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審決分類 審判 全部申し立て 1項3号刊行物記載  C23C
審判 全部申し立て 2項進歩性  C23C
審判 全部申し立て 発明同一  C23C
審判 全部申し立て 特36条6項1、2号及び3号 請求の範囲の記載不備  C23C
審判 全部申し立て 特36条4項詳細な説明の記載不備  C23C
管理番号 1382358
総通号数 3 
発行国 JP 
公報種別 特許決定公報 
発行日 2022-03-25 
種別 異議の決定 
異議申立日 2021-01-06 
確定日 2021-10-28 
異議申立件数 2 
訂正明細書 true 
事件の表示 特許第６７２２００４号発明「溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 
結論 特許第６７２２００４号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜５〕、〔６〜９〕について訂正することを認める。 特許第６７２２００４号の請求項１、４〜９に係る特許を維持する。 特許第６７２２００４号の請求項２〜３に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。 
理由 第１ 手続の経緯
特許第６７２２００４号（請求項の数９。以下、「本件特許」という。）の請求項１〜９に係る特許についての出願（特願２０１６−４３９３９号。以下、「本願」という。）は、平成２８年３月７日（優先権主張 平成２７年５月８日）の出願であって、令和２年６月２３日にその特許権の設定の登録がされ、同年７月１５日に特許掲載公報が発行された。
その後、令和３年１月６日に、特許異議申立人 本間裕美（以下、「申立人１」という。）により、すべての請求項に係る特許に対して特許異議の申立てがされ、同年１月１４日に、特許異議申立人 青山敬子（以下、「申立人２」という。）により、すべての請求項に係る特許に対して特許異議の申立てがされ、同年５月１７日付けで取消理由が通知され、同年７月１９日に特許権者により意見書の提出及び訂正請求（以下、「本件訂正請求」という。）がなされ、同年８月２３日に申立人２により意見書の提出がされ、同年８月３０日に申立人１により意見書の提出がされたものである。

第２ 訂正請求について
１ 訂正請求の趣旨、及び、訂正の内容
（１）訂正請求の趣旨
本件訂正請求による訂正（以下、「本件訂正」という。）は、特許第６７２２００４号の特許請求の範囲を、令和３年７月１９日付けの訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１〜９について訂正することを求めるものであり、その訂正の内容は以下のとおりである。

（２）訂正の内容
ア 訂正事項１
請求項１において、
本件訂正前の「前記希土類元素の酸化物を実質的に含まない、溶射用材料。」を、
本件訂正後の「前記希土類元素の酸化物を実質的に含まず、
さらに、前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている、溶射用材料。」に訂正する（下線は訂正箇所を示す。以下同じ。）。
請求項１の記載を直接又は間接的に引用する請求項４〜５も同様に訂正する。

イ 訂正事項２
請求項２を削除する。

ウ 訂正事項３
請求項３を削除する。

エ 訂正事項４
請求項４において、
本件訂正前の「請求項１〜３のいずれか１項に記載の溶射用材料。」を、
本件訂正後の「請求項１に記載の溶射用材料。」に訂正する。

オ 訂正事項５
請求項５において、
本件訂正前の「請求項１〜４のいずれか１項に記載の溶射用材料を」を、
本件訂正後の「請求項１または４記載の溶射用材料。」に訂正する。

カ 訂正事項６
請求項６において、
本件訂正前の「前記希土類元素オキシハロゲン化物として、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は、１．１以上である希土類元素オキシハロゲン化物を含む、溶射皮膜。」を、
本件訂正後の「前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む、溶射皮膜。」に訂正する。
請求項６の記載を直接又は間接的に引用する請求項７〜９も同様に訂正する。

２ 訂正の適否について
（１）訂正目的・新規事項の有無・特許請求の範囲の拡張又は変更について
ア 訂正事項１について
訂正事項１は、請求項１について、「さらに、前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている」ことを特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
そして、上記訂正事項１は、本件訂正前の請求項２及び本件特許の願書に添付した明細書（以下、「本件明細書」という。）の【０００９】、【００３２】の記載を根拠とするものであるから、本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

イ 訂正事項２〜５について
訂正事項２は請求項２の記載を削除するものであり、訂正事項３は請求項３の記載を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内のものであることは明らかであって、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。また、訂正事項４〜５はいずれも、他項を引用する請求項４〜５において、削除された請求項２、３の引用を削除するものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内のものであることは明らかであって、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

ウ 訂正事項６について
（ア）訂正事項６は、請求項６において、「前記希土類元素オキシハロゲン化物として、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は、１．１以上である希土類元素オキシハロゲン化物を含む、溶射皮膜。」と記載されているのを、「前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む、溶射皮膜。」に訂正するものである。
したがって、訂正事項６は、請求項６に係る発明における溶射皮膜に含まれる希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が、希土類元素オキシハロゲン化物全体としての値であることを明らかにするものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
また、訂正事項６は、請求項６に係る発明における溶射皮膜に含まれる希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）に対し上限値を追加するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものでもある。
そして、上記訂正事項６は、本件明細書の【００２２】、【００２６】、【００３５】の記載の事項を根拠にするものであるから、本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

（イ）申立人２は、令和３年８月２３日付け意見書において、（ａ）段落【００３５】には、溶射皮膜中に複数の組成の希土類オキシハロゲン化物が含まれる場合についての記載はないから、訂正事項６は、特許法第120条の5第9項において準用する同法第126条第5項の規定に適合しない旨、及び、（ｂ）例えば、６０モル％（約５８質量％）のＹＯＦと、４０モル％（約４２質量％）のＹ５Ｏ４Ｆ７からなる希土類元素オキシハロゲン化物は、訂正前の規定の範囲には包含されないが、訂正後の規定の範囲に含まれているから、訂正事項６は、特許法第120条の5第9項において準用する同法第126条第6項の規定に適合しない旨主張する（上記意見書３〜５頁）。
しかしながら、段落【００３５】には、「かかる希土類元素オキシハロゲン化物については、上記の溶射用材料におけるのと同様であるため詳細な説明は省略する。」と記載されているから、溶射用材料中に複数の組成の希土類オキシハロゲン化物が含まれる場合について記載された【００２６】を参照して、溶射皮膜に複数の組成の希土類オキシハロゲン化物が含まれる場合についても記載されているといえるから、上記申立人２の主張（ａ）は採用できない。
また、申立人２が提示する例は、訂正前の希土類元素オキシハロゲン化物のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１と１．１６のどちらかと判断するのか不明であったが、訂正によって１．１６であることが明らかになったものであり、訂正前の規定の範囲に包含されないものとはいえないから、上記申立人２の主張（ｂ）は採用できない。

（２）一群の請求項について
ア 本件訂正前の請求項１〜５について、請求項２〜５はそれぞれ、請求項１を直接又は間接的に引用しており、請求項１に連動して訂正されるから、本件訂正前の請求項１〜５は一群の請求項である。

イ 本件訂正前の請求項６〜９について、請求項７〜９はそれぞれ、請求項６を直接又は間接的に引用しており、請求項６に連動して訂正されるから、本件訂正前の請求項６〜９は一群の請求項である。

ウ 上記ア、イのとおり、本件訂正請求は、上記一群の請求項〔１〜５〕、〔６〜９〕についてされたものであるから、特許法第120条の5第4項の規定に適合する。
そして、本件訂正は、請求項間の引用関係の解消を目的とするものではなく、特定の請求項に係る訂正事項について別の訂正単位とする求めもないから、訂正後の請求項〔１〜５〕、〔６〜９〕を訂正単位として訂正の請求をするものである。

（３）独立特許要件について
本件特許に対しては、訂正前のすべての請求項１〜９について特許異議の申立てがされているので、特許法第120条の5第9項において読み替えて準用する第126条第7項に規定される要件は課されない。

