり、気体圧力が前記ダイヤフラム21の動き及びそれによる静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量の前記変化が出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧が、信号として出力される、静電容量型気体圧力センサー。」 (3)引用文献3 特開2012-225925号公報(以下「引用文献3」という。)には、以下の事項が記載されている。 (3-a) 「【0009】 図1が、センサ構造102と別の構造106との間に挿入されるセンサ構造102及び封止構造104を含む検出システム100の例示的な実施形態を示す。下述により詳細に記載されるように、代表的な実施形態において、センサ構造102は、半導体基板110(又はダイ)のダイヤフラム領域108上に形成される圧力検出装置を含む微小電気機械素子(MEMS)圧力センサとして実現される。この点において、ダイヤフラム領域108は、取り囲んでいる半導体基板110の周囲に対して動かす、撓む又は別の言い方では移動することができる、半導体基板110の一部を参照する。下述により詳細に記載されるように、封止構造104がダイヤフラム領域108の周辺を取り囲む、別の言い方では包囲し、ダイヤフラム領域108の1つの側における構造102と106との間のチャンバ112内に固定基準圧力を設けるために構造102と106との間に気密封止を供し、同時に、ダイヤフラム領域108の反対側は、周囲圧力に曝される。 【0010】 代表的な実施形態において、半導体基板110は、ダイヤフラム領域108を画成するための1つ又は複数の半導体製造工程ステップにさらされる、単結晶シリコン材料として実現される。この点において、半導体基板110にキャビティ114(又は開口)を形成し、同時に、エッチングされない半導体基板110の周囲部分の間に内部ダイヤフラム領域108を残すために、半導体基板110の表面111は、従来の方法でエッチングされてもよい。便宜のために、キャビティ114を形成するためにエッチングされた半導体基板110の表面111は、また、圧力センサ構造102の裏表面(又は裏側)としてここで参照され得るが、半導体基板110の反対の表面113は、また、圧力センサ構造102の上表面(又は上側)としてここで参照され得る。 【0011】 上述記載されるように、例示的な実施形態において、圧力検出装置は、キャビティ114に対向するダイヤフラム領域108の上表面113上に形成される。圧力検出装置は、電気信号を発生させる又は別の言い方では作り出すに構成され、該電気信号は、ダイヤフラム領域108の変位又は偏向の量によって影響され、よって、封止されたチャンバ112によってダイヤフラム領域108上に印加された固定基準圧力と比較して、ダイヤフラム領域108上にキャビティ114によって印加された圧力の量を示す。例えば、1つの実施形態に従って、圧力検出装置は、ホイートストンブリッジに構成される4つのピエゾ抵抗素子として実現されてもよく、ここでは、ホイートストンブリッジの一対の出力ノード間の電圧における、対応する差を作り出すために、ダイヤフラム領域108の変位又は偏向は、ピエゾ抵抗素子の抵抗に影響を及ぼす。ピエゾ抵抗素子は、従来の方法で形成され得、例えば、ダイヤフラム領域108の偏向に関連して変化するドープされた領域の抵抗を形成するために、ダイヤフラム領域108の上側に所望の導電性タイプのイオンを注入することによって形成されてもよい。例示的な実施形態において、キャビティ114における周囲圧力によって、ダイヤフラム領域108に印加された圧力を示す出力電圧信号を与えるために、ホイートストンブリッジの出力ノードは、対応する出力端子に電気的に接続される。」 (3-b) 「【図1】  」 (3-c) 上記(3-a)及び(3-b)の記載事項を総合すると、引用文献3には、次の技術が記載されていると認められる(以下「引用文献3技術」という。)。 「半導体製造工程ステップにより画成されたダイヤフラム領域108と前記ダイヤフラム領域の上表面113上に形成された4つのピエゾ抵抗素子とを有するダイを含むMEMS圧力センサであり、前記ダイヤフラム領域108に印加された圧力が前記前記ダイヤフラム領域108の変位又は偏向及びそれにより前記4つのピエゾ抵抗素子の抵抗に影響(変化)を生じさせ、前記抵抗の前記影響(変化)が前記4つのピエゾ抵抗素子の対応する出力端子の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧が、出力電圧信号として出力される、MEMS圧力センサ。」 4 対比 本願発明と引用発明とを対比する。 (1)電子喫煙気化装置によって気化された喫煙成分の一部がエアロゾル化することは明らかであるから、引用発明の「電子喫煙気化装置」は、本願発明の「エアロゾル送達デバイス」に相当する。また、引用発明の「外側ハウジング」は、本願発明の「ハウジング」に相当する。 (2)引用発明の「吸入センサ34」は、「MEMSゲージ圧センサ」であるから、本願発明の「微小電気機械システムベース(MEMSベース)センサ」に相当する。そして、引用発明の「吸入センサ34」が「前記外側ハウジング内にあ」る点は、本願発明の「MEMSベースセンサ」が「前記ハウジング内にある」点に相当する。