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審決分類 審判 全部申し立て 2項進歩性  G03F
管理番号 1396343
総通号数 16 
発行国 JP 
公報種別 特許決定公報 
発行日 2023-04-28 
種別 異議の決定 
異議申立日 2023-02-01 
確定日 2023-04-10 
異議申立件数
事件の表示 特許第7111566号発明「ペリクル枠及びペリクル」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。 
結論 特許第7111566号の請求項1〜11に係る特許を維持する。 
理由 1 手続の経緯
特許第7111566号(以下「本件特許」という。)の請求項1〜11に係る特許についての出願は、平成30年9月7日に出願され、令和4年7月25日にその特許権の設定登録がされ、令和4年8月2日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和5年2月1日に特許異議申立人嶋▲崎▼佳子(以下「申立人」という。)は、特許異議の申立てを行った。

2 本件発明
本件特許の請求項1〜11に係る発明(以下「本件発明1」〜「本件発明11」といい、これらを総称して「本件発明」という。)は、それぞれその特許請求の範囲の請求項1〜11に記載された事項により特定される次のとおりのものである。

【請求項1】
平面視で矩形形状であり、厚み方向の両側に設けられた第1面及び第2面と、前記第1面及び前記第2面に連接された内周面及び外周面と、を有するペリクル枠において、
前記第1面に開口し、前記内周面側と前記外周面側とを連通する凹部を備え、
前記凹部の前記外周面側に開口する第2開口端の総面積Smm2と前記ペリクル枠によって囲まれる内部空間の体積Vmm3との比S/Vは、0.008mm−1以上0.020mm−1以下である、
ペリクル枠。
【請求項2】
前記ペリクル枠を構成する各辺部の長手方向における、前記凹部の前記第1面に開口する第1開口端の長さLと、前記凹部の底面から前記第2面までの最短距離dとが、L/d2≦3.0の関係を満たす、
請求項1に記載のペリクル枠。
【請求項3】
前記凹部の形状は、前記内周面側及び/又は前記外周面側から見た場合に、矩形、台形、多角形、円の一部、及び楕円の一部、の形状のうち1種である、
請求項1又は2に記載のペリクル枠。
【請求項4】
前記ペリクル枠を構成する各辺部の長手方向において、前記凹部の前記第1面側の第1開口端の前記長手方向に沿った長さは、前記凹部の底部の前記長手方向に沿った長さよりも大である、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のペリクル枠。
【請求項5】
前記凹部の底部における角部は、R面取りされたR部を有する、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のペリクル枠。
【請求項6】
前記ペリクル枠は、導電性を有するセラミック焼結体からなる、
請求項1〜5のいずれか1項に記載のペリクル枠。
【請求項7】
前記ペリクル枠は、ヤング率が300GPa以上、強度が500MPa以上であるセラミック焼結体からなる、
請求項1〜6のいずれか1項に記載のペリクル枠。
【請求項8】
前記ペリクル枠は、熱伝導率が15W/mK以上のセラミック焼結体からなる、
請求項1〜7のいずれか1項に記載のペリクル枠。
【請求項9】
前記ペリクル枠は、熱膨張率が10ppm/℃以下であるセラミック焼結体からなる、
請求項1〜8のいずれか1項に記載のペリクル枠。
【請求項10】
前記請求項1〜9のいずれか1項に記載のペリクル枠と、前記ペリクル枠の前記第1面側に配置されたペリクル膜と、を備えたペリクルであって、
前記ペリクル枠の前記凹部の前記第1面側の第1開口端は、前記ペリクル膜によって覆われている、
ペリクル。
【請求項11】
前記ペリクル枠の前記凹部の前記外周面側の第2開口端は、フィルタによって覆われている、
請求項10に記載のペリクル。

3 申立て理由の概要
申立人は、以下の理由により、請求項1〜11に係る特許を取り消すべきものである旨主張する。
(1)サポート要件違反
本件特許は、特許請求の範囲の記載が不備のため、特許法第36条第6項第1号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。

(2)進歩性欠如
請求項1〜11に係る特許は、本件特許出願前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物である又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった甲第1号証に記載された発明、甲第2号証に記載された技術的事項及び周知技術(甲第3号証〜甲第6号証)に基いて、本件特許出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。

甲第1号証:特開2000−292909号公報
甲第2号証:再公表特許第2016/043292号
甲第3号証:特開2014−140785号公報
甲第4号証:特開2017−134093号公報
甲第5号証:特開2016−130789号公報
甲第6号証:特開2003−167327号公報