３ 訂正請求についてのまとめ
以上のとおり、令和３年７月１９日に特許権者が行った本件訂正請求による本件訂正は、特許法第120条の5第2項ただし書第１号又は第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第126条第5項、第６項の規定に適合するので、訂正後の請求項〔１〜５〕、〔６〜９〕について訂正することを認める。

第３ 本件発明
上記第２のとおり、本件訂正は適法なものであるから、本件特許の請求項１〜９に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」〜「本件発明９」といい、これらをまとめて「本件発明」という。）は、訂正特許請求の範囲に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。

「【請求項１】
構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、
前記希土類元素オキシハロゲン化物において、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は、１．１以上であり、
前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であり、
前記希土類元素の酸化物を実質的に含まず、
さらに、前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている、
溶射用材料。
【請求項２】
（削除）
【請求項３】
（削除）
【請求項４】
前記希土類元素がイットリウムであり、前記ハロゲン元素がフッ素であり、前記希土類元素オキシハロゲン化物がイットリウムオキシフッ化物である、請求項１に記載の溶射用材料。
【請求項５】
請求項１または４に記載の溶射用材料を基材の表面に溶射して、溶射皮膜を形成する方法。
【請求項６】
構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、
前記希土類元素のフッ化物を実質的に含まず、
前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む、溶射皮膜。
【請求項７】
前記希土類元素の酸化物を実質的に含まない、請求項６に記載の溶射皮膜。
【請求項８】
前記希土類元素がイットリウムであり、前記ハロゲン元素がフッ素であり、前記希土類元素オキシハロゲン化物がイットリウムオキシフッ化物である、請求項６または７に記載の溶射皮膜。
【請求項９】
基材の表面に、請求項６〜８のいずれか１項に記載の溶射皮膜が備えられている、溶射皮膜付部材。」

第４ 申立理由、及び取消理由の概要
（１）申立人１の申立理由
申立人１は、本件訂正前の請求項１〜９に係る特許は、下記（１−１）〜（１−５）の理由により取り消すべきものである旨主張し、証拠方法として下記（１−６）の甲第１〜８号証を提示した。

（１−１）申立理由１−１（拡大先願）
ア 申立理由１−１−１（取消理由Ａとして一部採用）
本件特許の請求項１ないし９に係る発明は、本願の出願日前の特許出願であって、その出願後に特許掲載公報の発行又は出願公開がされた甲第１号証に係る特許出願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本願の発明者が上記特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また、本願の出願時において、本願の出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第29条の2の規定に違反して特許されたものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

イ 申立理由１−１−２
本件特許の請求項１ないし９に係る発明は、本願の出願日前の特許出願であって、その出願後に特許掲載公報の発行又は出願公開がされた甲第２号証に係る特許出願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本願の発明者が上記特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また、本願の出願時において、本願の出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第29条の2の規定に違反して特許されたものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

（１−２）申立理由１−２（進歩性）
ア 申立理由１−２−１
本件特許の請求項１ないし９に係る発明は、甲第３号証に記載された発明および甲第５号証に記載された事項に基いて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであり、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

イ 申立理由１−２−２
本件特許の請求項１ないし９に係る発明は、甲第４号証に記載された発明および甲第５号証に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

（１−３）申立理由１−３（サポート要件）
本件特許の請求項１ないし９に係る発明は発明の詳細な説明に記載されたものとはいえず、その発明についての特許は、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。

（１−４）申立理由１−４（実施可能要件）
本件特許の請求項１ないし９に係る発明について、発明の詳細な説明の記載は、当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものとはいえず、その発明についての特許は、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。

（１−５）申立理由１−５（明確性）
本件特許の請求項１ないし９に係る発明について、特許請求の範囲の記載は特許を受けようとする発明が明確であるとはいえず、その発明についての特許は、特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。

（１−６）証拠方法
甲第１号証：特開２０１６−１５６０４６号公報（以下、「甲１」という。）
甲第２号証：特開２０１６−８９２４１号公報（以下、「甲２」という。）
甲第３号証：国際公開第２０１４／００２５８０号（以下、「甲３」という。）
甲第４号証：国際公開第２０１４／１１２１７１号（以下、「甲４」という。）
甲第５号証：特開２０００−２３９０６７号公報（以下、「甲５」という。）
甲第６号証：「溶射技術に関する二三の研究」、蓮井淳、フジコー技報−ｔｓｕｋｕｒｕ「創る」、Ｎｏ．８、ｐ．１０−１８、２０００年１０月１日
甲第７号証：「最近の溶射技術」、蓮井淳、溶接学会誌、第５８巻、第２号、ｐ．１０６−１１４、１９８９年３月５日発行、ＵＲＬ：https://www.jstage.jst.go.jp/browse/jjws/58/2/_contents/-char/ja及びhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/qjjws1943/58/2/58_2_106/_pdf/-char/ja
甲第８号証：特開２０１７−６１７３７号公報

（２）申立人２の申立理由
申立人２は、本件訂正前の請求項１〜９に係る特許は、下記（２−１）〜（２−６）の理由により取り消すべきものである旨主張し、証拠方法として下記（２−７）の甲第１〜４号証を提示した。

（２−１）申立理由２−１（新規性）
本件特許の請求項１、３ないし９に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第29条第1項第3号の規定により特許を受けることができないものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

（２−２）申立理由２−２（進歩性）
本件特許の請求項１ないし９に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

（２−３）申立理由２−３（拡大先願）
ア 申立理由２−３−１（取消理由Ａとして一部採用）
本件特許の請求項１、３ないし９に係る発明は、本願の出願日前の特許出願であって、その出願後に特許掲載公報の発行又は出願公開がされた甲第２号証に係る特許出願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本願の発明者が上記特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また、本願の出願時において、本願の出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第29条の2の規定に違反して特許されたものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

イ 申立理由２−３−２
本件特許の請求項１、３ないし９に係る発明は、本願の出願日前の特許出願であって、その出願後に国際公開がされた甲第３号証に係る日本語特許出願の優先基礎出願である、特願２０１５−２４６２７号（平成２７年２月１０日出願）の願書に最初に添付された明細書、請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本願の発明者が上記特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また本願の出願時において、本願の出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第29条の2の規定に違反して特許されたものであるから、その発明についての特許は、特許法第113条第2号に該当し、取り消されるべきものである。

（２−４）申立理由２−４（実施可能要件）
本件特許の請求項１ないし９に係る発明について、発明の詳細な説明の記載は、当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものとはいえず、その発明についての特許は、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。

（２−５）申立理由２−５（サポート要件）
本件特許の請求項１ないし９に係る発明は発明の詳細な説明に記載されたものとはいえず、その発明についての特許は、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。

（２−６）申立理由２−６（明確性）（取消理由Ｂとして採用）
本件特許の請求項６ないし９に係る発明について、特許請求の範囲の記載は特許を受けようとする発明が明確であるとはいえず、その発明についての特許は、特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、特許法第113条第4号に該当し、取り消されるべきものである。

（２−７）証拠方法
甲第１号証：国際公開第２０１４／００２５８０号（上記（１−６）より「甲３」である。）
甲第２号証：特開２０１６−１５６０４６号公報（上記（１−６）より「甲１」である。）
甲第３号証：国際公開第２０１６／１２９４５７号（以下、「甲６」という。）
甲第４号証：特開２０１４−４０６３４号公報


（３）取消理由の概要
当審は、上記（１）、（２）の申立理由のうち、申立理由１−１−１及び同２−３−１（拡大先願）、同２−６（明確性）を採用し、各々、取消理由Ａ及び同Ｂとして通知した。

第５ 当審の判断
当審は、本件訂正請求を認めることにより、当審による取消理由はいずれも解消し、また、申立人１、申立人２による申立理由のいずれによっても、本件特許を取り消すことはできないと判断する。