さらに、引用発明の「吸入センサ34」が「使用者が吸入すると圧力変化を検出して出力信号を送信する」点は、本願発明の「MEMSベースセンサ」が「前記ハウジングの少なくとも一部を通る空気流によって引き起こされる前記MEMSベースセンサ上の圧力を検出するように構成され、前記圧力を電気信号に変換し、前記電気信号を出力するように構成された」点に相当する。 (3)引用発明の「加熱ユニット」は、本願発明の「前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも1つの機能要素」に相当する。そうすると、引用発明の「前記圧力センサ34からの出力信号に応答して、加熱ユニットを制御する」は、本願発明の「前記MEMSベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも1つの機能要素の動作を制御する」に相当する。したがって、引用発明の「前記圧力センサ34からの出力信号に応答して、加熱ユニットを制御するマイクロプロセッサ」は、本願発明の「前記MEMSベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも1つの機能要素の動作を制御するように構成されたマイクロプロセッサ」に相当する。 (4)静電容量式圧力センサが、可変キャパシタを形成するもの有していることは明らかであるから、引用発明の「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサ」「であって、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサ」は、本願発明の「可変キャパシタを形成する背面板と微細加工された圧力感知ダイヤフラムとを有するダイを含むMEMSマイクロホン」と、「可変キャパシタを形成する」もの「を有する」「MEMS」圧力センサである点に限り、一致する。 さらに、静電容量式圧力センサは、入力電圧が、可変キャパシタに印加された場合、圧力が可変キャパシタの静電容量の変化の変化を生じさせ、静電容量の変化が可変キャパシタの両端の出力の変化を引き起こし、前記出力が、静電容量式圧力センサによって電気信号として出力されるものであるから、引用発明の「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサ」「であって、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサ」は、本願発明の「入力電圧が、前記可変キャパシタ」「に印加された場合、」「前記可変キャパシタ」「の」「静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量」「の前記変化が前記可変キャパシタ」「の両端の出力」「変化を引き起こし、前記出力」「またはそのデジタル表現が、前記MEMSベースセンサによって前記電気信号として出力される」という点に限り、一致する。 (5)引用発明の「ピエゾ抵抗素子」は、本願発明の「ピエゾ抵抗器」に相当するから、引用発明の「ピエゾ抵抗素子のような吸入センサ34であって、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサ」は、本願発明の「微細加工された圧力感知ダイヤフラムとダイヤフラム上に配設された1つ以上のピエゾ抵抗器とを有するダイを含むMEMS圧力センサ」と、「1つ以上のピエゾ抵抗器」「を有する」「MEMS圧力センサ」である点に限り、一致する。 さらに、ピエゾ抵抗素子を用いる圧力センサは、入力電圧が、ピエゾ抵抗素子に印加された場合、圧力がピエゾ抵抗素子の抵抗の変化を生じさせ、抵抗の変化がピエゾ抵抗素子の両端の出力の変化を引き起こし、前記出力が圧力センサによって電気信号として出力するものであるから、引用発明の「ピエゾ抵抗素子のような吸入センサ34であって、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサ」は、本願発明の「入力電圧が、」「前記1つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が」「前記1つ以上のピエゾ抵抗器の」「抵抗」「の変化を生じさせ、」「前記抵抗の前記変化が」「前記1つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力」「の変化を引き起こし、前記出力」「またはそのデジタル表現が、前記MEMSベースセンサによって前記電気信号として出力される」という点に限り、一致する。 