審決年月日 |
審判番号 |
発明・考案の名称 |
結論 |
代理人 |
請求人 |
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2009/08/17
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不服 2009
-6235
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クリーナ用粘着式ローラー
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本件審判の請求は、成り立たない。
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西田 俊治
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原文
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保存
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該当なし
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2009/07/03
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不服 2007
-28746
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半導体ウェーハ洗浄システム及びその洗浄液供給方法
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本件審判の請求は、成り立たない。
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三星電子株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2009/04/06
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不服 2006
-26790
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基板処理装置
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本件審判の請求は、成り立たない。
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吉竹 英俊
その他
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大日本スクリーン製造株式会社
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
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原文
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保存
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該当なし
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2009/03/16
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不服 2007
-3447
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基板処理方法
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本件審判の請求は、成り立たない。
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大坪 隆司
その他
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富士通マイクロエレクトロニクス株式会社
大日本スクリーン製造株式会社
富士通ヴィエルエスアイ株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2009/03/03
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不服 2007
-23269
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電子材料用洗浄水製造装置及び該洗浄水の製造方法
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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栗田工業株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2009/02/24
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不服 2007
-12756
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基板処理方法
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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川崎 実夫
その他
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大日本スクリーン製造株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2008/11/11
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不服 2005
-24798
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基板処理方法
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本件審判の請求は、成り立たない。
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大日本スクリーン製造株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2008/09/18
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不服 2007
-25108
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基板処理装置
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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大日本スクリーン製造株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2008/07/16
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不服 2005
-13987
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基板洗浄具及び基板洗浄装置
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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金本 哲男
その他
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東京エレクトロン株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2008/03/10
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不服 2005
-14505
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基板洗浄具,基板洗浄装置及び基板洗浄方法
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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金本 哲男
その他
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東京エレクトロン株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2008/03/07
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不服 2006
-1283
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基板処理装置における処理液サンプリング機構
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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大日本スクリーン製造株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2008/01/04
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不服 2005
-13885
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基板処理装置および基板処理方法
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本件審判の請求は、成り立たない。
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吉竹 英俊
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大日本スクリーン製造株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2007/10/17
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不服 2005
-24702
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基板処理装置および基板処理方法
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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有田 貴弘
その他
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大日本スクリーン製造株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2007/10/03
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不服 2005
-13314
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シリコンウェーハの保管用水及び保管方法
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本件審判の請求は、成り立たない。
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信越半導体株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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2007/05/30
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不服 2006
-7504
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基板処理装置
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原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。
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大日本スクリーン製造株式会社
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原文
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保存
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該当なし
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