１ 申立理由１−１−１、２−３−１（拡大先願）（取消理由Ａとして一部採用）
（１）甲１に記載された発明
甲１は「溶射用粉末」（発明の名称）に関するものであって、その記載（【００１５】、【００３０】、【００３３】、【００３４】、【００４１】、【００４２】、【００４７】、【００５４】、【００５９】【表１】）、特に段落【００３３】、【００３４】、【００４２】の記載及び段落【００５９】のＮｏ．２に着目すると、甲１には、次の発明が記載されているといえる。

「Ｙ５Ｏ４Ｆ７の材料組成を有する溶射用粉末。」（以下「甲１材料発明」という。）

「甲１材料発明に係る溶射用粉末を溶射して、基材に溶射皮膜を形成する方法。」（以下「甲１方法発明」という。）

「甲１材料発明の溶射用粉末を溶射して得られた溶射皮膜。」（以下「甲１皮膜発明」という。）

「基材の表面に、甲１皮膜発明に係る溶射皮膜が備えられた溶射皮膜付部材。」（以下「甲１部材発明」という。）

（２）本件発明１との対比
本件発明１（上記第３）と甲１材料発明（上記（１））とを対比すると、後者の「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」及び「溶射用粉末」は、各々、前者の「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）」及び「溶射用材料」に相当する。
そして、後者の「溶射用粉末」は、「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」のみからなるものと認められるから、前者の「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ」、「希土類元素の酸化物を実質的に含ま」ない「溶射用材料」に相当する。
さらに、後者の「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」は、希土類元素に対するハロゲン元素のモル比が「１．４」であり、前者の「前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は１．１以上であ」ることに相当し、後者の「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」は、希土類元素に対する酸素のモル比が「０．８」であり、前者の「前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は０．９以下であ」ることに相当する。
そうすると、両者は、
「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、
前記希土類元素オキシハロゲン化物において、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は、１．１以上であり、
前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であり、
前記希土類元素の酸化物を実質的に含ま」ない「溶射用材料。」である点において一致するものの、本件発明１は、「さらに、前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている」のに対し、甲１材料発明は、「希土類元素のフッ化物」が含まれるものではない点で相違する。そして、この点は、甲１には記載されておらず、また、出願時の技術常識を考慮しても、甲１が当然に備えている事項でもなく、課題解決のための具体化手段における微差とはいえないので、実質的な相違点である。
よって、本件発明１は、甲１材料発明と同一であるとはいえない。

（３）本件発明４との対比
本件発明４は、本件発明１をさらに技術的に特定したものであるから、甲１材料発明と対比すると、少なくとも、上記（２）で検討した相違点を有する。
そして、上記（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明４は、甲１材料発明と同一であるとはいえない。

（４）本件発明５との対比
本件発明５は、本件発明１、４に係る溶射用材料を基材の表面に適用して、溶射皮膜を形成する方法であるから、甲１方法発明（甲１材料発明に係る溶射用粉末を溶射して、基材に溶射皮膜を形成する方法）と対比すると、少なくとも、上記（２）で検討した相違点と同様の点で相違する。
そして、上記（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明５は、甲１方法発明と同一であるとはいえない。

（５）本件発明６との対比
本件発明６（上記第３）と甲１皮膜発明（上記（１））とを対比する。
甲１皮膜発明は、「甲１材料発明の溶射用粉末を溶射して得られた溶射皮膜。」であり、当該溶射用粉末は「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」の材料組成を有するものである。
ここで、甲１の【００６１】には、「これらの溶射皮膜は、比較的低温のＡＰ溶射により溶射用粉末からの組成ずれを起こすことなく形成され得る」と記載されていることから、甲１皮膜発明は、溶射用粉末である「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」からの組成ずれを起こすことなく形成された、「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」からなる溶射皮膜と認められる。
したがって、後者の「溶射皮膜」は、構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、
前記希土類元素のフッ化物を実質的に含ま」ないものと認められる。
そうすると、両者は、
「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、
前記希土類元素のフッ化物を実質的に含まず、」「希土類元素オキシハロゲン化物を含む、溶射皮膜。」である点において一致するものの、本件発明６は「前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む」のに対し、甲１皮膜発明の「Ｙ５Ｏ４Ｆ７」は、希土類元素に対するハロゲン元素のモル比が「１．４」であり、本件発明６の「前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物」に包含されない点で相違する。そして、この点は、甲１には記載されておらず、また、出願時の技術常識を考慮しても、甲１が当然に備えている事項でもなく、課題解決のための具体化手段における微差とはいえないので、実質的な相違点である。
よって、本件発明６は、甲１皮膜発明と同一であるとはいえない。

（６）本件発明７〜８との対比
本件発明７〜８は、本件発明６をさらに技術的に特定したものであるから、甲１皮膜発明と対比すると、少なくとも、上記（５）で検討した相違点を有する。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明７〜８は、甲１皮膜発明と同一であるとはいえない。

（７）本件発明９との対比
本件発明９は、本件発明６〜８に係る溶射皮膜が備えられている、溶射皮膜付部材であるから、甲１部材発明（基材の表面に、甲１皮膜発明に係る溶射皮膜が備えられた溶射皮膜付部材）と対比すると、少なくとも、上記（５）で検討した相違点と同様の点で相違する。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明９は、甲１部材発明と同一であるとはいえない。

（８）申立理由１−１−１、２−３−１（拡大先願）についてのまとめ
以上のとおり、本件特許の請求項１、４〜９に係る発明は、甲１に係る特許出願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であるとはいえないから、同発明についての特許は特許法第29条の2の規定に違反してされたものではない。

２ 申立理由１−１−２（拡大先願）
（１）甲２に記載された発明
甲２は「皮膜付き基材、その製造方法、その皮膜付き基材を含む半導体製造装置部材」（発明の名称）に関するものであって、その記載（請求項１、４、【００１２】、【００２５】、【００２７】、【００６４】、【００６５】、【００７０】、【００７８】）、特に段落【００７０】、【００７８】に着目すると、甲２には、次の発明が記載されているといえる。

「組成（原子数％）がＹ：２２ａｔｍ％、Ｆ：５３ａｔｍ％、Ｏ：９ａｔｍ％、Ｃ：１５ａｔｍ％のＹＯＦ粒子であり、イットリウムのオキシフッ化物とフッ化物（ＹＦ）との混合物であると考えられるフレーム溶射の原料粉末。」（以下「甲２材料発明」という。）

「甲２材料発明に係る原料粉末をフレーム溶射し、基板へ皮膜を形成する方法。」（以下「甲２方法発明」という。）

「甲２材料発明の原料粉末をフレーム溶射して得られた皮膜であって、Ｙ２Ｏ３（立方晶および単斜晶）、ＹＦ３、ＹＯＦの各々の存在を示すピークが確認された皮膜。」（以下「甲２皮膜発明」という。）

「基板の表面に、甲２皮膜発明に係る皮膜が備えられた皮膜付き基板。」（以下「甲２基板発明」という。）

（２）本件発明１との対比
本件発明１（上記第３）と甲２材料発明（上記（１））とを対比すると、後者の「イットリウムのオキシフッ化物」及び「フレーム溶射の原料粉末」は、各々、前者の「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）」及び「溶射用材料」に相当する。
そうすると、両者は、「溶射用材料。」である点において一致するものの、本件発明１の「溶射用材料」には、「前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は、１．１以上であり」、「前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であ」る「希土類元素オキシハロゲン化物」が「全体の７７質量％以上の割合で含まれ」、「前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている」のに対し、甲２材料発明の「フレーム溶射の原料粉末」は、「イットリウムのオキシフッ化物」のイットリウムに対するフッ素のモル比やイットリウムに対する酸素のモル比は不明であり、全体に対する「イットリウムのオキシフッ化物」及び「イットリウム」「フッ化物」の割合は特定されていない点で相違する。そして、この点は、甲２には記載されておらず、また、出願時の技術常識を考慮しても、甲２が当然に備えている事項でもなく、課題解決のための具体化手段における微差とはいえないので、実質的な相違点である。
よって、本件発明１は、甲２材料発明と同一であるとはいえない。