4 当審の判断
(1)特許法第36条第6項第1号(サポート要件違反)について
申立人は、本件発明の課題が、「短時間で真空引きや大気開放を行うこと」(【0023】)であるとした上で、請求項1には、当該課題に対する解決手段として「S/Vは、0.008mm−1以上0.020mm−1以下」であることが記載されているが、本件特許の願書に添付した明細書又は図面(以下「本件明細書等」という。)には、「S/V」が「0.008mm−1以上0.020mm−1以下」の場合で上記課題が解決されることが記載されているのは、実験例3に記載された条件を前提としたときにとどまるのであって、いかなる条件下においても上記課題を解決できることを当業者が認識できるとはいえない旨主張している。
しかしながら、本件発明の課題は、「速やかに真空引きや大気解放を行うことができ、通気のための構成を容易に形成できるペリクル枠」を提供すること(【0012】)であるところ、本件明細書等には、「平面視で矩形形状であり、厚み方向の両側に設けられた第1面及び第2面と、第1面及び第2面に連接された内周面及び外周面と、を有するペリクル枠」において、「通気のための構成」が、「第1面に開口し、内周面側と外周面側とを連通する凹部」であること(【0013】〜【0018】)が記載されており、このような構成により、上記課題を解決できることを当業者は認識できるといえる。そして、本件発明には、当該構成が記載されている。
よって、本件発明の記載は、サポート要件を満たしている。
申立人は、本件発明2の特定事項に係る記載につきサポート要件違反を主張するが、上記と同様の理由により、本件発明2の記載も、サポート要件を満たしている。

(2)特許法第29条第2項進歩性欠如)について
ア 本件発明1に対して
(ア)甲各号証に記載された事項
a 甲第1号証(特開2000−292909号公報)
(a)甲第1号証(以下「甲1」という。)には、次の記載がある(下線は当審で付した。以下同じ。)。
「【請求項1】 内部にフィルターが配置された溝状の切欠部を上端面および/または下端面に少なくとも一つ有するペリクル枠を具備することを特徴とするペリクル。」

「【0007】一方、ペリクルは、通常大気圧下で使用するものであるが、輸送時や使用場所等の状況によりいくらかの気圧の変化を受けることがある。例えば、空輸時や使用場所が高地である場合などでは、気圧が低くなることになり、また低気圧が接近した場合等においても気圧が下がる。ペリクルが露光原版に取り付けられた状態で、このように周囲の気圧が変化すると、上述したように露光原版とペリクルにより形成される空間は気密な空間であるので、ペリクル膜が膨らんだりへこんだりしてペリクル膜の高さに変動が生じる。その結果、例えばペリクル膜が膨らんで露光用の装置の一部にペリクル膜が接触したり、ペリクル膜上の異物検査を行った際に例えば照明用のレーザーのフォーカスがずれて誤検出したりする等の、使用上の大きな問題となっていた。」

「【0021】本発明において、この溝状の切欠部の形状は、特に限定されるものではなく、図1に示すように直方体形状のものであってもよく、また直径部分を開口面とする半円柱形状、一辺部分を開口面とする三角柱形状等であってもよい。しかしながら、ペリクル枠の加工、切欠部内に配置されるフィルターの加工、および切欠部内へのフィルターの配置、接着・固定等を考慮した場合、直方体形状(四角柱形状)であることが好ましい。この切欠部の大きさは、特に限定されるものではなく、切欠部内に収納されるフィルターのメッシュサイズと、ペリクルの内外の圧力差を均一にすることができる時間との関係で適宜決定されるものである。この場合、切欠部の大きさは必要以上に大きく形成せず、必要最低限の大きさとすることが好ましい。異物のペリクル内への侵入の可能性を最低限にとどめるためである。」

「【0034】ここで用いらるペリクル枠としては、円形のものでも方形のものでもよく、またその材質は特に限定されるものではなく、…(後略)…。」

「【0037】
【実施例】以下、本発明を実施例と比較例とを挙げて説明する。
(実施例)初めに、ペリクル枠として、枠外寸149mm×122mm×5.8mm、ペリクル枠厚さ2mmのアルミニウム合金製フレームを用意した。このフレームの一端面に幅10mm、高さ3mmでペリクル枠外周側から内周側に通じる直方体形状の溝を形成して溝状の切欠部とした。このペリクル枠を表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧1.5kgのサンドブラスト装置にて10分間表面処理し、表面を粗化した。次いで、NaOH処理浴中にて10秒間処理し洗浄した後、陽極酸化、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化皮膜を形成した。」

「図1



「図2



(b)図1及び図2より、ペリクル枠は、上端面、下端面、内周面及び外周面を有することがみてとれる。

(c)甲1に記載された発明
上記(a)及び(b)によれば、甲1には、請求項1に係るペリクルのペリクル枠について、次の発明(以下「甲1発明」という。)が記載されていると認められる。なお、参考までに、引用発明の認定に用いた引用文献の記載等に係る段落番号等を括弧内に付してある。