したがって、本願発明と引用発明とは、 「エアロゾル送達デバイスであって、 ハウジングと、 前記ハウジング内にある微小電気機械システムベース(MEMSベース)センサであって、前記ハウジングの少なくとも一部を通る空気流によって引き起こされる前記MEMSベースセンサ上の圧力を検出するように構成され、前記圧力を電気信号に変換し、前記電気信号を出力するように構成された、MEMSベースセンサと、 前記MEMSベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも1つの機能要素の動作を制御するように構成されたマイクロプロセッサと、を備え、 前記MEMSベースセンサが、可変キャパシタを形成するものを有するMEMS圧力センサ、または、1つ以上のピエゾ抵抗器を有するMEMS圧力センサ、であり、 入力電圧が、前記可変キャパシタまたは前記1つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が前記可変キャパシタまたは前記1つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗または静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量または前記抵抗の前記変化が前記可変キャパシタまたは前記1つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力の変化を引き起こし、前記出力またはそのデジタル表現が、前記MEMSベースセンサによって前記電気信号として出力される、エアロゾル送達デバイス。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点＞ MEMSベースセンサ(MEMSゲージ圧センサ)に関して、本願発明は「可変キャパシタを形成する背面板と微細加工された圧力感知ダイヤフラムとを有するダイを含むMEMSマイクロホン、または、微細加工された圧力感知ダイヤフラムとダイヤフラム上に配設された1つ以上のピエゾ抵抗器とを有するダイを含むMEMS圧力センサ」であるのに対して、引用発明は「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子のような吸入センサ34であって、消費電力が少ないMEMSゲージ圧センサ」であり、 圧力が、可変キャパシタまたは1つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗または静電容量の変化を生じさせる機序に関して、本願発明は「圧力が」「生じさせ」る「前記ダイヤフラムの動き」「により」、抵抗または静電容量の変化を生じさせるのに対して、引用発明は「圧力」がどのように抵抗または静電容量の変化を生じさせるのかが不明であり、 前記可変キャパシタまたは前記1つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力の変化に関して、本願発明は「電圧」の変化であるのに対して、引用発明は具体的に何の変化か不明である点。 5 判断 (1)相違点に係る本願発明の構成について 本願発明の「マイクロホン」に関して、本願明細書【0062】には、次のとおり記載されている。 「【0062】 理解されるように、MEMSマイクロホンは、携帯電話及び補聴器の音響用途にしばしば使用され、その後の複製及びスピーカによる出力のために音声を取り込む。これらの用途には、通常、音響出力の高い忠実度を望まれ、その結果、MEMSマイクロホンは、より正確な音響をキャプチャして複製するために、より複雑なバイアス発生器回路と、様々な音響グレードのフィルタリング及び増幅ステージなどの追加の回路を含むことが多い。しかしながら、エアロゾル送達デバイスの文脈では、この追加の回路は有用ではないかもしれない。いくつかの例では、MEMSマイクロホンは、これらの構成要素のうちの1つ以上の単純化されたバージョンを含むことができ、もしくはそれらを完全に含まなくてもよい。すなわち、ダイ202,206を含むMEMSベースセンサ200は、より単純化されたバイアス発生器回路、より少ないフィルタリングお及び/またはより単純な非線形増幅を有する集積回路パッケージ210にパッケージングされてもよく、本明細書に記載されるようなエアロゾル送達デバイスの多くの用途に有用であり得る。」 上記記載を踏まえると、より単純化されたバイアス発生器回路といえる、可変キャパシタを形成する背面板と圧力感知ダイヤフラムとを有する気体圧力センサーは、本願発明における「マイクロホン」(単純化されたバージョン)であるといえる。 そして、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサにおいて、「可変キャパシタを形成する背面板(容量電極11を備えた第1ガラス層1)と微細加工された圧力感知ダイヤフラム(MEMS技術を用いて形成されたダイヤフラム21を備えたシリコン層2)とを有するダイ(第2ガラス層3)を含むマイクロホン(気体圧力センサー)であり、入力電圧が、前記可変キャパシタに印加された場合、前記圧力が前記ダイヤフラムの動き及びそれによる前記可変キャパシタの静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量の前記変化が前記可変キャパシタの両端の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧またはそのデジタル表現が、電気信号として出力される」ものは、引用文献2技術のように、本願の優先日より前の周知技術である(以下「周知技術1」という。)。 そうすると、引用発明における「MEMSゲージ圧センサ」が「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサ」である場合に、周知技術1を採用して、相違点に係る本願発明の構成とすることは、当業者にとって容易である。 