（３）本件発明４との対比
本件発明４は、本件発明１をさらに技術的に特定したものであるから、甲２材料発明と対比すると、少なくとも、上記（２）で検討した相違点を有する。
そして、上記（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明４は、甲２材料発明と同一であるとはいえない。

（４）本件発明５との対比
本件発明５は、本件発明１、４に係る溶射用材料を基材の表面に適用して、溶射皮膜を形成する方法であるから、甲２方法発明（甲２材料発明に係る原料粉末をフレーム溶射し、基板へ皮膜を形成する方法）と対比すると、少なくとも、上記（２）で検討した相違点と同様の点で相違する。
そして、上記（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明５は、甲２方法発明と同一であるとはいえない。

（５）本件発明６との対比
本件発明６（上記第３）と甲２皮膜発明（上記（１））とを対比する。
甲２皮膜発明は、「甲２材料発明の原料粉末をフレーム溶射して得られた皮膜」であるから、後者の「皮膜」は前者の「溶射皮膜」に相当する。
そうすると、両者は、「溶射皮膜。」である点において一致するものの、本件発明６の「溶射皮膜」は、「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、」「希土類元素のフッ化物を実質的に含まず、前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む」のに対し、甲２皮膜発明にはそのようなことが特定されていない点で相違する。そして、この点は、甲２には記載されておらず、また、出願時の技術常識を考慮しても、甲２が当然に備えている事項でもなく、課題解決のための具体化手段における微差とはいえないので、実質的な相違点である。
よって、本件発明６は、甲２皮膜発明と同一であるとはいえない。

（６）本件発明７〜８との対比
本件発明７〜８は、本件発明６をさらに技術的に特定したものであるから、甲２皮膜発明と対比すると、少なくとも、上記（５）で検討した相違点を有する。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明７〜８は、甲２皮膜発明と同一であるとはいえない。

（７）本件発明９との対比
本件発明９は、本件発明６〜８に係る溶射皮膜が備えられている、溶射皮膜付部材であるから、甲２基板発明（基板の表面に、甲２皮膜発明に係る皮膜が備えられた皮膜付き基板）と対比すると、甲２基板発明の「基板」は本件発明９の「部材」に相当するが、少なくとも、上記（５）で検討した相違点と同様の点で相違する。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明９は、甲２基板発明と同一であるとはいえない。

（８）申立理由１−１−２（拡大先願）についてのまとめ
以上のとおり、本件特許の請求項１、４〜９に係る発明は、甲２に係る特許出願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であるとはいえないから、同発明についての特許は特許法第29条の2の規定に違反してされたものではない。

３ 申立理由２−１（新規性）、１−２−１及び２−２（進歩性）
（１）甲３に記載された発明
甲３は「溶射材料及びその製造方法」（発明の名称）に関するものであって、その記載（段落［００１２］、［００１８］、［００４４］、［００５０］、［００５８］、［００６０］、［００６３］表３、請求項１）、特に請求項１、段落［００６０］、［００６３］表３の実施例９の記載によると、次の各発明が記載されているといえる。

「イットリウムのオキシフッ化物（ＹＯＦ）を含む顆粒からなり、上記顆粒のＹＦ３、ＹＯＦ及びＹ２Ｏ３の各メインピークについてのＸ線回折ピーク相対強度が、ＹＦ３：ＹＯＦ：Ｙ２Ｏ３で３２：１００：０である溶射材料。」（以下「甲３発明」という。）

「甲３発明に係る溶射材料を用いて、基材の表面にプラズマ溶射を行う方法。」（以下「甲３方法発明」という。）

「甲３発明に係る溶射材料を、プラズマ溶射により溶射して得られた溶射膜。」（以下「甲３溶射膜発明」という。）

「甲３溶射膜発明に係る溶射膜が備えられている、部材。」（以下「甲３部材発明」という。）

（２）本件発明１との対比
ア 対比
本件発明１（上記第３）と甲３発明（上記（１））とを対比すると、後者の「溶射材料」は、前者の「溶射用材料」に相当する。
また、後者の溶射材料である顆粒の「ＹＦ３、ＹＯＦ及びＹ２Ｏ３の各メインピークについてのＸ線回折ピーク相対強度が、ＹＦ３：ＹＯＦ：Ｙ２Ｏ３で３２：１００：０」から、後者にはＹ２Ｏ３が含まれないと認められるから、前者の「前記希土類元素の酸化物を実質的に含まず」に相当する。
そうすると、両者は、「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、」「含まれ、」「前記希土類元素の酸化物を実質的に含まず、さらに、前記希土類元素のフッ化物が、」「含まれている、溶射用材料。」において一致し、次の相違点において相違する。

（相違点１）
溶射用材料について、本件発明１は「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、」「前記希土類元素オキシハロゲン化物において、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は１．１以上であり、」「前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であ」るのに対し、甲３発明は、上記特定がされていない点。

（相違点２）
本件発明１は「前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている」のに対し、甲３発明は、ＹＦ３の質量割合が特定されていない点。

イ 検討
まず、上記相違点１が実質的な相違点であるか否かについて検討する。
甲３発明は、溶射用材料が、「イットリウムのオキシフッ化物（ＹＯＦ）を含む顆粒からな」るものであって、希土類元素オキシハロゲン化物であるＹＯＦのモル比（Ｘ／ＲＥ）及びモル比（Ｏ／ＲＥ）は１であり、その質量割合は記載されていないから、相違点１は実質的な相違点である。
次に、上記相違点１が容易に想到できたか否かについて検討する。
甲５は、「オキシハロゲン化物系部材」（発明の名称）に関するものであって、段落【０００１】、【００１３】、【００１５】の記載及び【００１６】表１の試料Ｎｏ．１〜８、１３〜１８によると、希土類オキシハロゲン化物からなる焼結体部材のハロゲン系プラズマのエッチング速度の結果より、ＹｂＢｒ１．４Ｏ０．８、ＹｂＦ１．４Ｏ０．８、ＹＦ１．０Ｏ１．０、ＹＦ２．８Ｏ０．１の順にハロゲン系腐食ガス及びそのプラズマに対する耐食性が優れることが記載されている。
そして、甲３には、甲３発明におけるイットリウムのオキシフッ化物（ＹＯＦ）として「モル比がＹ：Ｏ：Ｆ＝１：１：１である化合物及び１：１：１以外の化合物の両方を挙げることができる。前記のモル比が１：１：１以外の化合物の例としては、Ｙ５Ｏ４Ｆ７、Ｙ７Ｏ６Ｆ９等を挙げることができる。」（段落［００１２］）と記載されているものの、甲３には、溶射材料中のＹＯＦの質量割合は記載されていないから、甲５の記載を参酌しても、甲３発明の溶射用材料として、「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、」「前記希土類元素オキシハロゲン化物において、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は１．１以上であり、」「前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であ」るものに特定することの動機付けは見いだせない。