<甲1発明>
「内部にフィルターが配置された溝状の切欠部を上端面に少なくとも一つ有し、(請求項1)
上端面、下端面、内周面及び外周面を有し、(上記(b))
方形である、(【0034】)
ペリクル枠。」

b 甲第2号証(再公表特許第2016/043292号)
(a)甲第2号証(以下「甲2」という。)には、次の記載がある。
「【0009】
上述したように、EUVリソグラフィは、従来のリソグラフィとは異なり、真空下での露光となるため、フォトマスクへのペリクルの装着は必須ではないと考えられていた。しかし、従来にない微細プロセスであるため、フォトマスクへのペリクルの装着が必須であることが明らかとなってきた。しかし、EUV光は、あらゆる物質に対して吸収されやすいため、ペリクルに配置するペリクル膜も従来にないナノメートルオーダーの膜である必要がある。
【0010】
また、当初、フォトマスクへのペリクルの装着は必須ではないと考えられていたため、現在開発されているEUV露光装置には、フォトマスクへペリクルを装着するための空間が2.5mmの高さしか存在していない。しかし、5mm以上の高さを有する従来のペリクルを装着するための空間を露光装置内に確保するには、光学系の設計変更が必要となり、EUVリソグラフィの開発に遅延をきたすこととなる。
【0011】
真空下での露光であるため、ペリクル膜がたるんだり、或いは膨らんだりすることが想定されるが、ペリクルの設置空間に大幅に制限されるため、ナノメートルオーダーのペリクル膜の損傷を防ぐには、ペリクルの枠体に配置した通気孔を介した十分な通気を確保する必要がある。通気孔にはフィルタを配置する必要があるが、ペリクルの設置空間に大幅に制限されるため、枠体に許容される高さも大幅に制限されるため、枠体へのフィルタの配置も従来にない設計が要求される。」

「【0068】
現在、EUV露光用のペリクルとしては、長辺152mm以下、短辺120mm以下、高さ2mm以下の大きさが想定され、350 Pa/secでの減圧及び加圧が想定される。常圧(0.1MPa)から露光時の真空状態(10−4〜10−6Pa)迄減圧した時、また、真空状態から常圧に戻す際に加圧した時の、ペリクル100内外の差圧によるペリクル膜101の膨張が0.5mm未満とするために、ペリクル100の内部の体積に対するフィルタ131の通気部135の合計面積の比率(フィルタの通気部面積/ペリクル内部体積)が0.007mm−1以上0.026mm−1以下であることが好ましい。この比率が0.007mm−1以上であると、減圧および加圧する時にフィルタ通気部を通過する気体の流速が早くなりすぎないためにペリクル100内外の差圧の上昇が抑制され、ペリクル膜101の膨張が0.5mm未満に抑制できる。また、形成可能な通気部135の大きさによる制約から、この比率が0.026mm−1以下であると、フィルタ131の通気部135および糊代部137を十分に設けることができる。」

(b)上記(a)より、甲2には、次の技術的事項が記載されていることが認められる。
EUV露光用のペリクルにおいて、ペリクル膜の膨張を0.5mm未満とすると共に、形成可能な通気部の大きさによる制約に基づいて、ペリクルの内部の体積に対するフィルタの通気部の合計面積の比率(フィルタの通気部面積/ペリクル内部体積)を、0.007mm−1以上0.026mm−1以下とすること。

(イ)対比
以下、本件発明1と甲1発明を対比する。
a 本件発明1の「平面視で矩形形状であり、厚み方向の両側に設けられた第1面及び第2面と、前記第1面及び前記第2面に連接された内周面及び外周面と、を有するペリクル枠において」との特定事項について
甲1発明の「ペリクル枠」は、「方形」であり、「上端面、下端面、内周面及び外周面」を有する枠体である。
よって、甲1発明の「ペリクル枠」は、本件発明1の「ペリクル枠」に相当し、甲1発明は、本件発明1の上記特定事項を満たすといえる。

b 本件発明1の「前記第1面に開口し、前記内周面側と前記外周面側とを連通する凹部を備え」との特定事項について
甲1発明の「ペリクル枠」は、「溝状の切欠部を上端面に少なくとも一つ有し」ており、当該「切欠部」は、上端面に形成された溝状であるから、ペリクル枠の内周面と外周面とを連通し、凹部形状のものと理解できる。
よって、甲1発明の「切欠部」は、本件発明1の「凹部」に相当し、甲1発明は、本件発明1の上記特定事項を満たすといえる。

c 本件発明1の「前記凹部の前記外周面側に開口する第2開口端の総面積Smm2と前記ペリクル枠によって囲まれる内部空間の体積Vmm3との比S/Vは、0.008mm−1以上0.020mm−1以下である」との特定事項について
甲1発明は、本件発明1の上記特定事項を満たすか不明である。

d 以上より、本件発明1と引用発明との一致点及び相違点は、以下のとおりである。

<一致点>
「平面視で矩形形状であり、厚み方向の両側に設けられた第1面及び第2面と、前記第1面及び前記第2面に連接された内周面及び外周面と、を有するペリクル枠において、
前記第1面に開口し、前記内周面側と前記外周面側とを連通する凹部を備える、
ペリクル枠。」