また、ピエゾ抵抗素子を用いる圧力センサにおいて、「微細加工された圧力感知ダイヤフラム(半導体製造工程ステップにより画成されたダイヤフラム領域108)とダイヤフラム上(前記ダイヤフラム領域の上表面113)に配設された1つ以上のピエゾ抵抗器(4つのピエゾ抵抗素子)とを有するダイ(ダイ)を含むMEMS圧力センサ(MEMS圧力センサ)、であり、入力電圧が、前記1つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が前記ダイヤフラムの動き(変位又は偏向)及びそれによる前記1つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗の変化(影響)を生じさせ、前記抵抗の前記変化が前記1つ以上のピエゾ抵抗器の両端(対応する出力端子)の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧またはそのデジタル表現が、電気信号(出力電圧信号)として出力される」ものは、引用文献3技術のように、本願の優先日より前の周知技術である(以下「周知技術2」という。)。 そうすると、引用発明における「MEMSゲージ圧センサ」が「ピエゾ抵抗素子」を用いる圧力センサである場合に、周知技術2を採用して、相違点に係る本願発明の構成とすることは、当業者にとって容易である。 (2)本願発明の効果について 本願発明が奏する効果は、引用発明及び周知技術1又は周知技術2から当業者が予測し得る程度のものであって、格別のものではない。 (3)請求人の主張について 請求人は、令和2年10月22日に提出した審判請求書において、 「引用文献の何れかを始点としましても、当業者は、エアロゾル送達デバイス内の非常に特定のダイ配置を有する微細機械加工されたセンサを適用するためのヒントは得られないものと思料致します。また、最初の拒絶理由通知書への応答においても申しましたように、対応の欧州審査官も、『たとえそのようなセンサが標準的な電子部品として存在しても、様々な利用可能なセンサの中からそれを選択し、それをエアロゾル送達デバイスにおける特定の使用に適合させることは自明ではなく、これはさらなる要件(加熱およびエアロゾルに対する耐性など)を含むものである』と述べております(EP 18 188 661.5に関する拡張欧州サーチレポートのシート3)。 よって、引用された引用文献に従った概略的に示されたセンサを、請求項に記載されたセンサに変換するために必要となる多数の修正は、特に、請求項に記載された残りの機能的特徴を考慮する場合に、自明な設計選択肢(引用文献の単体はもちろん、それらの如何なる組み合わせを考慮しても)と見なすことはできないものと思料致します。」 として、本願発明は、引用文献によって、その進歩性を否定されるものではないとの旨を主張している。 ここで、請求項1には、「エアロゾル送達デバイス」内における、「非常に特定のダイ配置」を特定する事項は記載されておらず、また、請求項1に記載された事項からは、「非常に特定のダイ配置」は読み取れず、請求人が審判請求書において主張する「非常に特定のダイ配置」が具体的に何を示すのかが明確ではない。また、仮に「非常に特定のダイ配置」が請求項1に記載された事項によって特定されているとしても、請求項1に記載された事項によって特定されるセンサの構造等は、引用発明に周知技術1又は周知技術2を適用することによって実現されるものにすぎない。 さらに、「引用された引用文献に従った概略的に示されたセンサを、請求項に記載されたセンサに変換するために必要となる多数の修正」は、引用発明に周知技術1又は周知技術2を適用することによって実現されるものであり、例えば「加熱およびエアロゾルに対する耐性など」への対応が必要であるとしても、その対応は当業者が当然になし得る程度のことにすぎない。なお、請求項1には、「加熱およびエアロゾルに対する耐性など」に関して具体的な記載はなく、請求項1の記載に基づかない主張である。 そうすると、請求人の上記主張は採用できない。 6 小括 上記1ないし5の検討によれば、本願発明は、引用発明、周知技術1及び周知技術2に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定により、特許を受けることができない。 第3 むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。 |
| 別掲 |
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| 審理終結日 | 2021-03-26 |
| 結審通知日 | 2021-03-30 |
| 審決日 | 2021-04-15 |
| 出願番号 | 特願2017-525561(P2017-525561) |
| 審決分類 |
P
1
8・
121-
Z
(A24F)
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| 最終処分 | 不成立 |
| 前審関与審査官 | 根本 徳子 |
| 特許庁審判長 |
林 茂樹 |
| 特許庁審判官 |
山崎 勝司 山田 裕介 |
| 発明の名称 | エアロゾル送達デバイス用MEMSベースセンサ |
| 代理人 | 特許業務法人川口國際特許事務所 |