ウ 小括
よって、本件発明１は、甲３発明であるとはいえない。そして、相違点２について検討するまでもなく、本件発明１は、甲３発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（３）本件発明４との対比
本件発明４は、本件発明１をさらに技術的に特定したものであるから、甲３発明と対比すると、少なくとも、上記相違点１を有する。よって、本件発明４は、甲３発明であるとはいえない。
そして、上記（２）イで検討したのと同様の理由により、本件発明４は、甲３発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（４）本件発明５との対比
本件発明５は、本件発明１、４に係る溶射用材料を基材の表面に適用して、溶射皮膜を形成する方法であるから、甲３方法発明（甲３発明に係る溶射材料を用いて、基材の表面にプラズマ溶射を行う方法）と対比すると、少なくとも、上記相違点１と同様の点で相違する。よって、本件発明５は、甲３発明であるとはいえない。
そして、上記（２）イで検討したのと同様の理由により、本件発明５は、甲３方法発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（５）本件発明６との対比
本件発明６（上記第３）と甲３溶射膜発明（上記（１））とを対比する。
後者の「溶射膜」は前者の「溶射皮膜」に相当する。
そうすると、両者は、「溶射皮膜。」である点において一致するものの、本件発明６の「溶射皮膜」は、「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、」「希土類元素のフッ化物を実質的に含まず、前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む」のに対し、甲３溶射膜発明にはそのようなことが特定されていない点で相違する。
そして、この点は、甲３には記載されておらず、また、出願時の技術常識を考慮しても、甲３が当然に備えている事項でもないので、実質的な相違点であり、甲３溶射膜発明に当該相違点に係る特定を備えようとすることは、甲３溶射膜発明及び甲５等の甲号証の記載事項を参酌しても、当業者が容易に想到し得ることともいえない。
よって、本件発明６は、甲３溶射膜発明であるとはいえない。
また、本件発明６は、甲３溶射膜発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（６）本件発明７〜８との対比
本件発明７〜８は、本件発明６をさらに技術的に特定したものであるから、甲３溶射膜発明と対比すると、少なくとも、上記（５）で検討した相違点を有する。よって、本件発明７〜８は、甲３溶射膜発明であるとはいえない。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明７〜８は、甲３溶射膜発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（７）本件発明９との対比
本件発明９は、本件発明６〜８に係る溶射皮膜が備えられている、溶射皮膜付部材であるから、甲３部材発明（甲３溶射膜発明に係る溶射膜が備えられている、部材）と対比すると、少なくとも、上記（５）で検討した相違点と同様の点で相違する。よって、本件発明９は、甲３部材発明であるとはいえない。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明９は、甲３部材発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（８）申立理由２−１（新規性）、１−２−１及び２−２（進歩性）についてのまとめ
以上のとおり、本件特許の請求項１、４〜９に係る発明は、甲３に記載された発明とはいえないから、同発明に係る特許は、特許法第29条第1項第3号の規定に違反してされたものではない。また、同発明は、甲３に記載された発明及び甲５に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、同発明に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものではない。

４ 申立理由１−２−２（進歩性）
（１）甲４に記載された発明
甲４は「溶射材料」（発明の名称）に関するものであって、その記載（段落［００１１］、［００２０］〜［００２２］、［００２４］、［００６０］、［００６５］、［００６７］表４、請求項１）、特に請求項１、段落［００６０］、［００６５］、［００６７］表４の実施例８、９、１１の記載によると、次の各発明が記載されているといえる。

「希土類元素のオキシフッ化物を含む顆粒からなり、上記顆粒のＹＦ３、ＹＯＦ及びＹ２Ｏ３の各最大ピークについてのＸ線回折ピーク相対強度が、ＹＦ３：ＹＯＦ：Ｙ２Ｏ３で２１〜４５：１００：０である溶射材料。」（以下「甲４発明」という。）

「甲４発明に係る溶射材料を用いて、基材の表面にプラズマ溶射を行う方法。」（以下「甲４方法発明」という。）

「甲４発明に係る溶射材料を、プラズマ溶射により溶射して得られた溶射膜。」（以下「甲４溶射膜発明」という。）

「甲４溶射膜発明に係る溶射膜が備えられている、基材。」（以下「甲４基材発明」という。）

（２）本件発明１との対比
ア 対比
本件発明１（上記第３）と甲４発明（上記（１））とを対比すると、後者の「溶射材料」は、前者の「溶射用材料」に相当する。
また、後者の溶射材料である顆粒の「ＹＦ３、ＹＯＦ及びＹ２Ｏ３の各メインピークについてのＸ線回折ピーク相対強度が、ＹＦ３：ＹＯＦ：Ｙ２Ｏ３で２１〜４５：１００：０」から、後者にはＹ２Ｏ３が含まれないと認められるから、前者の「前記希土類元素の酸化物を実質的に含まず」に相当する。
そうすると、両者は、「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、」「含まれ、」「前記希土類元素の酸化物を実質的に含まず、さらに、前記希土類元素のフッ化物が、」「含まれている、溶射用材料。」において一致し、次の相違点において相違する。

（相違点３）
溶射用材料について、本件発明１は「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、」「前記希土類元素オキシハロゲン化物において、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は１．１以上であり、」「前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であ」るのに対し、甲４発明は、上記特定がされていない点。

（相違点４）
本件発明１は「前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている」のに対し、甲４発明は、ＹＦ３の質量割合が特定されていない点。

イ 検討
（ア）上記相違点３について検討する。
甲５は、「オキシハロゲン化物系部材」（発明の名称）に関するものであって、段落【０００１】、【００１３】、【００１５】の記載及び【００１６】表１の試料Ｎｏ．１〜８、１３〜１８によると、希土類オキシハロゲン化物からなる焼結体部材のハロゲン系プラズマのエッチング速度の結果より、ＹｂＢｒ１．４Ｏ０．８、ＹｂＦ１．４Ｏ０．８、ＹＦ１．０Ｏ１．０、ＹＦ２．８Ｏ０．１の順にハロゲン系腐食ガス及びそのプラズマに対する耐食性が優れることが記載されている。
そして、甲４には、甲４発明におけるイットリウムのオキシフッ化物（ＹＯＦ）として、「ＹＯＦだけでなく、Ｙ５Ｏ４Ｆ７やＹ７Ｏ６Ｆ９等も含」むこと（段落［００１１］）が記載されているものの、甲４には、溶射材料中のＹＯＦの質量割合は記載されていないから、甲５の記載を参酌しても、甲４発明の溶射用材料として、「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、」「前記希土類元素オキシハロゲン化物において、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は１．１以上であり、」「前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であ」るものに特定することの動機付けは見いだせない。
よって、相違点４について検討するまでもなく、本件発明１は、甲４発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（イ）申立人１は、令和３年８月３０日付け意見書において、本件明細書の表２のＮｏ．２〜４の溶射用材料におけるＹ５Ｏ４Ｆ７とＹＦ３の量は誤記であり、誤記を修正した表２（上記意見書５頁）に基づいて、本件明細書には、甲４発明に対して耐プラズマエロージョン性の向上効果が示された例が存在せず、本件明細書の記載を参酌しても、甲４発明に対する有利な効果を奏することを理解できる根拠が存在しないから、本件発明１、４〜５は甲４発明から進歩性を有しない旨主張する（上記意見書３〜１１頁）。
しかしながら、本件明細書の表２に誤記があったとしても、正しい値は不明であるから、上記意見書５頁の修正した表２を根拠とする申立人１の主張は採用できない。

（３）本件発明４との対比
本件発明４は、本件発明１をさらに技術的に特定したものであるから、甲４発明と対比すると、少なくとも、上記相違点３を有する。よって、上記（２）イで検討したのと同様の理由により、本件発明４は、甲４発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（４）本件発明５との対比
本件発明５は、本件発明１、４に係る溶射用材料を基材の表面に適用して、溶射皮膜を形成する方法であるから、甲４方法発明（甲４発明に係る溶射材料を用いて、基材の表面にプラズマ溶射を行う方法）と対比すると、少なくとも、上記相違点３と同様の点で相違する。よって、上記（２）イで検討したのと同様の理由により、本件発明５は、甲４方法発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（５）本件発明６との対比
本件発明６（上記第３）と甲４溶射膜発明（上記（１））とを対比する。
後者の「溶射膜」は前者の「溶射皮膜」に相当する。
そうすると、両者は、「溶射皮膜。」である点において一致するものの、本件発明６の「溶射皮膜」は、「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、」「希土類元素のフッ化物を実質的に含まず、前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む」のに対し、甲４溶射膜発明にはそのようなことが特定されていない点で相違する。
そして、この点は、甲４発明及び甲５等の甲号証の記載事項を参酌しても、また、出願時の技術常識を考慮しても、当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
よって、本件発明６は、甲４溶射膜発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（６）本件発明７〜８との対比
本件発明７〜８は、本件発明６をさらに技術的に特定したものであるから、甲４溶射膜発明と対比すると、少なくとも、上記（５）で検討した相違点を有する。よって、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明７〜８は、甲４溶射膜発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（７）本件発明９との対比
本件発明９は、本件発明６〜８に係る溶射皮膜が備えられている、溶射皮膜付部材であるから、甲４基材発明（甲４溶射膜発明に係る溶射膜が備えられている、基材）と対比すると、甲４基材発明の「基材」は本件発明９の「部材」に相当するが、少なくとも、上記（５）で検討した相違点と同様の点で相違する。よって、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明９は、甲４基材発明及び甲５に記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。