<相違点>
本件発明1は、「前記凹部の前記外周面側に開口する第2開口端の総面積Smm2と前記ペリクル枠によって囲まれる内部空間の体積Vmm3との比S/Vは、0.008mm−1以上0.020mm−1以下である」と特定されるのに対し、甲1発明は、そのようであるか不明である点。

(ウ)判断
a 甲1発明は、通気性を確保しつつ、より微細な異物をも捕捉できるような通気機構を有するペリクルを提供する(【0012】)ものであるところ、ここでいう「通気性」とは、大気圧下で使用する場合において、周囲の気圧変化(使用場所が高地である場合や低気圧が接近した場合)によりペリクル膜に膨らみやへこみが生じるという問題を解決する観点における「通気性」であると解される(【0001】・【0007】)。
甲1発明は、このような意味での「通気性」を確保するために、ペリクル枠の上端面に溝状の切欠部を設け、当該切欠部の中にフィルターを配置して通気機構としたものである(【0013】・【0014】)ところ、この切欠部のサイズは、比較的自由に変更することができる(【0014】)とされており、具体的には、十分に早くペリクル内外の気圧差を解消するためには切欠部を大きく形成するとされる(【0014】)一方、切欠部の大きさは、異物のペリクル内への侵入の可能性を最低限にとどめるために、必要最低限の大きさとすることが好ましいとされている(【0021】)。
そして、甲1発明で具体的に想定されている切欠部の大きさを、相違点に係るS/Vの観点でみると、実施例(【0037】)の値では、0.0003mm−1となっている(S=10×3=30mm2、V=(149−2×2)×(122−2×2)×5.8=99238mm3)。

b 上記aのとおり、甲1発明で具体的に想定されている切欠部の大きさは、0.0003mm−1であって、上記相違点に係るS/Vの最小値である「0.008mm−1」とは、一桁小さい値となっているところ、この要因は、甲1発明が、上記のように、大気圧下で使用する場合における周囲の気圧変化に対応することを想定している一方、本件発明1は、EUV露光において、露光装置内などで真空引き等を行う場合を主に想定している(本件明細書等の【0006】・【0008】・【0012】)ことにあると解される。
このように、甲1発明が想定している環境と、相違点に係る構成が想定している環境とは異なることから、甲1発明から出発した当業者が、相違点に係る構成に至るとはいえない。

c これに対し、申立人は、甲1発明に甲2に記載された技術的事項(上記(ア)b(b))を適用することにより、当業者は相違点に係る構成に至る旨主張する。
しかしながら、甲2に記載された技術的事項は、真空下での露光であるEUV露光を前提にしているから、上記bと同様の理由で、甲1発明から出発した当業者が甲2に記載された技術的事項を適用する動機付けがあるとはいえない。
申立人は、甲1発明に甲2に記載された技術的事項を適用する動機付けとして、(i)甲1には、切欠部を大きく形成して十分に早くペリクル内外の気圧差を解消できるとの記載(【0014】)があること、(ii)甲1には、EUV露光用のものであるとの記載はないものの、甲1発明と甲2に記載された技術的事項とは、ペリクル膜に膨らみやへこみを生じないようにするという共通の課題があること、を挙げる。しかしながら、甲1にEUV露光用との記載がないのは申立人が主張するとおりであることに加えて、上記(i)でいう気圧差を解消したり、上記(ii)でいうペリクル膜の膨らみやへこみが生じたりする前提となる環境が両者においてもとより異なるのであるから、申立人が主張する動機付けがあるということはできない。

d そして、甲1〜6の他の記載をみても、上記の判断が左右されることはない。

(エ)小括
以上によれば、本件発明1は、甲1発明及び甲2〜6に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたということができない。

イ 本件発明2〜11に対して
本件発明2〜11は、本件発明1の構成を全て具備するものであるから、本件発明2〜11も本件発明1と同じ理由により、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたということができない。

5 むすび
したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項1〜11に係る特許を取り消すことはできない。
また、他に請求項1〜11に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
 
異議決定日 2023-03-31 
出願番号 P2018-168127
審決分類 P 1 651・ 121- Y (G03F)
最終処分 07   維持
特許庁審判長 山村 浩
特許庁審判官 吉野 三寛
野村 伸雄
登録日 2022-07-25 
登録番号 7111566
権利者 日本特殊陶業株式会社
発明の名称 ペリクル枠及びペリクル  
代理人 名古屋国際弁理士法人  
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