（８）申立理由１−２−２（進歩性）についてのまとめ
以上のとおり、本件特許の請求項１、４〜９に係る発明は、甲４に記載された発明及び甲５に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、同発明に係る特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものではない。

５ 申立理由２−３−２（拡大先願）
（１）甲６に記載された発明
甲６は「成膜用粉末及び成膜用材料」（発明の名称）に関するものであって、甲６により出願公開されたものとみなされる特願２０１５−２４６２７号の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面（以下、「甲６に係る先願の当初明細書等」という。）の記載（請求項１、【００１１】、【００３９】、【００５６】、【００６２】、【００８４】【表１】）、特に請求項１、段落【００５６】、【００６２】、【００８４】【表１】の実施例７〜１３、１６〜３４に着目すると、甲６に係る先願の当初明細書等には、次の発明が記載されているといえる。

「希土類元素のオキシフッ化物（Ｌｎ−Ｏ−Ｆ）を含有する成膜用粉末であって、上記粉末のＹＦ３、Ｙ−Ｏ−Ｆ及びＹ２Ｏ３の粉末Ｘ線回折測定法による最大ピークの相対強度が、ＹＦ３：Ｙ−Ｏ−Ｆ：Ｙ２Ｏ３で０：１００：０である溶射用粉末。」（以下「甲６発明」という。）

「甲６発明に係る溶射用粉末をプラズマ溶射して、基材に溶射皮膜を形成する方法。」（以下「甲６方法発明」という。）

「甲６発明に係る溶射用粉末をプラズマ溶射して得られた溶射膜。」（以下「甲６溶射膜発明」という。）

「基材の表面に、甲６溶射膜発明に係る溶射膜が備えられた溶射膜付基材。」（以下「甲６基材発明」という。）

（２）本件発明１との対比
本件発明１（上記第３）と甲６発明（上記（１））とを対比すると、後者の「Ｙ−Ｏ−Ｆ」、「Ｙ２Ｏ３」、「ＹＦ３」及び「溶射用粉末」は、各々、前者の「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）」、「希土類元素の酸化物」、「希土類元素のフッ化物」及び「溶射用材料」に相当する。
そして、後者の「溶射用粉末」は、「粉末のＹＦ３、Ｙ−Ｏ−Ｆ及びＹ２Ｏ３の粉末Ｘ線回折測定法による最大ピークの相対強度が、ＹＦ３：Ｙ−Ｏ−Ｆ：Ｙ２Ｏ３で０：１００：０」であることから、「Ｙ−Ｏ−Ｆ」のみからなるものと認められる。
そうすると、両者は、
「構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、」「含まれ、」「前記希土類元素の酸化物を実質的に含ま」ない「溶射用材料。」である点において一致するものの、本件発明１は「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、
前記希土類元素オキシハロゲン化物において、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は、１．１以上であり、
前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であり」、「さらに、前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている」のに対し、甲６発明の「溶射用粉末」が、「Ｙ−Ｏ−Ｆ」を全体の７７質量％以上の割合で含み、「ＹＦ３」を全体の２３質量％以下の割合で含むことは特定されていない点、及び、前記「Ｙ−Ｏ−Ｆ」の希土類元素に対するハロゲン元素および酸素のモル比が不明である点で相違する。そして、これらの点は、甲６には記載されておらず、また、出願時の技術常識を考慮しても、甲６が当然に備えている事項でもなく、課題解決のための具体化手段における微差とはいえないので、実質的な相違点である。
よって、本件発明１は、甲６発明と同一であるとはいえない。

（３）本件発明４との対比
本件発明４は、本件発明１をさらに技術的に特定したものであるから、甲６発明と対比すると、少なくとも、上記（２）で検討した相違点を有する。
そして、上記（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明４は、甲６発明と同一であるとはいえない。

（４）本件発明５との対比
本件発明５は、本件発明１、４に係る溶射用材料を基材の表面に適用して、溶射皮膜を形成する方法であるから、甲６方法発明（甲６発明に係る溶射用粉末をプラズマ溶射して、基材に溶射皮膜を形成する方法）と対比すると、少なくとも、上記（２）で検討した相違点と同様の点で相違する。
そして、上記（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明５は、甲６方法発明と同一であるとはいえない。

（５）本件発明６との対比
本件発明６（上記第３）と甲６溶射膜発明（上記（１））とを対比する。
後者の「溶射膜」は前者の「溶射皮膜」に相当する。
そうすると、両者は、「溶射皮膜。」である点において一致するものの、本件発明６の「溶射皮膜」は、「希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、」「希土類元素のフッ化物を実質的に含まず、前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む」のに対し、甲６溶射膜発明にはそのようなことが特定されていない点で相違する。そして、この点は、甲６には記載されておらず、また、出願時の技術常識を考慮しても、甲６が当然に備えている事項でもなく、課題解決のための具体化手段における微差とはいえないので、実質的な相違点である。
よって、本件発明６は、甲６溶射膜発明と同一であるとはいえない。

（６）本件発明７〜８との対比
本件発明７〜８は、本件発明６をさらに技術的に特定したものであるから、甲６溶射膜発明と対比すると、少なくとも、上記（５）で検討した相違点を有する。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明７〜８は、甲６溶射膜発明と同一であるとはいえない。

（７）本件発明９との対比
本件発明９は、本件発明６〜８に係る溶射皮膜が備えられている、溶射皮膜付部材であるから、甲６基材発明（基材の表面に、甲６溶射膜発明に係る溶射膜が備えられた溶射膜付基材）と対比すると、甲６基材発明の「基材」は本件発明９の「部材」に相当するが、少なくとも、上記（５）で検討した相違点と同様の点で相違する。
そして、上記（５）で検討したのと同様の理由により、本件発明９は、甲６基材発明と同一であるとはいえない。

（８）申立理由２−３−２（拡大先願）についてのまとめ
以上のとおり、本件特許の請求項１、４〜９に係る発明は、甲６に係る特許出願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であるとはいえないから、同発明についての特許は特許法第29条の2の規定に違反してされたものではない。

６ 申立理由１−３及び２−５（サポート要件）
（１）発明の詳細な説明の記載
ア 本件明細書の発明の詳細な説明に記載された、発明が解決しようとする課題の一つ（以下、単に「課題」という。）は、「耐プラズマエロージョン性がさらに向上された溶射皮膜を形成し得る溶射用材料を提供すること」である（段落【０００６】）。

イ そして、溶射皮膜に関する実施形態２（段落【００５１】〜【００７３】、表２）として、上記Ｎｏ．５〜１１の溶射用材料をプラズマ溶射法により溶射することで、溶射皮膜付部材を作製したところ、溶射皮膜のＸＲＤ検出相が、ＹＯＦ及びＹ２Ｏ３であるＮｏ．５〜８、同じくＹＯＦ及びＹ７Ｏ６Ｆ９であるＮｏ．９、同じくＹＯＦ及びＹ６Ｏ５Ｆ８であるＮｏ．１０、同じくＹＯＦ及びＹ５Ｏ４Ｆ７であるＮｏ．１１のうち、Ｎｏ．５〜８の溶射皮膜は、Ｙ２Ｏ３量の減少と共にパーティクル数［１］が低減したこと、Ｎｏ．９〜１１の溶射皮膜は、実質的にイットリウムオキシフッ化物のみからなり、パーティクル発生数が極めて少量に抑えられること、耐プラズマエロージョン性に優れた溶射皮膜を形成するには、イットリウムオキシフッ化物を７７質量％以上の割合で含み、Ｙ２Ｏ３が実質的に含まれない溶射用材料を用いて溶射すればよいこと、溶射用材料中にＹＦ３が含まれていてもよいが、溶射皮膜中にＹＦ３が残存しないようにするには、溶射用材料におけるＹＦ３の割合を２３質量％以下程度にするのがよいこと、実質的にイットリウムオキシフッ化物のみからなる溶射用材料を用いて溶射することで、耐プラズマエロージョン性に特に優れた溶射皮膜を形成できることが確認されたと説明されている（段落【００６８】、【００６９】、【００７１】〜【００７３】）。

（２）検討
ア 以上によれば，発明の詳細な説明には、溶射用材料としてモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上であり、モル比（Ｏ／ＲＥ）が０．９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を用いることに加え、希土類元素オキシハロゲン化物を全体の７７質量％以上の割合で含み、希土類元素ハロゲン化物を全体の２３質量％以下の割合で含むことや、当該溶射材料から、モル比（Ｘ／ＲＥ）が１．２９又は１．３３である希土類元素オキシハロゲン化物と、モル比（Ｘ／ＲＥ）が１である希土類元素オキシハロゲン化物を含む溶射被膜を作製することができること、及び、作製した溶射皮膜はパーティクル発生数が低減し、耐プラズマエロージョン性に優れることが開示されているといえる。
よって、請求項１、４〜１０に係る発明は、発明の詳細な説明において発明の課題が解決できることを認識できるように記載された範囲を超えて特許請求しようとするものではない。

イ 申立人の主張について
（ア）申立人２は、令和３年８月２３日付け意見書において、請求項１に係る発明は、溶射用材料が、Ｘ／ＲＥが１．１以上であり、Ｏ／ＲＥが０．９以下である希土類元素オキシハロゲン化物と、希土類元素ハロゲン化物に加えて、様々な物性（例えば、耐プラズマエロージョン性が低い）のものを多量に含みうる溶射用材料であり、その結果として上記課題を解決できない発明を含んでいる旨主張する（上記意見書５〜６頁）。
しかしながら、請求項１の溶射用材料について、上記アのとおり、当業者は、発明の詳細な説明の記載を参照することにより、希土類元素オキシハロゲン化物を７７質量％以上、希土類元素ハロゲン化物を２３質量％以下含むものであれば課題を解決できることを認識できるところ、申立人２は、当該判断を覆すに足りる十分な根拠を示していない。よって、申立人２の主張は採用できない。

（イ）申立人１は、令和３年８月３０日付け意見書において、
（イ−１）請求項１に係る発明は、溶射用材料が、希土類元素オキシハロゲン化物が７７質量％以上であれば、希土類元素オキシハロゲン化物に加えて、様々な物性（例えば、耐プラズマエロージョン性が低い）のものを２３質量％未満まで多量に含みうる溶射用材料であり、その結果として上記課題を解決できない発明を含んでいる旨、
（イ−２）実施例のＮｏ．２〜４の溶射用材料では、酸素濃度から求められるＹ５Ｏ４Ｆ７／（Ｙ５Ｏ４Ｆ７＋ＹＦ３）の量比と、Ｘ線回折ピーク強度によるＹ５Ｏ４Ｆ７／（Ｙ５Ｏ４Ｆ７＋ＹＦ３）とに大きな乖離を生じている旨、
（イ−３）Ｙ６Ｏ５Ｆ８とＹ７Ｏ６Ｆ９のメインピークの回折角２θの差は０．００２°でサンプリング幅０．０１°より小さく両者を区別できないため、Ｘ線回折測定によって請求項１の溶射用材料及び請求項６の溶射皮膜のモル比（Ｘ／ＲＥ、Ｏ／ＲＥ）を求めることができない旨主張する（上記意見書１１〜２１頁）。
しかしながら、請求項１の溶射用材料について、上記アのとおり、当業者は、発明の詳細な説明の記載を参照することにより、希土類元素オキシハロゲン化物を７７質量％以上、希土類元素ハロゲン化物を２３質量％以下含むものであれば課題を解決できることを認識できるところ、申立人１は、当該判断を覆すに足りる十分な根拠を示していない。よって、申立人１の（イ−１）の主張は採用できない。
また、上記（イ−２）の内容は、実質的に新たな理由を提示するものであり、訂正の請求の内容に付随して生じる理由とも認められないので、上記申立人１の（イ−２）の主張は採用できない。
さらに、Ｘ線回折測定による化合物同定にあたっては、メインピークだけでなくその他のピークも含めたピーク位置の相互関係を基準として行うことが技術常識であって、メインピークの回折角の差がサンプリング幅より小さいとしても、当業者であればＹ６Ｏ５Ｆ８とＹ７Ｏ６Ｆ９のメインピークを区別することができると認められるから、申立人１の（イ−３）の主張は採用できない。

（３）申立理由１−３及び２−５（サポート要件）についてのまとめ
以上のとおり、本件特許の請求項１、４〜９に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものであるといえるから、その発明についての特許は、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願についてされたものではない。

７ 申立理由１−４及び２−４（実施可能要件）
（１）検討
ア 申立人の主張について
（ア）申立人２は、令和３年８月２３日付け意見書において、発明の詳細な説明の段落【００４４】には、粉末状のイットリウム含有化合物およびフッ素含有化合物を混合して焼成することで「溶射用材料」を得たと記載されているのみであって、請求項１に包含される溶射用材料の実施例はなく、請求項１に包含されない溶射用材料との製造上の差異も不明であり、技術常識を勘案しても、請求項１等に係る溶射用材料及び請求項６等に係る溶射皮膜は実施可能ではない旨主張する（上記意見書５頁）。
しかしながら、目的とする化合物の組成に合わせて原料の混合割合を調整する等の操作を行うことは技術常識であると認められるから、当該技術常識を考慮すれば、本件発明の溶射用材料を得ることができるものであり、そのような溶射用材料を溶射することにより溶射皮膜を得ることができるところ、申立人２は当該判断を覆すに足りる十分な根拠を示していない。よって、上記申立人２の主張は採用できない。

（イ）申立人１は、令和３年８月３０日付け意見書において、Ｙ６Ｏ５Ｆ８とＹ７Ｏ６Ｆ９のメインピークの回折角２θの差は０．００２°でサンプリング幅０．０１°より小さく両者を区別できないため、Ｘ線回折測定により、溶射用材料及び溶射皮膜に含まれる希土類元素オキシハロゲン化物のモル比（Ｘ／ＲＥ、Ｏ／ＲＥ）を求めることができない旨主張する（上記意見書１１〜２１頁）。
しかしながら、上記６（２）イ（イ）のとおり、Ｘ線回折測定による化合物同定にあたっては、メインピークだけでなくその他のピークも含めたピーク位置の相互関係を基準として行うことが技術常識であって、当該技術常識を考慮しつつ本件明細書【００２７】、【００４６】に記載の方法を実施することにより、請求項１等の溶射用材料及び請求項６等の溶射皮膜に含まれる希土類元素オキシハロゲン化物のモル比を決定することができると認められる。よって、申立人１の主張は採用できない。

（２）申立理由１−４及び２−４（実施可能要件）についてのまとめ
以上のとおり、本件明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が請求項１、４〜９に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものであるから、その発明についての特許は、特許法第36条第4項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願についてされたものではない。

８ 申立理由１−５及び２−６（取消理由Ｂとして採用）
（１）取消理由Ｂの概要
本件訂正前の請求項６の溶射皮膜が含む希土類元素オキシハロゲン化物が２種類以上の場合の一例として、表２より、ＹＯＦとＹ７Ｏ６Ｆ９の２種類の希土類元素オキシハロゲン化物を含むＮｏ．９の溶射皮膜では、ＹＯＦとＹ７Ｏ６Ｆ９のうち含有量が多い方が主成分であり、含有量が多い方のＸ／ＲＥ値を本件訂正前の請求項６の「前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）」とすると解釈し得る一方で、両方を合わせた希土類元素オキシハロゲン化物が主成分であり、本件訂正前の請求項６の「前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）」は、ＹＯＦのＸ／ＲＥ＝１とＹ７Ｏ６Ｆ９のＸ／ＲＥ＝１．２９の値に各成分の存在比を乗じる等の何らかの手段で算出した値を上記「前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）」とすると解釈し得る余地があった。
そのため、本件訂正前の請求項６の記載の示す内容を一義的に定めることができず、本件訂正前の請求項６に係る発明の内容を明確に把握することは困難であり、本件訂正前の請求項６に係る発明並びに、本件訂正前の請求項６に係る発明を引用する本件訂正前の請求項７〜９に係る発明はいずれも、明確であるとはいえないものであった。

（２）検討
（ア）本件訂正及び本件訂正請求と同時に提出された意見書により、請求項６の「前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）」は、「溶射皮膜に含まれる希土類元素オキシハロゲン化物全体としての値」であって、溶射皮膜に含まれる希土類元素オキシハロゲン化物が２種類以上の場合は、組成物ごとにモル比（Ｘ／ＲＥ）を算出し、そのモル比に当該組成物の存在比をそれぞれ乗じて合計することで算出するものであることが明らかにされたため、取消理由Ｂは解消した。請求項６を引用する請求項７〜９についても同様である。

（イ）申立人１は、令和３年８月３０日付け意見書において、
（イ−１）請求項１の溶射用材料や請求項６の溶射膜が、メインピークの回折角２θの差がサンプリング幅より小さく区別できないＹ６Ｏ５Ｆ８とＹ７Ｏ６Ｆ９と酸素を含む第３成分を含有する場合に、Ｘ線回折測定によって請求項１の溶射用材料や請求項６の溶射膜に該当するか否かを判断できない旨、
（イ−２）本件明細書の【００２７】、【００４８】の記載から、溶射用材料中の各結晶相成分含量がどのように算出されたものであるのかが不明である旨、
（イ−３）請求項６の「主成分」が、溶射皮膜全体の５０質量％以上である場合を必須とするのか否かが明確でない旨主張する（上記意見書２１〜２５頁）。
しかしながら、上記６（２）イ（イ）のとおり、Ｘ線回折測定による化合物同定にあたっては、メインピークだけでなくその他のピークも含めたピーク位置の相互関係を基準として行うことが技術常識であって、当該技術常識を考慮しつつ本件明細書【００５１】、【００５４】に記載の方法を実施することにより、請求項１〜６に記載の溶射用材料及び請求項７〜１０記載の溶射皮膜に含まれる希土類元素オキシハロゲン化物のモル比を求めることができると認められる。よって、申立人１の（イ−１）の主張は採用できない。
また、本件明細書の【００２７】、【００４８】の記載によれば、溶射用材料中の各結晶相成分含量は、溶射用材料に含まれる物質のＸ線回折メインピーク相対強度と、溶射用材料に含まれる酸素量及びフッ素量（当審注：【００４８】の「窒素量」は、表１及び前後の記載からみて、「フッ素量」の誤記と認められる。）とを組み合わせて算出したものであるから、当業者であれば、結晶相成分含量の算出方法は明らかである。よって、申立人１の（イ−２）の主張は採用できない。
さらに、本件明細書の【００３５】の「ここで「主成分」とは、溶射皮膜を構成する構成成分のうち、最も含有量が多い成分であることを意味している。具体的には、例えば、当該成分が溶射皮膜全体の５０質量％以上を占めることを意味し、好ましくは７５質量％以上、例えば８０質量％以上を占めるものであってよい。」との記載から、請求項６の「主成分」は、「最も含有量が多い成分」であり、特定の質量割合以上であることを必須とするものとはいえないため、申立人１の（イ−３）の主張は採用できない。

（３）申立理由１−５及び２−６（明確性）についてのまとめ
以上のとおり、本件特許の請求項１、４〜９に係る発明について、特許請求の範囲の記載は、特許を受けようとする発明が明確であるから、その発明についての特許は、特許法第36条第6項第2号の規定する要件を満たしていない特許出願についてされたものではない。

第６ むすび
以上のとおり、申立人１、申立人２による申立理由、及び、当審による取消理由によっては、本件特許の請求項１、４〜９に係る特許を取り消すことはできない。また、他に請求項１、４〜９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
また、本件特許の請求項２〜３については、本件訂正請求により削除されたから、特許異議の申立ての対象となる請求項が存在しない。
よって、結論のとおり決定する。
 
発明の名称 （５７）【特許請求の範囲】
【請求項１】
構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）が、全体の７７質量％以上の割合で含まれ、
前記希土類元素オキシハロゲン化物において、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）は、１．１以上であり、
前記希土類元素に対する前記酸素のモル比（Ｏ／ＲＥ）は、０．９以下であり、
前記希土類元素の酸化物を実質的に含まず、
さらに、前記希土類元素のフッ化物が、全体の２３質量％以下の割合で含まれている、溶射用材料。
【請求項２】
（削除）
【請求項３】
（削除）
【請求項４】
前記希土類元素がイットリウムであり、前記ハロゲン元素がフッ素であり、前記希土類元素オキシハロゲン化物がイットリウムオキシフッ化物である、請求項１に記載の溶射用 材料。
【請求項５】
請求項１または４に記載の溶射用材料を基材の表面に溶射して、溶射皮膜を形成する方法。
【請求項６】
構成元素として希土類元素（ＲＥ）、酸素（Ｏ）およびハロゲン元素（Ｘ）を含む希土類元素オキシハロゲン化物（ＲＥ−Ｏ−Ｘ）を主成分とし、
前記希土類元素のフッ化物を実質的に含まず、
前記希土類元素オキシハロゲン化物全体として、
前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比（Ｘ／ＲＥ）が１．１以上１．３９以下である希土類元素オキシハロゲン化物を含む、溶射皮膜。
【請求項７】
前記希土類元素の酸化物を実質的に含まない、請求項６に記載の溶射皮膜。
【請求項８】
前記希土類元素がイットリウムであり、前記ハロゲン元素がフッ素であり、前記希土類元素オキシハロゲン化物がイットリウムオキシフッ化物である、請求項６または７に記載の溶射皮膜。
【請求項９】
基材の表面に、請求項６〜８のいずれか１項に記載の溶射皮膜が備えられている、溶射皮膜付部材。
 
訂正の要旨 審決（決定）の【理由】欄参照。
異議決定日 2021-10-18 
出願番号 P2016-043939
審決分類 P 1 651・ 161- YAA (C23C)
P 1 651・ 113- YAA (C23C)
P 1 651・ 537- YAA (C23C)
P 1 651・ 536- YAA (C23C)
P 1 651・ 121- YAA (C23C)
最終処分 07   維持
特許庁審判長 粟野 正明
特許庁審判官 平塚 政宏
磯部 香
登録日 2020-06-23 
登録番号 6722004
権利者 株式会社フジミインコーポレーテッド 東京エレクトロン株式会社
発明の名称 溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材  
代理人 大井 道子  
代理人 谷 征史  
代理人 谷 征史  
代理人 谷 征史  
代理人 安部 誠  
代理人 安部 誠  
代理人 安部 誠  
代理人 大井 道子  
代理人 大井 道子  

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